JPS58144843U - ウエ−ハ接着シ−ト - Google Patents

ウエ−ハ接着シ−ト

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Publication number
JPS58144843U
JPS58144843U JP4269582U JP4269582U JPS58144843U JP S58144843 U JPS58144843 U JP S58144843U JP 4269582 U JP4269582 U JP 4269582U JP 4269582 U JP4269582 U JP 4269582U JP S58144843 U JPS58144843 U JP S58144843U
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
wafer
adhesive sheet
wafer adhesive
pellets
stretch
Prior art date
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Pending
Application number
JP4269582U
Other languages
English (en)
Inventor
下條　良久
Original Assignee
日本電気ホームエレクトロニクス株式会社
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Publication date
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Publication of JPS58144843U publication Critical patent/JPS58144843U/ja
Pending legal-status Critical Current

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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図は従来のウェーハスクライブ作業を示すための、
ウェーハ貼着構体の断面図、第２図はそのウェーハ分割
時の構体断面図、第３図〜第６図はこの考案の実施例に
係るウェーハ貼着構体を示し、第３図と第５図は平面図
、第４図と第６図は断面図である。 １・・・・・・ウェーハ、４・・・・・・スクライブ溝
、？、７゜・・・・・・・・・金属、９・・・・・・接
着シート。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 素子を多数形成済みのウェーハを貼着し、ウェーハにス
    クライブ溝を作成してから、引伸しを行ってウェーハを
    個々の素子毎のペレットに分割するためのウェーハ接着
    シートに、温度をカリえると反り変形を生じる金属を埋
    設させたことを特徴とするウェーハ接着シート。
JP4269582U 1982-03-25 1982-03-25 ウエ−ハ接着シ−ト Pending JPS58144843U (ja)

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JP4269582U JPS58144843U (ja) 1982-03-25 1982-03-25 ウエ−ハ接着シ−ト

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JP4269582U JPS58144843U (ja) 1982-03-25 1982-03-25 ウエ−ハ接着シ−ト

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPS58144843U true JPS58144843U (ja) 1983-09-29

Family

ID=30053810

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP4269582U Pending JPS58144843U (ja) 1982-03-25 1982-03-25 ウエ−ハ接着シ−ト

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JP (1) JPS58144843U (ja)

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5629345A (en) * 1979-08-18 1981-03-24 Mitsubishi Electric Corp Division of wafer

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5629345A (en) * 1979-08-18 1981-03-24 Mitsubishi Electric Corp Division of wafer

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