JPS6270809A - レ−ザ−光反射体取付具 - Google Patents
レ−ザ−光反射体取付具Info
- Publication number
- JPS6270809A JPS6270809A JP21012185A JP21012185A JPS6270809A JP S6270809 A JPS6270809 A JP S6270809A JP 21012185 A JP21012185 A JP 21012185A JP 21012185 A JP21012185 A JP 21012185A JP S6270809 A JPS6270809 A JP S6270809A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- light reflector
- elastic body
- laser light
- laser
- reflector
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Mounting And Adjusting Of Optical Elements (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の技術分野〕
半導体・オーディオ・ビデオディスク等の装置でレーザ
ー測長システムで試料位＠全計測する方法全くみこんだ
レーザー光反射体取付具に関する。
ー測長システムで試料位＠全計測する方法全くみこんだ
レーザー光反射体取付具に関する。
テーブルの移動！（位置）の測定に例えばレーザ光を用
いて行うことが多い、即ち、筐体の基準位置にレーザ干
渉計を備え、レーザ光反射体（鏡面体）をテーブルに取
り付けて、出力レーザ光と反射レーザ光との干渉から位
置計測を行っている。
いて行うことが多い、即ち、筐体の基準位置にレーザ干
渉計を備え、レーザ光反射体（鏡面体）をテーブルに取
り付けて、出力レーザ光と反射レーザ光との干渉から位
置計測を行っている。
しかしながら上記レーザによって高精度な測定が可能で
あるとしても前記反射体の反射面に歪がある場合、その
計測精度は低いものとなる。上記反射体の反射面の凹凸
は、一般にサブミクロン程度の精度が要求されるが、一
般に第３図及び第４図の従来手段にてテーブル金ボルト
１０で固定した場合、１〜５μｍ程度の大きな歪を招く
ことが殆んどである。従ってテーブル位置決め精度の向
上をはかることができなかった。
あるとしても前記反射体の反射面に歪がある場合、その
計測精度は低いものとなる。上記反射体の反射面の凹凸
は、一般にサブミクロン程度の精度が要求されるが、一
般に第３図及び第４図の従来手段にてテーブル金ボルト
１０で固定した場合、１〜５μｍ程度の大きな歪を招く
ことが殆んどである。従ってテーブル位置決め精度の向
上をはかることができなかった。
本発明は上述した事情を考慮してなされたもので、光反
射体のテーブルへの取や付は講造を改良し、高精度なテ
ーブル位置計測を行うことを目的とする。
射体のテーブルへの取や付は講造を改良し、高精度なテ
ーブル位置計測を行うことを目的とする。
本発明は、レーザー光反射体を弾性体（ゴム等）を介し
て移動テーブル上に固定してなるレーザ光反射体取付具
である。
て移動テーブル上に固定してなるレーザ光反射体取付具
である。
本発明によれば、光反射面に歪を与えることなく光反射
体をテーブルに取や付けることによって。
体をテーブルに取や付けることによって。
高精度なテーブル位置計測を実現する。
以下図面を参照して１本発明の一実施例全説明する。第
１図及び第２図に示すように、移動案内ｌにより−）ｊ
向に移動するテーブル２上に試料３が載置され５、さら
に鏡体７のついている光反射体８が弾性体５を介して固
定板４，６でテーブル２に固定している。
１図及び第２図に示すように、移動案内ｌにより−）ｊ
向に移動するテーブル２上に試料３が載置され５、さら
に鏡体７のついている光反射体８が弾性体５を介して固
定板４，６でテーブル２に固定している。
光反射体８はゴム等の弾性体５全介して弾性固定されて
いる為、無理な力が加わらないので鏡体７面に歪金与え
ることがない。故にレーザー測長システムにおいて高精
度な位置精度測定が可能となる。
いる為、無理な力が加わらないので鏡体７面に歪金与え
ることがない。故にレーザー測長システムにおいて高精
度な位置精度測定が可能となる。
尚本発明は上記実施例に限定されるものではない３例え
ば鏡体７としては石英ガラス等を研磨して用いることが
できる。更に上記したように光反射体の一側面ヲ鏡面仕
上げしても勿論よい５また光反射面の大きさ、及び平面
度等は仕様に基づいて定めればよいものである。要する
に本発明は。
ば鏡体７としては石英ガラス等を研磨して用いることが
できる。更に上記したように光反射体の一側面ヲ鏡面仕
上げしても勿論よい５また光反射面の大きさ、及び平面
度等は仕様に基づいて定めればよいものである。要する
に本発明は。
その要旨を逸脱しない範囲で種々変形して実施すること
ができる。
ができる。
第１図は本発明の実施例を示す平面図、Ｗ、２図は本発
明の一実施例を示す平面図、第３図は従来例を示す平面
図、第４図は従来例全示す側面図である。 ２・・・テーブル、３・・・試料、５・・・弾性体、７
・・鏡体。 代理人 弁理士 則 近 憲 佑 同 竹 花 喜久男 第 ２ 図 第↓図
明の一実施例を示す平面図、第３図は従来例を示す平面
図、第４図は従来例全示す側面図である。 ２・・・テーブル、３・・・試料、５・・・弾性体、７
・・鏡体。 代理人 弁理士 則 近 憲 佑 同 竹 花 喜久男 第 ２ 図 第↓図
Claims (1)
- 移動テーブル上の試料位置をレーザー測長システムで計
測する装置において、レーザー光反射体を弾性体を介し
てテーブル上に固定したことを特徴とするレーザー光反
射体取付具。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21012185A JPS6270809A (ja) | 1985-09-25 | 1985-09-25 | レ−ザ−光反射体取付具 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21012185A JPS6270809A (ja) | 1985-09-25 | 1985-09-25 | レ−ザ−光反射体取付具 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6270809A true JPS6270809A (ja) | 1987-04-01 |
Family
ID=16584142
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP21012185A Pending JPS6270809A (ja) | 1985-09-25 | 1985-09-25 | レ−ザ−光反射体取付具 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6270809A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2015132542A (ja) * | 2014-01-14 | 2015-07-23 | 株式会社荏原製作所 | レーザ測長器の反射鏡の支持構造 |
| TWI660400B (zh) * | 2013-12-13 | 2019-05-21 | 日商荏原製作所股份有限公司 | 頂板開關機構及檢查裝置 |
-
1985
- 1985-09-25 JP JP21012185A patent/JPS6270809A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| TWI660400B (zh) * | 2013-12-13 | 2019-05-21 | 日商荏原製作所股份有限公司 | 頂板開關機構及檢查裝置 |
| JP2015132542A (ja) * | 2014-01-14 | 2015-07-23 | 株式会社荏原製作所 | レーザ測長器の反射鏡の支持構造 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| EP0352535A1 (en) | Apparatus and method for testing circular cylindrical or conical surfaces | |
| CN110440934A (zh) | 一种光学装配用的多自由度精密控制平台装置 | |
| JPH08178694A (ja) | 変位センサ用のスケール | |
| US6012697A (en) | Stage and supporting mechanism for supporting movable mirror on stage | |
| US20210301871A1 (en) | Positioning devices for radially positioning substrates with respect to an air bearing device | |
| JPS6270809A (ja) | レ−ザ−光反射体取付具 | |
| JPS63140989A (ja) | 位置決め装置 | |
| JP2000304040A (ja) | リニアガイド固定構造 | |
| JPH07253335A (ja) | 光学式変位センサ | |
| WO1990002627A1 (en) | Laser beam bender | |
| US4630922A (en) | Pattern transfer apparatus | |
| US4444488A (en) | Adjustable mirror support for copying apparatus | |
| JP2632972B2 (ja) | エンコーダ | |
| JPH0543109U (ja) | レンズ鏡筒 | |
| JPS62140415A (ja) | 電子線露光装置の標準マ−ク支持機構 | |
| JPH11194188A (ja) | 板状部材の保持装置 | |
| SU1379615A1 (ru) | Устройство дл измерени радиуса кривизны сферической поверхности оптической детали | |
| JPH02273419A (ja) | 変位センサ | |
| JPS56118609A (en) | Measuring method for azimuth angle of magnetic head | |
| JPH0443769Y2 (ja) | ||
| JPH0227811B2 (ja) | ||
| JP2959150B2 (ja) | 表面形状測定装置 | |
| JPH0562810B2 (ja) | ||
| JPH06185942A (ja) | 間隙設定方法とその装置 | |
| JPH06252249A (ja) | 位置決め装置 |