JPS63140081A - 微少流量間欠ガス導入方法および装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は微少流量間欠ガス導入方法および装置に係り、
特に高真空容器内にガスを導入するのに好適な微少流量
間欠ガス導入方法および装置に関するものである。

〔従来の技術〕

従来の装置は、例えば、特開昭６０−２４０１７号に記
載のように、マス７０−コントローラを介して真空容器
内にガスを導入するようになっていた。

〔発明が解決しようとする問題点〕

上記従来技術は微少流量のガス導入を精度良く行なう点
について配慮されておらず、従来のマス７０−コントロ
ーラの現状の最小制御流蓋は０．ＩＳＣＣＭ程度であり
、かつ、開閉時のオーバーシュートが生じたり、流麗が
安定するまでの整定時間が長くなったりするという問題
があった。

本発明の目的は０．１　ｓＣＣＭ以下の微少流量のガス
導入を精度良く行なうことのできる微少流量間欠ガス導
入方法および装置を提供することにある。

〔問題点を解決するための手段〕

上記目的は、内部を減圧排気される真空容器に可変式定
流量弁を介して接続したガス供給手段と、可変式定流■
弁をはさんで前後に設けた弁と、弁と可変式定流量弁と
の間を排気する排気手段とから構成し、供給側よりも被
供給側の圧力を下げる工程と、供給側と被供給側との間
に設けられた可変式定流量弁の前後の弁を閉じて弁では
さまれた間のガスを排気する工程と、可変式定流量弁の
前後の弁を開き可変式定流量弁を介して被供給側に微少
流量のガスを供給する工程とを有することにより、達成
される。

〔作　　　用〕

可変式定流量弁の前後の弁を閉じて、その弁間内の残留
ガスを排気しておき１両方の弁を同時に開くことにより
、ガス供給源から送られたガスが前部の弁を介して真空
域になった可変式定流量弁部に流れ、あらかじめ所定流
量となるように設定された可変式定流量弁を介して所定
の流量のガスが後部の弁を介して真空容器内に流入する
。ユニで、可変式定流量弁の前後に弁を設けているので
、ガス供給源からのガスおよび真空容器へ送られるガス
を確実に止められ、可変式定流量弁の開閉動作がなくな
るので、所定流量のガスを精度良く送ることができ、前
後の弁で閉じた空間を真空排気するので、後部の弁を開
いたときに残留ガスが真空容器内に流れ込むことがなく
、さらに精度の良いガス導入が行なえる。

〔実　施　例〕

以下、本発明の一実施例を第１図および第２図により説
明する。

第１図に装置の構成を示す。真空容器１には真空ポンプ
２が接続され、内部を真空排気される。

また、真空容器ｌには、開閉弁４ｂ、可変式定流■弁３
および開閉弁４ａを順次介して、図示しないガス供給源
が接続しである。開閉弁４ａと可変式定流量弁３との間
の配管５および開閉弁４ｂと可変式定流量弁３との間の
配管６には、それぞれ開閉弁４Ｃおよび４ｄを介して真
空ポンプ７が接続しである。８は開閉弁４ａないし４ｄ
を制御する制御装置である。

上記構成の装置により、第２図に示すように、開閉弁４
ａ、４ｂが閉じている間に、開閉弁４ｃ。

４ｄを時間Ｔ３間開いて配管５および６内のガスを真空
ポンプ７により排気し、その後開閉弁４ｃ。

４ｄを閉じておく。配管５，６内の排気が終わると、開
閉弁４ａ、４ｂを同時に開いてガス供給源からのガスを
開閉弁４ａを介して可変式定流量弁３側へ流す。このと
き、配管６内も真空排気されているので、開閉弁４ｂを
開いても真空容器１内への残留ガスの流れはない。

ガス供給源からのガスは、あらかじめ微少の所定流量、
この場合は、０．１〜Ｉ　Ｘ　１００−３ＳＣＣ内で設
定された可変式定流量弁３を介して、所定の流量のガス
が開閉弁４ｂを介して真空容器１内へ流入する。

真空容器１へのガス導入時間Ｔ！が過ぎると開閉弁４ａ
、４Ｃは同時に閉じられ、ガスの供給が止められる。次
に開閉弁４ｃ、４ｄが開いて、配管５および６内の残留
ガスを真空ポンプ７によって排気する。排気後は、再び
開閉弁４Ｃ，４ｄを閉じてお（。これにより、次にガス
を供給するときの準備が完了する。

また、この第２図の例では真空容器ｌへのガスの供給を
Ｔ、時間行ない、ガスの停止を１２時間行なう周期的な
切り換えを行なっており、ガスの停止時間Ｔ２の間に配
管５，６内の残留ガスの排気を行なうようにしている。

これにより、周期的に真空容器ｌヘガスを供給できる。

以上、本−実施例によれば、可変式定流量弁３の前後に
開閉弁４ａ、４ｂを設けているので、可変式定流量弁３
によるガスの供給、停止のための開閉動作がなくなり、
所定の開度に設定しておくことができるので、マス７０
−コントローラのようにガスを所定流量流すための自動
制御を行なう必要がなく、精度の良い流量を流すことが
でき、０、Ｉ　８００Ｍ以下の流量においても確実に定
流量のガスを送ることができる。

また、開閉弁４ａ、４ｂを閉じて、配管５，６内の残流
ガスを排気するようにしてそるので、開閉弁４ａ、４ｂ
を開いたときに、真空容器１内に配管５，６内の残留ガ
スが流れ込むことがなく真空容器内の圧力を保持できる
。なお、このときの配管５，６内のガス排気は、真空容
器１内の圧力に等しいことが望ましい。配管５，６の両
方の配管内の残留ガスを排気するのは、例えば、配管６
内のみの残留ガスを排気したのでは、微少流量ではある
が、可変式定流量弁３を介して配管５内に残留したガス
が少しずつ配管６内に入るので配管６内の残留ガスを取
りきれないことと、また、配管６内の排気だけでは配管
５内の残留ガスが配管６内に流れて全部排気されるまで
の時間がかかり過ぎて、周期的にガスの供給、停止を行
なう時間に追従できないからである。

なお１本−実施例では、開閉弁４ａ、４ｂと開閉弁４ｅ
、４ｄとの開閉動作を同時に行なって、制御を簡略化し
ているが、本来の目的からすると、ガスの供給時には開
閉弁４ｂを先に開けて、次に開閉弁４ａを開けるように
し、ガスの停止時にも開閉弁４ｂを先に閉じて、次に開
閉弁４ａを閉じるようにしても良い。また、開閉弁４ｃ
、４ｄもガスの停止時間Ｔ２内であれば、開閉弁４ｃ、
４ｄのどちらか一方を先に動作させて排気時間が多少長
（かかるようにしても差し支えない。

また、真空ポンプ７を別に設けているが、真空ポンプ２
と共用させても良い。

さらに、ガス停止時間が配管５，６内のガス排気に要す
る最小時間よりも長いぶんについては、ガスの供給、停
止の切り換え周期を自由に設定できる。

〔発明の効果〕

本発明によれば、０．１８ＣＣＭ以下の微少流量のガス
導入を精度良く行なうことができるという効果がある。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例である微少流員間欠ガス導入
装置を示す構成図、第２図は第１図の各開閉弁の操作の
タイミングを示す図である。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 　１、供給側よりも被供給側の圧力を下げる工程と、前
   記供給側と前記被供給側との間に設けられた可変式定流
   量弁の前後の弁を閉じて該弁ではさまれた間のガスを排
   気する工程と、 前記可変式定流量弁の前後の弁を開き前記可変式定流量
   弁を介して前記被供給側に微少流量のガスを供給する工
   程とを有することを特徴とする微少流量間欠ガス導入方
   法。 ２、内部を減圧排気される真空容器と可変式定流量弁を
   介して接続したガス供給手段と、前記可変式定流量弁を
   はさんで前後に設けた弁と、 該弁と前記可変式定流量弁との間を排気する排気手段と
   から成ることを特徴とする微少流量間欠ガス導入装置。