JPS6228441U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS6228441U JPS6228441U JP12054385U JP12054385U JPS6228441U JP S6228441 U JPS6228441 U JP S6228441U JP 12054385 U JP12054385 U JP 12054385U JP 12054385 U JP12054385 U JP 12054385U JP S6228441 U JPS6228441 U JP S6228441U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- head
- chip
- push
- break
- sheet
- Prior art date
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- Pending
Links
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 1
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 1
Description
第1図はこの考案の一実施例を示す断面図、第
2図、第3図はその要部拡大図、第4図は作業の
ウエハを示す断面図、第5図は従来装置の側面図
、第6図はその動作工程を示す部分断面図である
。図中、8は粘着シート、12はピン、20はウ
エハ、21はチツプ、23はブレークヘツド、2
5は突き上げヘツドである。なお各図中同一符号
は同一又は相当部分を示す。
2図、第3図はその要部拡大図、第4図は作業の
ウエハを示す断面図、第5図は従来装置の側面図
、第6図はその動作工程を示す部分断面図である
。図中、8は粘着シート、12はピン、20はウ
エハ、21はチツプ、23はブレークヘツド、2
5は突き上げヘツドである。なお各図中同一符号
は同一又は相当部分を示す。
Claims (1)
- 各チツプ毎に微小寸法の切り残し部を有してカ
ツトされたウエハ、このウエハを表面に接着した
シート、このシートの下方に位置され、上記チツ
プを予めカツト部分に沿つて破断するブレークヘ
ツド、このブレークヘツドと並設されて先端が上
記チツピと略同外形に形成され、上記ブレークヘ
ツドと相反して上下動する突き上げヘツド、及び
この突き上げヘツドに内装され、上記チツプを突
き上げるピンを備えたブレークエキスパンド装置
。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP12054385U JPS6228441U (ja) | 1985-08-05 | 1985-08-05 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP12054385U JPS6228441U (ja) | 1985-08-05 | 1985-08-05 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS6228441U true JPS6228441U (ja) | 1987-02-20 |
Family
ID=31008953
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP12054385U Pending JPS6228441U (ja) | 1985-08-05 | 1985-08-05 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS6228441U (ja) |
-
1985
- 1985-08-05 JP JP12054385U patent/JPS6228441U/ja active Pending