JPS6221535U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS6221535U JPS6221535U JP11314685U JP11314685U JPS6221535U JP S6221535 U JPS6221535 U JP S6221535U JP 11314685 U JP11314685 U JP 11314685U JP 11314685 U JP11314685 U JP 11314685U JP S6221535 U JPS6221535 U JP S6221535U
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- chip
- break
- wafer
- sheet
- head
- Prior art date
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- Pending
Links
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 1
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 1
Description
第1図はこの考案の一実施例を示す断面図、第
2図はその要部拡大図、第3図は作業前のウエハ
を示す断面図、第4図は従来装置の側面図、第5
図はその動作工程を示す部分断面図である。 図において、8は粘着シート、12はピン、2
0はウエハ、21はチツプ、23はブレークヘツ
ドである。なお、各図中同一符号は同一又は相当
部分を示す。
2図はその要部拡大図、第3図は作業前のウエハ
を示す断面図、第4図は従来装置の側面図、第5
図はその動作工程を示す部分断面図である。 図において、8は粘着シート、12はピン、2
0はウエハ、21はチツプ、23はブレークヘツ
ドである。なお、各図中同一符号は同一又は相当
部分を示す。
Claims (1)
- 各チツプ毎にハーフカツトされたウエハ、この
ウエハを表面に接着したシート、このシートの下
方に位置され、上記チツプと略同外形のブレーク
ヘツド、このブレークヘツド内に配置され、上記
チツプを突き上げるピンを備えたブレークエキス
パンド装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP11314685U JPS6221535U (ja) | 1985-07-22 | 1985-07-22 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP11314685U JPS6221535U (ja) | 1985-07-22 | 1985-07-22 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS6221535U true JPS6221535U (ja) | 1987-02-09 |
Family
ID=30994667
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP11314685U Pending JPS6221535U (ja) | 1985-07-22 | 1985-07-22 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS6221535U (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH047405U (ja) * | 1990-05-09 | 1992-01-23 |
-
1985
- 1985-07-22 JP JP11314685U patent/JPS6221535U/ja active Pending
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH047405U (ja) * | 1990-05-09 | 1992-01-23 |