JPS60167339U - ウエハダイシングテ−プ - Google Patents

ウエハダイシングテ−プ

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JPS60167339U
JPS60167339U JP5552784U JP5552784U JPS60167339U JP S60167339 U JPS60167339 U JP S60167339U JP 5552784 U JP5552784 U JP 5552784U JP 5552784 U JP5552784 U JP 5552784U JP S60167339 U JPS60167339 U JP S60167339U
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JP
Japan
Prior art keywords
tape
dicing tape
wafer dicing
wafer
pellet
Prior art date
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Pending
Application number
JP5552784U
Other languages
English (en)
Inventor
中村　嗣雄
Original Assignee
日本電気株式会社
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Publication date
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図は本考案による一実施例で、ペレット吸着穴を全
面に配置したものの斜視図で、第２図はペレット吸着穴
を部分的に配置した他の実施例の斜視図である。第３図
は、本考案による一実施例を用いた半導体ウェハのダイ
シング工程を示す断面図である。 １・・・・・・自己粘着型軟質テープ、２・・間接着剤
、３・・・・・・硬質テープ、４・・・・・・ペレット
吸着穴、５・・・・・・チャック、６・・曲ポーラステ
ージ、７・・回生導体ウェハ、訃・曲ペレット。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. ウェハダイシングテープにおいて、ウェハに対し粘着性
    を有する自己粘着型軟質テープと伸縮性のない硬質テー
    プを積層するとともに、全面または部分的に多数のペレ
    ット吸着穴を配置したことを特徴とするウェハダイシン
    グテープ。
JP5552784U 1984-04-16 1984-04-16 ウエハダイシングテ−プ Pending JPS60167339U (ja)

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JP5552784U JPS60167339U (ja) 1984-04-16 1984-04-16 ウエハダイシングテ−プ

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Application Number Priority Date Filing Date Title
JP5552784U JPS60167339U (ja) 1984-04-16 1984-04-16 ウエハダイシングテ−プ

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Publication Number Publication Date
JPS60167339U true JPS60167339U (ja) 1985-11-06

Family

ID=30578284

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP5552784U Pending JPS60167339U (ja) 1984-04-16 1984-04-16 ウエハダイシングテ−プ

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