JPS63124568A - 電界効果トランジスタ - Google Patents
電界効果トランジスタInfo
- Publication number
- JPS63124568A JPS63124568A JP27113986A JP27113986A JPS63124568A JP S63124568 A JPS63124568 A JP S63124568A JP 27113986 A JP27113986 A JP 27113986A JP 27113986 A JP27113986 A JP 27113986A JP S63124568 A JPS63124568 A JP S63124568A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- interval
- field effect
- effect transistor
- drain
- channel
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 230000005669 field effect Effects 0.000 title claims description 17
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 claims 1
- 230000007423 decrease Effects 0.000 abstract description 4
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 abstract 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
Landscapes
- Junction Field-Effect Transistors (AREA)
- Insulated Gate Type Field-Effect Transistor (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、電界効果トランジスタに関し、特に高周波、
高出力用途で使用される電界効果トランジスタに関する
。
高出力用途で使用される電界効果トランジスタに関する
。
従来、高周波、高出力用途で使用される電界効果I・ラ
ンリスタにおいてドレイン及びソースオーミック間隔、
即ちチャンネル間隔はチップ全体にわたって一様となっ
ていた。
ンリスタにおいてドレイン及びソースオーミック間隔、
即ちチャンネル間隔はチップ全体にわたって一様となっ
ていた。
上述した従来の高周波、高出力電界効果トランジスタは
、第2図に示すように、ソースオーミック領域11.ゲ
ーI・領域12.ドレインオーミック領域13を有し、
チ・ツブ全体にわたってチャンネル間隔e3が一定にな
っている為、下記のような欠点を有していた。即ち、電
界効果トランジスタが、高周波、高出力動作を行ってい
る場合、チップ全体に大電流が流れる為、それに応じて
かなりの熱が発生し、チャンネル温度の上昇を起こす。
、第2図に示すように、ソースオーミック領域11.ゲ
ーI・領域12.ドレインオーミック領域13を有し、
チ・ツブ全体にわたってチャンネル間隔e3が一定にな
っている為、下記のような欠点を有していた。即ち、電
界効果トランジスタが、高周波、高出力動作を行ってい
る場合、チップ全体に大電流が流れる為、それに応じて
かなりの熱が発生し、チャンネル温度の上昇を起こす。
その時チャンネル温度の上昇は、熱流の重なりの為、ど
うしても動作層の中央部がその端部より高くなり、その
部分の移動度等が、高い温度上昇の為低下し、高出力動
作の機能が低下し全体として高出力用素子としはアンバ
ランス動作という欠点があった。
うしても動作層の中央部がその端部より高くなり、その
部分の移動度等が、高い温度上昇の為低下し、高出力動
作の機能が低下し全体として高出力用素子としはアンバ
ランス動作という欠点があった。
本発明の目的は、高周波、高出力動作をさせたとき、チ
ャンネルの温度上昇が不均一にならず、全チャンネルを
均一に動作させることができる電界効果トランジスタを
提供することにある。
ャンネルの温度上昇が不均一にならず、全チャンネルを
均一に動作させることができる電界効果トランジスタを
提供することにある。
r問題点を解決するための手段〕
本発明の電界効果トランジスタは1、ドレインとソース
とのオーミック間隔、即ちチャンネル間隔が、前記電界
効果トランジスタ動作層の中央部の方がその端部よりも
狭くなっている構造を有している。
とのオーミック間隔、即ちチャンネル間隔が、前記電界
効果トランジスタ動作層の中央部の方がその端部よりも
狭くなっている構造を有している。
次に、本発明の実施例について図面を参照して説明する
。第1図は本発明の内容を平易に説明する為の電界効果
トランジスタチップの動作層の一部を抜き出した平面図
である。
。第1図は本発明の内容を平易に説明する為の電界効果
トランジスタチップの動作層の一部を抜き出した平面図
である。
第1図より明らかな様に、ソースオーミック領域1及び
ドレインオーミック領域3の間隔に関して動作層の中央
部のそれllが端部のそれ12よりも小さくなっている
。なお、2はゲート領域である。
ドレインオーミック領域3の間隔に関して動作層の中央
部のそれllが端部のそれ12よりも小さくなっている
。なお、2はゲート領域である。
〔発明の効果〕
以上説明したように本発明は、電界効果トランジスタに
おいてドレインのソースのオーミック間隔即ちチャンネ
ル間隔を温度上昇が大きくキャリア移動度を低下する動
作層の中央部はど狭くし、実効的にその部分のチャンネ
ル抵抗を下げてやることにより、キャリア移動度の低下
を相殺し、結果的に、高周波、高出力動作をさせた場合
に、全チャンネルを均一に動作させることができる効果
を有する。
おいてドレインのソースのオーミック間隔即ちチャンネ
ル間隔を温度上昇が大きくキャリア移動度を低下する動
作層の中央部はど狭くし、実効的にその部分のチャンネ
ル抵抗を下げてやることにより、キャリア移動度の低下
を相殺し、結果的に、高周波、高出力動作をさせた場合
に、全チャンネルを均一に動作させることができる効果
を有する。
第1図は本発明の電界効果トランジスタのチャンネル部
分の平面図、第2図は従来構造を有する電界効果トラン
ジスタのチャンネル部分の平面図である。 1.11・・・ソース−オーミック領域、2.12・・
・ゲート領域、3.13・−・ドレインオーミック領域
。
分の平面図、第2図は従来構造を有する電界効果トラン
ジスタのチャンネル部分の平面図である。 1.11・・・ソース−オーミック領域、2.12・・
・ゲート領域、3.13・−・ドレインオーミック領域
。
Claims (1)
- ドレイン、ソース及びゲートをそなえた電界効果トラン
ジスタにおいて、前記電界効果トランジスタのドレイン
とソースとのオーミック間隔、即ちチャンネル間隔が、
前記電界効果トランジスタの動作層の中央部の方が周辺
部よりも狭くなっていることを特徴とする電界効果トラ
ンジスタ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP61271139A JPH0834223B2 (ja) | 1986-11-14 | 1986-11-14 | 電界効果トランジスタ |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP61271139A JPH0834223B2 (ja) | 1986-11-14 | 1986-11-14 | 電界効果トランジスタ |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS63124568A true JPS63124568A (ja) | 1988-05-28 |
JPH0834223B2 JPH0834223B2 (ja) | 1996-03-29 |
Family
ID=17495860
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP61271139A Expired - Lifetime JPH0834223B2 (ja) | 1986-11-14 | 1986-11-14 | 電界効果トランジスタ |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0834223B2 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6316827B1 (en) | 1997-09-12 | 2001-11-13 | Nec Corporation | Semiconductor device having improved temperature distribution |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5425678A (en) * | 1977-07-28 | 1979-02-26 | Nec Corp | Field effect transistor of ultra high frequency and high output |
JPS6298673A (ja) * | 1985-10-25 | 1987-05-08 | Hitachi Ltd | 砒化ガリウム半導体装置 |
-
1986
- 1986-11-14 JP JP61271139A patent/JPH0834223B2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5425678A (en) * | 1977-07-28 | 1979-02-26 | Nec Corp | Field effect transistor of ultra high frequency and high output |
JPS6298673A (ja) * | 1985-10-25 | 1987-05-08 | Hitachi Ltd | 砒化ガリウム半導体装置 |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6316827B1 (en) | 1997-09-12 | 2001-11-13 | Nec Corporation | Semiconductor device having improved temperature distribution |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH0834223B2 (ja) | 1996-03-29 |
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