JPS6292208A - 垂直磁気ヘツド - Google Patents
垂直磁気ヘツドInfo
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- JPS6292208A JPS6292208A JP23382185A JP23382185A JPS6292208A JP S6292208 A JPS6292208 A JP S6292208A JP 23382185 A JP23382185 A JP 23382185A JP 23382185 A JP23382185 A JP 23382185A JP S6292208 A JPS6292208 A JP S6292208A
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- Japan
- Prior art keywords
- magnetic
- stage
- magnetic field
- heat treatment
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- Pending
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-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/127—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive
- G11B5/1278—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive specially adapted for magnetisations perpendicular to the surface of the record carrier
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Magnetic Heads (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
(イ) 産業上の利用分野
本発明は、記録媒体の厚み方向に情報を記録する垂直磁
気記録再生方式に用いられる垂「σ磁気ヘッドに関する
ものである。
気記録再生方式に用いられる垂「σ磁気ヘッドに関する
ものである。
(ロ)従来の技術 ・
近年、祈る垂直磁気記録再生方式に用いられる垂直磁気
ヘッドとして主磁極励磁型のものが脚光を浴びて来てお
り、祈る主磁極励磁型の垂直磁気ヘッドは例えば特開昭
58−153216号公報等に示されているように軟磁
性薄膜よりなる主磁極を、この主磁極とff1気的に接
合される補助°磁極部とこの主磁極の磁束のリターンパ
スとなるリターンパス部とが夫々形成された一対の補助
部材にて両側から挾持して構成されている。ところが、
祈る垂直磁気ヘッドでは各補助部材のリターンパス部が
直接記録媒体側に臨んでいないなめ、記録媒体とのスベ
ーVングロスが大きくなっていた。
ヘッドとして主磁極励磁型のものが脚光を浴びて来てお
り、祈る主磁極励磁型の垂直磁気ヘッドは例えば特開昭
58−153216号公報等に示されているように軟磁
性薄膜よりなる主磁極を、この主磁極とff1気的に接
合される補助°磁極部とこの主磁極の磁束のリターンパ
スとなるリターンパス部とが夫々形成された一対の補助
部材にて両側から挾持して構成されている。ところが、
祈る垂直磁気ヘッドでは各補助部材のリターンパス部が
直接記録媒体側に臨んでいないなめ、記録媒体とのスベ
ーVングロスが大きくなっていた。
そこで、リターンパス部を直接記録媒体側に臨ませた第
10図に示すような垂直磁気ヘッドも提案されており、
+Bは軟磁性#膜よりなる主磁極、(2)ぼは主磁極(
1)をその両側から挟持する一対の補助部材で、該各補
助部材(刃咀rは、主磁極(1)と磁気的に接合され巻
線が施される補助磁極部(3a)(3a′)と主磁極(
1)の磁束のリターンパスとなるリターンパス部(3b
)(3b’)とを分離する溝部(3c)(3c’)が形
成された磁性材部(3)!3どと、この磁性材部[31
r3fのリターンパス部(3b)(36′)と主磁極1
1.1とを磁気的に分離する補強用のスペーサ部として
溝部(3c)(3c’)上部に接合される非磁性材部(
+ l I4fとで構成されている。尚、(5)はCo
−Cr等の垂直磁化* (5a )とNf−Fe’4
の裏打ちN1(5b)(水平磁化9)を有する二層記録
媒体である。
10図に示すような垂直磁気ヘッドも提案されており、
+Bは軟磁性#膜よりなる主磁極、(2)ぼは主磁極(
1)をその両側から挟持する一対の補助部材で、該各補
助部材(刃咀rは、主磁極(1)と磁気的に接合され巻
線が施される補助磁極部(3a)(3a′)と主磁極(
1)の磁束のリターンパスとなるリターンパス部(3b
)(3b’)とを分離する溝部(3c)(3c’)が形
成された磁性材部(3)!3どと、この磁性材部[31
r3fのリターンパス部(3b)(36′)と主磁極1
1.1とを磁気的に分離する補強用のスペーサ部として
溝部(3c)(3c’)上部に接合される非磁性材部(
+ l I4fとで構成されている。尚、(5)はCo
−Cr等の垂直磁化* (5a )とNf−Fe’4
の裏打ちN1(5b)(水平磁化9)を有する二層記録
媒体である。
(ハ)発明が解決しようとする問題点
そして、この様な垂1宣磁気ヘッドにおいて特に重要な
構成要素は、二層記録媒体(5)の垂直磁化層C53)
と直接記録再生【関与する主磁極(1)であり、ヘッド
の性能向上のために社主磁ff1il+の磁気特性を々
0何に良好にするかが問題であろうここで、主磁極(1
)として代表的なものにスパッタ法等で作製されたCo
系非晶質I信11・穿(例えば、Co−Zr−Nb暎)
があるが、良好な磁気特性を得るためには膜作製後に有
効な熱処理を施さねばならず、この熱処理法の一例とし
て回転磁場中熱処理法が特開昭59−902178公報
で提唱されているが、熱処理は通常真空中で行なう之め
、真空中で試料を回転しなければならない等装置が複雑
になると謂う欠点があっ之。
構成要素は、二層記録媒体(5)の垂直磁化層C53)
と直接記録再生【関与する主磁極(1)であり、ヘッド
の性能向上のために社主磁ff1il+の磁気特性を々
0何に良好にするかが問題であろうここで、主磁極(1
)として代表的なものにスパッタ法等で作製されたCo
系非晶質I信11・穿(例えば、Co−Zr−Nb暎)
があるが、良好な磁気特性を得るためには膜作製後に有
効な熱処理を施さねばならず、この熱処理法の一例とし
て回転磁場中熱処理法が特開昭59−902178公報
で提唱されているが、熱処理は通常真空中で行なう之め
、真空中で試料を回転しなければならない等装置が複雑
になると謂う欠点があっ之。
に)問題点を解決する念めの手段
本発明は上記した問題点全解決するために、軟磁性/l
膜より成る主磁極全、この主磁極と磁気的に接合される
補助磁極部とこの主磁極の磁束のリターンパス七なるリ
ターンパス都々を夫々有する一対の補助部材にて両側か
ら挾持してなる垂直磁気ヘッドにおいて、前記主磁極が
Co系非晶質薄膜より成り、静磁場中熱処理が施される
よう構成したものである。
膜より成る主磁極全、この主磁極と磁気的に接合される
補助磁極部とこの主磁極の磁束のリターンパス七なるリ
ターンパス都々を夫々有する一対の補助部材にて両側か
ら挾持してなる垂直磁気ヘッドにおいて、前記主磁極が
Co系非晶質薄膜より成り、静磁場中熱処理が施される
よう構成したものである。
(ホ)作用
上記した本発明型(電磁気ヘッドでは、Co系非晶質4
暎より成る主磁極に真空中での静磁場中熱処理を施すよ
うにしているので、祈る主磁極の磁気特性を良好なもの
にすることが出来ると共に、従来の回転磁場中熱処理法
のように真空中で試料を回転させる必要がなくなるため
装置構造が簡単【なる。
暎より成る主磁極に真空中での静磁場中熱処理を施すよ
うにしているので、祈る主磁極の磁気特性を良好なもの
にすることが出来ると共に、従来の回転磁場中熱処理法
のように真空中で試料を回転させる必要がなくなるため
装置構造が簡単【なる。
(へ)実施例
以下、本発明の一実施例について図面と共に説明する。
先ず、垂直磁気ヘッドの主磁極用軟磁性へg模としては
、一般に異方性磁界(Hk: )、抗磁力(HC)が共
に小さいHりが要求される。このうち、異方性磁界(H
k)はヘッドの透磁率に、抗磁力(Hc)はヘッドの感
度VC!T接関係する量で、異方性磁界(Hk)の小さ
い膜はど透磁率は高く、抗磁力(Hc )の小さい膜は
どIfIL度が高いという関係にある。また、Co系非
晶質4暎には面内異方性があるが、主磁極として使用す
る際には良好な磁気特性を得るために、祈る膜の磁化困
矯軸がヘッドの励磁方向となる様にする必要がある。
、一般に異方性磁界(Hk: )、抗磁力(HC)が共
に小さいHりが要求される。このうち、異方性磁界(H
k)はヘッドの透磁率に、抗磁力(Hc)はヘッドの感
度VC!T接関係する量で、異方性磁界(Hk)の小さ
い膜はど透磁率は高く、抗磁力(Hc )の小さい膜は
どIfIL度が高いという関係にある。また、Co系非
晶質4暎には面内異方性があるが、主磁極として使用す
る際には良好な磁気特性を得るために、祈る膜の磁化困
矯軸がヘッドの励磁方向となる様にする必要がある。
そこで、本発明では主磁極として用いられるC。
系非晶質薄膜にその暎j杉成後真空中での静磁場中熱処
理を二段階に別けてその第一段階目と第二段階目の印加
磁場方向が互いに直交するように、即ち第一段階目はヘ
ッド励磁方向と直角方向に、第二段目はヘッド励磁方向
と同じ方向に磁場全印加したものであり、Co系非晶質
薄膜の磁気特性に及ぼす効果は第1段階目、第二段階目
各々について第1図、第2図の様になる。即ち、第1図
からけ熱処理中印加磁場方向と膜の容易「柚とのなす角
(θ)が5°以内に収まっている事がわかる。これは主
磁極としてのCo系非晶質薄1臭を熱処理する際に磁場
をヘッド励磁方向と直角の方向(印加することで印加磁
場方向が膜の磁化容易軸となり、それと直角のヘッド励
磁方向が1漠の磁化困矯軸となるためである。ここで抗
磁力He≦0.150eと謂う条件で考えると、その熱
処理温度(′r)は第1図から250℃〜320℃が適
当である。また、第2図からは第二段階目熱処理時の温
度りr)を適当なところて選ふと異方性磁界(Hk)並
びに抗磁力(He )が共に小さい良好なtPJの得ら
れることが ・判る。即ち、異方性磁界Hk≦50e
と謂う条件ではその熱処理温度(T)は260℃〜31
0°Cが適当だと考えられる。
理を二段階に別けてその第一段階目と第二段階目の印加
磁場方向が互いに直交するように、即ち第一段階目はヘ
ッド励磁方向と直角方向に、第二段目はヘッド励磁方向
と同じ方向に磁場全印加したものであり、Co系非晶質
薄膜の磁気特性に及ぼす効果は第1段階目、第二段階目
各々について第1図、第2図の様になる。即ち、第1図
からけ熱処理中印加磁場方向と膜の容易「柚とのなす角
(θ)が5°以内に収まっている事がわかる。これは主
磁極としてのCo系非晶質薄1臭を熱処理する際に磁場
をヘッド励磁方向と直角の方向(印加することで印加磁
場方向が膜の磁化容易軸となり、それと直角のヘッド励
磁方向が1漠の磁化困矯軸となるためである。ここで抗
磁力He≦0.150eと謂う条件で考えると、その熱
処理温度(′r)は第1図から250℃〜320℃が適
当である。また、第2図からは第二段階目熱処理時の温
度りr)を適当なところて選ふと異方性磁界(Hk)並
びに抗磁力(He )が共に小さい良好なtPJの得ら
れることが ・判る。即ち、異方性磁界Hk≦50e
と謂う条件ではその熱処理温度(T)は260℃〜31
0°Cが適当だと考えられる。
第3図は、上記した様に主磁極に静磁場中で二段階に熱
処理を施した本発明ヘッド()()と静磁場中熱処理の
施されていない従来ヘッド(6)′とを記録密度特性に
て比較したもので、本発明ヘッドの再生出力が従来ヘッ
ドに比べて約3倍近くになっていることが判る。ここで
、両方のヘッドの主磁極はその暎厚が共に0.3μmで
あるが、0.3μm〜1μ汎にわたって同様な結果が得
られた。尚、本発明ヘッドではその熱処理温度を第一段
階目300℃、第二段階目280℃とし、その印加磁場
の大きさ並びに熱処理時間を第一段階目、第二段階1共
5000e130分とした。
処理を施した本発明ヘッド()()と静磁場中熱処理の
施されていない従来ヘッド(6)′とを記録密度特性に
て比較したもので、本発明ヘッドの再生出力が従来ヘッ
ドに比べて約3倍近くになっていることが判る。ここで
、両方のヘッドの主磁極はその暎厚が共に0.3μmで
あるが、0.3μm〜1μ汎にわたって同様な結果が得
られた。尚、本発明ヘッドではその熱処理温度を第一段
階目300℃、第二段階目280℃とし、その印加磁場
の大きさ並びに熱処理時間を第一段階目、第二段階1共
5000e130分とした。
次に、祈る本発明垂直磁気ヘッド製造方法について、第
4図乃至第9図を参照しながら説明する。
4図乃至第9図を参照しながら説明する。
先ず、vJ4図に示す様にNi−Znフェライト等より
なる磁性材ブロック(6)の角部に溝加工を施して非磁
性材接合用の@1の溝部(7)を形成した後、その第1
の溝部(7)に−に溝加工を施して巻線用として第2の
溝部(8)を形成する(第5図参照)。そして、この様
にして得られた磁性材ブロック+61の第1の溝部(7
)にガラス等の非磁性材(Ql全ガラス溶着や樹脂接着
により接合し之後、そのイ」1出(lO)を接合面とし
て鏡面研磨して@6図に示す様な第1の半割ブロック(
Illを得る。
なる磁性材ブロック(6)の角部に溝加工を施して非磁
性材接合用の@1の溝部(7)を形成した後、その第1
の溝部(7)に−に溝加工を施して巻線用として第2の
溝部(8)を形成する(第5図参照)。そして、この様
にして得られた磁性材ブロック+61の第1の溝部(7
)にガラス等の非磁性材(Ql全ガラス溶着や樹脂接着
により接合し之後、そのイ」1出(lO)を接合面とし
て鏡面研磨して@6図に示す様な第1の半割ブロック(
Illを得る。
次に、この様にして得られた′@1の半割ブロック(川
の鏡面研磨面(10)にCo系非晶質薄暎(例えば、C
o−Zr−Nb非晶質薄膜)をスパッタ法等で形成し、
フォトエツチングにて所定のトラック幅の主磁極(1″
4とし之後、真空中の静磁場中で二段階の熱処理を施し
第20半割ブロック(唄を得る。即ち、第7図に示す様
に熱処理中の印加磁場方向は第一段階目はヘッド励磁方
向と直角方向、第二段階目はヘッド励磁方向とした。そ
してその熱処理温度は、第一段階目については、第1図
にてHc≦0.150eという条件で考えると250℃
〜320℃が適当であり、第二段階目については第2図
にてHk≦50eという条件では、26.110C〜3
10’Cが適当だと考えら、本実施例では、第−八 段階目300°C1第二段階目280°Cとした。また
、印加磁場の大きさ、熱処理時間け、第一段階目、第二
段階目共5000e、30分とした。そして、この様に
主磁Vi(+2)の形成された第2の半割ブロック四と
主磁極形成前のvJlの半割ブロック四とを鏡面研磨面
uo+ +tllJから夫々突き合わせて樹脂接着やガ
ラ、ス溶青等により接合し、箸8図に示す如く所定の幅
でスライスした後、先端形状加工(R付)fr:行なっ
て巻線を施すことにより、第9図に示す様な本発明垂直
磁気ヘッドが得られる。
の鏡面研磨面(10)にCo系非晶質薄暎(例えば、C
o−Zr−Nb非晶質薄膜)をスパッタ法等で形成し、
フォトエツチングにて所定のトラック幅の主磁極(1″
4とし之後、真空中の静磁場中で二段階の熱処理を施し
第20半割ブロック(唄を得る。即ち、第7図に示す様
に熱処理中の印加磁場方向は第一段階目はヘッド励磁方
向と直角方向、第二段階目はヘッド励磁方向とした。そ
してその熱処理温度は、第一段階目については、第1図
にてHc≦0.150eという条件で考えると250℃
〜320℃が適当であり、第二段階目については第2図
にてHk≦50eという条件では、26.110C〜3
10’Cが適当だと考えら、本実施例では、第−八 段階目300°C1第二段階目280°Cとした。また
、印加磁場の大きさ、熱処理時間け、第一段階目、第二
段階目共5000e、30分とした。そして、この様に
主磁Vi(+2)の形成された第2の半割ブロック四と
主磁極形成前のvJlの半割ブロック四とを鏡面研磨面
uo+ +tllJから夫々突き合わせて樹脂接着やガ
ラ、ス溶青等により接合し、箸8図に示す如く所定の幅
でスライスした後、先端形状加工(R付)fr:行なっ
て巻線を施すことにより、第9図に示す様な本発明垂直
磁気ヘッドが得られる。
(ト)発明の効果
上述した如く本発明の垂直磁気ヘッドは、C。
系非晶ノロ薄膜より成る主磁極に真空中での静磁場中熱
処理を施すようにしているので、主磁極の磁気特性を良
好なものにすることが出来ると共に、従来の凹版磁場中
熱処理法のように真空中で試料全回1訳させる必要がな
くなるため装置の構造が簡単になる。
処理を施すようにしているので、主磁極の磁気特性を良
好なものにすることが出来ると共に、従来の凹版磁場中
熱処理法のように真空中で試料全回1訳させる必要がな
くなるため装置の構造が簡単になる。
第1図は第一段階回熱処理後の磁気特性を示す図、第2
図は第二段階目熱処理後の磁気特注を示す図、第3図は
本発明ヘッドと静磁場中熱処理を施していない従来ヘッ
ドとの記録密度特性を比較した図、第4図乃至!g9図
は本発明ヘッドの製造工程を示し、第4図及び第5図は
夫々溝部を形成する工程を示す図、′/JIJ6図は第
1の半割ブロック図、第7閃は第2の半割ブロックを示
す図、第8図はスライス工程る示す図、@9図汀本発明
ヘッドを示す図、第10図は従来ヘッドを示す図である
。 (6)・・・磁性材ブロック、(9)・・・非磁性材、
四・・第1の半割ブロック、9・・・第2の半割ブロッ
ク。
図は第二段階目熱処理後の磁気特注を示す図、第3図は
本発明ヘッドと静磁場中熱処理を施していない従来ヘッ
ドとの記録密度特性を比較した図、第4図乃至!g9図
は本発明ヘッドの製造工程を示し、第4図及び第5図は
夫々溝部を形成する工程を示す図、′/JIJ6図は第
1の半割ブロック図、第7閃は第2の半割ブロックを示
す図、第8図はスライス工程る示す図、@9図汀本発明
ヘッドを示す図、第10図は従来ヘッドを示す図である
。 (6)・・・磁性材ブロック、(9)・・・非磁性材、
四・・第1の半割ブロック、9・・・第2の半割ブロッ
ク。
Claims (3)
- (1)軟磁性薄膜より成る主磁極を、この主磁極と磁気
的に接合される補助磁極部とこの主磁極の磁束のリター
ンパスとなるリターンパス部とを夫々有する一対の補助
部材にて両側から挾持してなる垂直磁気ヘッドにおいて
、前記主磁極がCO系非晶質薄膜より成り、静磁場中熱
処理が施されている事を特徴とした垂直磁気ヘッド。 - (2)前記静磁場中熱処理が二段階に別けて施され、第
一段階目と第二段階目の印加磁場が互いに直交する事を
特徴とする特許請求の範囲第1項記載の垂直磁気ヘッド
。 - (3)前記第一段階目と第二段階目の静磁場中熱処理の
温度は、第一段階目が250℃〜320℃で、第二段階
目が260℃で〜310℃である事を特徴とする特許請
求の範囲第2項記載の垂直磁気ヘッド。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP23382185A JPS6292208A (ja) | 1985-10-18 | 1985-10-18 | 垂直磁気ヘツド |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP23382185A JPS6292208A (ja) | 1985-10-18 | 1985-10-18 | 垂直磁気ヘツド |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS6292208A true JPS6292208A (ja) | 1987-04-27 |
Family
ID=16961089
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP23382185A Pending JPS6292208A (ja) | 1985-10-18 | 1985-10-18 | 垂直磁気ヘツド |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS6292208A (ja) |
-
1985
- 1985-10-18 JP JP23382185A patent/JPS6292208A/ja active Pending
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