JPS6194348U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS6194348U JPS6194348U JP17910884U JP17910884U JPS6194348U JP S6194348 U JPS6194348 U JP S6194348U JP 17910884 U JP17910884 U JP 17910884U JP 17910884 U JP17910884 U JP 17910884U JP S6194348 U JPS6194348 U JP S6194348U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- wafer
- tape
- dicing tape
- semiconductor
- adhesiveness
- Prior art date
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- Pending
Links
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 4
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 claims 4
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 claims 1
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- 238000001179 sorption measurement Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Processing Of Stones Or Stones Resemblance Materials (AREA)
Description
第１図は、本考案の一実施例による半導体ウエ
ハダイシングテープの斜視図である。第２図は、
ウエハの貼り付け状態を示した断面図である。 １……ペーステープ、２……粘着層、３……セ
パレートテープ、４……貫通孔、５……半導体ウ
エハ、６……ハンドリングアーム、７……吸着パ
ツド、８……貼り付けステージ。
ハダイシングテープの斜視図である。第２図は、
ウエハの貼り付け状態を示した断面図である。 １……ペーステープ、２……粘着層、３……セ
パレートテープ、４……貫通孔、５……半導体ウ
エハ、６……ハンドリングアーム、７……吸着パ
ツド、８……貼り付けステージ。
Claims (1)
- 半導体ウエハのダイシングテープにおいて、前
記ウエハに対し粘着性を有するベーステープと、
前記ウエハに対し粘着性がなく、かつ複数個の貫
通孔を全面または部分的に配置したセパレートテ
ープとを重ね合せて構成したことを特徴とする半
導体ウエハダイシングテープ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17910884U JPS6194348U (ja) | 1984-11-26 | 1984-11-26 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17910884U JPS6194348U (ja) | 1984-11-26 | 1984-11-26 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6194348U true JPS6194348U (ja) | 1986-06-18 |
Family
ID=30736671
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP17910884U Pending JPS6194348U (ja) | 1984-11-26 | 1984-11-26 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6194348U (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2016104576A (ja) * | 2016-02-26 | 2016-06-09 | 三星ダイヤモンド工業株式会社 | 脆性材料基板の分断装置 |
-
1984
- 1984-11-26 JP JP17910884U patent/JPS6194348U/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2016104576A (ja) * | 2016-02-26 | 2016-06-09 | 三星ダイヤモンド工業株式会社 | 脆性材料基板の分断装置 |
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