JPS6277456A

JPS6277456A - レ−ザ蒸着装置

Info

Publication number: JPS6277456A
Application number: JP21846485A
Authority: JP
Inventors: Shigenobu Okada; 繁信岡田
Original assignee: Shimadzu Corp
Current assignee: Shimadzu Corp
Priority date: 1985-09-30
Filing date: 1985-09-30
Publication date: 1987-04-09

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】（産業上の利用分野）本発明は、真空槽内で基板に対向させて蒸発源を設け、
その蒸発源に真空槽の外部から窓を通してレーザ光を導
入し、その蒸発源を蒸発させて基板上に蒸着膜を形成す
るレーザ蒸着装置に関するものである。

（従来の技術）レーザ蒸着装置では、第２図に示されるように、レーザ
光２を大気側から窓４を通して、真空槽である真空ベル
ジャ６内にある蒸発源８に入射させ、蒸発源８を加熱し
蒸発させてその蒸発粒子１０を基板１２に入射させ、基
板１２に付着させる。

（発明が解決しようとする問題点）このような従来のレーザ蒸着装置には次のような問題点
がある。

（１）窓４が蒸発粒子１０の付着により汚れ、レーザ光
２が蒸発源８に入射しなくなる。

（２）蒸発源８から蒸発した蒸発粒子１０は直進し、回
り込んで基板１２に付着する蒸発粒子は殆んどない。つ
まり基板１２の側面には蒸発粒子１０を付着させること
はできない。

本発明は蒸発粒子１０による窓４の汚れを防止するとと
もに、基板１２の側面方向にも蒸発粒子１０を付着させ
ることのできるレーザ蒸着装置を提供することを目的と
するものである。

（問題点を解決するための手段）実施例を示す第１図を参照して説明すると、本発明のレ
ーザ蒸着装置では、真空４！　（６）内でレーザ光導入
用の窓（４）を被う如く差動排気用ボックス（１４）を
設け、この差動排気用ボックス（１４）にはレーザ光（
２）が通過する微小孔（１６）を設け、また、この差動
排気用ボックス（１４）には不活性ガスを導入するとと
もに、排気手段（１８）により排気を行ない、真空槽（
６）との間に差動排気を行なってこの差動排気用ボック
ス（１４）内の圧力を真空４！　（６）よりも高圧にす
る。

（作用）真空槽（６）を真空系を用いて真空にひく。同時に差動
排気用ボッゲス（１４）も排気手段（１８）を用いて真
空にひく。次に、差動排気用ボックス（１４）に不活性
ガスを導入し、レーザ光（２）を窓（４）及び差動排気
用ボックス（１４）の微小孔（１６）を通して真空槽（
６）に入射させ、蒸発源（８）を加熱する。

加熱された蒸発源（８）から蒸発した蒸発粒子（１０）
は基板（１２）に入射し、膜付けする。

この時、蒸発粒子（１ｏ）は当然に窓（２）の方向にも
飛来するが、微小孔（１６）からの不活性ガスにより吹
き飛ばされ、窓（４）には付着しない。

また、差動排気用ボックス（１４）の微小孔（１６）か
ら不活性ガスが真空槽（６）内に導入され、この不活性
ガスと蒸発粒子（１０）との散乱により基板（１２）の
側面にも蒸発粒子（１ｏ）が付着する。

（実施例）第１図は本発明の一実施例を表わす。ただし、第２図と
同一の部分には同一の記号を付して説明を省略する。

１４は差動排気用ボックスであり、レーザ光２の入射用
窓４を被うように設けられている。

レーザとしては例えばＣｏｐガスレーザを使用すること
ができる。

差動排気用ボックス１４にはレーザ光２が窓４から入射
して蒸発源８に至るように、微小孔１６が設けられてい
る。この微小孔１６は真空ベルジャ６と差動排気用ボッ
クス１４の間の差動排気の役目も果しているので、微小
孔１６の直径はレーザ光の通過を妨げない範囲でできる
だけ小さい方が望ましく、例えば０．５ｍｍ程度である
。

差動排気用ボックス１４には不活性ガスとしてのアルゴ
ン（Ａｒ）ガスがガス導入バルブ２４を経て調圧されて
導入されるようになっている。また、差動排気用ボック
ス１４は油回転ポンプ１８により真空排気される。

真空ベルジャ６の排気系として、メインバルブ２６を経
て主ポンプ２０が接続されている。主ポンプ２０として
はターボ分子ポンプや油拡散ポンプを用いることができ
る。主ポンプ２０にはフォアバルブ２８を経て補助ポン
プとしての油回転ポンプ２２が接続されている。油回転
ポンプ２２と真空ベルジャ６の間にはまた、バイパスバ
ルブ３０が設けられている。

真空ベルジャ６内を主ポンプ２０と補助ポンプ２２で真
空排気し、差動排気用ボックス１４内を′自回転ポンプ
１８で真空排気してアルゴンガスを導入する。　蒸着を
行なわせる状態では、差動排気により真空ベルジャ６内
は１０−５〜１Ｏ−６Ｔｏｒｒ、差動排気用ボックス１
４内は１０″１〜１０−”　Ｔｏｒｒ程度になるように
する。

（発明の効果）レーザ蒸着の場合、レーザ光導入用の窓の汚れにより蒸
発物の加熱状態が大幅に変化する。本発明のレーザ蒸着
装置では真空槽内でレーザ光導入用の窓を被う如く差動
排気用ボックスを設けたので、このレーザ光導入用の窓
の汚れを除去することができ、連続した成膜が可能とな
る。

また、差動排気用ボックス内の圧力を真空槽よりも高圧
にして不活性ガスが真空槽に拡散するようにしたので、
この不活性ガスと蒸発粒子との散乱により基板の側面へ
の蒸着が可能になる。

【図面の簡単な説明】

第１図は一実施例を示す概略断面図、第２図は２・・・
・・・レーザ光、４・・・・・・窓、６・・・・・・真空ベルジャ、８・・・・・・蒸発源、１４・・・・・・差動排気用ボックス、１６・・・・・
・微小孔、１８・・・・・・油回転ポンプ。

Claims

【特許請求の範囲】

（１）真空槽内で基板に対向させて蒸発源を設け、その
蒸発源に真空槽外部から窓を通してレーザ光を導入し、
その蒸発源を蒸発させて前記基板上に蒸着膜を形成する
レーザ蒸着装置において、真空槽内で前記窓を被う如く
差動排気用ボックスを設け、この差動排気用ボックスにはレーザ光が通過する微小孔
を設け、また、この差動排気用ボックスには不活性ガス
を導入するとともに、排気手段により排気を行ない真空
槽との間に差動排気を行なってこの差動排気用ボックス
内の圧力を真空槽よりも高圧にしたことを特徴とするレ
ーザ蒸着装置。