JPS6278721A - デイスク基板の移載装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野Ｊ 本発明は、円環状板体からなるディスク基板の表面に記
録層を形成してなる磁気ディスク、光ディスク等を製造
する際に、このディスク基板を−の工程から他の工程に
移載するディスク基板の移載装置に関するものである。

［従来の技術］ 磁気ディスクや光ディスクは、円環状板体からなるディ
スク基板上に磁性体被膜や記録膜等からなる記１２層を
形成するために、種々の工程間に移載させる必要がある
が、無塵環境下においてディスク基板を自動的に移載さ
せるために移載装置が用いられる。

ここで、従来技術おける移載装置は、ディスク基板の外
周縁部を挟持するチャック部材を有するディスクハンド
ラを備え、このディスクハンドラを使用して−の作業装
置からディスク基板を取出して搬送し、他の作業装置に
おけるクランプ治具に装着することによりディスク基板
の移載を行なうように構成されている。そして、クラン
プ治具に対するディスク基板の装着は、該ディスク基板
の内周部をクランプ治具に挿嵌させて、キャー、ブを取
付けることにより行なうようになっている。

このクランプ治具にディスク基板を確実に挿嵌させため
に、ディスクハンドラにおけるチャック部材と、クラン
プ治具との調心を厳格に行なう必要があるが、前述した
従来技術の移載装置にあっては、クランプ治具に中心穴
を設け、この中心穴に基準軸を挿入することにより、予
めこのクランプ治具とディスクハンドラのチャック部材
との間の位置決めを行うようにし、この位置決め後に実
際にワークの移載を行うようにしていた。

［発明が解決しようとする問題点］ ところで、前述した如く、ワークを移載するに際して、
ディスクハンドラの移動距離が長くなると、前述したよ
うな機械的な位置決めによってはディスクハンドラのチ
ャック部材に装着したディスク基板とクランプ治具との
間の調心を完全には行ない得す、従って実際の移載動作
時に僅かに位置ずれが生じることがあり、このような位
置ずれがあると、ディスク基板の内周面とクランプ治具
との間が擦れてその間に摩耗を生じ、ワークを損傷させ
る欠点があるだけでなく、摩耗粉が発生するため、特に
無塵室内での移載には適しない等の不都合があった。

本発明は叙上の点に鑑みてなされたもので、チャック部
材からクランプ治具への移載を無接触にて容易かつ確実
に行なうことができるようにしたディスク基板の移載装
置を提供することをその目的とするものである。

〔問題点を解決するための手段〕

前述の目的を達成するために、本発明は、チャック部材
を有し、該チャック部材に円環状板体からなるディスク
基板を挟持固定した状態で移送するディスクハンドラと
、該ディスクハンドラから供給されるディスク基板の内
周に挿嵌することにより該ディスク基板を保持するクラ
ンプ治具を備えたクランプ装置とからなるディスク基板
の移１装置であって、チャック部材を上下、左右に変位
させて、ディスク基板とクランプ治具との間の調心を行
わせる位置調整手段をクランプ部材に付設すると共に、
このクランプ治具の外径を前記ディスク基板の内周より
小さく形成することによって、該ディスク基板を前記ク
ランプ治具に非接触状態で挿嵌させるように構成したこ
とを特徴とするものである。

［作用］ 前述の様に構成することにより、ディスクハンドラをク
ランプ治具に近接させ、この状態で位置調整手段によっ
てチャック部材に装着したディスク基板とクランプ治具
との間の調心を行なう。そして、この調心完了後、ディ
スク基板をクランプ治具に挿嵌すると、該ディスク基板
はクランプ治具に非接触状態で挿嵌され、このディスク
基板のクランプ治具への装着時に該ディスク基板を損傷
させたり、発塵させるおそれはない。

［実施例］ 以下、本発明の実施例を図面に基づいて詳細に説明する
。

まず、第１図において、ｌはディスク基板２を作業装置
間に自動的に移載させるディスクハンドラで、該ディス
クハンドラ１には左右一対のチャック板３ａ　、　３ｂ
を備えたチャック部材３が設置されている。一方のチャ
ック板３ａは台板４に立設状態に支持した支柱５にチャ
ックばね６を介して取付けられ、他方のチャック板３ｂ
は台板４上に設けたガイドレール７に案内されてチャッ
ク板３ａに対して近接、Ｓ間する方向に移動可能となっ
ている。また、台板４上にはキャップ着脱アーム８が設
けられており、該キャップ着脱アーム８にはその基端部
がピン９を介して駆動部材ｌＯが取付けられて、左右に
傾動し得ると共に、該駆動部材１０はガイドレール１１
に案内されてキャップ着脱アーム８をディスク基板２に
近接、ａ間させる方向に変位させることができるように
なっている。

次に、台板４は基台１２に設置され、ポールねじ１３と
該ポールねじ１３を駆動するモータ１４とからなる横送
り装置１５により左右方向に変位させることができるよ
うに構成されている。また、該基台１２の下面には、そ
れを上下に変位させるポールねじ１６とその駆動用モー
タ１７とからなる縦送り装置１８が設けられている。な
お、図中１９．２０はそれぞれ台板４及び基板１２の動
きを案内するガイド部材である。

一方、前述のディスクハンドラｌからディスク基板２が
移載される作業装置はロータリタープル２１からなり、
該ロータリテーブル２１の外周縁部には取付はブラケッ
ト２２が立設されており、該取付はブラケット２２には
クランプ治具２３が取付もれている。そして、ロータリ
テーブル２１におけるクランプ治具２３の後方には１位
置検出センサ２４が設置されて、該位置検出センサ２４
によりクランプ治具２３とディスク基板２との間の位置
合せを行なうことができるようになっており、この位置
検出センサ２４からの信号により横送り装置１５及び縦
送り装置１８を作動させて、ディスク基板２のクランプ
治具２３に対する位置調整を行なうことが出来るように
なっている。　従って、これら位置検出センサ２４、横
送り装置１５及び縦送り装置１８により位置調整手段が
構成される。さらに、クランプ治具２３にはその先端装
着部２３ａにディスク基板２が嵌合せしめられるように
なっており、この装着部２３ａの外径はディスク基板２
の内周より０．０３〜０．１０ｍｍ程度の僅かに小径と
なるように形成されて、おり、この結果ディスク基板２
はクランプ治具２３に対して非接触状態に取付けられる
ようになっている。

そして、ディスク基板２をクランプ治具２３に装着した
状態に保持するために、該ディスク基板２のクランプ治
具２３への装着後にディスクハンドラ１のキャップ着脱
アーム８から供給されるキャップ２５がクランプ治具２
３に嵌着され、ディスク基板２はこのクランプ治具２３
とキャー２プ２５との間に挟持された状態に保持される
ようになっている。

而して、このキャップ２５をディスク基板２を挟んでク
ランプ治具２３に係合した状態に保持するために、クラ
ンプ治具２３にはその中心線上に取付は孔２６が穿設さ
れており、該取付は孔２６内における先端装着部２３ａ
側には保持筒２７が変位可能に挿嵌されている。該保持
筒２７には操作ロッド２８が連設されて、この操作ロッ
ド２８の他端はクランプ治具２３の基端側に臨んでいる
。そして、取付は孔２Ｂの先端側は拡径部２６ａとなっ
ており、また保持筒２７にはその周壁部に同一円周上に
複数の透孔３０゜３０、・拳−が形成され、該各透孔３
０には鋼球３１が装着されている。この鋼球３１の直径
は保持筒２７の肉厚より大きく形成され、第２図に示し
たように、鋼球３１が拡径部２８ａに位置するときは、
保持筒２７の外周面側に突出し、またこの状態から第３
図に示したように保持筒２７が左方に変位したときには
、鋼球３１は内周面側に突出せしめられる。そして、保
持筒２７はストッパ３２によってばね３３に抗して第２
図の状態に付勢され、このスフトッパ３２が後退したと
きにばばね３３の作用により第３図に示した位置に変位
せしめられる。一方、キャップ２５には係止ロッド３４
が突設されており、該係止ロッド３４の先端部には突部
３４ａが形成され、該突部３４ａは鋼球３１が外周面側
に突出しているときには保持筒２７内に挿入することが
でき、鋼球３１が内周側に変位したときには該鋼球３１
と係合するように構成されている。

前述の移載装置を使用して、ディスク基板２を−の作業
装置から他の作業装置に移載させるには、先ずチャック
部材３によりディスク基板２の外周面を把持し、この状
態で適宜の搬送手段によりディスクハンドラ１をロータ
リテーブル２１に近接する位置にまで搬送する。そこで
、位置検出センサ２４によりディスクハンドラｌに挿嵌
したディスク基板２とクランプ治具２３との間の位置合
せ状態の検出を行ない、この信号に基づき横送り装置１
５及び縦送り装置１８を駆動することによりそれらの間
の完全な調心を行なうことが出来る。

このようにして、ディスクハンドラｌに装着したディス
ク基板２とクランプ治具２３との間の調心が完了すると
、ディスクハンドラ１をさらに移動させて、ディスク基
板２をクランプ治具２３の先端装着部２３ａに嵌合させ
る。ここで、ディスク基板２の内径は該先端装着部２３
ａより大径となっているから、該ディスク基板２は第４
図に示した隙間Ｇをもって先端装着部２３ａに非接触状
態で嵌合されることになる。従って、このディスク基板
２のクランプ治具２３への装着時にその間において擦れ
の発生がなく、ディスク基板２の損傷や摩耗粉による発
塵のおそれわない。

然る後、クランプ治具２３にキャップ２５を嵌合するが
、これは先ずストッパ３２を作動させて、保持筒２７を
第２図に示した状態に保持する。そこで、キャップ着脱
アーム８を立設状態となるように駆動し、そしてキャッ
プ２５をクランプ治具２３に向けて移動させる。これに
より、ディスク基板２はその内周縁部がクランプ治具２
３とキャップ２５との間に挟持されて固定されると共に
、該キャップ２５の係止ロッド３４における突部３４ａ
が鋼球３１の配設部を通過して、保持筒２７内に侵入す
る。そこで、ストッパ３０による操作ロッド２８に対す
る押圧力を解除すると、保持筒２７はばね３３の作用で
第３図の状態に変位して、鋼球３１は保持筒２７の内周
側に移動し、これによりキャップ２５とクランプ治具２
３との間は連結状態に保持される。この後、クランプ板
３ｂを移動させて、ディスクハンドラｌを退却させるこ
とによりディスク基板２の移載が完了する。

一方、ディスクハンド？１にディスク基板２を装着する
には、ディスクハンドラ１のチャック部材３を作動させ
て、クランプ治具２３に装着したディスク基板２の外周
縁部を挟持し、スフトッパ３２を作動させて、保持筒２
７をばね３２に抗して変位させる。これにより、鋼球３
１は外周側に変位し、キャップ着脱アーム８を作動させ
れば、キャップ２５はクランプ治具２３から脱着される
。この後、ディスクハンドラｌをロータリテーブル２１
から離間させるようにすればよい、このときに、該ディ
スク基板２は擦れることはないのはいうまでもない。

［発明の効果］ 以上詳述した如く、本発明はディスク基板をディスクハ
ンドラからクランプ治具に間に移載するに際して、この
ディスク基板をクランプ治具と非接触状態に嵌合するよ
うにしたから、ディスク基板の移載時に該ディスク基板
が損傷したり、摩耗粉が発生したりすることがなく、円
滑かつ確実にディスク基板の移載を行なうことが出来、
特にＳ塵室内での移載作業に至便である。

【図面の簡単な説明】

図面は本発明の実施例を示すもので、第１図は全体構成
説明図、第２図及び第３図はそれぞれ異なる作動状態を
示す作動説明図、第４図は第３図のイ部拡大図である。 １：ディスクハンドラ、２：ディスク基板、４：チャッ
ク部材、８：キャップ着脱アーム、１５：横送り装置、
１８：縦送り装置、２１：ロータリテーブル。 ２３：クランプ治具、２３ａ：先端装着部、２４：位置
検出センサ、２５：キャップ。 築１図 第２図

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. チャック部材を有し、該チャック部材に円環状板体から
   なるディスク基板を挟持固定させた状態で移送するディ
   スクハンドラと、該ディスクハンドラから供給されるデ
   ィスク基板の内周側に挿嵌することにより該ディスク基
   板を保持するクランプ治具を備えたクランプ装置とから
   なるディスク基板の移載装置において、前記チャック部
   材を上下、左右に変位させて、ディスク基板とクランプ
   治具との間の調心を行わせる位置調整手段を該クランプ
   部材に付設すると共に、前記クランプ治具の外径を前記
   ディスク基板の内周より小さく形成することによって、
   該ディスク基板を前記クランプ治具に非接触状態で挿嵌
   させるように構成したことを特徴とするディスク基板の
   移載装置。