JPS63126587A - 超音波プレ−ト洗浄方法 - Google Patents
超音波プレ−ト洗浄方法Info
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- JPS63126587A JPS63126587A JP27337386A JP27337386A JPS63126587A JP S63126587 A JPS63126587 A JP S63126587A JP 27337386 A JP27337386 A JP 27337386A JP 27337386 A JP27337386 A JP 27337386A JP S63126587 A JPS63126587 A JP S63126587A
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- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 15
- 238000005406 washing Methods 0.000 title description 3
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 claims description 43
- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims description 18
- 238000005507 spraying Methods 0.000 claims description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 4
- 238000004506 ultrasonic cleaning Methods 0.000 description 4
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 239000010419 fine particle Substances 0.000 description 2
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 2
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 2
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 description 2
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 1
- 239000000498 cooling water Substances 0.000 description 1
- 238000009434 installation Methods 0.000 description 1
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 239000005304 optical glass Substances 0.000 description 1
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 1
- 229920003023 plastic Polymers 0.000 description 1
- 239000004033 plastic Substances 0.000 description 1
- 239000000523 sample Substances 0.000 description 1
- 230000035939 shock Effects 0.000 description 1
- 229920003002 synthetic resin Polymers 0.000 description 1
- 239000000057 synthetic resin Substances 0.000 description 1
- 229910052715 tantalum Inorganic materials 0.000 description 1
- GUVRBAGPIYLISA-UHFFFAOYSA-N tantalum atom Chemical compound [Ta] GUVRBAGPIYLISA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Landscapes
- Cleaning By Liquid Or Steam (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
この発明は、超音波を利用して板状物の表面を洗浄する
方法に関するものである。
方法に関するものである。
（従来の技術）
一般に、ウェハー、ガラスマスク、セラミック、光学系
ガラス、プラスチック等のプレートの表面を洗浄する方
法として超音波を利用したものが知られている。
ガラス、プラスチック等のプレートの表面を洗浄する方
法として超音波を利用したものが知られている。
このような従来の超音波洗浄方法は、洗浄槽に洗浄液を
入れ、この洗浄槽の底部又は側部に設けた１ｉＷｊＪ子
を撮動させて超音波を発生し、洗浄液中に入れた被洗浄
物を洗浄し、洗か後に洗浄槽から取り出すようにしてい
る。
入れ、この洗浄槽の底部又は側部に設けた１ｉＷｊＪ子
を撮動させて超音波を発生し、洗浄液中に入れた被洗浄
物を洗浄し、洗か後に洗浄槽から取り出すようにしてい
る。
（発明が解決しようとする問題点）
上記のような従来の超音波洗浄方法によると、洗浄槽内
の洗浄液が徐々に汚れ、その汚れが再び被洗浄物に付着
して取り出されるという不都合があった。また、橘小（
０，１μ〜０．５μ）の微粒子の除去は困難であった。
の洗浄液が徐々に汚れ、その汚れが再び被洗浄物に付着
して取り出されるという不都合があった。また、橘小（
０，１μ〜０．５μ）の微粒子の除去は困難であった。
本発明は、このような不都合を解消するためになされ、
常に新鮮な洗浄液で洗浄することにより洗浄効果を著し
く向上させ、かつ極微粒子をも洗浄できるようにした超
音波洗浄方法を提供しようとするものである。
常に新鮮な洗浄液で洗浄することにより洗浄効果を著し
く向上させ、かつ極微粒子をも洗浄できるようにした超
音波洗浄方法を提供しようとするものである。
（問題点を解決するための手段）
このような問題点を解決するための手段として、本発明
は、プレート状の被洗浄物に、振動子とこの振動子を取
囲むようにして配設した洗浄液供給ノズルとを備えた洗
浄装置を近接配置し、前記ノズルから前記被洗浄物の表
面に洗浄液を噴射しながら、前記撮動子により超音波を
発生させて洗浄することを要旨とするものである。また
、プレート状の被洗浄物の両面側に前記洗浄装置を近接
配置し、被洗浄物の両面を同時に洗浄できるようにした
ことを特徴とするものである。
は、プレート状の被洗浄物に、振動子とこの振動子を取
囲むようにして配設した洗浄液供給ノズルとを備えた洗
浄装置を近接配置し、前記ノズルから前記被洗浄物の表
面に洗浄液を噴射しながら、前記撮動子により超音波を
発生させて洗浄することを要旨とするものである。また
、プレート状の被洗浄物の両面側に前記洗浄装置を近接
配置し、被洗浄物の両面を同時に洗浄できるようにした
ことを特徴とするものである。
（実施例）
以下、図示の実施例によりこの発明を具体的に説明する
。
。
図中、１は洗浄装置本体であり、例えば合成樹脂で形成
され、内部に洗浄液の流路１ａが本体の外周部に沿って
エンドレスのトンネル状に設（）られ、本体の背面側に
供給管２を接続して前記流路１ａに洗浄液を供給できる
ようにしである。
され、内部に洗浄液の流路１ａが本体の外周部に沿って
エンドレスのトンネル状に設（）られ、本体の背面側に
供給管２を接続して前記流路１ａに洗浄液を供給できる
ようにしである。
前記本体１の前面側には、断面がほぼＶ字型のｉｉｂが
前記流路１ａの若干内側に位置するようにして形成され
、その外周の傾斜側壁にはノズル３が適宜の間隔をあけ
て複数個取付けられ、これらのノズルから洗浄液を内側
に向けて噴射できるようにしである。
前記流路１ａの若干内側に位置するようにして形成され
、その外周の傾斜側壁にはノズル３が適宜の間隔をあけ
て複数個取付けられ、これらのノズルから洗浄液を内側
に向けて噴射できるようにしである。
４は前記本体１の背面側の凹部１ｃに取付けられた６０
にＨｚ〜１５０ＫＨ２の撮動子であり、図示の例では第
２図に示すように３個並設されており、これら撮動子の
前面にはタンタル等の金属からなる振動板５がそれぞれ
取付けられている。この振動板５の表面（接液側）は、
耐薬品性のための表面処理が施されている。
にＨｚ〜１５０ＫＨ２の撮動子であり、図示の例では第
２図に示すように３個並設されており、これら撮動子の
前面にはタンタル等の金属からなる振動板５がそれぞれ
取付けられている。この振動板５の表面（接液側）は、
耐薬品性のための表面処理が施されている。
このように構成された洗浄装置を用いてウェハーやガラ
スマスク等のプレート状被洗浄物を洗浄するには、第１
図に示すようにプレート状の被洗浄物６を前記本体１の
前面側に所定の間隔（Ｌ＝１〜２１ｍ、Ｌ’ −５〜６
１Ｉ１１）をあけて垂直に対面配置し、前記ノズル３か
ら洗浄液７を噴射させると共に、前記撮動子４により振
動板５を撮動させればよい。このとき、ノズル３から噴
射された洗浄液７は被洗浄物６の表面から直ちに落下せ
ず、前記溝１ｂで囲まれた領域にほぼ対応する振動板５
の表面部に滞留し、振動板５の振動により生じた超音波
によって洗浄がなされる。
スマスク等のプレート状被洗浄物を洗浄するには、第１
図に示すようにプレート状の被洗浄物６を前記本体１の
前面側に所定の間隔（Ｌ＝１〜２１ｍ、Ｌ’ −５〜６
１Ｉ１１）をあけて垂直に対面配置し、前記ノズル３か
ら洗浄液７を噴射させると共に、前記撮動子４により振
動板５を撮動させればよい。このとき、ノズル３から噴
射された洗浄液７は被洗浄物６の表面から直ちに落下せ
ず、前記溝１ｂで囲まれた領域にほぼ対応する振動板５
の表面部に滞留し、振動板５の振動により生じた超音波
によって洗浄がなされる。
この超音波洗浄に際して、前記被洗浄物６を移動させる
か、または本体１の方を動かすことにより、被洗浄物６
の表面全域を平均的にしかも能率よく洗浄することがで
きる。さらに、被洗浄物ネの両側に洗浄装置をセットし
、２つの本体１で被洗浄物６を合掌式に挟むようにすれ
ば、被洗浄物６の両面を同時に洗浄することが可能とな
る。
か、または本体１の方を動かすことにより、被洗浄物６
の表面全域を平均的にしかも能率よく洗浄することがで
きる。さらに、被洗浄物ネの両側に洗浄装置をセットし
、２つの本体１で被洗浄物６を合掌式に挟むようにすれ
ば、被洗浄物６の両面を同時に洗浄することが可能とな
る。
なお、洗浄の姿勢は、前記のように被洗浄物を垂直に置
く垂直式のみならず、被洗浄物を水平に置いて洗浄する
水平式、あるいは被洗浄物を傾斜状態にする傾斜式等い
ずれであってもよい。
く垂直式のみならず、被洗浄物を水平に置いて洗浄する
水平式、あるいは被洗浄物を傾斜状態にする傾斜式等い
ずれであってもよい。
また、洗浄液７は、純水、温純水、薬液のいヂれであっ
てもよく、洗浄液が純水の場合には、ｉ’ｆｆｊ記撮勅
子４撮動却水としても作用し、そこで熱交換された温純
水をノズルから噴射させることにより、洗びの活性化が
なされるので好都合である。
てもよく、洗浄液が純水の場合には、ｉ’ｆｆｊ記撮勅
子４撮動却水としても作用し、そこで熱交換された温純
水をノズルから噴射させることにより、洗びの活性化が
なされるので好都合である。
（発明の効果）
以上説明したように、この発明によれば、洗浄槽を用い
ないで、プレート状の被洗浄物に洗浄液を直接噴射し超
音波洗浄する方法であるから、常にきれいな洗浄液で洗
浄することができ、洗浄効果を著しく向上させると共に
、極微小粒子（０，１〜０．５μ）をも洗浄することが
可能となる。
ないで、プレート状の被洗浄物に洗浄液を直接噴射し超
音波洗浄する方法であるから、常にきれいな洗浄液で洗
浄することができ、洗浄効果を著しく向上させると共に
、極微小粒子（０，１〜０．５μ）をも洗浄することが
可能となる。
この発明方法の場合は、洗浄姿勢の制限がないので設置
場所の融通性に富み、かつ合掌式にすれば両面同時洗浄
が可能であり、洗浄液の噴射による衝撃波も併用でき、
１枚ずつ確実に洗浄する枚葉式洗浄法に最適である等の
すぐれた効果を奏する。
場所の融通性に富み、かつ合掌式にすれば両面同時洗浄
が可能であり、洗浄液の噴射による衝撃波も併用でき、
１枚ずつ確実に洗浄する枚葉式洗浄法に最適である等の
すぐれた効果を奏する。
第１図は、この発明の一実施例を示す要部の断面図、第
２図は、同じく要部の斜視図である。 １・・・本体、 ］ａ・・・流路、１ｂ・・・
溝、 ２・・・供給管、３・・・ノズル、
４・・・振動子、５・・・振動板、 ６・
・・被洗浄物、７・・・洗浄液。 特許出願人 武蔵工業株式会社 第２図
２図は、同じく要部の斜視図である。 １・・・本体、 ］ａ・・・流路、１ｂ・・・
溝、 ２・・・供給管、３・・・ノズル、
４・・・振動子、５・・・振動板、 ６・
・・被洗浄物、７・・・洗浄液。 特許出願人 武蔵工業株式会社 第２図
Claims (2)
- （１）プレート状の被洗浄物に、振動子とこの振動子を
取囲むようにして配設した洗浄液供給ノズルとを備えた
洗浄装置を近接配置し、前記ノズルから前記被洗浄物の
表面に洗浄液を噴射しながら、前記振動子により超音波
を発生させて洗浄することを特徴とする超音波プレート
洗浄方法。 - （２）前記プレート状の被洗浄物の両面に、前記洗浄装
置を近接配置して洗浄することを特徴とする特許請求の
範囲第１項記載の超音波プレート洗浄方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP27337386A JPS63126587A (ja) | 1986-11-17 | 1986-11-17 | 超音波プレ−ト洗浄方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP27337386A JPS63126587A (ja) | 1986-11-17 | 1986-11-17 | 超音波プレ−ト洗浄方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63126587A true JPS63126587A (ja) | 1988-05-30 |
Family
ID=17526996
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP27337386A Pending JPS63126587A (ja) | 1986-11-17 | 1986-11-17 | 超音波プレ−ト洗浄方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS63126587A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002224005A (ja) * | 2001-02-06 | 2002-08-13 | Suzuki Motor Corp | 超音波式清掃方法およびその装置 |
| US7708533B2 (en) | 2003-09-09 | 2010-05-04 | Siemens Aktiengesellschaft | Fuel feed unit |
Citations (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS4735655U (ja) * | 1971-05-18 | 1972-12-20 | ||
| JPS51793A (ja) * | 1974-06-24 | 1976-01-06 | Yoshio Sugo | Betsudo |
| JPS5153766A (ja) * | 1974-11-07 | 1976-05-12 | Kaijo Denki Kk | Nozurugatachoonpasenjosochi |
| JPS58193781A (ja) * | 1982-04-05 | 1983-11-11 | ソノボンド・ウルトラソニツクス・インコ−ポレイテイド | 超音波洗浄方法およびトランスデユ−サ− |
| JPS61257279A (ja) * | 1985-04-11 | 1986-11-14 | 大塚 公明 | 噴流式超音波洗浄機 |
-
1986
- 1986-11-17 JP JP27337386A patent/JPS63126587A/ja active Pending
Patent Citations (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS4735655U (ja) * | 1971-05-18 | 1972-12-20 | ||
| JPS51793A (ja) * | 1974-06-24 | 1976-01-06 | Yoshio Sugo | Betsudo |
| JPS5153766A (ja) * | 1974-11-07 | 1976-05-12 | Kaijo Denki Kk | Nozurugatachoonpasenjosochi |
| JPS58193781A (ja) * | 1982-04-05 | 1983-11-11 | ソノボンド・ウルトラソニツクス・インコ−ポレイテイド | 超音波洗浄方法およびトランスデユ−サ− |
| JPS61257279A (ja) * | 1985-04-11 | 1986-11-14 | 大塚 公明 | 噴流式超音波洗浄機 |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002224005A (ja) * | 2001-02-06 | 2002-08-13 | Suzuki Motor Corp | 超音波式清掃方法およびその装置 |
| US7708533B2 (en) | 2003-09-09 | 2010-05-04 | Siemens Aktiengesellschaft | Fuel feed unit |
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