JPS6292208A - 垂直磁気ヘツド - Google Patents

垂直磁気ヘツド

Info

Publication number
JPS6292208A
JPS6292208A JP23382185A JP23382185A JPS6292208A JP S6292208 A JPS6292208 A JP S6292208A JP 23382185 A JP23382185 A JP 23382185A JP 23382185 A JP23382185 A JP 23382185A JP S6292208 A JPS6292208 A JP S6292208A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
magnetic
stage
magnetic field
heat treatment
main
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP23382185A
Other languages
English (en)
Inventor
Isao Yasuda
安田 伊佐雄
Yoshihiko Kawai
川井 好彦
Satoru Oota
哲 太田
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Sanyo Electric Co Ltd
Original Assignee
Sanyo Electric Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Sanyo Electric Co Ltd filed Critical Sanyo Electric Co Ltd
Priority to JP23382185A priority Critical patent/JPS6292208A/ja
Publication of JPS6292208A publication Critical patent/JPS6292208A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G11INFORMATION STORAGE
    • G11BINFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
    • G11B5/00Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
    • G11B5/127Structure or manufacture of heads, e.g. inductive
    • G11B5/1278Structure or manufacture of heads, e.g. inductive specially adapted for magnetisations perpendicular to the surface of the record carrier

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Magnetic Heads (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 (イ) 産業上の利用分野 本発明は、記録媒体の厚み方向に情報を記録する垂直磁
気記録再生方式に用いられる垂「σ磁気ヘッドに関する
ものである。
(ロ)従来の技術    ・ 近年、祈る垂直磁気記録再生方式に用いられる垂直磁気
ヘッドとして主磁極励磁型のものが脚光を浴びて来てお
り、祈る主磁極励磁型の垂直磁気ヘッドは例えば特開昭
58−153216号公報等に示されているように軟磁
性薄膜よりなる主磁極を、この主磁極とff1気的に接
合される補助°磁極部とこの主磁極の磁束のリターンパ
スとなるリターンパス部とが夫々形成された一対の補助
部材にて両側から挾持して構成されている。ところが、
祈る垂直磁気ヘッドでは各補助部材のリターンパス部が
直接記録媒体側に臨んでいないなめ、記録媒体とのスベ
ーVングロスが大きくなっていた。
そこで、リターンパス部を直接記録媒体側に臨ませた第
10図に示すような垂直磁気ヘッドも提案されており、
+Bは軟磁性#膜よりなる主磁極、(2)ぼは主磁極(
1)をその両側から挟持する一対の補助部材で、該各補
助部材(刃咀rは、主磁極(1)と磁気的に接合され巻
線が施される補助磁極部(3a)(3a′)と主磁極(
1)の磁束のリターンパスとなるリターンパス部(3b
)(3b’)とを分離する溝部(3c)(3c’)が形
成された磁性材部(3)!3どと、この磁性材部[31
r3fのリターンパス部(3b)(36′)と主磁極1
1.1とを磁気的に分離する補強用のスペーサ部として
溝部(3c)(3c’)上部に接合される非磁性材部(
+ l I4fとで構成されている。尚、(5)はCo
 −Cr等の垂直磁化* (5a )とNf−Fe’4
の裏打ちN1(5b)(水平磁化9)を有する二層記録
媒体である。
(ハ)発明が解決しようとする問題点 そして、この様な垂1宣磁気ヘッドにおいて特に重要な
構成要素は、二層記録媒体(5)の垂直磁化層C53)
と直接記録再生【関与する主磁極(1)であり、ヘッド
の性能向上のために社主磁ff1il+の磁気特性を々
0何に良好にするかが問題であろうここで、主磁極(1
)として代表的なものにスパッタ法等で作製されたCo
系非晶質I信11・穿(例えば、Co−Zr−Nb暎)
があるが、良好な磁気特性を得るためには膜作製後に有
効な熱処理を施さねばならず、この熱処理法の一例とし
て回転磁場中熱処理法が特開昭59−902178公報
で提唱されているが、熱処理は通常真空中で行なう之め
、真空中で試料を回転しなければならない等装置が複雑
になると謂う欠点があっ之。
に)問題点を解決する念めの手段 本発明は上記した問題点全解決するために、軟磁性/l
膜より成る主磁極全、この主磁極と磁気的に接合される
補助磁極部とこの主磁極の磁束のリターンパス七なるリ
ターンパス都々を夫々有する一対の補助部材にて両側か
ら挾持してなる垂直磁気ヘッドにおいて、前記主磁極が
Co系非晶質薄膜より成り、静磁場中熱処理が施される
よう構成したものである。
(ホ)作用 上記した本発明型(電磁気ヘッドでは、Co系非晶質4
暎より成る主磁極に真空中での静磁場中熱処理を施すよ
うにしているので、祈る主磁極の磁気特性を良好なもの
にすることが出来ると共に、従来の回転磁場中熱処理法
のように真空中で試料を回転させる必要がなくなるため
装置構造が簡単【なる。
(へ)実施例 以下、本発明の一実施例について図面と共に説明する。
先ず、垂直磁気ヘッドの主磁極用軟磁性へg模としては
、一般に異方性磁界(Hk: )、抗磁力(HC)が共
に小さいHりが要求される。このうち、異方性磁界(H
k)はヘッドの透磁率に、抗磁力(Hc)はヘッドの感
度VC!T接関係する量で、異方性磁界(Hk)の小さ
い膜はど透磁率は高く、抗磁力(Hc )の小さい膜は
どIfIL度が高いという関係にある。また、Co系非
晶質4暎には面内異方性があるが、主磁極として使用す
る際には良好な磁気特性を得るために、祈る膜の磁化困
矯軸がヘッドの励磁方向となる様にする必要がある。
そこで、本発明では主磁極として用いられるC。
系非晶質薄膜にその暎j杉成後真空中での静磁場中熱処
理を二段階に別けてその第一段階目と第二段階目の印加
磁場方向が互いに直交するように、即ち第一段階目はヘ
ッド励磁方向と直角方向に、第二段目はヘッド励磁方向
と同じ方向に磁場全印加したものであり、Co系非晶質
薄膜の磁気特性に及ぼす効果は第1段階目、第二段階目
各々について第1図、第2図の様になる。即ち、第1図
からけ熱処理中印加磁場方向と膜の容易「柚とのなす角
(θ)が5°以内に収まっている事がわかる。これは主
磁極としてのCo系非晶質薄1臭を熱処理する際に磁場
をヘッド励磁方向と直角の方向(印加することで印加磁
場方向が膜の磁化容易軸となり、それと直角のヘッド励
磁方向が1漠の磁化困矯軸となるためである。ここで抗
磁力He≦0.150eと謂う条件で考えると、その熱
処理温度(′r)は第1図から250℃〜320℃が適
当である。また、第2図からは第二段階目熱処理時の温
度りr)を適当なところて選ふと異方性磁界(Hk)並
びに抗磁力(He )が共に小さい良好なtPJの得ら
れることが  ・判る。即ち、異方性磁界Hk≦50e
と謂う条件ではその熱処理温度(T)は260℃〜31
0°Cが適当だと考えられる。
第3図は、上記した様に主磁極に静磁場中で二段階に熱
処理を施した本発明ヘッド()()と静磁場中熱処理の
施されていない従来ヘッド(6)′とを記録密度特性に
て比較したもので、本発明ヘッドの再生出力が従来ヘッ
ドに比べて約3倍近くになっていることが判る。ここで
、両方のヘッドの主磁極はその暎厚が共に0.3μmで
あるが、0.3μm〜1μ汎にわたって同様な結果が得
られた。尚、本発明ヘッドではその熱処理温度を第一段
階目300℃、第二段階目280℃とし、その印加磁場
の大きさ並びに熱処理時間を第一段階目、第二段階1共
5000e130分とした。
次に、祈る本発明垂直磁気ヘッド製造方法について、第
4図乃至第9図を参照しながら説明する。
先ず、vJ4図に示す様にNi−Znフェライト等より
なる磁性材ブロック(6)の角部に溝加工を施して非磁
性材接合用の@1の溝部(7)を形成した後、その第1
の溝部(7)に−に溝加工を施して巻線用として第2の
溝部(8)を形成する(第5図参照)。そして、この様
にして得られた磁性材ブロック+61の第1の溝部(7
)にガラス等の非磁性材(Ql全ガラス溶着や樹脂接着
により接合し之後、そのイ」1出(lO)を接合面とし
て鏡面研磨して@6図に示す様な第1の半割ブロック(
Illを得る。
次に、この様にして得られた′@1の半割ブロック(川
の鏡面研磨面(10)にCo系非晶質薄暎(例えば、C
o−Zr−Nb非晶質薄膜)をスパッタ法等で形成し、
フォトエツチングにて所定のトラック幅の主磁極(1″
4とし之後、真空中の静磁場中で二段階の熱処理を施し
第20半割ブロック(唄を得る。即ち、第7図に示す様
に熱処理中の印加磁場方向は第一段階目はヘッド励磁方
向と直角方向、第二段階目はヘッド励磁方向とした。そ
してその熱処理温度は、第一段階目については、第1図
にてHc≦0.150eという条件で考えると250℃
〜320℃が適当であり、第二段階目については第2図
にてHk≦50eという条件では、26.110C〜3
10’Cが適当だと考えら、本実施例では、第−八 段階目300°C1第二段階目280°Cとした。また
、印加磁場の大きさ、熱処理時間け、第一段階目、第二
段階目共5000e、30分とした。そして、この様に
主磁Vi(+2)の形成された第2の半割ブロック四と
主磁極形成前のvJlの半割ブロック四とを鏡面研磨面
uo+ +tllJから夫々突き合わせて樹脂接着やガ
ラ、ス溶青等により接合し、箸8図に示す如く所定の幅
でスライスした後、先端形状加工(R付)fr:行なっ
て巻線を施すことにより、第9図に示す様な本発明垂直
磁気ヘッドが得られる。
(ト)発明の効果 上述した如く本発明の垂直磁気ヘッドは、C。
系非晶ノロ薄膜より成る主磁極に真空中での静磁場中熱
処理を施すようにしているので、主磁極の磁気特性を良
好なものにすることが出来ると共に、従来の凹版磁場中
熱処理法のように真空中で試料全回1訳させる必要がな
くなるため装置の構造が簡単になる。
【図面の簡単な説明】
第1図は第一段階回熱処理後の磁気特性を示す図、第2
図は第二段階目熱処理後の磁気特注を示す図、第3図は
本発明ヘッドと静磁場中熱処理を施していない従来ヘッ
ドとの記録密度特性を比較した図、第4図乃至!g9図
は本発明ヘッドの製造工程を示し、第4図及び第5図は
夫々溝部を形成する工程を示す図、′/JIJ6図は第
1の半割ブロック図、第7閃は第2の半割ブロックを示
す図、第8図はスライス工程る示す図、@9図汀本発明
ヘッドを示す図、第10図は従来ヘッドを示す図である
。 (6)・・・磁性材ブロック、(9)・・・非磁性材、
四・・第1の半割ブロック、9・・・第2の半割ブロッ
ク。

Claims (3)

    【特許請求の範囲】
  1. (1)軟磁性薄膜より成る主磁極を、この主磁極と磁気
    的に接合される補助磁極部とこの主磁極の磁束のリター
    ンパスとなるリターンパス部とを夫々有する一対の補助
    部材にて両側から挾持してなる垂直磁気ヘッドにおいて
    、前記主磁極がCO系非晶質薄膜より成り、静磁場中熱
    処理が施されている事を特徴とした垂直磁気ヘッド。
  2. (2)前記静磁場中熱処理が二段階に別けて施され、第
    一段階目と第二段階目の印加磁場が互いに直交する事を
    特徴とする特許請求の範囲第1項記載の垂直磁気ヘッド
  3. (3)前記第一段階目と第二段階目の静磁場中熱処理の
    温度は、第一段階目が250℃〜320℃で、第二段階
    目が260℃で〜310℃である事を特徴とする特許請
    求の範囲第2項記載の垂直磁気ヘッド。
JP23382185A 1985-10-18 1985-10-18 垂直磁気ヘツド Pending JPS6292208A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP23382185A JPS6292208A (ja) 1985-10-18 1985-10-18 垂直磁気ヘツド

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP23382185A JPS6292208A (ja) 1985-10-18 1985-10-18 垂直磁気ヘツド

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPS6292208A true JPS6292208A (ja) 1987-04-27

Family

ID=16961089

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP23382185A Pending JPS6292208A (ja) 1985-10-18 1985-10-18 垂直磁気ヘツド

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPS6292208A (ja)

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR860001743B1 (ko) 자기헤드 및 그 제조방법
JPH02227814A (ja) 垂直磁気記録媒体及びその製造方法
JPS6292208A (ja) 垂直磁気ヘツド
JPH06215325A (ja) 積層型磁気ヘッドコア
JP3772458B2 (ja) 磁気ヘッド及びその製造方法
JPH01149209A (ja) 磁気ヘッドの製造方法
JPS61229209A (ja) 垂直磁気ヘッド
JPS58150120A (ja) 垂直磁気記録ヘツド
JPS6390025A (ja) 磁気記録媒体
JPS62266709A (ja) 磁気ヘツドの製造方法
JP2654401B2 (ja) 薄膜磁気ヘッド
JP2919662B2 (ja) 光磁気記録媒体
JPH05282619A (ja) 磁気ヘッド
JPS6218617A (ja) 磁気ヘツド
JPS6059508A (ja) 磁気ヘツドの製法
JPS62119709A (ja) 高周波用磁気ヘツドコアの製造方法
JPS58114329A (ja) 磁気記録媒体
JPH01158606A (ja) 磁気ヘッド
JPH087847B2 (ja) インラインギヤツプ型薄膜磁気ヘツドおよびその製造方法
JPS59229718A (ja) 補助磁極励磁型垂直磁気記録用磁気ヘツド
JPS6151611A (ja) 複合磁性材
JPH04139605A (ja) 磁気ヘッドコアの製造方法
JPH06274876A (ja) 磁気記録媒体の配向装置
JPH1069613A (ja) 磁気ヘッド、その製造方法、及びそれを使用した磁気ディスク装置
JPS62226410A (ja) 磁気ヘツド