JP2000304040A - リニアガイド固定構造 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 一旦ホルダに取り付けたリニアガイドをこの
ホルダから取り外すことなく、このリニアガイドの真直
度を高精度に調整することが可能なリニアガイド固定機
構を、提供する。 【解決手段】ホルダガイド１５の表面には、その長手方
向に沿って固定溝１５０が掘られている。この固定溝１
５０における一方の内側面は、ホルダガイド基準面１５
０ｃとして高精度に仕上げられている。また、この凹部
１５０の中央には、リニアガイド１３が配置され、ホル
ダガイド基準面１５０ｃ側の脇には、研磨駒１７が配置
され、他方の内壁１５０ｄ側の脇には、押圧駒１８が配
置されている。ホルダガイド基準面１５０ｃと外側面１
５ａとの間には、調整ネジ１９をねじ込むためのネジ孔
１５１が貫通しており、内壁１５０ｄと外側面１５ｂと
の間には、押圧ネジ３０をねじ込むためのネジ孔１５２
が貫通している。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、移動物体を直線的
にガイドするリニアガイドの固定構造に関し、特に、リ
ニアガイドの長手方向における真直度を容易に調整可能
なリニアガイド固定構造に関する。

【０００２】

【従来の技術】例えば、平面状の感光媒体に描画を行う
描画装置や露光装置においては、感光媒体を直線的に移
動させたり、描画を行う光学系やプロッタを直線的に移
動させるためのガイド機構が、用いられる。また、工作
機械の直線運動を与える案内面や産業用ロボットのロボ
ットアームの直線的移動においても、同様の機構が用い
られる。

【０００３】このような装置においては高精度のガイド
機構が求められるので、一般的に、ボール又はコロのベ
アリングを介して移動物体をガイドするリニアガイドが
用いられる。図７は、このようなリニアガイドをベッド
上に固定する固定構造の平面図であり、図６は、図７の
矢印ＶＩから見た正面図である。これら各図に示すよう
に、リニアガイド１００は、ガイド方向に長軸を向けた
略角柱形状を有している。

【０００４】このリニアガイド１００は、移動物体を高
精度に直線移動させるために、高いレベルで真直度を満
たしていなければならない。この高レベルの真直度を保
証するために、リニアガイド１００は、ガイドホルダ１
０１を介して、装置本体ベース上に固定されている。詳
しく述べると、このガイドホルダ１０１の表面には、固
定対象のリニアガイド１００の幅よりも一回り広い断面
略矩形の固定溝１０１ａが、掘られている。そして、リ
ニアガイド１００は、この固定溝１０１ａの底面及び一
方の内側壁１０１ｂに同時に接触した状態で配置され
る。また、固定溝１０１ａの他方の内側壁１０１ｃとリ
ニアガイド１００との間の隙間には、この隙間の幅より
も若干幅狭な角柱部材からなる固定駒１０２が、填め込
まれている。さらに、この内側壁１０１ｃとガイドホル
ダ１０１の側面との間には、ネジ孔１０１ｄが貫通して
形成されている。そして、このネジ孔１０１ｄには、そ
の先端にて固定駒１０２をリニアガイド１００に押し付
ける固定ビス１０３が、ねじ込まれている。

【０００５】上述のガイドホルダ１０１の内側壁１０１
ｂは、予め、高精度に平坦に形成されており、この内側
壁１０１ｂが所定の位置において所定の方向を向くよう
にガイドホルダ１０１が装置本体ベース上に固定され
る。従って、この内側壁１０１ｂは、リニアガイド１０
０の位置決め及び真直度の基準面として機能する。よっ
て、固定ビス１０３によって固定駒１０２を介してリニ
アガイド１００をこの内側壁１０１ｂに当て付けて押圧
すると、リニアガイド１００が所定の位置において、所
定の方向を向いて、平坦に保たれる。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述し
た従来のリニアガイド固定機構によってリニアガイド１
００の真直度を例えば数μｍレベルの精度で得ようとす
るならば、ガイドホルダ１０１の内側壁（基準面）１０
１ｂを、その平面度がその全長に亘って数μｍレベルと
なるように仕上げなければならない。この場合、リニア
ガイド１００の全長が長くなればなるほど、その全長に
亘って平面度を高く加工することは困難となってしま
う。

【０００７】また、一旦リニアガイド１００をガイドホ
ルダ１０１に固定した状態でその真直度を測定した際
に、真直度が目標レベルまで達していなかった場合に
は、リニアガイド１００をガイドホルダ１０１から取り
外し、この基準面１０１ｂをきさげ等の手段によって必
要な箇所を研磨した後に、再度リニアガイド１００をガ
イドホルダ１０１に固定してその真直度を確認しなけれ
ばならない。このような研磨を一回施すだけで真直度が
目標レベルに達することは稀であるから、作業者は、こ
のようなリニアガイド１００の着脱，研磨，測定の作業
を、目標とする真直度が得られるまで、何度も繰り返さ
なければならない。従って、従来のリニアガイド固定機
構によると、真直度を調整するために、長時間を要して
しまうことになる。

【０００８】本発明は、従来のリニアガイド固定機構に
おける上述した問題を解決するためになされたものであ
り、その課題は、リニアガイドの全長如何に拘わらず、
一旦ホルダに取り付けたリニアガイドをこのホルダから
取り外すことなく、このリニアガイドの真直度を調整す
ることが可能なリニアガイド固定機構を、提供すること
である。

【０００９】

【課題を解決するための手段】上記の課題を達成するた
め、本発明のリニアガイド固定機構は、以下の構成を採
用した。

【００１０】即ち、請求項１記載の発明は、移動物体を
直線方向にガイドするために柱状形状を有するリニアガ
イドの固定構造であって、前記リニアガイドがその底面
上に載置される断面矩形の凹部がその表面上に形成され
ているとともに、前記凹部の両内側壁と外側面との間に
夫々ネジ孔が貫通形成されている長尺なホルダと、前記
凹部の中心に沿って配置されたリニアガイドと前記凹部
の両内側壁との間において、夫々、前記凹部の底面と面
接触した状態で配置されている角柱状の駒と、前記各ネ
ジ孔にねじ込まれ、前記凹部の各内側壁からその先端を
突出させることによって前記各駒を各内側壁から離間さ
せる複数のネジとを、備えることを特徴とする。

【００１１】このように構成されると、作業者は、最初
に、凹部における一方の内側壁とリニアガイドとの間に
配置された駒を当該内側壁に接触させた状態で、この駒
の反対側の側面，即ち、リニアガイドに対向する側面を
基準面として、他方の駒を介してネジによってリニアガ
イドをこの基準面に押圧することによって、リニアガイ
ドを固定する。この状態で、真直度を計り、調整の必要
があると認めた場合には、作業者は、リニアガイドを取
り外さずに、基準面として機能している駒をネジによっ
て微動させることによって、基準面の形状を微調整する
ことができるので、これに当て付けられているリニアガ
イドの真直度を調整することができる。従って、基準面
の再研磨は必ずしも必要ではなくなり、また、リニアガ
イドを繰り返し着脱する必要もなくなるので、トータル
の作業時間を大幅に削減することができる。

【００１２】本発明において、リニアガイドの両側に配
置される駒は、リニアガイドの長手方向において複数に
分割されていても良い。この場合、分割された各駒毎に
ネジ孔及びネジが設けられている必要がある。

【００１３】また、請求項２記載の発明は、請求項１の
凹部の両内側壁のうちの一方が、位置決めの基準となる
基準面であり、この基準面に接する駒における反対側の
側面が、前記リニアガイドの位置決めの基準となる基準
面であることで、特定したものである。

【００１４】また、請求項３記載の発明は、請求項１の
リニアガイドの両側に、夫々、前記角柱状の駒が複数個
並べて配置されており、前記ネジ孔が各駒に対向するよ
う夫々前記ホルダに形成されており、各ネジ孔に夫々前
記ネジがねじ込まれていることで、特定したものであ
る。

【００１５】

【発明の実施の形態】以下、図面を参照して、本発明の
実施の形態を説明する。 （描画装置の全体構成）先ず、本実施形態にかかる描画
装置の概略構成を、描画装置の外観斜視図である図１を
用いて説明する。この図１に示されるように、本実施形
態の描画装置は、装置本体１と、この装置本体１を跨ぐ
ように構成された光源部２とから、構成されている。

【００１６】この装置本体１は、作業スペースの床面上
に設置される直方体型の装置本体ベース１１，この装置
本体ベース１１の上面において装置本体ベース１１の長
手方向（以下、Ｙ方向という）に向けて互いに平行に設
置された一対のリニアガイド１３，１３，これらリニア
ガイド１３，１３上においてＹ方向にスライド自在に保
持されているＹテーブルユニット１０，及び、このＹテ
ーブルユニット１０の下面に取り付けられたボールナッ
ト（図示略）に螺合するボールネジ１４ａとこのボール
ネジ１４ａを回転駆動するテーブル駆動モータ（図示
略）及びベアリングハウス１４ｂとからなるＹ駆動機構
１４から、構成されている。

【００１７】このような構成を有する装置本体１におい
て、Ｙ駆動機構１４のテーブル駆動モータ（図示略）が
ボールネジ１４ａを回転駆動すると、Ｙテーブルユニッ
ト１０がＹ方向に移動する。

【００１８】また、光源部２は、装置本体ベース１１の
一端近傍を跨ぐように固定された門型の支持台２０，こ
の支持台２０の上面上においてＹ方向と直交する方向
（以下、Ｘ方向という）に向けて互いに平行に設置され
た一対のリニアガイド２１，２１，これらリニアガイド
２１，２１上においてＸ方向にスライド自在に保持され
ている板状のＸ移動テーブル２２，一端がＸ移動テーブ
ル２２上に固着されているとともに他端が９０度折れ曲
がって支持台２０の側面に沿って垂下した光学ベース２
３，この光学ベース２３における上記他端の側面に固定
されたブラケット２４，このブラケット２４に固定され
た光学ヘッド２５，及び、Ｘ移動テーブル２２の下面に
取り付けられたボールナット（図示略）に螺合するボー
ルネジ２６ａとこのボールネジ２６ａを回転駆動する光
学系駆動モータ２６ｂとからなるＸ駆動機構２６から、
構成されている。このような構成を有する光源部２にお
いて、Ｘ駆動機構２６の光学系駆動モータ２６ｂがボー
ルネジ２６ａを回転駆動すると、光学ヘッド２５がＸ方
向に移動する。

【００１９】上述の光学ヘッド２５は、Ｙ方向及びＸ方
向に夫々複数個づつマトリックス状に設けられた多数
（図１においては４個のみ図示）のＬＥＤ２５ａ，各Ｌ
ＥＤ２５ａに夫々対応して多数の開口（図示略）が穿た
れたアパーチャ板２５ｂ，及び、このアパーチャ板２５
ｂの各開口によって形成された各点光源の像を夫々縮小
してＹテーブルユニット１０の上面（即ち、媒体載置面
１０ａ）上に形成する縮小光学系（図示略）から、構成
されている。このような構成を有する光学ヘッド２５に
おいて、各ＬＥＤ２５ａを選択的に点灯させると、点灯
したＬＥＤ２５ａの配置パターンに対応したドットマト
リックス状の光源像パターンが、媒体載置面１０ａ上に
投影される。 （リニアガイドの構成）次に、各リニアガイド１３，２
１の構造（固定構造を含む）を、更に詳細に説明する。
なお、各リニアガイド１３，２１の基本的な構造は同じ
であるので、以下においては、Ｙテーブルユニット１０
用のリニアガイド１３についてのみ説明を行い、光学ヘ
ッド２５用のリニアガイド２１の説明を省略する。

【００２０】図２は、図１に示光学ベースブルユニット
１の正面図である。この図２に示されるように、一対の
リニアガイド１３は、夫々、装置本体ベース１１上に固
着されたガイドホルダ１５によって固定されている。図
３は、図２に示されるガイドホルダ１５及びリニアガイ
ド１３（並びに、その付属部品）の拡大図である。ま
た、図４は、ガイドホルダ１５及びリニアガイド１３
（並びに、その付属部品）の平面図である。

【００２１】これら各図に示されるように、ガイドホル
ダ１５は、装置本体ベース１１の上面（ベッド）におけ
るＹ方向の全長よりも若干短い扁平な角柱状の金属部品
である。このガイドホルダ１５の表面の中央には、その
長軸方向（Ｙ方向）に沿って、リニアガイド１３のほぼ
２倍の幅を有する固定溝１５０が形成されている。この
固定溝１５０の底面は、ガイドホルダ１５の底面（即
ち、装置本体ベース１１の上面）と平行であるが、その
中央のみ、リニアガイド１３よりも若干幅が狭い凸部１
５０ａとして、若干量隆起している。この凸部１５０ａ
の中央には、図３に示すように、リニアガイド１３の固
定用のネジ（固定ネジ１６）がねじ込まれるネジ孔１５
０ｂが、その長軸方向に沿って一定間隔で穿たれてい
る。

【００２２】また、固定溝１５０における図３に向かっ
て左側の内側壁１５０ｃは、リニアガイド１３の取付の
基準となる面であるので、ガイドホルダ１５の底面に対
して垂直且つガイドホルダ１５の長軸と平行な方向を向
き、しかも、その全域に亘って平面度が高くなるよう
に、きさげ等の手段によって研磨されている。以下、こ
の内側壁１５０ｃを、「ガイドホルダ基準面」と称する
こととする。なお、他方の内側壁１５０ｄは、ガイドホ
ルダ基準面１５０ｃほどの精度は要求されていないが、
このガイドホルダ基準面１５０ｃと平行に加工されてい
る。以下、この内側壁１５０ｄを、「対向内壁」と称す
ることとする。

【００２３】ガイドホルダ基準面１５０ｃとこれに近接
した外側面１５ａとの間には、上述のネジ孔１５０ｂと
同間隔で、多数のネジ孔１５１が、各ネジ孔１５０ｂの
軸方向と直交する方向に貫通して形成されている。同様
に、対向内壁１５０ｄとこれに近接した外側面１５ｂと
の間には、上述したガイドホルダ基準面１５０ｃ側の各
ネジ孔１５１とほぼ同軸且つその軸の延長線が各ネジ孔
１５０ｂと略直交するネジ孔１５２が、貫通して形成さ
れている。

【００２４】リニアガイド１３は、図３及び図４に示す
ように、横断面が略正方形である角柱状の金属部品であ
る。このリニアガイド１３は、上述したガイドホルダ１
５の固定溝１５０内において、凸部１５０ａ上に配置さ
れている。この際に、凸部１５０ａにおける各ネジ孔１
５０ｂと重なる位置には、固定ネジ１６の軸の外径より
も太い内径を有する貫通孔１３ａが穿たれている。この
貫通孔１３ａの表面側の開口近傍は、固定ネジ１６のネ
ジ頭の収容部が、このネジ頭の外径よりも太い内径を有
するざぐりとして、形成されている。従って、固定ネジ
１６の軸と貫通孔１３ａとのクリアランス，及び、固定
ネジ１６のネジ頭とざぐりとのクリアランスの範囲内
で、リニアガイド１３の位置を微調整した状態で、リニ
アガイド１３をガイドホルダ１５に固定することができ
る。よって、固定ネジ１６の軸と貫通孔１３ａとのクリ
アランス，及び固定ネジ１６の頭部と上述のざぐりとの
クリアランスを必要な調整量より十分大きく設定してお
けば良い。なお、リニアガイド１３の両側面には、夫
々、リニアガイドベアリング（スライダ）１００に取り
付けられたベアリングのボールが転がるボール溝１３
ｂ，１３ｂが、二筋刻まれている。これら各ボール溝１
３ｂ，１３ｂの高さは、リニアガイド１３の両側面にお
いて夫々同じである。

【００２５】ガイドホルダ基準面１５０ｃとリニアガイ
ド１３との間には、角柱状の金属部品である研磨駒１７
が、ガイドホルダ１５の軸方向に複数個並べられて、配
置されている。各研磨駒１７は、互いに同形状を有し、
その軸方向における長さは、上述したネジ孔１５０ｂの
間隔と同じか又はやや短く、その幅は、固定溝１５０の
底面におけるガイドホルダ基準面１５０ｃと凸部１５０
ａとの間隔より狭く、その高さは、固定溝１５０の最深
部の深さと同じである。従って、各研磨駒１７は、固定
溝１５０の底面に密着しており、その状態で、その表面
はガイドホルダ１５の表面と面一になる。この研磨駒１
７は、精密に四角柱として加工されており、その側面
（ガイドホルダ基準面１５０ｃに接触する側面，リニア
ガイド１３に接触する側面）は、ガイドホルダ基準面１
５０ｃと同レベルの平面度を満たすように研磨されてい
る。従って、全ての研磨駒１７をガイドホルダ基準面１
５０ｃに密着させると、リニアガイド１３側の側面に、
ガイドホルダ基準面１５０ｃの形状が再現されることに
なる。そこで、各研磨駒１７におけるリニアガイド１３
側の側面を、「基準面１７ａ」と称する。

【００２６】また、各研磨駒１７は、その軸方向におけ
る中心がガイドホルダ１５のネジ孔１５１に接触するよ
うに、配置されている。そして、各ネジ孔１５１には、
夫々、調整ネジ１９がねじ込まれている。この調整ネジ
１９をねじ込んで、その先端をガイドホルダ基準面１５
１ｃから突出させると、凸部１５０ａの側壁と研磨駒１
７のリニアガイド側の面とのクリアランスの範囲で、研
磨駒１７の位置を調整することができる。このようにし
て各研磨駒１７の位置を調整すると、各研磨駒１７の基
準面１７ａの全体がなす巨視的形状を、変化させること
ができる。なお、各研磨駒１７の幅とリニアガイド１３
の幅との合計は、凸部１５０ａの対向内壁１５０ｄ側の
縁とガイドホルダ基準面１５０ｃとの間の間隔よりも僅
かに広い、従って、研磨駒１７の位置如何に拘わらず、
凸部１５０ａの表面が外部に露出することはない。ま
た、ガイドホルダ基準面１５０ｃと凸部１５０ａとの間
の深部の幅は、研磨駒１７の幅に必要な調整量を加えた
幅に調整されている。

【００２７】一方、対向内壁１５０ｄとリニアガイド１
３との間には、角柱状の金属部品である押圧駒１８が、
ガイドホルダ１５の軸方向に複数個並べられて、配置さ
れている。これら各押圧駒１８は、各研磨駒１７と同じ
形状を有しているが、その側面の平面度は、研磨駒１７
程高精度である必要はない。そして、各押圧駒１８の幅
は、凸部１５０ａと対向内壁１５０ｄとの間隔よりも狭
く、研磨駒１７によって対向内壁１５０ｄ側に最大限押
し出され位置に在るリニアガイド１３と内向内壁１５０
ｄとの間隔よりも狭い。

【００２８】これら各押圧駒１８は、その軸方向におけ
る中心がガイドホルダ１５のネジ孔１５２に接触するよ
うに、配置されている。そして、各ネジ孔１５２には、
夫々、押圧ネジ３０がねじ込まれている。この押圧ネジ
３０をねじ込んで、その先端を対向内壁１５１ｄから突
出させて押圧駒１８に当接させると、この押圧駒１８を
介して、リニアガイド１３を各研磨駒１７の基準面１７
ａに当て付けることができる。そして、更に、調整ネジ
をねじ込んで、リニアガイド１３を各研磨駒１７の基準
面１７ａに押しつけると、各研磨駒１７の基準面１７の
全体がなす巨視的形状に沿って、リニアガイド１３の軸
方向における形状をミクロンレベルで変形させることが
できる。また、リニアガイド１３が自然状態において軸
方向に歪んでいる場合には、このリニアガイド１３は、
各研磨駒１７に対して部分的に接触した状態となり得る
が、リニアガイド１３と接触している一部の研磨駒１７
をリニアガイド１３側に移動させることにより、リニア
ガイド１３を直線状に矯正することも可能となる。

【００２９】上述した形状を有するリニアガイド１３に
は、その各ボール溝１３ｂ，１３ｂ内を転がるボールを
介して、横断面形状が逆凹字型であるリニアガイドベア
リング（スライダ）５０が、その表面及び両側面を覆う
ように填め込まれる。従って、このリニアガイドベアリ
ング５０がリニアガイド１３によって、その軸方向へ滑
らかにガイドされる。このようなリニアガイドベアリン
グ５０は、各リニアガイド１３毎に、夫々複数個取り付
けられている。そして、各リニアガイドベアリング５０
の表面が、Ｙテーブルユニット１０の裏面に固着されて
いる。従って、Ｙ駆動機構１４のテーブル駆動モータが
ボールネジ１４ａを回転させると、Ｙテーブルユニット
１０が、リニアガイド１３に沿ってＹ方向に移動され
る。 （真直度調整）次に、以上のように構成される本実施形
態による描画装置のテーブルユニット１において、各リ
ニアガイド１３の真直度を調整するための手順を、説明
する。

【００３０】この調整作業を行う際には、作業者は、予
め、各固定ネジ１６を緩めておくとともに、各調整ネジ
１９の先端をガイドホルダ基準面１５１ｃからガイドホ
ルダ１５内に没入させておく。

【００３１】次に、作業者は、各押圧ネジ３０をねじ込
んで、その先端を各押圧駒１８に当接させ、更に、各押
圧駒１８を介してリニアガイド１３を各研磨駒１７の基
準面１７ａに押しつける。この状態では、各研磨駒１７
はガイドホルダ基準面１５０ｃに密着し、各研磨駒１７
の基準面１７ａの全体がなす巨視的形状は、ガイドホル
ダ基準面１５０ｃ通りとなる。従って、リニアガイド１
３の軸方向における形状は、この基準面１７ａがなす巨
視的形状，即ち、ガイドホルダ基準面１５０ｃの形状に
従ったものとなる。そのため、ガイドホルダ基準面１５
０ｃが加工誤差に因って歪んでいる場合には、リニアガ
イド１３も軸方向に歪む結果となる。また、リニアガイ
ド１３が元々軸方向に歪んでいる場合には、基準面１７
ａがなす巨視的形状がたとえ完全な平面であっても、リ
ニアガイド１３がこれに追従しきれずに軸方向に歪んだ
ままとなる場合もある。

【００３２】そこで、作業者は、図５に示すように、断
面逆Ｌ字型の形状を有する台３１と、この台３１上に固
定された鏡枠３２と、この鏡枠３２に填め込まれた両面
平面鏡３３とからなる反射鏡ユニットＭを用意して、こ
の反射鏡ユニットＭを用いてリニアガイド１３の軸方向
の歪みを調べる。

【００３３】この反射鏡ユニットＭにおいて、平面鏡３
３の反射面の方向は、台３１の底面及びこの底面に隣接
する垂下面の双方に対して、夫々直交している。そし
て、作業者は、台３１の底面をリニアガイド１３の表面
に接触させるとともに、垂下面を、リニアガイド１３に
おける基準面１７ａと接触している側面に接触させるこ
とによって、反射鏡ユニットＭをリニアガイド１３上に
載置する。これにより、平面鏡３３の反射面は、リニア
ガイド１３における基準面１７ａと接触している側面に
対して、垂直方向を向く。

【００３４】従って、作業者は、リニアガイド１３の全
長に亘って反射鏡３３の中心に略直交する線上にオート
コリメータＡを配置し、台３１とリニアガイド１３との
接触状態を維持しつつ反射鏡ユニットＭをリニアガイド
１３の軸方向にスライドさせることにより、このオート
リメータＡから射出された光ビームの平面鏡３３での反
射光の位置の変化として、リニアガイド１３における基
準面１７ａと接触している側面の形状誤差を知ることが
できる。即ち、リニアガイド１３における基準面１７ａ
と接触している側面が完全な平面であれば、オートコリ
メータＡによって観察される反射光の位置は変化しない
が、少しでも湾曲していると、その湾曲部位に反射鏡ユ
ニットＭがさしかかると、オートコリメータＡによって
観察される反射光の位置がずれる。これにより、リニア
ガイド１３における基準面１７ａと接触している側面の
形状誤差を知ることができるのである。次に、作業者
は、反射鏡ユニットＭを裏返し、第３１の垂下面を、リ
ニアガイド１３における各押圧駒１８と接触している側
面に、接触させる。そして、上述したのと同様にして、
リニアガイド１３における各押圧駒１８と接触している
側面の形状誤差を測定する。

【００３５】このようにして、リニアガイド１３の両側
面におけるミクロンレベルの湾曲が検知できると、作業
者は、各押圧ネジ３０を適宜緩め、この湾曲を矯正すべ
く、一部の調整ネジ１９をねじ込んでガイドホルダ基準
面１５０ｃから一部の研磨駒１７を離間させる。これに
より、各研磨駒１７の基準面１７ａが全体としてなす巨
視的形状は、ミクロンレベルで変化する。従って、再
度、各押圧ネジ３０を締め込むと、リニアガイド１３の
軸方向における形状が、各研磨駒１７の基準面１７ａが
全体としてなす巨視的形状に沿って変形する。

【００３６】作業者は、以上に説明した各研磨駒１７の
移動及びオートコリメータＡを用いた検査を繰り返すこ
とにより、リニアガイド１３の軸方向における真直度
を、ミクロンレベルで調整することができるのである。

【００３７】作業者は、このような真直度の調整を各リ
ニアガイド１３，１３について夫々完了すると、各固定
ネジ１６を締め込むことによって、各リニアガイド１
３，１３を各ガイドホルダ１５，１５に対して固定す
る。作業者は、その後、他の部品の組み付けを行って、
描画装置を完成させる。

【００３８】以上に説明した本実施形態によれば、リニ
アガイド１３の長さ如何に拘わらず、真直度の調整の際
にリニアガイド１３をガイドホルダ１５に対して着脱す
る必要がなく、また、ガイドホルダ基準面１５０ｃや各
研磨駒１７を再研磨する必要がない。従って、真直度の
調整に要する総作業時間を、大幅に短縮することができ
る。

【００３９】

【発明の効果】以上に説明したように、本発明のリニア
ガイド固定機構によると、リニアガイドの全長如何に拘
わらず、一旦ホルダに取り付けたリニアガイドをこのホ
ルダから取り外すことなく、このリニアガイドの真直度
を調整することが可能なである。

【図面の簡単な説明】

【図１】 本発明の実施の形態である描画装置の斜視図

【図２】 図１のテーブルユニットの正面図

【図３】 リニアガイド及びガイドホルダ近傍の拡大図

【図４】 リニアガイド及びガイドホルダ近傍の平面図

【図５】 検査の説明図

【図６】 従来におけるリニアガイド及びガイドホルダ
近傍の正面図

【図７】 従来におけるリニアガイド及びガイドホルダ
近傍の平面図

【符号の説明】

１３ リニアガイド １５ ガイドホルダ １５ａ 外側面 １５ｂ 外側面 １７ 研磨駒 １７ａ 基準面 １８ 押圧駒 １９ 調整ネジ ３０ 押圧ネジ １５０ 固定溝 １５０ｃ ガイドホルダ基準面 １５０ｄ 対向内壁

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.⁷ 識別記号 ＦＩ テーマコート゛(参考） Ｂ２３Ｑ 1/02 Ｗ

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】移動物体を直線方向にガイドするために柱
   状形状を有するリニアガイドの固定構造であって、 前記リニアガイドがその底面上に載置される断面矩形の
   凹部がその表面上に形成されているとともに、前記凹部
   の両内側壁と外側面との間に夫々ネジ孔が貫通形成され
   ている長尺なホルダと、 前記凹部の中心に沿って配置されたリニアガイドと前記
   凹部の両内側壁との間において、夫々、前記凹部の底面
   と面接触した状態で配置されている角柱状の駒と、 前記各ネジ孔にねじ込まれ、前記凹部の各内側壁からそ
   の先端を突出させることによって前記各駒を各内側壁か
   ら離間させる複数のネジとを備えることを特徴とするリ
   ニアガイド固定構造。
2. 【請求項２】前記凹部の両内側壁のうちの一方は、位置
   決めの基準となる基準面であり、この基準面に接する駒
   における反対側の側面は、前記リニアガイドの位置決め
   の基準となる基準面であることを特徴とする請求項１記
   載のリニアガイド固定構造。
3. 【請求項３】前記リニアガイドの両側に、夫々、前記角
   柱状の駒が複数個並べて配置されており、前記ネジ孔が
   各駒に対向するよう夫々前記ホルダに形成されており、
   各ネジ孔に夫々前記ネジがねじ込まれていることを特徴
   とする請求項１記載のリニアガイド固定構造。