JPS62119709A - 高周波用磁気ヘツドコアの製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は軟磁性材料を用いたもので特に、高周波におい
て使用する、高周波用積層型磁気ヘッドコアの製造方法
に関するものである。

従来の技術 従来の磁気ヘッドコア用軟磁性材料としては、飽和磁束
密度が大きく、初透磁率の高い（各種磁気異方性の小さ
い）ものが、適するものと考えられ、パーマロイ、セン
ダスト、各種非晶質磁性材料、及びフェライト等が用い
らｎてきた。特にこｎらの材料のなかでフェライト以外
は通常、比抵抗の小さい金属材料であるため、高周波帯
域でのヘッドコアとして用いる場合、渦電流損失が大き
く、薄体、或いは薄膜磁性材料として用いることで、利
用さｎてきた。

しかし、特に、高密度記録をねらいとしたＶＴＲ等の１
０１１ｋを上まわる周波数帯での初透磁率の損失を考え
た場合、磁性体の厚みによっては、上記の渦電流損失よ
りも磁気共鳴吸収損失（自然共鳴）による損失が中心と
なることが多い。とりわけ、回転磁場中熱処理等によっ
て著しく異方性を消去した非晶質軟磁性薄膜においては
、磁性体自身の内部磁界が極めて小さいことにより、比
較的低い周波数において自然共鳴による高周波損失が生
じ、初透磁率の急激な劣下が現わｎる。

第２図（、）は、回転磁界中熱処理を行った比抵抗：ρ
＝１２０μΩ’ｆｆｉ　　のＣｏとＮｂｉ主成分とする
膜厚４μｍの金属−金属系非晶質合金の薄膜について、
大きさが１ｍ０ｅで、１００ｋｌｂから１００）ｈまで
の高周波磁界における初透磁率μｉの周波数特性の例を
いくつかの試料について示したものである。

同図中には、各初透磁率の大きさにおいて、上記比抵抗
値をもつ４μｍ膜厚の理論的な周波数の限界値を表皮深
さく５ｋｉｎ　ｄｅｐｔｈ）　Ｓ＝　２μｍとして下記
の関係より、 得たものを破線で示した。

同図から、上記の４μｍ厚の非晶質材料においては渦電
流損失が問題となる帯域よりかなり低い周波数帯で大き
く初透磁率の劣下がおこっていることがわかる。

一方、同磁性薄膜の異方性エネルギー及び飽和磁化の値
から求めた内部磁界Ｈａから見積られる自然共鳴周波数
（第２図との試料では９０１４ｋ）から、上記の急激な
初透磁率の劣化が、共鳴損失によるものであることが容
易にうかがえた。

このように著しく異方性を除去した磁性材料では１０ｖ
ｈ’ｉｉ上まわる高周波においては渦電流損失を十分に
考慮した膜厚の磁性膜であっても、磁性材料自身の共鳴
損失が大きな問題となって初透磁率の低下がおこり、こ
のような帯域で用いる非晶質磁気ヘッドコアの損失の原
因として問題であった。特に磁気コアの透磁率がヘッド
の特性に大きく影響する磁気ギャップ付近の異方性が、
回転磁界中熱処理等によって著しく小さくなったままで
あることが問題であった。

発明が解決しようとする問題点 本発明は、従来の上記のような極端に異方性を小さくし
た磁性材料によってつくらｎた磁気ヘッドコアの高周波
における共鳴損失の影響金小さくすることによって、初
透磁率の劣下全防止した高周波磁気ヘッドコアの製造方
法を提供するものである。

問題点を解決するための手段 本発明は上記の点を改善するため、特に磁気コアの周波
数特性に大きな影響を及ぼす磁気ギャップ付近か、又は
全体に、磁気コアの磁束方向の透磁率を極端に低下させ
ないような異方性を誘導させることによって、磁性材料
の自然共鳴周波数をより高周波側へずらせ、この結果と
して磁気ヘッドコアの高周波における効率全向上させる
磁気ヘッドの製造方法を示すものである。

誘導磁気異方性の形成には磁気ギャップ付近、又はコア
全体に、コア面に対して垂直方向の静磁界中での熱処理
や、レーザービーム等による磁気ギャップ付近の局所的
な加熱による方法等が用いらｎる。

作　　用 磁性体において外部磁界のかからない共鳴状態（自然共
鳴状態）においては、共鳴周波数（角周波数：ω＝２π
ｆ）と磁気共鳴磁界との間にω＝νＨａ　　　　（Ｈａ
：内部異方性磁界。

シ：回転磁気比） の関係があり、例えば回転磁界中熱処理を行い等方向に
著しく異方性を低下させた非晶質磁性材料においては、
初透磁率μｉは高いが、内部磁界Ｈａは極めて小さくな
っている。しかし、材料に何等かの方法によって磁気異
方性を誘導した場合、そｎによって新たに生じる内部磁
界Ｈｉがさらに異方性磁界として加わるため、共鳴（角
）周波数はＪ＝ν（Ｈａ＋Ｈｉ） となり、共鳴周波数はｖＨｉ分だけより高周波側へのび
ることになる（即ち、Ｊ〉ω）。しかし極端な誘導磁気
異方性のコア面内での誘導は、コア全体又は部分の初透
磁率の劣下を紹きかえって逆効果である。

このように、磁界印加及び熱処理により、ヘソドコアの
磁束方向に対して、任意の方向に異方性が新たに誘導さ
れる場合、上記のような効果が期待できる。

実施例 実施例１ 第１図は蒸着法で非磁性基板４上に、作成した非晶質磁
性薄膜１を使用周波数における磁界表皮深さを十分に考
慮した膜厚（即ち表皮深さ以下）を単位層厚として、数
千オングストローム膜厚の非磁性絶縁層２を介して数層
に積層したヘッドコア全体をヘッドコア面に対して、垂
直方向からの静磁界３（約５ｏｏｏｅ）中で、非晶質の
結晶化温度以下において熱処理を行う製法を示したもの
である。

この方法により、靜磁界方向に対して常に垂直なコア面
内の初透磁率の周波数特性は誘導された異方性によって
第２図すのように、複数の試料について共鳴周波数が、
より高い周波数側へ伸びたことが確かめられた。

また、この方法によって、１０ＩＩＩｋ以上でのヘッド
コアの効率が向上したことが、実際の第１図のような構
成をもつヘッドにおいて確かめられた。

静磁界は必ずしもヘッドコア面に正確に垂直でなくとも
、垂直成分をもつ任意の方向であっても同様な効果がみ
虻ｎた。

実施例２ 非晶質薄膜を実施例１と同様な方法で積層した磁気ヘッ
ドコアのギャップ付近のみに、低周波透磁率の極端な劣
下がおこらない程度のレーザー加熱によって異方性を形
成させたヘッドコア形成を用いた。

この熱影響によっても第２図すと同様な共鳴周波数の高
帯域側への伸びが観測さｎｌこの方法を用いた磁気ヘッ
ドコアの効率も向上した。

発明の詳細 な説明したように本発明によれば、高密度記録用ＶＴＲ
ヘッド等の１ｏｌｉｋ以上の高周波で用いられる磁気ヘ
ッドコア材の製法及びコア材として、回転磁界中熱処理
を行い、磁性材料の低域の透磁率を向上させたヘッドコ
アについても、共鳴損失をできるだけ低下させることが
でき、このような高い周波数帯域においても、磁気ヘッ
ドコアの効率を上げることができ、実用的に極めて有効
である０

【図面の簡単な説明】

第１図（ａ）は本発明の一実施例における高周波用磁気
ヘッドの斜視図、第１図（ｂ）は同要部断面図、第２図
（ａ）は従来の磁気ヘッドコアの製造方法における非晶
質磁性材料の初透磁率の周波数特性図、第２図（ｂ）は
本発明による磁気ヘッドコアの製法におけるコア磁性材
料の初透磁の周波数特性図である０ １・・・・・・非晶質磁性層、２・・・・・・非磁性絶
縁層、２・・・・・・静電界、４・・・・・・非磁性基
板。 代理人の氏名　弁理士　中　尾　敏　男　ほか１名第１
図　　　　　　　　　　／−戚１１２−−−井戚ａ地亀
眉 （α）４−　　序砥ａ＆展

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. （１）一磁性層厚を該磁性層の使用周波数における表皮
   深さ以内として形成させた構造を有する非晶質磁気ヘッ
   ドコアであって、その非晶質磁気ヘッドコアの磁気ギャ
   ップ付近にコア面に対して垂直な成分をもつ任意の方向
   への磁気異方性を誘導させたことを特徴とする高周波用
   磁気ヘッドコアの製造方法。
2. （２）磁気ギャップ付近の誘導磁気異方性をヘッドコア
   面に垂直方向成分をもつ静磁界中での熱処理によって形
   成させることを特徴とする特許請求の範囲第１項記載の
   高周波用磁気ヘッドコアの製造方法。
3. （３）磁気ギャップ付近の誘導磁気異方性を、磁気ギャ
   ップ付近のみの局所的な加熱によって形成させたことを
   特徴とする特許請求の範囲第１項記載の高周波用磁気ヘ
   ッドコアの製造方法。