JP2945210B2 - 厚膜型サーマルヘッドの製造方法 - Google Patents
厚膜型サーマルヘッドの製造方法Info
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- JP2945210B2 JP2945210B2 JP11899492A JP11899492A JP2945210B2 JP 2945210 B2 JP2945210 B2 JP 2945210B2 JP 11899492 A JP11899492 A JP 11899492A JP 11899492 A JP11899492 A JP 11899492A JP 2945210 B2 JP2945210 B2 JP 2945210B2
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、ファクシミリ、プリン
タ、ワープロ等の印字装置に用いる厚膜型サーマルヘッ
ドの製造方法に関し、詳細には発熱抵抗体形成工程に特
徴がある厚膜型サーマルヘッドの製造方法に関する。
タ、ワープロ等の印字装置に用いる厚膜型サーマルヘッ
ドの製造方法に関し、詳細には発熱抵抗体形成工程に特
徴がある厚膜型サーマルヘッドの製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】印字装置に用いられる厚膜型サーマルヘ
ッドは、一般的には図９に示すように、セラミックやア
ルミナ等からなる絶縁性基板５０上に共通電極５１と個
別電極５２を交互に対向配置し、これら共通及び個別電
極５１、５２に接触するように線状の発熱抵抗体５３を
設け、発熱抵抗体５３をガラス等からなる耐摩耗性保護
層（図示せず）で被覆した構造を有する。
ッドは、一般的には図９に示すように、セラミックやア
ルミナ等からなる絶縁性基板５０上に共通電極５１と個
別電極５２を交互に対向配置し、これら共通及び個別電
極５１、５２に接触するように線状の発熱抵抗体５３を
設け、発熱抵抗体５３をガラス等からなる耐摩耗性保護
層（図示せず）で被覆した構造を有する。
【０００３】このようなサーマルヘッドでは、共通電極
５１と任意の個別電極５２を通じて発熱抵抗体５３に通
電すると、発熱抵抗体５３の１ドットに相当する部分
（図９参照）が発熱し、この熱が保護層を介して感熱紙
に達し、１ドット分の印字が行われる。ところで、上記
のような厚膜型サーマルヘッドは次のように製造され
る。まず、図８の（ａ）に示す絶縁性基板５０上に導体
５５をスクリーン印刷によって形成する〔図８の（ｂ）
参照〕。次に、図８の（ｃ）に示すようなパターンに導
体５５のパターンニングを行い、共通及び個別電極５
１、５２を形成する。そして、共通及び個別電極５１、
５２に接触するように線状の発熱抵抗体５３をスクリー
ン印刷によって設け（図９参照）、発熱抵抗体５３を保
護層で被覆する。
５１と任意の個別電極５２を通じて発熱抵抗体５３に通
電すると、発熱抵抗体５３の１ドットに相当する部分
（図９参照）が発熱し、この熱が保護層を介して感熱紙
に達し、１ドット分の印字が行われる。ところで、上記
のような厚膜型サーマルヘッドは次のように製造され
る。まず、図８の（ａ）に示す絶縁性基板５０上に導体
５５をスクリーン印刷によって形成する〔図８の（ｂ）
参照〕。次に、図８の（ｃ）に示すようなパターンに導
体５５のパターンニングを行い、共通及び個別電極５
１、５２を形成する。そして、共通及び個別電極５１、
５２に接触するように線状の発熱抵抗体５３をスクリー
ン印刷によって設け（図９参照）、発熱抵抗体５３を保
護層で被覆する。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、図９に
示すような厚膜型サーマルヘッドでは、発熱抵抗体５３
をスクリーン印刷によって形成するため、特に８ドット
／ｍｍ程度の高密度の場合には発熱抵抗体はどうしても
帯状に連続することになり、発熱抵抗体を１ドット毎に
区分することができない。つまり、図９から分かるよう
に、１ドットは発熱抵抗体の２素子分に相当するため、
この１ドット分の抵抗体を発熱させて印字した場合、１
ドットの印字形状は図１０に示すように中央がくびれた
格好になり、総じて印字品位が悪い。又、発熱抵抗体の
２素子分で１ドットを構成しているため、１６ドット／
ｍｍ以上の高密度化が極めて困難である。
示すような厚膜型サーマルヘッドでは、発熱抵抗体５３
をスクリーン印刷によって形成するため、特に８ドット
／ｍｍ程度の高密度の場合には発熱抵抗体はどうしても
帯状に連続することになり、発熱抵抗体を１ドット毎に
区分することができない。つまり、図９から分かるよう
に、１ドットは発熱抵抗体の２素子分に相当するため、
この１ドット分の抵抗体を発熱させて印字した場合、１
ドットの印字形状は図１０に示すように中央がくびれた
格好になり、総じて印字品位が悪い。又、発熱抵抗体の
２素子分で１ドットを構成しているため、１６ドット／
ｍｍ以上の高密度化が極めて困難である。
【０００５】従って、本発明の目的は、発熱抵抗体を１
ドット毎に分離独立させて印字品位を良くすることが可
能な厚膜型サーマルヘッドの製造方法を提供することに
ある。
ドット毎に分離独立させて印字品位を良くすることが可
能な厚膜型サーマルヘッドの製造方法を提供することに
ある。
【０００６】
【課題を解決するための手段】前記目的を達成するため
に、本発明の厚膜型サーマルヘッドの製造方法は、一定
間隔を置いて対向する一方の電極と他方の電極を並列さ
せて形成した基板上に、ガラス粉末と金属酸化物粉末又
は金属粉末とを分散させた感光性レジスト溶液を塗布
し、感光性レジストが一方の電極と他方の電極との間隙
にそれぞれ分離して残るように、感光性レジストに対し
て露光・現像によるパターンニングを行った後、残存す
る感光性レジストを焼成し、個々に分離した抵抗体膜を
形成する発熱抵抗体形成工程を有することを特徴とす
る。
に、本発明の厚膜型サーマルヘッドの製造方法は、一定
間隔を置いて対向する一方の電極と他方の電極を並列さ
せて形成した基板上に、ガラス粉末と金属酸化物粉末又
は金属粉末とを分散させた感光性レジスト溶液を塗布
し、感光性レジストが一方の電極と他方の電極との間隙
にそれぞれ分離して残るように、感光性レジストに対し
て露光・現像によるパターンニングを行った後、残存す
る感光性レジストを焼成し、個々に分離した抵抗体膜を
形成する発熱抵抗体形成工程を有することを特徴とす
る。
【０００７】この製造方法によれば、感光性レジストを
用いたフォトリソグラフィによって発熱抵抗体を形成す
るため、抵抗体の微細加工が可能となり、１ドット毎に
分離した抵抗体を形成することができるだけでなく、各
抵抗体の厚さや形状も均一になり、印字品位が良好にな
る。このような作用効果が得られる本発明の製造方法
は、発熱抵抗体形成工程に特徴があり、特に感光性レジ
ストを使用することが重要である。そして、感光性レジ
ストにガラス粉末と発熱抵抗体材となる金属酸化物粉末
又は金属粉末とを分散させた溶液を基板に塗布する。塗
布した感光性レジストに対してフォトマスクを用いて露
光・現像を行い、感光性レジストを１ドットずつ分離し
た抵抗体パターンにする。この現像時に現像液によって
感光性レジストの不要部分が取り除かれ、つまりエッチ
ングによって所定パターンの発熱抵抗体を形成すること
になる。次に、残存する感光性レジストを焼成するが、
焼成時にレジストが燃焼すると共に、ガラス粉末が軟化
する。軟化したガラスは抵抗体材を成膜させるためのバ
インダーとして作用し、抵抗体材が所定部位に固着され
て抵抗体膜となる。発熱抵抗体を形成した後は、従来ど
おりに全ての発熱抵抗体をガラス等の耐摩耗性保護層で
覆って保護すればよい。
用いたフォトリソグラフィによって発熱抵抗体を形成す
るため、抵抗体の微細加工が可能となり、１ドット毎に
分離した抵抗体を形成することができるだけでなく、各
抵抗体の厚さや形状も均一になり、印字品位が良好にな
る。このような作用効果が得られる本発明の製造方法
は、発熱抵抗体形成工程に特徴があり、特に感光性レジ
ストを使用することが重要である。そして、感光性レジ
ストにガラス粉末と発熱抵抗体材となる金属酸化物粉末
又は金属粉末とを分散させた溶液を基板に塗布する。塗
布した感光性レジストに対してフォトマスクを用いて露
光・現像を行い、感光性レジストを１ドットずつ分離し
た抵抗体パターンにする。この現像時に現像液によって
感光性レジストの不要部分が取り除かれ、つまりエッチ
ングによって所定パターンの発熱抵抗体を形成すること
になる。次に、残存する感光性レジストを焼成するが、
焼成時にレジストが燃焼すると共に、ガラス粉末が軟化
する。軟化したガラスは抵抗体材を成膜させるためのバ
インダーとして作用し、抵抗体材が所定部位に固着され
て抵抗体膜となる。発熱抵抗体を形成した後は、従来ど
おりに全ての発熱抵抗体をガラス等の耐摩耗性保護層で
覆って保護すればよい。
【０００８】なお、発熱抵抗体材となる金属酸化物粉末
又は金属粉末は、従来使用されている発熱抵抗体材でよ
く、感光性レジストもポジ形、ネガ形のどちらでも構わ
ない。
又は金属粉末は、従来使用されている発熱抵抗体材でよ
く、感光性レジストもポジ形、ネガ形のどちらでも構わ
ない。
【０００９】
【実施例】以下、本発明の厚膜型サーマルヘッドの製造
方法を実施例に基づいて説明する。まず、図１の（ａ）
において、セラミックやアルミナ等からなる絶縁性基板
１上に薄いグレーズ層（蓄熱層、図示せず）を設ける。
次いで、基板１（実質的にはグレーズ層）上に電極材と
してのレジネート金をスクリーン印刷によって塗布し、
これを焼成した後、ヨウ素ヨウ化カリウム溶液にてエッ
チングし、パターンニングを行い、共通電極２及び個別
電極３を形成する〔図１の（ｂ）参照〕。共通及び個別
電極２、３は、それぞれ図４に示すようなパターンを有
し、共通電極２からは等間隔を置いて矩形状の突出部２
ａが延び、この突出部２ａに対応して個別電極３の端部
が拡張部３ａになっている。
方法を実施例に基づいて説明する。まず、図１の（ａ）
において、セラミックやアルミナ等からなる絶縁性基板
１上に薄いグレーズ層（蓄熱層、図示せず）を設ける。
次いで、基板１（実質的にはグレーズ層）上に電極材と
してのレジネート金をスクリーン印刷によって塗布し、
これを焼成した後、ヨウ素ヨウ化カリウム溶液にてエッ
チングし、パターンニングを行い、共通電極２及び個別
電極３を形成する〔図１の（ｂ）参照〕。共通及び個別
電極２、３は、それぞれ図４に示すようなパターンを有
し、共通電極２からは等間隔を置いて矩形状の突出部２
ａが延び、この突出部２ａに対応して個別電極３の端部
が拡張部３ａになっている。
【００１０】次に、感光性のポジ形レジスト中に、粒径
１μｍ以下の酸化ルテニウム粉末（金属酸化物粉末）と
ガラス粉末を分散させ、この感光性レジスト溶液を共通
及び個別電極２、３のパターン上に適度の厚さで塗布
し、感光性レジスト４とする〔図１の（ｃ）参照〕。続
いて、図２の（ｄ）に示すように、分離独立した抵抗体
パターンを焼付けたフォトマスク１０を感光性レジスト
４の表面に密着させるか、或いは少し離して位置合わせ
を行う。この後、ＵＶ光で露光し、感光性レジスト４の
不要部分を感光させる。この時、感光性レジスト４はポ
ジ形であるため、ＵＶ光が照射されない部分（パターン
部分）は感光されない。
１μｍ以下の酸化ルテニウム粉末（金属酸化物粉末）と
ガラス粉末を分散させ、この感光性レジスト溶液を共通
及び個別電極２、３のパターン上に適度の厚さで塗布
し、感光性レジスト４とする〔図１の（ｃ）参照〕。続
いて、図２の（ｄ）に示すように、分離独立した抵抗体
パターンを焼付けたフォトマスク１０を感光性レジスト
４の表面に密着させるか、或いは少し離して位置合わせ
を行う。この後、ＵＶ光で露光し、感光性レジスト４の
不要部分を感光させる。この時、感光性レジスト４はポ
ジ形であるため、ＵＶ光が照射されない部分（パターン
部分）は感光されない。
【００１１】その後、現像液で現像することにより、フ
ォトマスク１０の抵抗体パターンを感光性レジスト４に
転写する。この現像により、感光性レジスト４の感光部
分が現像液で除去される。つまり、感光部分が現像液に
てエッチングされることになり、フォトマスク１０の抵
抗体パターンどおりに感光性レジスト４’が所定部位に
残ることになる〔図２の（ｅ）参照〕。そして、パター
ンニングによって残存した感光性レジスト４’を８００
℃前後の高温で焼成し、感光性レジスト４’を完全に燃
焼させる。この焼成時に、感光性レジスト４’中のガラ
ス粉末が軟化し、これがバインダーとなって感光性レジ
スト４’中の抵抗体材である酸化ルテニウムが成膜し、
発熱抵抗体５が形成される〔図２の（ｆ）参照〕。
ォトマスク１０の抵抗体パターンを感光性レジスト４に
転写する。この現像により、感光性レジスト４の感光部
分が現像液で除去される。つまり、感光部分が現像液に
てエッチングされることになり、フォトマスク１０の抵
抗体パターンどおりに感光性レジスト４’が所定部位に
残ることになる〔図２の（ｅ）参照〕。そして、パター
ンニングによって残存した感光性レジスト４’を８００
℃前後の高温で焼成し、感光性レジスト４’を完全に燃
焼させる。この焼成時に、感光性レジスト４’中のガラ
ス粉末が軟化し、これがバインダーとなって感光性レジ
スト４’中の抵抗体材である酸化ルテニウムが成膜し、
発熱抵抗体５が形成される〔図２の（ｆ）参照〕。
【００１２】発熱抵抗体５は、図５に示すように、共通
電極２の突出部２ａ及び個別電極３の拡張部３ａの各端
部に接触し、一対の突出部２ａと拡張部３ａ毎に分離独
立している。このため、１つの抵抗体素子で１ドットが
構成される。続いて、図３の（ｇ）において、全ての発
熱抵抗体５を覆うように、スクリーン印刷にて抵抗体５
を含む部分上にガラスを印刷し、このガラス膜を焼成し
て保護層６とすることで、厚膜型サーマルヘッドを完成
させる。
電極２の突出部２ａ及び個別電極３の拡張部３ａの各端
部に接触し、一対の突出部２ａと拡張部３ａ毎に分離独
立している。このため、１つの抵抗体素子で１ドットが
構成される。続いて、図３の（ｇ）において、全ての発
熱抵抗体５を覆うように、スクリーン印刷にて抵抗体５
を含む部分上にガラスを印刷し、このガラス膜を焼成し
て保護層６とすることで、厚膜型サーマルヘッドを完成
させる。
【００１３】ここで、例えば８ドット／ｍｍのサーマル
ヘッドの寸法例を挙げると、図６において発熱抵抗体５
のピッチａは１２５μｍ、発熱抵抗体５の長さｂは１２
５μｍ、発熱抵抗体５の間隔ｃは２５μｍである。この
ように発熱抵抗体５が個々に区分されていると、１つの
抵抗体素子で１ドット印字を行うことになるため、１ド
ットの印字形状は図７のように発熱抵抗体５とほぼ同形
状になり、印字品位が良好となる。
ヘッドの寸法例を挙げると、図６において発熱抵抗体５
のピッチａは１２５μｍ、発熱抵抗体５の長さｂは１２
５μｍ、発熱抵抗体５の間隔ｃは２５μｍである。この
ように発熱抵抗体５が個々に区分されていると、１つの
抵抗体素子で１ドット印字を行うことになるため、１ド
ットの印字形状は図７のように発熱抵抗体５とほぼ同形
状になり、印字品位が良好となる。
【００１４】
【発明の効果】以上説明したように、本発明の厚膜型サ
ーマルヘッドの製造方法は、ガラス粉末と金属酸化物粉
末又は金属粉末とを分散させた感光性レジスト溶液を用
いたフォトリソグラフィによって、個々に分離独立した
発熱抵抗体を形成する発熱抵抗体形成工程を有するた
め、発熱抵抗体の微細加工が可能となり、厚さ及び形状
が均一な発熱抵抗体を１ドット毎に区分形成することが
でき、印字品位が向上する。しかも、８ドット／ｍｍ程
度の印字密度は勿論のこと、１６ドット／ｍｍ以上の高
密度化も容易に実現することができる。
ーマルヘッドの製造方法は、ガラス粉末と金属酸化物粉
末又は金属粉末とを分散させた感光性レジスト溶液を用
いたフォトリソグラフィによって、個々に分離独立した
発熱抵抗体を形成する発熱抵抗体形成工程を有するた
め、発熱抵抗体の微細加工が可能となり、厚さ及び形状
が均一な発熱抵抗体を１ドット毎に区分形成することが
でき、印字品位が向上する。しかも、８ドット／ｍｍ程
度の印字密度は勿論のこと、１６ドット／ｍｍ以上の高
密度化も容易に実現することができる。
【図１】本発明の製造方法を説明するための工程図であ
る。
る。
【図２】本発明の製造方法を説明するための、図１に続
く工程図である。
く工程図である。
【図３】本発明の製造方法を説明するための、図２に続
く工程図である。
く工程図である。
【図４】図１の（ｂ）で作製した電極のパターンを示す
平面図である。
平面図である。
【図５】図２の（ｆ）で作製した発熱抵抗体のパターン
を示す平面図である。
を示す平面図である。
【図６】図５に示す発熱抵抗体のパターンの拡大図であ
る。
る。
【図７】図６に示す発熱抵抗体で印字した時の１ドット
の印字形状を示す図である。
の印字形状を示す図である。
【図８】従来の製造方法を説明するための工程図であ
る。
る。
【図９】従来の製造方法を説明するための、図８に続く
工程図である。
工程図である。
【図１０】図９に示す発熱抵抗体で印字した時の１ドッ
トの印字形状を示す図である。
トの印字形状を示す図である。
１ 絶縁性基板 ２ 共通電極 ３ 個別電極 ４、４’ 感光性レジスト ５ 発熱抵抗体 ６ 保護層
フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.6，ＤＢ名) B41J 2/335 B41J 2/345
Claims (1)
- 【請求項１】一定間隔を置いて対向する一方の電極と他
方の電極を並列させて形成した基板上に、ガラス粉末と
金属酸化物粉末又は金属粉末とを分散させた感光性レジ
スト溶液を塗布し、感光性レジストが一方の電極と他方
の電極との間隙にそれぞれ分離して残るように、感光性
レジストに対して露光・現像によるパターンニングを行
った後、残存する感光性レジストを焼成し、個々に分離
した抵抗体膜を形成する発熱抵抗体形成工程を有するこ
とを特徴とする厚膜型サーマルヘッドの製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11899492A JP2945210B2 (ja) | 1992-05-12 | 1992-05-12 | 厚膜型サーマルヘッドの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11899492A JP2945210B2 (ja) | 1992-05-12 | 1992-05-12 | 厚膜型サーマルヘッドの製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05309856A JPH05309856A (ja) | 1993-11-22 |
| JP2945210B2 true JP2945210B2 (ja) | 1999-09-06 |
Family
ID=14750373
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11899492A Expired - Fee Related JP2945210B2 (ja) | 1992-05-12 | 1992-05-12 | 厚膜型サーマルヘッドの製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2945210B2 (ja) |
-
1992
- 1992-05-12 JP JP11899492A patent/JP2945210B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH05309856A (ja) | 1993-11-22 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Year of fee payment: 9 Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080625 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Year of fee payment: 10 Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090625 |
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| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |