JPS6260192A - 半導体メモリセルの駆動方法 - Google Patents

半導体メモリセルの駆動方法

Info

Publication number
JPS6260192A
JPS6260192A JP60201324A JP20132485A JPS6260192A JP S6260192 A JPS6260192 A JP S6260192A JP 60201324 A JP60201324 A JP 60201324A JP 20132485 A JP20132485 A JP 20132485A JP S6260192 A JPS6260192 A JP S6260192A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
fet
voltage
signal
word line
current
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP60201324A
Other languages
English (en)
Inventor
Susumu Kurosawa
晋 黒澤
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
NEC Corp
Original Assignee
NEC Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by NEC Corp filed Critical NEC Corp
Priority to JP60201324A priority Critical patent/JPS6260192A/ja
Publication of JPS6260192A publication Critical patent/JPS6260192A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Semiconductor Memories (AREA)
  • Dram (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 (産業上の利用分野) 本発明は、高集積化に適した半導体メモリセルの駆動方
法に関する。
(従来の技術) 2つのMCIJF’ETで構成される半導体メモリセル
が1984年に開催された固体素子材料コ/ファレ/ス
のアブストラクトP、265〜268にエイチ・シチジ
ョ−(HlShichijo 、)等によって「TrT
K  RAM  c・11」として提案されている。
このメモリセル(以下T工TEセルと略す)の主な特徴
は、メモリセル中に貯蔵信号を増幅する機能を持ち、メ
モリセルを微細化しても読み出し信号が低下することが
少なく、2値電圧で動作することにある。
第2図及び第3図を参照してP型半導体基板を用いた場
合のTエフにセルの動作原理を説明する。
W2図はT工TKセルの等価回路である。T工TKセル
はN型チャネルの第1FK711と、N型チャネルの第
27ZT 12と、一方の端子を前記第1 FET l
 lのゲート電極と前記第27KT12の第2通電電極
に直結した容量13と、前記第1FETIIの第2通電
電極に供給される基準電位14用の配線と、前記@IF
F:Tllの第1通電電極に接続されて読み出し時に前
記第1FETllの導通状態を検出するための信号を供
給する読み出しディジット線15と、前記第2FETの
ゲート電極に接続されて書き込み時に前記第2IFET
12をオンする信号を供給する書き込みワード線16と
、前記第27ET12の第1通電電極に接続されて書き
込み時に前記第1 FKT l lのゲー、ト電圧を高
低いずれかに設定する書き込み信号を供給する書き込み
ディジット線17と、前記容量13の他方の端子にi8
!されて読み出し時に前記各[13を介して前記第1F
ETIIのゲート電圧を変化させて少なくとも一方の情
報が書き込まれていた場合に前記&T I ’ ” T
L lがオンする信号を供給する読み出しワード線18
とを含んで構成されている。
次Kg準電位14を5V、第1FBTIIの閾値電圧を
3v、第2FKT12の閾値電圧を1vに設定した場合
の動作を説明する。2進情報は電気的に浮いた状態であ
る電荷蓄積ノード19に蓄えられる。第3図はT工TK
セルを動作させる時の信号波形図である。書き込み動作
時には読み出しワード線電圧21及び曹き込みワード線
電圧22を共に5vにし、書き込みディジット線電圧は
書き込む2進情報に応じて%ll情報の時は23のよう
に5vにし、1ON情報の時け24のように□Vにする
。この時第2F’ET12け導通状態になるため、電荷
蓄積ノード19の電圧は書き込みディジット線電圧に応
じて%1”情報を書き込んだ時は27のように5vに、
’o’fpt報を唇き込んだ時は28のようにOvにな
る。この後第3図に示すように、まず書き込みワード線
電圧をQVにし、次に読み出しワード線電圧をQVにす
ると書き込み動作が完了する。この時電荷蓄積ノードの
電圧は容量13を通じての容量カップリングによって変
動する。仮に容量13が電荷蓄積ノードの全容量の50
チを占めるとすると、電荷蓄積ノードの電圧け%l”を
書き込んだ時は2.5Vに、%OIを書き込んだ場合は
−2,5vになる。
読み出し動作時には読み出しディジット線15をセンス
ア/プへつなぎ、この電圧をovにした状態で続み出し
ワード線′也圧21を5vにする。この時電荷蓄積ノー
どの電圧は容置13を通じての容量カップリングによっ
て、11〃が書き込まれていた時は5vに %0/Lが
書き込まれていた時はOvになる。#C11FET11
の閾値電圧は3vであるので、メモリセルに11Iが書
き込まれていた場合は第1 F]II!Tのゲート電圧
が5vのため導通状態にあり、読み出しディジット線へ
基準電位14を与える電源から電流が流れるので読み出
しディジット線電圧は符号25の如くに上昇する。
メモリセルに161が書き込まれていた場合は第1 、
F K Tのゲート電圧がQVのため非導通状態にあり
、読み出しディジット線電圧は符号26の如くにOvの
11である。その結果、メモリセルに書き込まれた2進
情報信号はメモリセル自身によって増幅されて読み出し
ディジット線15に読み出される。
(発明が解決しようとする問題点) ところがこのTITKセルを使った半導体集積化記憶装
置の従来の駆動方法にはいくつかの問題があった。1つ
は11′情報を書き込んだ時に第1 FET l lが
導通状態となって、基準電位14を与える′0!源から
読み出しディジット線15に電流が流れてしまうことで
ある。これは第1 FET11の閾値電圧を、読み出し
動作時の電荷蓄積ノ−ド19の2種類の電圧の中間に選
ぶ必要性のために避けることはできない。2つめは1O
N情報を書き込んだ時に情報の一部が破壊されてしまう
ことである。1さ込み動作終了時に読み出しワード線電
圧をOvにして容′Mt13を通じての容量カップリン
グによって%ON情報が書き込まれた電荷蓄積ノード1
9の電圧はマイナスになる。この時電荷蓄積ノード19
の電圧の絶対値が第2 FITの閾値電圧の絶対値より
大きくなると、第27ICT12が導通状態となって、
書き込まれた情報の一部が破壊されてしまう。3つめは
読み出しワード線18の電圧を書き込み動作時と読み出
し動作時の両方で変化させねばならないためと、書き込
み動作終了時の読み出しワード線と書き込みワード7H
の電圧変化の微妙なタイミングのために周辺回路が複雑
になってしまうことである。
そこで、本発明の目的は、このような従来の欠点を除去
せしめて、書キ込み動作時に基準電位を与える電源から
読み出しディジット線に電流が流れることがなく、書き
込まれた情報の一部が破壊されることもなく、シかも周
辺回路が簡単にできる半導体メモリセルの駆動方法を与
えることである。
(問題点を解決するための手段) 前述の問題点を解決するために本発明が提供する手段は
、ゲート電極と第1通電電極と基準電位が供給される第
2通電電極とを有する第1 FETと、ゲート電極と第
1通電電極と前記第1 FITのゲート電極に直結され
て電気的に浮いた状態にある第2通電電極とを有するg
2FETと、第1の端子を前記第2FKTの第2通電電
極に直結した容量と、前記第1 FETの第1通電電極
に接続されて読み出し時に前記第11FETの導通状態
を検出するための信号を供給する読み出・しディジット
線と、前記第2yg’rのゲート電極に接続されて書き
込み時に前記第2F]liTを導通させる信号を供給す
る書き込みワード線と、前記第2FETの第1通電電極
に接続されて書き込み時rc前記第1FETのゲート電
圧を高低いずれかに設定する書き込み信号を供給する書
き込みディジット線と、前記容量の第2の端子に接続さ
れて読み出し時に前記容量を介して前記第1FETのゲ
ート電圧を変化させて少なくとも一方の情報が書き込ま
れていた場合に前記第1 FETが導通する信号を供給
する読み出しワード線とを備える半導体メモリセルの駆
動方法であって、前記読み出しワード線の信号を書き込
み時には変化させず、読み出し時のみに変化させること
を特徴とする。
(実施例) 以下本発明の実施例について図面を参照して詳細に説明
する。
本実施例では、第2図に示したT工TKセルをそのまま
使う。ここで第11FETII、第2 FICTlz共
KN型チャネルMO8FE’rとし、基準電位14を5
v、第1 FITl 10閾値電圧を6v。
!2FET120閾値電圧をIVVc設定した場合を想
定する。
第1図はTXTEセルを動作させる場合の、本発明の駆
動方法による信号波形図の一例である。
書き込み動作時には書き込みワード線電圧2を5vにし
、書き込みディジット線電圧は書き込む2進情報に応じ
て、%1〃情報の時け3のように5vにし %OII情
報の時は4のようにQVにする。
この時第27PT12は導通状態となるため、電荷蓄積
ノード19の電圧は書き込みディジット線電圧に応じて
%IN情報を書き込んだ時は7のように5vに、%Ol
情報を書き込んだ時は8のようにOvになる。この後書
き込みワード線電圧をOvにするととくよって書き込み
動作が完了する。
読み出し動作時には読み出しディジット線15をセンス
アンプへつなぎ、この電圧をOvにした状態で読み出し
ワード線電圧lを5vにする。この時電荷蓄積ノード1
9の電圧は容量13を通じての容量カップリングによっ
て変動する。仮に容量13が電荷蓄積ノードの全容量の
50チを占めるとすると、電荷蓄積ノード19の電圧は
、%INが書き込まれていた場合は7.5vに、東Ol
が書き込まれていた時は2.5vKなる。第1FIcT
IIの閾値電圧は6vであるので、メモリセルに%1#
が書き込まれていた場合は第1 FETのゲート電圧が
7.5vのため導通状態にあり、読み出しディジット線
15へ基準電位14を与える電源から電流が流れるので
読み出しディジット線電圧は符号5のように上昇する。
メモリセルに%O1が書き込まれていた場合は第1 F
ETのゲート電圧が2.5vのため非導通状態にあり、
読み出しディジット線電圧は符号6のよう[0”/のま
まである。
その結果、メモリセルに書き込まれた2進情報信号はメ
モリセル自身によって増幅されて読み出しディジット線
15に読み出される。
読み出しも書き込みも行なわれない非選択メモリセルで
は、読み出しワード線電圧と書き込みワード線電圧は共
にOVK保つ。その結果、第1FET11も第2FET
 12も共に非導通状態になっている。
第4図(a)は第2図に示すメモリセルを半導体基板に
実現したものの平面図であり、同図(b)は本図(a)
のA−A/矢視断面図である。P型半導体31は$2図
の第1FETの基板領域である。N型領域32は、第1
F辺Tのゲート電極、第2FETの第2通1!電極及び
容[13の第1の端子を兼ね、電荷蓄積ノード19を構
成する。N型領域33は第1 FIICTの第1通電電
極と読み出しディジット線15を兼ねる。N型領域34
け第1 FF1Tの第2通電電極と基準電位14が供給
される電源配線を兼ねる。導体層35は第21FETの
ゲート電極と書き込みワード線16を兼ねる。N型領域
36は第21FETの第1通電電極である。導体層37
は書き込みディジット線17である。導体層38は容量
13の第2の端子と読み出しワード線18を兼ねる。3
9.40は絶縁層である。P型領域41は第27ETの
基板領域である。第4図の二点鎖線は半導体基板内の能
動素子に対する活性領域と不活性領域を分けておシ、こ
れらの図で実線のハツチングを施した領域が不活性領域
である。
以上、説明の便宜上第11FKT、第2FI!iT共に
N型チャネルMO8711iTを使用した実施例につき
説明し九が、本発明は他のFETを用いた場合にも適用
できる。
本発明の詳細な説明する際に、容1)13が電荷蓄積ノ
ードの全容量の50%の場合を考え、各FETの閾値電
圧として適尚な値を用いたが一本発明ではこれらもこれ
らの値に限るわけではない。
また動作電圧としてOvと5vを用いて説明したが、こ
れらも他の値であっても構わない。
(発明の効果) 本発明の半導体メモリセルの駆動方法では、第1 FF
;Tの閾値電圧を111情報書き込み動作時の電荷蓄積
ノードの電圧よりも高く設定できるから、%lN情報書
き込み動作時に基準電位を与える電源から読み出しディ
ジット線に電流が流れることがない。また電荷蓄積ノー
ドの電圧は常にプラスであるから、書き込み動作のため
に書き込みワード線を5vにする時以外は第2FETは
常に非導通状態であり、基本動作によって情報の一部が
破壊されてしまうことはない。また読み出しワード線は
読み出し動作時以外はQVに保持すればよいから、読み
出しワード線と書き込みワード線の電圧変化の微妙なタ
イミングも必要なく、周辺回路は簡単になる。
以上説明したように、本発明の半導体メモリセルの駆動
方法を採用すれば、書き込み動作時にディジット線に直
流電流が流れることもなく、書き込まれた情報の一部が
破壊されることもなく、周辺回路も簡単になるので、こ
の効果は非常に大きい0
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明の一実施例であるT工TEセルの駆動方
法における信号波形図、第2図はTITEセルの等価回
路図、第3図はTITFliセルの従来の駆動方法にお
ける信号波形図、第4図(a)及び(b)はそれぞれT
工TEセルの一例を示す平面図及び断面図である。 代理人  弁理士  本 庄 伸 介 第1図 害1とb   袋与邸し 第2図 第3図

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1.  ゲート電極と第1通電電極と基準電位が供給される第
    2通電電極とを有する第1FETと、ゲート電極と第1
    通電電極と前記第1FETのゲート電極に直結されて電
    気的に浮いた状態にある第2通電電極とを有する第2F
    ETと、第1の端子を前記第2FETの第2通電電極に
    直結した容量と、前記第1FETの第1通電電極に接続
    されて読み出し時に前記第1FETの導通状態を検出す
    るための信号を供給する読み出しディジット線と、前記
    第2FETのゲート電極に接続されて書き込み時に前記
    第2FETを導通させる信号を供給する書き込みワード
    線と、前記第2FETの第1通電電極に接続されて書き
    込み時に前記第1FETのゲート電圧を高低いずれかに
    設定する書き込み信号を供給する書き込みディジット線
    と、前記容量の第2の端子に接続されて読み出し時に前
    記容量を介して前記第1FETのゲート電圧を変化させ
    て少なくとも一方の情報が書き込まれていた場合に前記
    第1FETが導通する信号を供給する読み出しワード線
    とを備える半導体メモリセルの駆動方法において、前記
    読み出しワード線の信号を書き込み時には変化させず、
    読み出し時のみに変化させることを特徴とする半導体メ
    モリセルの駆動方法。
JP60201324A 1985-09-11 1985-09-11 半導体メモリセルの駆動方法 Pending JPS6260192A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP60201324A JPS6260192A (ja) 1985-09-11 1985-09-11 半導体メモリセルの駆動方法

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP60201324A JPS6260192A (ja) 1985-09-11 1985-09-11 半導体メモリセルの駆動方法

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPS6260192A true JPS6260192A (ja) 1987-03-16

Family

ID=16439121

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP60201324A Pending JPS6260192A (ja) 1985-09-11 1985-09-11 半導体メモリセルの駆動方法

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPS6260192A (ja)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH05237608A (ja) * 1991-04-24 1993-09-17 Nisshin Steel Co Ltd 連続鋳造設備におけるノズルの洗浄方法
JP2001044297A (ja) * 1999-07-29 2001-02-16 Sony Corp 半導体装置

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2008166191A (ja) * 2006-12-28 2008-07-17 Sanyo Electric Co Ltd 電池パック
JP2010251019A (ja) * 2009-04-13 2010-11-04 Sanyo Electric Co Ltd バッテリシステム
WO2012042913A1 (ja) * 2010-09-30 2012-04-05 三洋電機株式会社 バッテリモジュール、それを備えたバッテリシステム、電動車両、移動体、電力貯蔵装置、電源装置および電気機器
WO2012133709A1 (ja) * 2011-03-31 2012-10-04 三洋電機株式会社 電源装置及び電源装置を備える車両

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2008166191A (ja) * 2006-12-28 2008-07-17 Sanyo Electric Co Ltd 電池パック
JP2010251019A (ja) * 2009-04-13 2010-11-04 Sanyo Electric Co Ltd バッテリシステム
WO2012042913A1 (ja) * 2010-09-30 2012-04-05 三洋電機株式会社 バッテリモジュール、それを備えたバッテリシステム、電動車両、移動体、電力貯蔵装置、電源装置および電気機器
WO2012133709A1 (ja) * 2011-03-31 2012-10-04 三洋電機株式会社 電源装置及び電源装置を備える車両

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH05237608A (ja) * 1991-04-24 1993-09-17 Nisshin Steel Co Ltd 連続鋳造設備におけるノズルの洗浄方法
JP2001044297A (ja) * 1999-07-29 2001-02-16 Sony Corp 半導体装置
JP4654471B2 (ja) * 1999-07-29 2011-03-23 ソニー株式会社 半導体装置

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US5361224A (en) Nonvolatile memory device having ferroelectric film
US4123799A (en) High speed IFGET sense amplifier/latch
JP3431122B2 (ja) 半導体記憶装置
JPH0143400B2 (ja)
US3618053A (en) Trapped charge memory cell
US3990056A (en) High speed memory cell
US6404667B1 (en) 2T-1C ferroelectric random access memory and operation method thereof
JPS58158096A (ja) ダイナミツクランダムアクセスメモリ用の検知・回復回路
JPS6260191A (ja) 半導体メモリセル
JPS6260192A (ja) 半導体メモリセルの駆動方法
US6185142B1 (en) Apparatus for a semiconductor memory with independent reference voltage
KR900001773B1 (ko) 반도체 집적회로
JPH02285593A (ja) 不揮発性半導体記憶装置
JPH0158594B2 (ja)
JPS596560Y2 (ja) 集積回路用fetメモリのセンス増幅回路
JPH1055672A (ja) 半導体記憶装置
JPH05291534A (ja) 電荷蓄積素子を有する半導体装置
JPH0415556B2 (ja)
JP2508441B2 (ja) メモリ装置
JPS62128090A (ja) 半導体メモリセル
JPS613393A (ja) 半導体集積化記憶装置
JPH039559B2 (ja)
JPH1092200A (ja) 半導体装置およびそのバーンイン方法
JP3646344B2 (ja) 半導体記憶装置
JPS5864693A (ja) 半導体メモリセル