JPS63159836U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS63159836U JPS63159836U JP5318787U JP5318787U JPS63159836U JP S63159836 U JPS63159836 U JP S63159836U JP 5318787 U JP5318787 U JP 5318787U JP 5318787 U JP5318787 U JP 5318787U JP S63159836 U JPS63159836 U JP S63159836U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- wafer
- frame
- semiconductor wafer
- dicing
- transport mechanism
- Prior art date
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- Pending
Links
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Description
第1図a,bは本考案のウエハーフレーム吸着
搬送機構の説明図であり、aは平面図、bは側面
図を示してある。第2図a,bは従来のウエハー
フレーム吸着搬送機構の説明図であり、aは平面
図、bは側面図を示してある。 1……ウエハー、2……片面粘着テープ、3…
…ウエハーフレーム、4……電磁吸着パツド、5
……搬送機構、6……ゴム吸着パツド。
搬送機構の説明図であり、aは平面図、bは側面
図を示してある。第2図a,bは従来のウエハー
フレーム吸着搬送機構の説明図であり、aは平面
図、bは側面図を示してある。 1……ウエハー、2……片面粘着テープ、3…
…ウエハーフレーム、4……電磁吸着パツド、5
……搬送機構、6……ゴム吸着パツド。
Claims (1)
- 半導体ウエハーフレームにより固定した半導体
ウエハーを各チツプ毎に切断するウエハーダイシ
ング工程において、ダイシングでの切削水および
切削屑の付着したフレームリングを、電磁石から
成る吸着機構により搬送することを特徴とする、
ウエハーフレーム吸着搬送機構。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP5318787U JPS63159836U (ja) | 1987-04-08 | 1987-04-08 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP5318787U JPS63159836U (ja) | 1987-04-08 | 1987-04-08 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS63159836U true JPS63159836U (ja) | 1988-10-19 |
Family
ID=30879016
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP5318787U Pending JPS63159836U (ja) | 1987-04-08 | 1987-04-08 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS63159836U (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2003069660A1 (fr) * | 2002-02-15 | 2003-08-21 | Disco Corporation | Mecanisme de transport d'objets de type plaque et dispositif associe de decoupage en des |
JP2017098471A (ja) * | 2015-11-27 | 2017-06-01 | 株式会社ディスコ | 加工装置 |
-
1987
- 1987-04-08 JP JP5318787U patent/JPS63159836U/ja active Pending
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2003069660A1 (fr) * | 2002-02-15 | 2003-08-21 | Disco Corporation | Mecanisme de transport d'objets de type plaque et dispositif associe de decoupage en des |
JP2017098471A (ja) * | 2015-11-27 | 2017-06-01 | 株式会社ディスコ | 加工装置 |
KR20170062377A (ko) * | 2015-11-27 | 2017-06-07 | 가부시기가이샤 디스코 | 가공 장치 |