JPS6287444U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS6287444U JPS6287444U JP17924285U JP17924285U JPS6287444U JP S6287444 U JPS6287444 U JP S6287444U JP 17924285 U JP17924285 U JP 17924285U JP 17924285 U JP17924285 U JP 17924285U JP S6287444 U JPS6287444 U JP S6287444U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- pressure
- adhesive sheet
- sensitive adhesive
- chips
- die bonding
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 claims description 2
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 claims description 2
- 239000004820 Pressure-sensitive adhesive Substances 0.000 claims 3
- 230000002950 deficient Effects 0.000 description 1
Description
第１図はこの考案の一実施例を示す断面図、第
２図は切断溝の破断力を示すグラフ、第３図は従
来装置の断面図、第４図はその不良品を示す断面
図である。図中、１はウエハ、１ａはチツプ、１
ｂは切断溝、３は突上げ部、６は粘着シートであ
る。なお各図中同一符号は同一又は相当部分を示
す。
２図は切断溝の破断力を示すグラフ、第３図は従
来装置の断面図、第４図はその不良品を示す断面
図である。図中、１はウエハ、１ａはチツプ、１
ｂは切断溝、３は突上げ部、６は粘着シートであ
る。なお各図中同一符号は同一又は相当部分を示
す。
Claims (1)
- セミフルカツトされたウエハを付着させた粘着
シートに対向し、上記粘着シートを介して上記ウ
エハを各チツプ毎に分離する突上げ部を備えたダ
イボンド装置において、上記粘着シートと上記チ
ツプとの接着力を、上記各チツプ間の破断力より
も大としたことを特徴とするダイボンド装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17924285U JPS6287444U (ja) | 1985-11-20 | 1985-11-20 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17924285U JPS6287444U (ja) | 1985-11-20 | 1985-11-20 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6287444U true JPS6287444U (ja) | 1987-06-04 |
Family
ID=31122129
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP17924285U Pending JPS6287444U (ja) | 1985-11-20 | 1985-11-20 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6287444U (ja) |
-
1985
- 1985-11-20 JP JP17924285U patent/JPS6287444U/ja active Pending