JPS62140736U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPS62140736U JPS62140736U JP2742986U JP2742986U JPS62140736U JP S62140736 U JPS62140736 U JP S62140736U JP 2742986 U JP2742986 U JP 2742986U JP 2742986 U JP2742986 U JP 2742986U JP S62140736 U JPS62140736 U JP S62140736U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- tape
- peeled
- utility
- adhesive strength
- mesh sheet
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 claims 2
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 claims 2
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 claims 2
Landscapes
- Processing Of Stones Or Stones Resemblance Materials (AREA)
- Adhesive Tapes (AREA)
Description
第1図は本考案実施例の断面図、第2図は使用
中の第1図の実施例の断面図、第3図ないし第5
図は従来例断面図である。 第1図と第2図において、11はフイルム・テ
ープ、12は網目状シート、13はチツプ、14
は突き上げピン、15はウエハ、16は真空ノズ
ルである。
中の第1図の実施例の断面図、第3図ないし第5
図は従来例断面図である。 第1図と第2図において、11はフイルム・テ
ープ、12は網目状シート、13はチツプ、14
は突き上げピン、15はウエハ、16は真空ノズ
ルである。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 (1) ウエハ15のダイシングに用いるテープで
あつて、 ある粘着強度のフイルム・テープ11とそれよ
り弱い粘着性をもつた網目状シート12の二層構
造を有することを特徴とするフル・カツト用ダイ
シング・テープ。 (2) 網目状シート12側にウエハ15を貼り付
けてダイシングをなし、フイルム・テープ11を
剥離した後にダイシングされたチツプ13を剥離
する構成としたことを特徴とする実用新案登録請
求の範囲第1項記載のフル・カツト用ダイシング
・テープ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1986027429U JPH0447960Y2 (ja) | 1986-02-28 | 1986-02-28 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1986027429U JPH0447960Y2 (ja) | 1986-02-28 | 1986-02-28 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS62140736U true JPS62140736U (ja) | 1987-09-05 |
JPH0447960Y2 JPH0447960Y2 (ja) | 1992-11-12 |
Family
ID=30829449
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP1986027429U Expired JPH0447960Y2 (ja) | 1986-02-28 | 1986-02-28 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0447960Y2 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2012117024A (ja) * | 2010-12-03 | 2012-06-21 | Sumitomo Bakelite Co Ltd | 半導体用フィルムおよび半導体装置の製造方法 |
Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS4943503U (ja) * | 1972-07-24 | 1974-04-17 |
-
1986
- 1986-02-28 JP JP1986027429U patent/JPH0447960Y2/ja not_active Expired
Patent Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS4943503U (ja) * | 1972-07-24 | 1974-04-17 |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2012117024A (ja) * | 2010-12-03 | 2012-06-21 | Sumitomo Bakelite Co Ltd | 半導体用フィルムおよび半導体装置の製造方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH0447960Y2 (ja) | 1992-11-12 |