JP4485857B2 - 測定用プローブ - Google Patents
測定用プローブ Download PDFInfo
- Publication number
- JP4485857B2 JP4485857B2 JP2004180701A JP2004180701A JP4485857B2 JP 4485857 B2 JP4485857 B2 JP 4485857B2 JP 2004180701 A JP2004180701 A JP 2004180701A JP 2004180701 A JP2004180701 A JP 2004180701A JP 4485857 B2 JP4485857 B2 JP 4485857B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- housing
- lens
- probe
- measurement
- housing part
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Images
Landscapes
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Length Measuring Devices With Unspecified Measuring Means (AREA)
- A Measuring Device Byusing Mechanical Method (AREA)
Description
前記光学系により導かれた前記レーザ光を前記反射面上に集光させるレンズを保持するレンズ保持部材を保持する第1ハウジング部と、
一端にスタイラスを他端に前記反射面を備えた棒状の可動部材をその軸方向に移動可能に保持する軸受を保持し、前記レンズを透過したレーザ光が前記反射面に到達可能な位置に脱着自在に前記第1ハウジング部に対して連結可能に構成された第2ハウジング部と、を備え、前記第1ハウジング部は、前記第1ハウジング部の壁を貫通して軸中心に回転可能に配置され、前記第1ハウジング部の外側に位置する端部に操作部を備えるとともに前記第1ハウジング部の内側に位置する端部にその回転中心から偏心させて設けられた係合部を有する棒状部材で構成された連動部と、前記レンズ保持部材に設けられかつ前記係合部と係合する被係合部とを備える調整機構を備える測定用プローブを提供する。
前記他方の端部に前記挿入部が嵌め込まれる受け部と、前記挿入部が前記受け部に挿入された状態で前記受け部を締め付けて固定する締め付け部とを備える第1態様の測定用プローブを提供する。
前記被係合部は、前記光軸に対して略直交する方向に延在し、前記ピンと略同じ幅を有する長穴で構成されていることを特徴とする、第1から3のいずれか1つに態様の測定用プローブを提供する。
2 被測定物
2a 被測定面
11 可動部材
12 スタイラス
13 反射面
15 プローブ先部
16 プローブ本体
22 レンズ
31 空気軸受
40 第2ハウジング部
50 第1ハウジング部
Claims (5)
- 被測定物の表面に沿って相対的に移動しかつスタイラスと反射面とを備える測定用プローブと、光源と、前記光源から発光されたレーザ光を前記反射面に導く光学系と、前記反射面上で反射した反射光を受光するセンサと、前記センサからの出力に基づいて前記被測定物に対する測定押圧が一定になるように前記測定プローブを移動させる駆動機構とを備える形状測定装置に用いられる前記測定用プローブにおいて、
前記光学系により導かれた前記レーザ光を前記反射面上に集光させるレンズを保持するレンズ保持部材を保持する第1ハウジング部と、
一端にスタイラスを他端に前記反射面を備えた棒状の可動部材をその軸方向に移動可能に保持する軸受を保持し、前記レンズ及び前記反射面が前記レーザ光の光軸と一致するように脱着自在に前記第1ハウジング部に対して連結可能に構成された第2ハウジング部と、を備え、前記第1ハウジング部は、前記第1ハウジング部の壁を貫通して軸中心に回転可能に配置され、前記第1ハウジング部の外側に位置する端部に操作部を備えるとともに前記第1ハウジング部の内側に位置する端部にその回転中心から偏心させて設けられた係合部を有する棒状部材で構成された連動部と、前記レンズ保持部材に設けられかつ前記係合部と係合する被係合部とを備える調整機構を備えることを特徴とする、測定用プローブ。 - 前記第1及び第2ハウジング部は、一方の端部に他方に挿入される挿入部を備え、
前記他方の端部に前記挿入部が嵌め込まれる受け部と、前記挿入部が前記受け部に挿入された状態で前記受け部を締め付けて固定する締め付け部とを備えることを特徴とする、請求項1に記載の測定用プローブ。 - 前記第1ハウジング部は、端部にフランジ部を備える筒形状の前記レンズ保持部材を挿入可能な大きさの穴を有する筒状部材で構成され、内壁に前記フランジ部を係止する係止部と、上端に前記光学系を収容する本体ハウジング部と連結する連結部と、を備えることを特徴とする、請求項1又は2記載の測定用プローブ。
- 前記係合部は、前記棒状部材の軸方向に延在するピンであり、
前記被係合部は、前記光軸に対して略直交する方向に延在し、前記ピンと略同じ幅を有する長穴で構成されていることを特徴とする、請求項1から3のいずれか1つに記載の測定用プローブ。 - 請求項1から4のいずれか1つに記載の測定用プローブを用いた形状測定装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004180701A JP4485857B2 (ja) | 2004-06-18 | 2004-06-18 | 測定用プローブ |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004180701A JP4485857B2 (ja) | 2004-06-18 | 2004-06-18 | 測定用プローブ |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2006003253A JP2006003253A (ja) | 2006-01-05 |
JP4485857B2 true JP4485857B2 (ja) | 2010-06-23 |
Family
ID=35771758
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2004180701A Active JP4485857B2 (ja) | 2004-06-18 | 2004-06-18 | 測定用プローブ |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4485857B2 (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20190014428A (ko) * | 2017-08-02 | 2019-02-12 | 오토센서코리아(주) | 광원을 이용한 리크센서 |
WO2022030737A1 (ko) * | 2020-08-03 | 2022-02-10 | 오스템임플란트 주식회사 | 3차원 구강 스캐너 |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN109470356B (zh) * | 2018-12-29 | 2023-10-13 | 洛阳伟信电子科技有限公司 | 一种光电探测设备激光能量检查仪 |
WO2023181474A1 (ja) * | 2022-03-23 | 2023-09-28 | パナソニックIpマネジメント株式会社 | 測定プローブの保管装置および保管方法 |
-
2004
- 2004-06-18 JP JP2004180701A patent/JP4485857B2/ja active Active
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20190014428A (ko) * | 2017-08-02 | 2019-02-12 | 오토센서코리아(주) | 광원을 이용한 리크센서 |
KR101965866B1 (ko) * | 2017-08-02 | 2019-04-05 | 오토센서코리아(주) | 광원을 이용한 리크센서 |
WO2022030737A1 (ko) * | 2020-08-03 | 2022-02-10 | 오스템임플란트 주식회사 | 3차원 구강 스캐너 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2006003253A (ja) | 2006-01-05 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6339262B2 (ja) | 露光ツール用干渉計モジュールのアライメント | |
JP5124579B2 (ja) | 表面感知デバイス | |
US8004559B2 (en) | Apparatus for measuring three dimensional shape | |
KR101775442B1 (ko) | 변위 검출 장치 | |
JP4500736B2 (ja) | 形状測定装置 | |
US8736850B2 (en) | Method and device for measuring surfaces in a highly precise manner | |
JP4791118B2 (ja) | 画像測定機のオフセット算出方法 | |
JP2009534206A (ja) | チャックと、工具ホルダまたは加工部品ホルダとの間の距離を測定するための手段を備える緊締装置 | |
JP2006504095A5 (ja) | ||
JP2006504095A (ja) | 複数の表面を測定するための2波長共焦点干渉計 | |
JP4485857B2 (ja) | 測定用プローブ | |
US7245384B2 (en) | Sample inclination measuring method | |
JP5171108B2 (ja) | 三次元形状測定装置 | |
JP2010019685A (ja) | 曲率半径測定装置 | |
KR100434445B1 (ko) | 3차원 형상/표면조도 측정장치 | |
JP2017133892A (ja) | 回転角度検出装置および回転角度検出方法 | |
JP4093828B2 (ja) | 測定用プローブ及び光学式測定装置 | |
JP2005147824A (ja) | 真直・平面度測定装置 | |
JP2007069283A (ja) | 加工装置および加工装置を用いた製造方法 | |
WO2009090771A1 (ja) | レーザ干渉計、及びそれを用いた測定装置 | |
JP2008268054A (ja) | 焦点位置測定装置 | |
JPH11132752A (ja) | 3次元形状測定装置 | |
JP2011038967A (ja) | 位置決め装置およびこれに着脱可能な光学アダプター | |
JP4037280B2 (ja) | 光学測定装置 | |
JP2007285967A (ja) | レーザ測長機 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
RD03 | Notification of appointment of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7423 Effective date: 20061206 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20070305 |
|
RD04 | Notification of resignation of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7424 Effective date: 20081003 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20090911 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20090929 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20091106 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20091208 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20100120 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20100302 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20100325 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 4485857 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130402 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130402 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140402 Year of fee payment: 4 |