JPH05200669A - 平面研磨装置 - Google Patents
平面研磨装置Info
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- JPH05200669A JPH05200669A JP4034240A JP3424092A JPH05200669A JP H05200669 A JPH05200669 A JP H05200669A JP 4034240 A JP4034240 A JP 4034240A JP 3424092 A JP3424092 A JP 3424092A JP H05200669 A JPH05200669 A JP H05200669A
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- JP
- Japan
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- work
- head
- mounting
- positioning
- fitted
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- Pending
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- Constituent Portions Of Griding Lathes, Driving, Sensing And Control (AREA)
- Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)
Abstract
(57)【要約】 （修正有）
【目的】 嵌合誤差の修正を行いながら加工ヘッドの保
持穴にワークを嵌合、装着することができる簡単且つ安
価な装着機構を備えた平面研磨装置を提供する。 【構成】 ワーク１０を加工ヘッドに装着する装着ヘッ
ド３２のワーク担持部材３７を、支持部材３５上に弾性
部材３８を介して支持部材と平行な方向及び傾斜する方
向にそれぞれ弾性的に変移可能に取付ける。担持部材３
７に先端が次第に細くなった複数の位置決めピン４０を
立設する。加工ヘッドに、位置決めピン４０が嵌入する
複数の位置決め穴を設ける。この位置決め穴は各位置決
め穴に位置決めピン４０が嵌入したとき担持部材上のワ
ーク１０が加工ヘッドの保持穴に正しく嵌合する位置に
形成する。
持穴にワークを嵌合、装着することができる簡単且つ安
価な装着機構を備えた平面研磨装置を提供する。 【構成】 ワーク１０を加工ヘッドに装着する装着ヘッ
ド３２のワーク担持部材３７を、支持部材３５上に弾性
部材３８を介して支持部材と平行な方向及び傾斜する方
向にそれぞれ弾性的に変移可能に取付ける。担持部材３
７に先端が次第に細くなった複数の位置決めピン４０を
立設する。加工ヘッドに、位置決めピン４０が嵌入する
複数の位置決め穴を設ける。この位置決め穴は各位置決
め穴に位置決めピン４０が嵌入したとき担持部材上のワ
ーク１０が加工ヘッドの保持穴に正しく嵌合する位置に
形成する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、半導体ウエハ、磁器デ
ィスク基板、ガラス基板、その他のセラミック基板等の
板状ワークを研磨するための平面研磨装置に関するもの
である。
ィスク基板、ガラス基板、その他のセラミック基板等の
板状ワークを研磨するための平面研磨装置に関するもの
である。
【０００２】
【従来の技術】従来、ワークを研磨するための定盤と、
ワークを装着保持する加工ヘッドとを備えていて、該加
工ヘッドの保持穴内に装着した板状ワークを、回転する
定盤に押付けて研磨するようにした平面研磨装置は公知
である。
ワークを装着保持する加工ヘッドとを備えていて、該加
工ヘッドの保持穴内に装着した板状ワークを、回転する
定盤に押付けて研磨するようにした平面研磨装置は公知
である。
【０００３】かかる平面研磨装置においては、一般に、
研磨すべきワークを加工ヘッドの保持穴内に装着する作
業を手作業で行っていたが、ワークを手で汚染したり、
ワークを取り落して破損したり、ワークの落下や破損に
伴ってけがをし易いなど、作業性や安全性において問題
があった。
研磨すべきワークを加工ヘッドの保持穴内に装着する作
業を手作業で行っていたが、ワークを手で汚染したり、
ワークを取り落して破損したり、ワークの落下や破損に
伴ってけがをし易いなど、作業性や安全性において問題
があった。
【０００４】産業用ロボットを使用してワークの装着を
自動的に行うこともできるが、ワークと保持穴との嵌合
を確実にするために高精度で複雑な位置検出機構や位置
決め機構等を必要とし、且つ広い設置スペースも必要と
するなど、技術的、価格的、スペース的な面で問題があ
った。
自動的に行うこともできるが、ワークと保持穴との嵌合
を確実にするために高精度で複雑な位置検出機構や位置
決め機構等を必要とし、且つ広い設置スペースも必要と
するなど、技術的、価格的、スペース的な面で問題があ
った。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】本発明の課題は、嵌合
誤差を自動的に修正しながらワークを加工ヘッドの保持
穴に確実に嵌合、装着することができる簡単且つ安価な
位置決め機構を備えた平面研磨装置を提供することにあ
る。
誤差を自動的に修正しながらワークを加工ヘッドの保持
穴に確実に嵌合、装着することができる簡単且つ安価な
位置決め機構を備えた平面研磨装置を提供することにあ
る。
【０００６】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するた
め、本発明の平面研磨装置は、ワークを研磨するための
回転自在の定盤、保持穴内に装着したワークを前記定盤
に押付ける加工ヘッド、該加工ヘッドの保持穴にワーク
を装着する装着機構を有し、前記装着機構は、ワークを
供給されて担持する担持位置と担持したワークを加工ヘ
ッドに装着する装着位置との間を移動自在の装着ヘッド
を有していて、該装着ヘッドが、昇降自在の支持部材上
に、ワークを担持する担持部材を該支持部材と平行な方
向及び該支持部材に対して傾斜する方向にそれぞれ弾性
的に変移可能に取付けると共に、該担持部材上に先端が
次第に細くなった複数の位置決めピンを立設してなり、
前記加工ヘッドには、前記位置決めピンが嵌入する複数
の位置決め穴を、各位置決め穴に位置決めピンが嵌入し
た状態において担持部材上のワークが保持穴に嵌合する
位置に形成してあることを特徴とするものである。
め、本発明の平面研磨装置は、ワークを研磨するための
回転自在の定盤、保持穴内に装着したワークを前記定盤
に押付ける加工ヘッド、該加工ヘッドの保持穴にワーク
を装着する装着機構を有し、前記装着機構は、ワークを
供給されて担持する担持位置と担持したワークを加工ヘ
ッドに装着する装着位置との間を移動自在の装着ヘッド
を有していて、該装着ヘッドが、昇降自在の支持部材上
に、ワークを担持する担持部材を該支持部材と平行な方
向及び該支持部材に対して傾斜する方向にそれぞれ弾性
的に変移可能に取付けると共に、該担持部材上に先端が
次第に細くなった複数の位置決めピンを立設してなり、
前記加工ヘッドには、前記位置決めピンが嵌入する複数
の位置決め穴を、各位置決め穴に位置決めピンが嵌入し
た状態において担持部材上のワークが保持穴に嵌合する
位置に形成してあることを特徴とするものである。
【０００７】前記位置決めピンの先端を先細り状に形成
する代りに、位置決め穴の口縁に外広がり状の傾斜面を
形成することもできる。
する代りに、位置決め穴の口縁に外広がり状の傾斜面を
形成することもできる。
【０００８】
【作用】加工ヘッドに対するワークの装着は、該ワーク
を担持した装着ヘッドが、中立且つ原点位置に停止して
いる加工ヘッドの真下の装着位置に移動し、支持部材が
上昇してワークを保持穴に嵌合させることにより行われ
る。
を担持した装着ヘッドが、中立且つ原点位置に停止して
いる加工ヘッドの真下の装着位置に移動し、支持部材が
上昇してワークを保持穴に嵌合させることにより行われ
る。
【０００９】このとき、ワークと保持穴との間に水平方
向の僅かな誤差があった場合には、位置決めピンが偏寄
した状態で位置決め穴に嵌入し、位置決めピンと位置決
め穴とが傾斜面において当接するため、該位置決めピン
にはその軸線に対して直交する方向の分力が作用し、こ
の分力により担持部材が横方向に弾性的に変移する。こ
れにより、前記誤差が修正されて位置決めピンは位置決
め穴に嵌入し、ワークも保持穴に嵌合する。
向の僅かな誤差があった場合には、位置決めピンが偏寄
した状態で位置決め穴に嵌入し、位置決めピンと位置決
め穴とが傾斜面において当接するため、該位置決めピン
にはその軸線に対して直交する方向の分力が作用し、こ
の分力により担持部材が横方向に弾性的に変移する。こ
れにより、前記誤差が修正されて位置決めピンは位置決
め穴に嵌入し、ワークも保持穴に嵌合する。
【００１０】また、ワークと保持穴との間に角度方向の
僅かな誤差があった場合には、位置決めピンは位置決め
穴に対して傾斜した状態で嵌入し、穴壁に二点で接触す
るため、該位置決めピンには軸線を位置決め穴の軸線と
一致させる方向のモーメントが発生し、担持部材が角度
方向に弾性的に変移する。この結果、前記誤差が修正さ
れて位置決めピンは位置決め穴に嵌入し、ワークも保持
穴に嵌合する。ワークと保持穴との間に水平方向及び角
度方向の両方の誤差がある場合には、前記修正動作が複
合的に行われる。
僅かな誤差があった場合には、位置決めピンは位置決め
穴に対して傾斜した状態で嵌入し、穴壁に二点で接触す
るため、該位置決めピンには軸線を位置決め穴の軸線と
一致させる方向のモーメントが発生し、担持部材が角度
方向に弾性的に変移する。この結果、前記誤差が修正さ
れて位置決めピンは位置決め穴に嵌入し、ワークも保持
穴に嵌合する。ワークと保持穴との間に水平方向及び角
度方向の両方の誤差がある場合には、前記修正動作が複
合的に行われる。
【００１１】かくして、高精度で複雑且つ高価な位置検
出機構や位置決め機構等を使用することなく、簡単且つ
安価な位置決め機構によってワークを確実に加工ヘッド
に装着することができる。
出機構や位置決め機構等を使用することなく、簡単且つ
安価な位置決め機構によってワークを確実に加工ヘッド
に装着することができる。
【００１２】
【実施例】以下、本発明の実施例を図面に基づいて詳細
に説明するに、図１及び図２に示す平面研磨装置におい
て、１は機体、２は該機体１の中央部に回転自在に配設
された研磨加工用の定盤、３は下面に装着した板状ワー
クを前記定盤２に押付ける加工ヘッド、４は該加工ヘッ
ド３にワーク１０を装着する装着機構、５はストッカー
８上のワーク１０を前記装着機構４に供給する供給機
構、６は研磨が終了したワーク１０を加工ヘッド３から
取り出す取出機構、７は該取出機構６が取り出したワー
ク１０を洗浄ワゴン９上に移送する搬出機構を示してい
る。なお、前記ストッカー８及び洗浄ワゴン９は、キャ
スターにより移動自在となっている。
に説明するに、図１及び図２に示す平面研磨装置におい
て、１は機体、２は該機体１の中央部に回転自在に配設
された研磨加工用の定盤、３は下面に装着した板状ワー
クを前記定盤２に押付ける加工ヘッド、４は該加工ヘッ
ド３にワーク１０を装着する装着機構、５はストッカー
８上のワーク１０を前記装着機構４に供給する供給機
構、６は研磨が終了したワーク１０を加工ヘッド３から
取り出す取出機構、７は該取出機構６が取り出したワー
ク１０を洗浄ワゴン９上に移送する搬出機構を示してい
る。なお、前記ストッカー８及び洗浄ワゴン９は、キャ
スターにより移動自在となっている。
【００１３】前記加工ヘッド３は、機体１上に立設する
支柱１３に取付けられて水平面内で揺動自在となった支
持アーム１４に、エアシリンダ等のアクチュエータ１５
によって昇降自在且つ回転自在なるように取付けられた
もので、図３に示すように、下面にワークの保持穴１８
を備え、該保持穴１８内に嵌合した板状ワーク１０をバ
キュームチャックや接着等の保持手段で保持し、それを
回転する定盤２に押付けた状態で図２に鎖線で示す範囲
内を左右に揺動することにより、該ワーク１０を研磨加
工するものである。なお、該加工ヘッド３は、ワークの
非加工時には上昇した位置に停止している。
支柱１３に取付けられて水平面内で揺動自在となった支
持アーム１４に、エアシリンダ等のアクチュエータ１５
によって昇降自在且つ回転自在なるように取付けられた
もので、図３に示すように、下面にワークの保持穴１８
を備え、該保持穴１８内に嵌合した板状ワーク１０をバ
キュームチャックや接着等の保持手段で保持し、それを
回転する定盤２に押付けた状態で図２に鎖線で示す範囲
内を左右に揺動することにより、該ワーク１０を研磨加
工するものである。なお、該加工ヘッド３は、ワークの
非加工時には上昇した位置に停止している。
【００１４】非加工時に前記加工ヘッド３を揺動の中立
位置（図２の実線位置）に停止させておくため、揺動停
止手段が設けられている。該揺動停止手段２０は、図４
に示すように、前記支持アーム１４を支持する支柱１３
側に設けられた遮光部材２１と、機体１側に設けられた
光センサ２２とを備えていて、加工終了時に支持アーム
１４が中立位置に回動して光センサ２２が遮光部材２１
を検出した時に停止信号を出力し、その位置に加工ヘッ
ド３を停止させるように構成されているが、その他の構
成のものであっても良い。
位置（図２の実線位置）に停止させておくため、揺動停
止手段が設けられている。該揺動停止手段２０は、図４
に示すように、前記支持アーム１４を支持する支柱１３
側に設けられた遮光部材２１と、機体１側に設けられた
光センサ２２とを備えていて、加工終了時に支持アーム
１４が中立位置に回動して光センサ２２が遮光部材２１
を検出した時に停止信号を出力し、その位置に加工ヘッ
ド３を停止させるように構成されているが、その他の構
成のものであっても良い。
【００１５】また、非加工時に前記加工ヘッド３を回転
に対する原点位置に停止させておくため、回転停止手段
が設けられている。該回転停止手段２４は、図５に示す
ように、加工ヘッド３側に取付けられたドグ２５と、支
持アーム１４側に取付けられた近接センサ２６、加工ヘ
ッド３を回転させるモータ２７及び駆動ローラ２８とか
らなっており、加工終了時に加工ヘッド３が上昇する
と、待機位置に後退していた駆動ローラ２８が前進して
該加工ヘッド３の側面に当接し、摩擦でそれを回転さ
せ、原点位置において近接センサ２６がドグ２５を検出
した時に停止信号を出力し、その位置に加工ヘッド３を
停止させるように構成されているが、その他の構成のも
のであっても良い。
に対する原点位置に停止させておくため、回転停止手段
が設けられている。該回転停止手段２４は、図５に示す
ように、加工ヘッド３側に取付けられたドグ２５と、支
持アーム１４側に取付けられた近接センサ２６、加工ヘ
ッド３を回転させるモータ２７及び駆動ローラ２８とか
らなっており、加工終了時に加工ヘッド３が上昇する
と、待機位置に後退していた駆動ローラ２８が前進して
該加工ヘッド３の側面に当接し、摩擦でそれを回転さ
せ、原点位置において近接センサ２６がドグ２５を検出
した時に停止信号を出力し、その位置に加工ヘッド３を
停止させるように構成されているが、その他の構成のも
のであっても良い。
【００１６】前記加工ヘッド３の保持穴１８にワーク１
０を装着する装着機構４は、直線ガイド３０に沿ってボ
ール螺子やＬＭガイド等の駆動手段により移動自在の支
持アーム３１の先端に、ワーク１０を担持する装着ヘッ
ド３２を備え、該装着ヘッド３２が、供給機構５からワ
ーク１０を受け取って担持する担持位置（図２に示す位
置）と、担持したワーク１０を加工ヘッド３に装着する
装着位置（加工ヘッドの真下にある位置）との間を移動
するように構成されており、その装着位置での停止は、
直線ガイド３０に設けたストッパにより行われる。
０を装着する装着機構４は、直線ガイド３０に沿ってボ
ール螺子やＬＭガイド等の駆動手段により移動自在の支
持アーム３１の先端に、ワーク１０を担持する装着ヘッ
ド３２を備え、該装着ヘッド３２が、供給機構５からワ
ーク１０を受け取って担持する担持位置（図２に示す位
置）と、担持したワーク１０を加工ヘッド３に装着する
装着位置（加工ヘッドの真下にある位置）との間を移動
するように構成されており、その装着位置での停止は、
直線ガイド３０に設けたストッパにより行われる。
【００１７】前記装着ヘッド３２は、図６及び図７から
分るように、前記支持アーム３１と一体の基板３４上に
板状の支持部材３５をエアシリンダ３６により昇降自在
に取付け、該支持部材３５上に、ワーク１０を担持する
板状の担持部材３７を、円周上の複数か所（例えば３か
所）に配置したゴム柱等の弾性部材３８を介して支持部
材３５と平行な方向及び該支持部材３５に対して傾斜す
る方向にそれぞれ弾性的に変移可能に取付けたもので、
該担持部材３７上には、ゴム又はプラスチック等からな
る柱状の支持ブロック３９が円周上の複数か所（例えば
６か所）に取付けられ、これらの支持ブロック３９上に
ワーク１０を載置した状態で担持するようになってい
る。
分るように、前記支持アーム３１と一体の基板３４上に
板状の支持部材３５をエアシリンダ３６により昇降自在
に取付け、該支持部材３５上に、ワーク１０を担持する
板状の担持部材３７を、円周上の複数か所（例えば３か
所）に配置したゴム柱等の弾性部材３８を介して支持部
材３５と平行な方向及び該支持部材３５に対して傾斜す
る方向にそれぞれ弾性的に変移可能に取付けたもので、
該担持部材３７上には、ゴム又はプラスチック等からな
る柱状の支持ブロック３９が円周上の複数か所（例えば
６か所）に取付けられ、これらの支持ブロック３９上に
ワーク１０を載置した状態で担持するようになってい
る。
【００１８】前記ワーク１０を一定の位置、即ち、中立
且つ原点位置に停止している加工ヘッド３の保持穴１８
と対応する位置に常に担持できるようにするため、前記
担持部材３７上には、担持用位置決め手段が設けられて
いる。この担持用位置決め手段は、複数の担持用位置決
めピン４０，４１からなるもので、これらの位置決めピ
ンは、担持部材３７上の定位置に固定的に立設する固定
位置決めピン４０と、エアシリンダ４５により移動自在
のスライドブロック４６上に立設する可動位置決めピン
４１とからなっていて、該可動位置決めピン４１は、ワ
ーク１０の供給方向手前側の角隅部に配設され、ワーク
１０が担持部材３７上に供給される時はスライドブロッ
ク４６の移動によって図７に鎖線で示す待機位置に後退
し、ワーク１０が供給されると実線の保持位置に前進し
て、該ワーク１０を固定位置決めピン４０に押付けるこ
とにより一定の位置に保持するものである。これらの担
持用位置決めピン４０，４１は、ワーク１０の側面に係
止するが、ワークの上面には突出しないような高さに形
成されている。
且つ原点位置に停止している加工ヘッド３の保持穴１８
と対応する位置に常に担持できるようにするため、前記
担持部材３７上には、担持用位置決め手段が設けられて
いる。この担持用位置決め手段は、複数の担持用位置決
めピン４０，４１からなるもので、これらの位置決めピ
ンは、担持部材３７上の定位置に固定的に立設する固定
位置決めピン４０と、エアシリンダ４５により移動自在
のスライドブロック４６上に立設する可動位置決めピン
４１とからなっていて、該可動位置決めピン４１は、ワ
ーク１０の供給方向手前側の角隅部に配設され、ワーク
１０が担持部材３７上に供給される時はスライドブロッ
ク４６の移動によって図７に鎖線で示す待機位置に後退
し、ワーク１０が供給されると実線の保持位置に前進し
て、該ワーク１０を固定位置決めピン４０に押付けるこ
とにより一定の位置に保持するものである。これらの担
持用位置決めピン４０，４１は、ワーク１０の側面に係
止するが、ワークの上面には突出しないような高さに形
成されている。
【００１９】なお、前記担持用位置決め手段は、位置決
めピン４０，４１で構成されたものに限定される訳では
なく、ワーク１０を一定の位置に保持することができる
ものであればどのような構成のものであっても良い。
めピン４０，４１で構成されたものに限定される訳では
なく、ワーク１０を一定の位置に保持することができる
ものであればどのような構成のものであっても良い。
【００２０】また、前記担持部材３７上には、担持した
ワーク１０を加工ヘッド３の保持穴１８に嵌合装着する
際に、該加工ヘッド３に設けた位置決め穴４８との協同
作用によって担持部材３７の位置決めを行う装着用位置
決めピン４２が複数本設けられている。これらの位置決
めピン４２は、ワーク１０の回りに所望の間隔を置いて
該ワークから若干離間するように配設されたもので、上
部が該ワーク１０の上面に突出するような高さに形成さ
れ、その上端には次第に先細り状をなす傾斜面４２ａが
形成されている。
ワーク１０を加工ヘッド３の保持穴１８に嵌合装着する
際に、該加工ヘッド３に設けた位置決め穴４８との協同
作用によって担持部材３７の位置決めを行う装着用位置
決めピン４２が複数本設けられている。これらの位置決
めピン４２は、ワーク１０の回りに所望の間隔を置いて
該ワークから若干離間するように配設されたもので、上
部が該ワーク１０の上面に突出するような高さに形成さ
れ、その上端には次第に先細り状をなす傾斜面４２ａが
形成されている。
【００２１】これに対して前記加工ヘッド３には、各位
置決めピン４２と対応する位置に前記位置決め穴４８が
穿設され、各位置決め穴４８に位置決めピン４２が嵌入
した状態において担持部材３７上のワーク１０が保持穴
１８に丁度嵌合するようになっている。
置決めピン４２と対応する位置に前記位置決め穴４８が
穿設され、各位置決め穴４８に位置決めピン４２が嵌入
した状態において担持部材３７上のワーク１０が保持穴
１８に丁度嵌合するようになっている。
【００２２】前記位置決めピン４２及び位置決め穴４８
は、担持部材３７を支持する前記弾性部材３８と共に、
ワーク１０を保持穴１８に嵌合装着する際の水平方向と
角度方向の嵌合誤差を修正するリモートセンターコンプ
ライアンス機構を構成するものであって、次の通りに作
用する。即ち、加工ヘッド３に対するワーク１０の装着
は、該ワーク１０を担持した装着ヘッド３２が、中立且
つ原点位置に停止している加工ヘッド３の真下の装着位
置に移動し、支持部材３５がエアシリンダ３６により上
昇してワーク１０を保持穴１８に嵌合させることにより
行われるが、このとき、ワーク１０と保持穴１８との間
に水平方向の僅かな誤差Ｇがあった場合には、図８に示
すように、位置決めピン４２は軸線がずれた状態で位置
決め穴４８に嵌入し、先端の傾斜面４２ａが該位置決め
穴４８の口縁に当接する。このため、該位置決めピン４
２にはその軸線に対して直交する方向の分力Ｆが作用
し、この分力Ｆが担持部材３７にそのまま作用するか
ら、該担持部材３７は弾性部材３８の弾性変形により横
方向に変移し、前記誤差Ｇが零になるように位置修正さ
れる。その結果、位置決めピン４２は位置決め穴４８に
嵌入し、ワーク１０も保持穴１８に嵌合して装着が行わ
れる。また、ワーク１０と保持穴１８との間に角度方向
の僅かな誤差θがあった場合には、図９に示すように、
位置決めピン４２は位置決め穴４８に対して軸線が傾い
た状態で嵌入し、穴壁に二点Ｐ，Ｑで接触することにな
る。このため、位置決めピン４２にはθを零とする方向
のモーメントＭが発生し、この力が担持部材３７にその
まま作用するから、該担持部材３７は弾性部材３８の弾
性変形により角度方向に変移し、その結果、前記誤差θ
が修正されて位置決めピン４２は位置決め穴４８に嵌入
し、ワーク１０も保持穴１８に嵌合して装着される。ワ
ーク１０と保持穴１８との間に水平方向及び角度方向の
両方の誤差があった場合には、前記修正動作が複合的に
行われることはいうまでもない。
は、担持部材３７を支持する前記弾性部材３８と共に、
ワーク１０を保持穴１８に嵌合装着する際の水平方向と
角度方向の嵌合誤差を修正するリモートセンターコンプ
ライアンス機構を構成するものであって、次の通りに作
用する。即ち、加工ヘッド３に対するワーク１０の装着
は、該ワーク１０を担持した装着ヘッド３２が、中立且
つ原点位置に停止している加工ヘッド３の真下の装着位
置に移動し、支持部材３５がエアシリンダ３６により上
昇してワーク１０を保持穴１８に嵌合させることにより
行われるが、このとき、ワーク１０と保持穴１８との間
に水平方向の僅かな誤差Ｇがあった場合には、図８に示
すように、位置決めピン４２は軸線がずれた状態で位置
決め穴４８に嵌入し、先端の傾斜面４２ａが該位置決め
穴４８の口縁に当接する。このため、該位置決めピン４
２にはその軸線に対して直交する方向の分力Ｆが作用
し、この分力Ｆが担持部材３７にそのまま作用するか
ら、該担持部材３７は弾性部材３８の弾性変形により横
方向に変移し、前記誤差Ｇが零になるように位置修正さ
れる。その結果、位置決めピン４２は位置決め穴４８に
嵌入し、ワーク１０も保持穴１８に嵌合して装着が行わ
れる。また、ワーク１０と保持穴１８との間に角度方向
の僅かな誤差θがあった場合には、図９に示すように、
位置決めピン４２は位置決め穴４８に対して軸線が傾い
た状態で嵌入し、穴壁に二点Ｐ，Ｑで接触することにな
る。このため、位置決めピン４２にはθを零とする方向
のモーメントＭが発生し、この力が担持部材３７にその
まま作用するから、該担持部材３７は弾性部材３８の弾
性変形により角度方向に変移し、その結果、前記誤差θ
が修正されて位置決めピン４２は位置決め穴４８に嵌入
し、ワーク１０も保持穴１８に嵌合して装着される。ワ
ーク１０と保持穴１８との間に水平方向及び角度方向の
両方の誤差があった場合には、前記修正動作が複合的に
行われることはいうまでもない。
【００２３】而して前記担持部材３７の位置決めに当っ
ては、加工ヘッド３の中立位置及び原点位置への停止精
度と、装着ヘッド３２の装着位置への停止精度とが問題
になるが、前記揺動停止手段２０と回転停止手段２４と
による総合的な誤差は約１ｍｍ程度、ストッパーによる
装着ヘッド３２の装着位置への停止誤差は約１００分の
１ｍｍ程度であるため、これらの誤差に対応し得るよう
に位置決めピン４２及び位置決め穴４８の大きさや等を
設定しておけば、確実に誤差の修正を行うことができ
る。
ては、加工ヘッド３の中立位置及び原点位置への停止精
度と、装着ヘッド３２の装着位置への停止精度とが問題
になるが、前記揺動停止手段２０と回転停止手段２４と
による総合的な誤差は約１ｍｍ程度、ストッパーによる
装着ヘッド３２の装着位置への停止誤差は約１００分の
１ｍｍ程度であるため、これらの誤差に対応し得るよう
に位置決めピン４２及び位置決め穴４８の大きさや等を
設定しておけば、確実に誤差の修正を行うことができ
る。
【００２４】なお、前記実施例では、装着用位置決めピ
ン４２を担持用位置決めピン４０，４１とは別に設けて
いるが、担持用位置決めピンの一部を装着用位置決めピ
ンとして兼用することもできる。また、前記の如く位置
決めピン４２の先端に先細り状の傾斜面４２ａを形成す
る代りに、図１０に示すように、位置決め穴４８の口縁
に外広がり状の傾斜面４８ａを形成しても良い。
ン４２を担持用位置決めピン４０，４１とは別に設けて
いるが、担持用位置決めピンの一部を装着用位置決めピ
ンとして兼用することもできる。また、前記の如く位置
決めピン４２の先端に先細り状の傾斜面４２ａを形成す
る代りに、図１０に示すように、位置決め穴４８の口縁
に外広がり状の傾斜面４８ａを形成しても良い。
【００２５】次に、前記装着機構４に未加工ワーク１０
を供給する供給機構５は、直線ガイド５０に沿って移動
自在の供給ヘッド５１を備え、該供給ヘッド５１によ
り、ストッカー８上に重積されたワーク１０を吸着等の
保持手段によって順番に持ち上げ、前記装着ヘッド３２
に供給するものである。
を供給する供給機構５は、直線ガイド５０に沿って移動
自在の供給ヘッド５１を備え、該供給ヘッド５１によ
り、ストッカー８上に重積されたワーク１０を吸着等の
保持手段によって順番に持ち上げ、前記装着ヘッド３２
に供給するものである。
【００２６】一方、前記取出機構６は、前記装着機構４
とは定盤２を挟んで反対側の位置に配設され、該装着機
構４と同様に構成されたもので、直線ガイド５３に沿っ
て移動自在の取出ヘッド５４を備え、リモートセンター
コンプライアンス機構を備えた該取出ヘッド５４によっ
て加工ヘッド３から加工の終了したワーク１０を取り出
すものである。
とは定盤２を挟んで反対側の位置に配設され、該装着機
構４と同様に構成されたもので、直線ガイド５３に沿っ
て移動自在の取出ヘッド５４を備え、リモートセンター
コンプライアンス機構を備えた該取出ヘッド５４によっ
て加工ヘッド３から加工の終了したワーク１０を取り出
すものである。
【００２７】また、前記搬出機構７は、前記供給機構５
と同様に、直線ガイド５７に沿って移動自在の搬出ヘッ
ド５８を備えていて、該搬出ヘッド５８により、取出ヘ
ッド５４上のワーク１０を洗浄ワゴン９上に移送するも
のである。
と同様に、直線ガイド５７に沿って移動自在の搬出ヘッ
ド５８を備えていて、該搬出ヘッド５８により、取出ヘ
ッド５４上のワーク１０を洗浄ワゴン９上に移送するも
のである。
【００２８】上記構成を有する平面研磨装置において、
ストッカー８上に重積された未加工ワーク１０は、供給
ヘッド５１により保持されて担持位置にある装着ヘッド
３２に供給、担持される。ワーク１０を担持した装着ヘ
ッド３２が、上昇した状態で中立且つ原点位置に停止し
ている加工ヘッド３の真下の装着位置に移動すると、支
持部材３５がエアシリンダ３６の作動により上昇し、担
持したワーク１０を保持穴１８に嵌合して加工ヘッド３
に保持させる。このとき、ワーク１０と保持穴１８との
間に水平方向及び角度方向の嵌合誤差がある場合には、
位置決めピン４２と位置決め穴４８及び弾性部材３８で
構成されるリモートセンターコンプライアンス機構によ
りその誤差が修正される。
ストッカー８上に重積された未加工ワーク１０は、供給
ヘッド５１により保持されて担持位置にある装着ヘッド
３２に供給、担持される。ワーク１０を担持した装着ヘ
ッド３２が、上昇した状態で中立且つ原点位置に停止し
ている加工ヘッド３の真下の装着位置に移動すると、支
持部材３５がエアシリンダ３６の作動により上昇し、担
持したワーク１０を保持穴１８に嵌合して加工ヘッド３
に保持させる。このとき、ワーク１０と保持穴１８との
間に水平方向及び角度方向の嵌合誤差がある場合には、
位置決めピン４２と位置決め穴４８及び弾性部材３８で
構成されるリモートセンターコンプライアンス機構によ
りその誤差が修正される。
【００２９】作業の終った供給ヘッド５１及び装着ヘッ
ド３２は初期位置に復帰し、一方、ワーク１０を保持し
た前記加工ヘッド３は下降し、該ワーク１０を回転する
定盤２に押付けることにより研磨加工が行われる。
ド３２は初期位置に復帰し、一方、ワーク１０を保持し
た前記加工ヘッド３は下降し、該ワーク１０を回転する
定盤２に押付けることにより研磨加工が行われる。
【００３０】研磨加工が終了すると、加工ヘッド３は中
立及び原点位置に停止すると共に、ワーク１０を保持し
たまま上昇する。続いて、該加工ヘッド３の真下に取出
ヘッド５４が移動し、加工ヘッド３からワーク１０を受
取って元の位置に戻って来ると、搬出ヘッド５８が前進
してそのワーク１０を受取り、洗浄ワゴン９上に移送す
る。このような動作を繰り返すことによりワーク１０の
研磨加工が行われる。
立及び原点位置に停止すると共に、ワーク１０を保持し
たまま上昇する。続いて、該加工ヘッド３の真下に取出
ヘッド５４が移動し、加工ヘッド３からワーク１０を受
取って元の位置に戻って来ると、搬出ヘッド５８が前進
してそのワーク１０を受取り、洗浄ワゴン９上に移送す
る。このような動作を繰り返すことによりワーク１０の
研磨加工が行われる。
【００３１】なお、本発明において加工対象とするワー
ク１０は、図示した実施例のように四角形に限るもので
はなく、その他の非円形又は円形をなすものであっても
良いことは勿論である。
ク１０は、図示した実施例のように四角形に限るもので
はなく、その他の非円形又は円形をなすものであっても
良いことは勿論である。
【００３２】
【発明の効果】このように本発明によれば、高精度で複
雑且つ高価な位置検出機構や位置決め機構等を使用する
ことなく、簡単且つ安価な位置決め機構により、嵌合誤
差を自動的に修正しながらワークを確実に加工ヘッドの
保持穴に嵌合、装着することができる。
雑且つ高価な位置検出機構や位置決め機構等を使用する
ことなく、簡単且つ安価な位置決め機構により、嵌合誤
差を自動的に修正しながらワークを確実に加工ヘッドの
保持穴に嵌合、装着することができる。
【図１】本発明に係る平面研磨装置の一実施例を示す正
面図である。
面図である。
【図２】図１の平面研磨装置の平面図である。
【図３】加工ヘッドの下面図である。
【図４】加工ヘッドの揺動停止手段について示す要部平
面図である。
面図である。
【図５】加工ヘッドの回転停止手段について示す要部側
面図である。
面図である。
【図６】装着ヘッドの側面図である。
【図７】装着ヘッドの平面図である。
【図８】水平方向誤差の修正原理を示す要部断面図であ
る。
る。
【図９】角度方向誤差の修正原理を示す要部断面図であ
る。
る。
【図１０】位置決めピンと位置決め穴の変形例を示す要
部断面図である。
部断面図である。
２ 定盤 ３ 加工ヘッド ４ 装着機構 １０ ワーク １８ 保持穴 ３２ 装着ヘッド ３５ 支持手段 ３７ 担持部材 ４２ 位置決めピン ４２ａ 傾斜面 ４８ 位置決め穴 ４８ａ 傾斜面
Claims (2)
- 【請求項１】 ワークを研磨するための回転自在の定
盤、保持穴内に装着したワークを前記定盤に押付ける加
工ヘッド、該加工ヘッドの保持穴にワークを装着する装
着機構を有し、 前記装着機構は、ワークを供給されて担持する担持位置
と担持したワークを加工ヘッドに装着する装着位置との
間を移動自在の装着ヘッドを有していて、該装着ヘッド
が、昇降自在の支持部材上に、ワークを担持する担持部
材を該支持部材と平行な方向及び該支持部材に対して傾
斜する方向にそれぞれ弾性的に変移可能に取付けると共
に、該担持部材上に先端が次第に細くなった複数の位置
決めピンを立設してなり、 前記加工ヘッドには、前記位置決めピンが嵌入する複数
の位置決め穴を、各位置決め穴に位置決めピンが嵌入し
た状態において担持部材上のワークが保持穴に嵌合する
位置に形成してある、ことを特徴とする平面研磨装置。 - 【請求項２】 請求項１に記載の平面研磨装置におい
て、位置決めピンの先端を先細り状に形成する代りに、
位置決め穴の口縁に外広がり状の傾斜面を形成してある
ことを特徴とする平面研磨装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4034240A JPH05200669A (ja) | 1992-01-24 | 1992-01-24 | 平面研磨装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4034240A JPH05200669A (ja) | 1992-01-24 | 1992-01-24 | 平面研磨装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05200669A true JPH05200669A (ja) | 1993-08-10 |
Family
ID=12408639
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4034240A Pending JPH05200669A (ja) | 1992-01-24 | 1992-01-24 | 平面研磨装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH05200669A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008137108A (ja) * | 2006-12-01 | 2008-06-19 | Nitta Haas Inc | 被加工物保持枠材および被加工物保持具 |
| US8795032B2 (en) | 2008-06-04 | 2014-08-05 | Ebara Corporation | Substrate processing apparatus, substrate processing method, substrate holding mechanism, and substrate holding method |
| KR20170016826A (ko) | 2014-06-11 | 2017-02-14 | 소켄 케미칼 앤드 엔지니어링 캄파니, 리미티드 | 임프린트용 전사 롤체 |
-
1992
- 1992-01-24 JP JP4034240A patent/JPH05200669A/ja active Pending
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008137108A (ja) * | 2006-12-01 | 2008-06-19 | Nitta Haas Inc | 被加工物保持枠材および被加工物保持具 |
| US8795032B2 (en) | 2008-06-04 | 2014-08-05 | Ebara Corporation | Substrate processing apparatus, substrate processing method, substrate holding mechanism, and substrate holding method |
| US9358662B2 (en) | 2008-06-04 | 2016-06-07 | Ebara Corporation | Substrate processing apparatus, substrate processing method, substrate holding mechanism, and substrate holding method |
| US9687957B2 (en) | 2008-06-04 | 2017-06-27 | Ebara Corporation | Substrate processing apparatus, substrate processing method, substrate holding mechanism, and substrate holding method |
| US10486285B2 (en) | 2008-06-04 | 2019-11-26 | Ebara Corporation | Substrate processing apparatus, substrate processing method, substrate holding mechanism, and substrate holding method |
| US11426834B2 (en) | 2008-06-04 | 2022-08-30 | Ebara Corporation | Substrate processing apparatus, substrate processing method, substrate holding mechanism, and substrate holding method |
| KR20170016826A (ko) | 2014-06-11 | 2017-02-14 | 소켄 케미칼 앤드 엔지니어링 캄파니, 리미티드 | 임프린트용 전사 롤체 |
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| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A02 | Decision of refusal |
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