JPS6265214A - 磁気ヘツド用コアのギヤツプ部接合方法 - Google Patents

磁気ヘツド用コアのギヤツプ部接合方法

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Publication number
JPS6265214A
JPS6265214A JP20430585A JP20430585A JPS6265214A JP S6265214 A JPS6265214 A JP S6265214A JP 20430585 A JP20430585 A JP 20430585A JP 20430585 A JP20430585 A JP 20430585A JP S6265214 A JPS6265214 A JP S6265214A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
glass
groove
film
core
softening point
Prior art date
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Pending
Application number
JP20430585A
Other languages
English (en)
Inventor
Hiromi Endo
遠藤 博己
Yoshio Sugano
菅野 義雄
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Tokin Corp
Original Assignee
Tohoku Metal Industries Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Tohoku Metal Industries Ltd filed Critical Tohoku Metal Industries Ltd
Priority to JP20430585A priority Critical patent/JPS6265214A/ja
Publication of JPS6265214A publication Critical patent/JPS6265214A/ja
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、オーディオやハードディスク用磁気ヘッド或
いはフロッピーディスク用のディジタル磁気ヘッド等の
製造方法に関し、1#に1gi気ヘッドの製造段階の中
で、フェライトよりなる1対のコアを所定のギャップ長
?有して接合する方法に関する。
〔従来の技術及び発明が 解決しようとする問題点〕
近来、vIi気記録の高密度化に伴い、磁気ヘッドの狭
トラツク狭ギャップ化が進んでいる。特に、フロッピー
ディスク用のディジタル磁気ヘッドにおいては、 9(
STPI ()ラック/インチ)。
1357PIと高密度化することによって、そのギャッ
プ長公差も±0.2〜±0.5μの高精度のギャップを
有する磁気ヘッドを製造することが必要となってきてい
る。
この高精度のギャップを形成する場合、ガラス流し込み
方式では、ギャップ形成面にギャップ制御膜がない。そ
のため、ガラスポンディングの際、加圧と加熱によるフ
ェライトの熱変形及びフェライト素材の平面度平坦度が
制御できず、ギャップ長のバラツキが大となる欠点を有
している。
これに対して、フェライトからなる1対のコアのギャッ
プ形成面に、それぞれスパッタリングによりS工02の
薄膜を、さらにその上にけい酸を主成分とするガラス膜
を形成し、アペックス部に補強用のガラスをおいて加圧
、加熱接着する方法、いわゆるスパッタリング方式が提
案されている(例えば、特公昭59−107414号公
報、特公昭59−107415号公報、特公昭59−1
07416号公報参照)。この方式は、スパッタ膜がギ
ャップ制御?かねるため、また加熱及び加圧下でフェラ
イトからなるコア同士を接合する際、コアがこのスパッ
タ膜に沿って矯正されるという効果があるため、高精度
のギャップ長が得られるという利点がある。
しかしながら、このような従来のスパッタリング方式で
は、コアの材料であるフェライトの平坦度があまりよく
ないために、アペックス部にのみ補強用のガラスをおく
と、アペックス部の反対側の方より2つのコアがそりか
えるという現象が発生する。そのため、ギャップディブ
スが長くなると、ひずみやちいさなヒビが接合部にはい
りやすくなり、不要部分の切断、ボンディングパーの幅
方向のスライス、ボリンング(鏡面仕上げ加工)と、加
工の段階が進むにつれて、そのヒビがアペックス側へと
成長し、最終的な強度試験で不合格となってしまう。
また、特公昭59−107416号公報では、補強用の
ガラスとして軟化温度の高いものを使用している。この
場合、できあがりのギャップ長が減少するおそれがでて
くるが接着力が増すので、はじめから減少分を見こんで
スパッタ膜の厚みを決定すれば、ギャップ長の精度の点
てはさほど問題はないと思われる。しかし、高温になる
と、フェライトとガラスの反応が進むために、アペック
ス部にくわれ等が生じて好ましくない。
〔問題点を解決するための手段〕
本発明による磁気ヘッド用コアのギヤツブ部接合方法は
、フェライトよりなる1対の直方体プロコクの少なくと
も一方に長手方向にコイル窓用の第1の溝と9本来の磁
気記録再生に関係しない部分に前記第1の溝と平行に第
2の溝とが形成され、互いの接合面が鏡面仕上げしてあ
る1対の磁気ヘッド用コアを所定のギャップ長を保持し
て接合する方法であって、前記接合面上に、それぞれス
パッタ法により所定の厚さのS工02膜を蒸着形成する
工程と、さらに前記5lo2膜上に、スパッタ法により
所定の厚さのガラス膜を形成する工程と9両コアのスパ
ッタ膜を互いに圧接し、アペックス部と前記第2の溝に
前記ガラス膜に使用したガラスよりも低い軟化点を有す
るガラス片を載置し、前記ガラス膜に使用したガラスの
軟化点以上に加熱する工程を含む。
〔実施例〕
以下9本発明の実施例について図面を参照して説明する
先ず、第1図を参照して、フェライトよりなる直方体ブ
ロックなるコア1の鏡面仕上げしてある面に、軟化点が
1500℃位のSiO2膜2を約1μmの厚さにスパッ
タリングにより形成し、更にその51o2膜2上に+ 
5102 + B2O5+ ”2o3+に20. Zo
O,M、O等よりなる軟化点(10−76P)が700
℃のガラス@3を約0.05μmの厚さにスパッタリン
グにより形成する。第2図を参照して、同様に、フェラ
イトよりなる直方体ブロックの長手方向にコイル窓用溝
4aと9本来の磁気記録再生に関係せず、後で切断され
る不要部分にコイル窓用溝4aと平行に補強用溝4bが
形成されたコア4の鏡面仕上げしてある面に。
軟化点#”−1500℃位のS工02膜5を約1μmの
厚さにスパッタリングにより形成し、更にそのSIO2
膜5上に、 S、02. B2O3,At205. K
2O,Z、O。
MgO等よりなる軟化点(1O−76F)が700℃の
ガラス膜6を約0.05μmの厚さにスパッタリングに
より形成する。
次に、第3図に示されるように、5002膜とガラス膜
からなるスパッタ膜の形成されたコア1゜4を、そのス
パッタ膜側の面が互いに接触された状態で、アペックス
部7と補強用溝4blC。
PbO1S、02.Na2CO3,B2O3,At20
S、F6205゜ZnOよりなる軟化点(1O−16F
)が540℃のガラスパー8,8を設置する。
次に、コア1.4を、互いに密着される方向へ約300
Kr/−の圧力で加圧しながら、780℃の温度で約2
時間加熱して、ボンディングする。
これKよシ、第4図に示されるように、ガラス@6,6
が軟化するだけでコア1.4の両側から加圧されるので
、ギャップ長Gtの減少がほとんどなく、補強用のガラ
スパー8のみが半溶融して、コア1.4がしっかりと固
着するようになるので、所望の強度を保って正確なギャ
ップ長G1が形成できる。
このとき、従来のように、アペックス部7と反対側の所
9よりそりかえってヒビがはいるのを防止できる。従っ
て、ヒビがアペックス部7よりギャップディツプスG6
の位@10で切断等。
加工が進んだときにギャップディツプスG6へ達すると
いうこともない。
本発明者らは1本実施例により接着したコアと従来法で
接着したコアの強度試験をテンンヨンゲージを使用して
測定したところ、従来法のものは1.25に9/Im”
であるのに対し9本実施例のものでは1.72Kg/l
l312であり1本発明の方が従来のものより強固に接
合されていることを確認した。
なお、上記実施例では1片方のコアのみにコイル窓用溝
及び補強用溝を形成しているが1両方のコアにその対向
する部分にコイル窓用溝及び補強用溝を形成しても良い
のは勿論である。
又、加圧の圧力や加熱の温度も、上記の値に限定せず、
加圧圧力は100〜500に9/iの範囲。
加熱温度はガラス膜の軟化点と同じかそれよりいく分高
めの650〜800℃の範囲であれば良い。又、補強用
溝に設置されるガラスパーも。
その軟化点(10−1’P)が、スパッタしたガラス膜
の軟化点と同じかもしくは低い400〜700℃の範囲
にあるものに選ばれる。
〔発明の効果〕
以上の説明で明らかなように9本発明によれば、コイル
窓用溝と平行に補強用溝を切って。
その補強用溝にアペックス部に載置したがラスパーと同
様のがラスパーを置き、加圧加熱することにより、ギャ
ップディツプスの両端を補強しているので、ギヤツブ部
スパッタ膜接合面の剥離を防止した高精度のギャップ長
を形成できるという効果がある。
【図面の簡単な説明】
第1図乃至第4図は本発明の方法を工程順に示した図で
ある。 1・・・コア、2・・・S工02膜、3・・・ガラス膜
。 4・・・コア、 4a・・・コイル窓用溝、 4b・・
・補強用溝。 5・・・5102膜、6・・・ガラス膜、7・・・アペ
ックス部。 8・・・ガラスパー。 ご゛パ 第2図    第1図

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 1、フェライトよりなる1対の直方体ブロックの少なく
    とも一方に長手方向にコイル窓用の第1の溝と、本来の
    磁気記録再生に関係しない部分に前記第1の溝と平行に
    第2の溝とが形成され、互いの接合面が鏡面仕上げして
    ある1対の磁気ヘッド用コアを所定のギャップ長を保持
    して接合する方法であって、前記接合面上に、それぞれ
    スパッタ法により所定の厚さのSiO_2膜を蒸着形成
    する工程と、さらに前記SiO_2膜上に、スパッタ法
    により所定の厚さのガラス膜を形成する工程と、両コア
    のスパッタ膜を互いに圧接し、アペックス部と前記第2
    の溝に前記ガラス膜に使用したガラスよりも低い軟化点
    を有するガラス片を載置し、前記ガラス膜に使用したガ
    ラスの軟化点以上に加熱する工程を含む磁気ヘッド用コ
    アのギャップ部接合方法。
JP20430585A 1985-09-18 1985-09-18 磁気ヘツド用コアのギヤツプ部接合方法 Pending JPS6265214A (ja)

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JPS6265214A true JPS6265214A (ja) 1987-03-24

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ID=16488278

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JP20430585A Pending JPS6265214A (ja) 1985-09-18 1985-09-18 磁気ヘツド用コアのギヤツプ部接合方法

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH03217032A (ja) * 1990-01-23 1991-09-24 Mitsubishi Electric Corp 半導体装置の樹脂封止装置、樹脂封止方法及び樹脂封止型半導体装置

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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH03217032A (ja) * 1990-01-23 1991-09-24 Mitsubishi Electric Corp 半導体装置の樹脂封止装置、樹脂封止方法及び樹脂封止型半導体装置

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