JPH0593272A - 真空容器の給気装置及び給気方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】真空容器の給気に於いて、発塵を抑制し、且信
頼性の高い真空容器の給気装置を提供する。 【構成】真空容器１に該真空容器側より、流量制御器
７、ストップバルブ４を接続し、該流量制御器、ストッ
プバルブを介して給気する様構成し、又前記真空容器へ
の給気は、前記流量制御器を少なくとも給気開始時に前
記流量制御器のオリフィス開度が０である様にし、給気
時のガス給気流量を０から徐々に増大してゆく。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、半導体装置等真空雰囲
気で各種処理を行う装置に於いて、真空容器が真空状態
から常圧に復帰する際の給気装置及び給気方法に関する
ものである。

【０００２】

【従来の技術】半導体素子を製造する場合、ウェーハを
真空雰囲気でＣＶＤ処理、エッチングを行うが、処理完
了後のウェーハの搬送、搬入は、大気中で行われる。

【０００３】この為、処理開始、処理完了の度に真空引
き、大気復帰が繰り返し行われる。この大気復帰は真空
室に窒素ガスを給気し、常圧となったところで真空室が
解放されている。

【０００４】従来の真空容器の給気装置を図３によって
説明する。

【０００５】図中、１は真空容器であり、該真空容器１
にフィルタ２を介してニードルバルブ３を接続し、更に
該ニードルバルブ３はストップバルブ４を介して窒素ガ
ス源５に接続されている。又、６は排気管である。

【０００６】上記従来の真空容器の給気装置で真空状態
から大気へ復帰する場合、前記ストップバルブ４を開い
て、前記窒素ガス源５から窒素ガスを前記真空容器１に
導入して常圧迄昇圧する。

【０００７】ここで、前記ストップバルブ４は、前記窒
素ガス源５から窒素ガスが急激に前記真空容器１に流入
しない様に、流量を制限している。

【０００８】

【発明が解決しようとする課題】ところが、上記した従
来の真空容器の給気装置では、前記ニードルバルブ３と
ストップバルブ４との間に空気溜まりが生じており、該
ストップバルブ４を開くと、この溜り分が１度に流入
し、発塵の原因になっている。更に、前記ニードルバル
ブ３が再現性に乏しく、給気動作の度に流入量にばらつ
きがあり、発塵を誘起している。

【０００９】本発明は、斯かる実情に鑑み発塵を抑制
し、且信頼性の高い真空容器の給気装置を提供しようと
するものである。

【００１０】

【課題を解決するための手段】本発明は、真空容器に該
真空容器側より、流量制御器、ストップバルブを接続
し、該流量制御器、ストップバルブを介して給気する様
構成し、又前記真空容器への給気は、前記流量制御器を
少なくとも給気開始時に前記流量制御器のオリフィス開
度が０である様にしたことを特徴とするものである。

【００１１】

【作用】給気時のガス給気流量を流量制御器で設定する
ので、安定性、再現性が高く、又給気は０から徐々に増
大して設定値に達するので、発塵が抑制される。

【００１２】

【実施例】以下、図面に基づき本発明の一実施例を説明
する。

【００１３】尚、図１中、図３中で示したものと同一の
ものには同符号を付してある。

【００１４】真空容器１にフィルタ２を介して流量制御
器７を接続し、更に該流量制御器７にストップバルブ４
を介して窒素ガス源５を接続する。又、前記ストップバ
ルブ４、流量制御器７は制御装置８によって開閉する。

【００１５】該流量制御器７の流量設定は、前記制御装
置８によって設定する様にしてもよいが、簡便には実験
等で得たデータを基に手動で設定する様にし、シーケン
ス動作を簡略化する。

【００１６】本実施例による大気圧復帰作動を、図２を
参照して説明する。

【００１７】図２中、（Ａ）はストップバルブ４の開閉
信号、（Ｂ）は流量制御器７の開閉信号を表しており、
（Ｃ）は流量制御器７の流量状態を示し、又（Ｄ）は該
流量制御器７のオリフィス開度の状態を示している。

【００１８】大気圧に復帰させる場合、先ず前記流量制
御器７に閉信号を入力し、該流量制御器７を一定時間閉
として、次に前記ストップバルブ４に開信号を入力し
て、前記流量制御器７を経て前記真空容器１に窒素ガス
を導入する。ここで前記流量制御器７への閉信号終了時
期は、前記ストップバルブ４への開信号入力時期と一致
させるか、或は流量制御器７の閉状態とストップバルブ
４の開状態が若干オーバラップするものとする。

【００１９】前記流量制御器７が閉の状態から前記窒素
ガスが流れ始めるので、流量制御器７を流れる窒素ガス
の流量は、（Ｃ）の様になだらかに増大して設定値に達
する。

【００２０】ここで、前記流量制御器７を閉の状態から
開始するようにしたのは、流量制御器７で閉状態を強制
しないと、流量０の場合流量制御器７は全開状態となっ
ており、この全開状態から開始すると流量制御器７のオ
リフィス開度が設定流量に見合った開度になる迄の時間
遅れを生じ、その間オーバシュートが起こって急激に窒
素ガスが流入し、発塵の原因となるからである。

【００２１】又、流量制御器７のオリフィス開度は、開
始時点より徐々に増大し、設定値に達し、前記ストップ
バルブ４が閉となり、流量が０となった時点で全開とな
る。

【００２２】

【発明の効果】以上述べた如く本発明によれば、流量設
定を流量制御器で行うので、再現性、信頼性が高く、而
も大気復帰時に置換ガスが０の状態から増加していくの
で、発塵を防止することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施例を示すブロック図である。

【図２】本実施例の作動タイミング線図であり、（Ａ）
はストップバルブの開閉信号、（Ｂ）は流量制御器の開
閉信号、（Ｃ）は流量制御器の流量状態、又（Ｄ）は該
流量制御器のオリフィス開度の状態をそれぞれ示してい
る。

【図３】従来例を示すブロック図である。

【符号の説明】

１ 真空容器 ２ フィルタ ３ ニードルバルブ ４ ストップバルブ ５ 窒素ガス源 ６ 排気管 ７ 流量制御器 ８ 制御装置

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 真空容器に該真空容器側より、流量制御
   器、ストップバルブを接続し、該流量制御器、ストップ
   バルブを介して給気する様構成したことを特徴とする真
   空容器の給気装置。
2. 【請求項２】 真空容器に該真空容器側より、流量制御
   器、ストップバルブを接続し、該流量制御器、ストップ
   バルブを介して給気する様にし、前記真空容器への給気
   は、前記流量制御器を少なくとも給気開始時に前記流量
   制御器のオリフィス開度が０である様にしたことを特徴
   とする真空容器の給気方法。