JPS61155982A - Ｘ線透過膜の蒸着方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明は、真空鏡体内から発生したＸ線をガス雰囲気又
は大気側へ取り出すためのＸ線透過膜へ導電性物質を蒸
着する方法に関する。

［従来の技術］ Ｘ線マイクロアナライザーにおいては、真空に保持され
た鏡筒内で試料に電子線を照射し、その結果試料より発
生した特性Ｘ線を検出して試料の分析を行なっている。

このＸ線の検出のため、例えばガスフロー型の計数管を
使用する装置においては、鏡筒に窓を設け、この窓を通
過させてＸ線を大気側に配置されたガスフロー型計数管
に導くようにしている。第３図はこのような場合に使用
される、鏡筒側とガス雰囲気にある計数管内を遮断する
ためのＸａ透過膜ユニットＵを示すもので、図中１はポ
リプロピレン、マイラー等の耐真空性を有しＸａの吸収
減衰効果の少ない材質より成る薄膜であり、この薄膜１
は座金２に接着剤３により接着されて保持されており、
又、座金２にはＸ線通過用の開口２ａが設けられている
。

ところで、試料への電子線の照射に伴って、試料よりＸ
線の他に反射電子等も発生する。上記薄膜１は導電性を
有していないため、そのままでは反射電子等の照射によ
ってチャージアップを起し、特に低濃度の超軽元素を検
出する際に測定が不安定になることが知られている。そ
のため、このようなＸ線透過膜ユニットを真空蒸着を行
なうためのペルジャー内に配置し、薄膜に金属等の導電
性物質を蒸着するようにしている。

［発明が解決しようとする問題点］ しかしながら、従来においてはこのようにして蒸着を行
なった膜を耐真空Ｘ線透過膜として装置に装着すると、
薄膜を境界として一方の側は真空なのに対して、他方の
側はガス雰囲気にあるため、１ｉ１１はガス圧によって
第３図において１−で示すように弛んでしまう。その結
果、簿膜の表面に付着していた導電性蒸着膜が島状に細
かく分離してしまい、チャージアップを防げなくなり、
比較的短い期間で膜を交換しなければならない。

本発明はこのような従来の問題を解決し、導電性物質膜
の分離を抑制することのできるＸ線透過膜の蒸着方法を
提供することを目的としている。

Ｅ問題点を解決するための手段〕 このような目的を達成するため、本発明は耐真空性を有
しＸ線透過特性の良好なｉｉｓに導電性物質を蒸着させ
る方法において、該薄膜によって真空空間とガスが存在
する空間とを遮断し、該ｗｌ膜の一方の面からのみ該ｉ
Ｊｍに該ガスの圧力を印加して該膜を弛ました後、該′
ｆｓ膜に該導電性物質を蒸着するようにしたことを特徴
としている。

［実施例］ 以下、図面に基づき本発明の実施例を詳述する。

第１図は本発明を実施するための装置の一例を示すもの
で、図中第３図と同一の構成要素に対しては同一番号を
付している。図中４は上部４ａと底ｉ４ｂとより成る真
空ペルジャーであり、真空ペルジャー４内は排気管５に
より排気できるようになっている。真空ペルジャー４内
にはタングステン等より成るフィラメント６が備えられ
ており、フィラメント６には金属性の被蒸着物質より成
るワイヤー７が巻回されている。ペルジャーの底部４ｂ
の大気側には筒状の凹部９が設けられており、この凹８
Ｉｓ９は開口１０を介してペルジャー内に連通できるよ
うになっている。この凹部９の側面には雌ネジ１１が刻
設されており、この雌ネジ１１には押え金具１２が螺合
できるようになっている。

１３は膜１を熱的に保護するためのシャッター板であり
、シャッター板１３は移動軸１４を介して嫡子１５に接
続されており、嫡子１５を移動させることにより矢印に
の方向に移動できるようになっている。シャッター板１
３には前記座金２に設けられた開口２ａと略同−大きさ
の通過孔１３ａが設けられている。８．１６．１７は真
空シール用のＯリングである。

このような構成の装置を用いて、まず、押え金具１２を
外し、１１１１を°張ったＸ線通過膜ユニットＵをその
薄膜１がＯリング１７と接触するようにして凹部９内に
配置した後、押え金具１２をネジ込み、Ｘ線通過膜ユニ
ットＵと０リング１７の接触によって開口１０が大気側
と完全に遮断されるようにする。その結果、膜１を境界
として一方の側は真空雰囲気にあり他方の側は大気圧に
あるため、Ｉｌｌは大気圧によりペルジャー４側へ押さ
れて弛む。そこで嫡子１５を操作して、シャッター板１
３を図示のように開口１３ａが開口１０の位置に一致す
るまで移動させる。その結果、フィラメント６への通電
によってワイヤー７から蒸発した粒子がシャッター板１
３の開口１３ａ及び開口１０を通過して膜１まで飛来し
て被着し、膜１にはＩｙＪ記金親金属着膜が形成される
。このようにして蒸着を終えた後、押え金具１２を凹部
９より外してＸｌａ透過脱ユニットＵを装置に装着すれ
ば、膜１は既にガス圧によって伸び切っているため、ｇ
ｌｌにガス圧あるいは大気圧が印加されても、膜の伸び
は緩慢となるため、蒸着膜が島状に細かく分離すること
を抑制できる。

尚、上述した実施例は本発明の一実施例に過ぎず幾多の
他の態様を取り得る。

例えば、第２図に示すように筒状容器１８内にＸ線透過
膜ユニットを配置した後、容器１８の側面に設けられた
雌ネジ部に蓋体部材１９を螺合して、容器１８と１１１
との接触部をＯリング２ｏによって真空シールすると共
に、容器１８と部材１９との接触部をＯリング２１によ
って真空シールすれば、膜１と部材１９で囲まれた開口
２ａの部分は気密な空間となる。そこで、この状態でユ
ニットを蒸着用ペルジャー内に配置すれば気密な空間に
Ｐｌじ込められた空気の圧力によりｌｌ１１が弛むため
、この段階で蒸着を行なうようにしても良い。

更に又、上述した一実施例においては、膜の一方の面か
らのみ大気圧を印加して膜を弛ますための作業を蒸着用
真空ペルジャーを利用して行なうようにしたが、別個の
装置により膜の一方の面からのみ大気圧を印加して膜を
予め弛ました後、真空蒸着装置内に配置して蒸着を行な
うようにしても良い。

又、上述した実施例においては、座金に取り付けられた
薄膜から成るユニットＵを真空ベルジャ−の凹部に配置
し、薄膜の一方の側からのみ大気圧が印加されるように
したが、ガスフロー型計数管にユニットＵが取り付けら
れた状態のまま凹部に配置して蒸着を行なうようにして
も良い。

更に又、上述した実施例においては、鏡筒内とガスフロ
ー型Ｘ線計数管との境界となるＸ線透過膜に蒸着を施す
場合について説明したが、ｍ筒内からＸ線を大気側に取
り出すためのＸ線透過膜に蒸着を施す場合にも本発明は
同様に適用できる。

［発明の効果］ 上述した説明から明らかなように、本発明においては膜
の一方の側からのみガスあるいは大気圧を印加して膜を
予め弛ました後、蒸着を行なうようにしているため、Ｘ
線透過膜を装置に装着しても膜の伸びは緩慢になり蒸着
膜が島状に細かく分離することを抑制でき、Ｘ線透過膜
ユニットの交換間隔を延ばすことができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明を実施するための装置の一例を示すため
の図、第２図は本発明を実施するだめの他の装置を説明
するための図、第３図は従来の欠点を説明するための図
である。 １　：簿膜　　　　２：座金

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 耐真空性を有しＸ線透過特性の良好な薄膜に導電性物質
   を蒸着させる方法において、該薄膜によって真空空間と
   ガスが存在する空間とを遮断し、該薄膜の一方の面から
   のみ該薄膜に該ガスの圧力を印加して該薄膜を弛ました
   後、該薄膜に該導電性物質を蒸着するようにしたことを
   特徴とするＸ線透過膜の蒸着方法。