JPS6327047U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPS6327047U JPS6327047U JP12120686U JP12120686U JPS6327047U JP S6327047 U JPS6327047 U JP S6327047U JP 12120686 U JP12120686 U JP 12120686U JP 12120686 U JP12120686 U JP 12120686U JP S6327047 U JPS6327047 U JP S6327047U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- sheet
- adhesive strength
- semiconductor
- semiconductor wafer
- window hole
- Prior art date
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- Pending
Links
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 8
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 claims description 6
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 claims description 6
- 239000008188 pellet Substances 0.000 claims description 3
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 claims 2
Description
第１図及び第２図はこの考案に係る粘着シート
の一実施例を示す半導体ウエハ貼着時での斜視図
及びその分割斜視図、第３図は第１図のＡ―Ａ線
沿つた断面図、第４図及び第５図は従来の粘着シ
ートを使つた半導体ウエハから半導体ペレツトを
細分割する作業を説明するための断面図である。 ２……半導体ウエハ、４，４′……半導体ペレ
ツト、５……粘着シート、６……下部シート、７
……窓孔、８……上部シート。
の一実施例を示す半導体ウエハ貼着時での斜視図
及びその分割斜視図、第３図は第１図のＡ―Ａ線
沿つた断面図、第４図及び第５図は従来の粘着シ
ートを使つた半導体ウエハから半導体ペレツトを
細分割する作業を説明するための断面図である。 ２……半導体ウエハ、４，４′……半導体ペレ
ツト、５……粘着シート、６……下部シート、７
……窓孔、８……上部シート。
Claims (1)
- 半導体ウエハのダイシング時に充分な粘着力を
有し、かつ、半導体ウエハより若干小さな窓孔を
有する上部シートを半導体ペレツトの剥離容易な
粘着力を有する下部シート上に貼着して２重構造
としたことを特徴とする粘着シート。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12120686U JPS6327047U (ja) | 1986-08-07 | 1986-08-07 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12120686U JPS6327047U (ja) | 1986-08-07 | 1986-08-07 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6327047U true JPS6327047U (ja) | 1988-02-22 |
Family
ID=31010257
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP12120686U Pending JPS6327047U (ja) | 1986-08-07 | 1986-08-07 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6327047U (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2012174784A (ja) * | 2011-02-18 | 2012-09-10 | Hitachi Chem Co Ltd | ダイシングテープ一体型接着シート及びそれを用いた半導体装置 |
-
1986
- 1986-08-07 JP JP12120686U patent/JPS6327047U/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2012174784A (ja) * | 2011-02-18 | 2012-09-10 | Hitachi Chem Co Ltd | ダイシングテープ一体型接着シート及びそれを用いた半導体装置 |