JPS6256903A - 反射形分岐光導波路 - Google Patents
反射形分岐光導波路Info
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- JPS6256903A JPS6256903A JP19604385A JP19604385A JPS6256903A JP S6256903 A JPS6256903 A JP S6256903A JP 19604385 A JP19604385 A JP 19604385A JP 19604385 A JP19604385 A JP 19604385A JP S6256903 A JPS6256903 A JP S6256903A
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- optical
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
発明の要約
第１の光導波路と、この第１の光導波路から分岐した少
なくとも２つの第２および第３の光導波路が基板に形成
されており、これらの光導波路の分岐部の位置において
基板に凹部が形成され、こそれぞれ第２．第３の光導波
路に反射させるための少なくとも２つの反射面が形成さ
れていることを特徴とする反射形分岐光導波路。
なくとも２つの第２および第３の光導波路が基板に形成
されており、これらの光導波路の分岐部の位置において
基板に凹部が形成され、こそれぞれ第２．第３の光導波
路に反射させるための少なくとも２つの反射面が形成さ
れていることを特徴とする反射形分岐光導波路。
［技術分野］
この発明は、光導波路技術、光集積回路技術において有
用な反射形分岐光導波路に関する。
用な反射形分岐光導波路に関する。
［従来技術］
基板上に形成される分岐光導波路としては。
Ｌ ｉＮ ｂ Ｏａ基板上にＴｉの熱拡散により作製さ
れたシングル・モードＹ分岐光導波路が知られている。
れたシングル・モードＹ分岐光導波路が知られている。
このＹ分岐光導波路は２文字通り、平面からみて７字形
であり、光導波路の巾、深さはともに数μｍ程度である
。この光導波路と基板との間の屈折率差は１０−３程度
で２分岐角度は１°〜２″である。
であり、光導波路の巾、深さはともに数μｍ程度である
。この光導波路と基板との間の屈折率差は１０−３程度
で２分岐角度は１°〜２″である。
このような分岐光導波路においては、上記のように光導
波路部分と基板との間の屈折率差が小さいので分岐角度
を大きくとることはできない。光は直進する性質をもつ
ために１分岐角度を大きく名、栖原共著「光集積回路」
、昭和６０年２月２５日■オーム社発行の第４３頁には
、Ｔｉ拡散Ｌ ｉＮ ｂ ０３分岐光導波路における分
岐角と分岐光出力との関係の計算結果の一例がグラフで
示されている。これによると、９岐角度が２，５６で放
射損失は３ｄＢにもなる。
波路部分と基板との間の屈折率差が小さいので分岐角度
を大きくとることはできない。光は直進する性質をもつ
ために１分岐角度を大きく名、栖原共著「光集積回路」
、昭和６０年２月２５日■オーム社発行の第４３頁には
、Ｔｉ拡散Ｌ ｉＮ ｂ ０３分岐光導波路における分
岐角と分岐光出力との関係の計算結果の一例がグラフで
示されている。これによると、９岐角度が２，５６で放
射損失は３ｄＢにもなる。
Ｙ字形分岐光導波路ではこのように大きな分岐角度が得
られないから、その２つの分岐光導波路間の間隔を大き
くするためには、距離を長くとることが必要となる。Ｙ
字形分岐光導波路を多段に接続して数多くの分岐光を得
ようとする場合には。
られないから、その２つの分岐光導波路間の間隔を大き
くするためには、距離を長くとることが必要となる。Ｙ
字形分岐光導波路を多段に接続して数多くの分岐光を得
ようとする場合には。
きわめて長い距離が必要となり、ディバイス長が長くな
るという問題がある。
るという問題がある。
［発明の目的］
この発明は、低損失でかつ大きな分岐角度を得ることの
できる反射形分岐光導波路を提供する。
できる反射形分岐光導波路を提供する。
［発明の構成と効果コ
この発明による反射形分岐光導波路は、第１の光導波路
と、この第１の光導波路から分岐した少なくとも２つの
第２および第３の光導波路が基板に形成されており、こ
れらの光導波路の分岐部の位置において基板に凹部が形
成され、この凹部には、第１の光導波路を伝播してきた
光をそれぞれ第２．第３の光導波路に反射させるた−め
の少なくとも２つの反射面が形成されていることを特徴
とする。
と、この第１の光導波路から分岐した少なくとも２つの
第２および第３の光導波路が基板に形成されており、こ
れらの光導波路の分岐部の位置において基板に凹部が形
成され、この凹部には、第１の光導波路を伝播してきた
光をそれぞれ第２．第３の光導波路に反射させるた−め
の少なくとも２つの反射面が形成されていることを特徴
とする。
第１の光導波路を伝播してきた光は、凹部の反射面で反
射して適当な割合で第２および第３の光導波路に向う。
射して適当な割合で第２および第３の光導波路に向う。
光の反射を利用して光を分岐させているので、任意の分
岐角度を得ることが可能であり、きわめて大きな分岐角
度とすることもできる。光は光導波路内に閉じ込められ
た状態で伝播方向を変えられるので、そして反射面の反
射率を高くしておけば（たとえば平坦にしたり鏡面を形
成したりしておけば）１反射損失は少なく、全体として
も低損失となる。第２および第３の光導波路へ分岐され
る光パワーの比率は２反射面の位置に応じて任意に設定
することができる。
岐角度を得ることが可能であり、きわめて大きな分岐角
度とすることもできる。光は光導波路内に閉じ込められ
た状態で伝播方向を変えられるので、そして反射面の反
射率を高くしておけば（たとえば平坦にしたり鏡面を形
成したりしておけば）１反射損失は少なく、全体として
も低損失となる。第２および第３の光導波路へ分岐され
る光パワーの比率は２反射面の位置に応じて任意に設定
することができる。
このようにして、低損失でかつ任意の大きな分岐角度を
もつ分岐光導波路が得られるので、この分岐光導波路を
用いて光ディバイスを作製した場合にはその光ディバイ
スの寸法を小さくすることができる。とくに、この反射
形分岐光導波路を多段に接続して数多くの分岐光を得る
ような場合に有効である。
もつ分岐光導波路が得られるので、この分岐光導波路を
用いて光ディバイスを作製した場合にはその光ディバイ
スの寸法を小さくすることができる。とくに、この反射
形分岐光導波路を多段に接続して数多くの分岐光を得る
ような場合に有効である。
光の反射は双方向性をもつから、第２．第３の光導波路
を分岐部に向って伝播してきた光は、凹部の反射面によ
って反射して第１の光導波路に向う。したがって、この
発明による反射形分岐光導波路は、２つ以上の光を合波
するためにも使用可能である。
を分岐部に向って伝播してきた光は、凹部の反射面によ
って反射して第１の光導波路に向う。したがって、この
発明による反射形分岐光導波路は、２つ以上の光を合波
するためにも使用可能である。
［実施例の説明］
第１図において、基板９上に第１の光導波路１とこの光
導波路１の終端から分岐した第２．第３の光導波路２，
３とが形成されている。そして。
導波路１の終端から分岐した第２．第３の光導波路２，
３とが形成されている。そして。
この分岐部において基板９に凹部（または穴。
溝）４が形成され、凹部４は２つの反射面４ａ、４ｂを
もっている。反射面４ａは、光導波路１を伝播してきた
光の半分が反射して光導波路２に向うような角度および
位置に、同じように反射面４ｂは光導波路１を伝播して
きた光の他の半分が光導波路３に向うような角度および
位置にそれぞれ形成されている。この反射面４ａ 、
４ｂは基板９の表面に垂直である。
もっている。反射面４ａは、光導波路１を伝播してきた
光の半分が反射して光導波路２に向うような角度および
位置に、同じように反射面４ｂは光導波路１を伝播して
きた光の他の半分が光導波路３に向うような角度および
位置にそれぞれ形成されている。この反射面４ａ 、
４ｂは基板９の表面に垂直である。
この実施例では、光導波路２，３は光導波路１に対して
直角に配置されている。したがって、光の反射角は９０
°となり、各反射面４ａ、４ｂの法線と入射光または反
射光とのなす角θは４５°となっている。もちろん、光
導波路２．３の分岐角度を任意に定めることができ、こ
の分岐角度に応じて反射面４ａ、４ｂの配置が定められ
る。
直角に配置されている。したがって、光の反射角は９０
°となり、各反射面４ａ、４ｂの法線と入射光または反
射光とのなす角θは４５°となっている。もちろん、光
導波路２．３の分岐角度を任意に定めることができ、こ
の分岐角度に応じて反射面４ａ、４ｂの配置が定められ
る。
具体的には、−光導波路１，２，３．凹部４およびその
反射面４ａ、４ｂは、−例として次のよ−うにして作製
される。
反射面４ａ、４ｂは、−例として次のよ−うにして作製
される。
基板９としてＬ ｉＮ ｂ Ｏ３を用い、この基板９表
面上にＴｉを３００人の厚さにスパッタし、リフトオフ
法によって光導波路１，２．３と同パターンのＴｉパタ
ーンを形成する。温度９７０°Ｃ，ウェット０２雰囲気
中で５時間、Ｔｉを基板９中に熱拡散することにより光
導波路１，２．３がつくられる。これらの３次元光導波
路１，２，３め＋４１は約４μｍ、深さも約４μｍで、
シングル・モード光導波路となる。
面上にＴｉを３００人の厚さにスパッタし、リフトオフ
法によって光導波路１，２．３と同パターンのＴｉパタ
ーンを形成する。温度９７０°Ｃ，ウェット０２雰囲気
中で５時間、Ｔｉを基板９中に熱拡散することにより光
導波路１，２．３がつくられる。これらの３次元光導波
路１，２，３め＋４１は約４μｍ、深さも約４μｍで、
シングル・モード光導波路となる。
次に、凹部４を形成すべき部分以外の基板９全表面に、
厚さ２０００人のＴｉマスクをスパッタ法により形成す
る。そして、アルゴン・イオンのスパッタにより凹部４
およびこれとともに反射面４ａ。
厚さ２０００人のＴｉマスクをスパッタ法により形成す
る。そして、アルゴン・イオンのスパッタにより凹部４
およびこれとともに反射面４ａ。
４ｂを作製する。凹部４の深さは光導波路１〜３の深さ
以上とし、光導波路の端面が反射面４ａ、４ｂにお（（
で凹部４にのぞむようにする。このスパッタリングにお
いて、ガス圧１０−’Ｔｏｒｒ、加速電圧１ ｋＶとす
ると、１時間に深さ約２．５μｍのスパッタ・レートで
凹部を掘ることができる。掘る速度、すなわちスパッタ
・レートを上げるために酸素を導入してもよい。
以上とし、光導波路の端面が反射面４ａ、４ｂにお（（
で凹部４にのぞむようにする。このスパッタリングにお
いて、ガス圧１０−’Ｔｏｒｒ、加速電圧１ ｋＶとす
ると、１時間に深さ約２．５μｍのスパッタ・レートで
凹部を掘ることができる。掘る速度、すなわちスパッタ
・レートを上げるために酸素を導入してもよい。
屈折率が異なる媒質の境界面におけるフレネル反射およ
び鏡面における鏡面反射はよく知られている。光導波路
１の屈折率は約２．２．凹部４における空気の屈折率は
１であるから１反射面４ａ、４ｂ、 ではフレネル反
射が生じる。これによって、光導波路１の光はその半分
ずつが光導波路２および３に、光導波路２，３の光は光
導波路１に反射されて伝播方向が変えられるのはいうま
でもない。反射面４ａ、４ｂにＡ（等の金属膜を形成す
ることにより、鏡面反射が生じ、同じように光の分岐１
合波が行なわれる。
び鏡面における鏡面反射はよく知られている。光導波路
１の屈折率は約２．２．凹部４における空気の屈折率は
１であるから１反射面４ａ、４ｂ、 ではフレネル反
射が生じる。これによって、光導波路１の光はその半分
ずつが光導波路２および３に、光導波路２，３の光は光
導波路１に反射されて伝播方向が変えられるのはいうま
でもない。反射面４ａ、４ｂにＡ（等の金属膜を形成す
ることにより、鏡面反射が生じ、同じように光の分岐１
合波が行なわれる。
凹部４の反射面には金属膜を形成してもしなくてもよい
。金属膜としてはＡ℃以外にＡｕなどを用いることもで
きる。基板材料、光導波路の作製方法および凹部や反射
面の作製方法は任意に選択できるのはいうまでもない。
。金属膜としてはＡ℃以外にＡｕなどを用いることもで
きる。基板材料、光導波路の作製方法および凹部や反射
面の作製方法は任意に選択できるのはいうまでもない。
、 第２図は、この発明による反射形分岐光導波路を光
Ａ／Ｄ変換装置に適用したものである。
Ａ／Ｄ変換装置に適用したものである。
光を利用した光Ａ／Ｄ変換装置は、比較的簡単な構成で
かつ高速のサンプリング（１〜２Ｇサンプル／秒）が期
待できることから、多くの人の注目を集めている。光Ａ
／Ｄ変換装置の代表例が。
かつ高速のサンプリング（１〜２Ｇサンプル／秒）が期
待できることから、多くの人の注目を集めている。光Ａ
／Ｄ変換装置の代表例が。
上述の文献第３５８〜３８１真に示されている。第２図
の装置はこれを改良したものである。
の装置はこれを改良したものである。
電気光学効果を有する基板１０．たとえばＹカットＬｉ
ＮｂＯ３結晶の表面に、この発明による３つの反射形分
岐光導波路ｔｔ−ｔａと４つの分岐干渉型光変調器（マ
ツハツエンダ型光導波路２１〜２４を含むもの）とが設
けられている。また、基板ｌＯの入力側端面には光源と
しての半導体レーザ５０が設けられてる。
ＮｂＯ３結晶の表面に、この発明による３つの反射形分
岐光導波路ｔｔ−ｔａと４つの分岐干渉型光変調器（マ
ツハツエンダ型光導波路２１〜２４を含むもの）とが設
けられている。また、基板ｌＯの入力側端面には光源と
しての半導体レーザ５０が設けられてる。
第１の反射形分岐光導波路１１の各構成要素、すなわち
第１〜３の光導波路および凹部には便宜的に第１図に示
すものと同一符号が付けられている。半導体レーザ５０
から出射した光は、第１の光導波路１に入射し、第２．
第３の光導波路２，３にほぼ等しい強度で分岐される。
第１〜３の光導波路および凹部には便宜的に第１図に示
すものと同一符号が付けられている。半導体レーザ５０
から出射した光は、第１の光導波路１に入射し、第２．
第３の光導波路２，３にほぼ等しい強度で分岐される。
第２の光導波路２と第２の反射形分岐光導波路１２の第
１の光導波路とは直角に結合しており、この結合部に凹
部５が形成されている。この凹部５にも反射面が形成さ
れており、第２の光導波路２を伝播する光はこの反射面
で反射して第２の反射形分岐光導波路１２に向う。そし
て、第２の反射形分岐光導波路１２において、再び強度
のほぼ等しい２つの光に分岐されて、その分岐光導波路
（第２、第３の光導波路）に接続された２つの分岐干渉
型光変調器（マツハツエンダ型光導波路２１．２２をそ
れぞれ含む変調器）に入射する。
１の光導波路とは直角に結合しており、この結合部に凹
部５が形成されている。この凹部５にも反射面が形成さ
れており、第２の光導波路２を伝播する光はこの反射面
で反射して第２の反射形分岐光導波路１２に向う。そし
て、第２の反射形分岐光導波路１２において、再び強度
のほぼ等しい２つの光に分岐されて、その分岐光導波路
（第２、第３の光導波路）に接続された２つの分岐干渉
型光変調器（マツハツエンダ型光導波路２１．２２をそ
れぞれ含む変調器）に入射する。
同じように、第３の光導波路３に進んだ光も凹部５の反
射面で反射して第３の反射形分岐光導波路１３に向い、
ここで強度のほぼ等しい２つの光に分岐し、２つの分岐
干渉型光変調器（マツハツエンダ型光導波路２３．２４
）に伝播していく。
射面で反射して第３の反射形分岐光導波路１３に向い、
ここで強度のほぼ等しい２つの光に分岐し、２つの分岐
干渉型光変調器（マツハツエンダ型光導波路２３．２４
）に伝播していく。
このようにして、３つの反射形分′岐光導波路１１〜１
３を組合せることにより、１つの入射光が強度のほぼ等
しい４つの光に分岐される。反射形分岐光導波路では分
岐角が大きくとれる゛ので、Ｙ分岐光導波路を用いた場
合に比べて、基板１０上の光を分岐させる部分の長、さ
をきわめて短くすることができる。
３を組合せることにより、１つの入射光が強度のほぼ等
しい４つの光に分岐される。反射形分岐光導波路では分
岐角が大きくとれる゛ので、Ｙ分岐光導波路を用いた場
合に比べて、基板１０上の光を分岐させる部分の長、さ
をきわめて短くすることができる。
分岐干渉型光変調器の１つはマツハツエンダ型光導波路
２１を含んでいる。このマツハツエンダ型光導波路２１
の入力側は反射形分岐光導波路１２の１つの出力側に連
続的に接続されている。またマツ □ハツエンダ型光
導波路２１の出力側は基板１０の端面にまでのびている
。このマツハツエンダ型光導波路２１の１つの光導波路
を挟むように１対の電極３１が設けられ、さらに別の場
所に同じように位相調整用電極４１が設けられている。
２１を含んでいる。このマツハツエンダ型光導波路２１
の入力側は反射形分岐光導波路１２の１つの出力側に連
続的に接続されている。またマツ □ハツエンダ型光
導波路２１の出力側は基板１０の端面にまでのびている
。このマツハツエンダ型光導波路２１の１つの光導波路
を挟むように１対の電極３１が設けられ、さらに別の場
所に同じように位相調整用電極４１が設けられている。
他の分岐干渉型光変調器もまた全く同じ構成であり、マ
ツハツエンダ型光導波路２２〜２４．これらのマツハツ
エンダ型光導波路の１つの光導波路を挟むように設けら
れた電極３２〜３４および位相調整、用電極４２〜４４
からそれぞれ構成されている。
ツハツエンダ型光導波路２２〜２４．これらのマツハツ
エンダ型光導波路の１つの光導波路を挟むように設けら
れた電極３２〜３４および位相調整、用電極４２〜４４
からそれぞれ構成されている。
マツパツエンダ型光導波路２１〜２４のＹ分岐部分およ
びＹ合波部分にもこの発明による反射形分岐光導波路を
適用することができる。
びＹ合波部分にもこの発明による反射形分岐光導波路を
適用することができる。
基板ｌＯ上にはさらに光起電力素子３６が設けられ、上
述の各１対の電極３１〜３４がこの光起電力素子３Ｂの
再出力端に配線パターン３５により接続されている。光
起電力素子３６にはＡ／Ｄ変換されるべき光信号が照射
される。したがって、電極３１〜３４には光起電力素子
３Ｂの出力すなわちこの光信号の強度に対応する電圧が
印加される。１対の電極３１の光導波路２１を挟んで重
なり合っている部分の長さをＬとすると、他の電極３２
．３３．３４の同部分の長さはそれぞれＬ／２．Ｌ／４
．Ｌ／８に設定されている。
述の各１対の電極３１〜３４がこの光起電力素子３Ｂの
再出力端に配線パターン３５により接続されている。光
起電力素子３６にはＡ／Ｄ変換されるべき光信号が照射
される。したがって、電極３１〜３４には光起電力素子
３Ｂの出力すなわちこの光信号の強度に対応する電圧が
印加される。１対の電極３１の光導波路２１を挟んで重
なり合っている部分の長さをＬとすると、他の電極３２
．３３．３４の同部分の長さはそれぞれＬ／２．Ｌ／４
．Ｌ／８に設定されている。
基板ｌＯの出力側の端面には、マーツバツエンダ型光導
波路２１〜２４の出力端から出射する光の強度をこれに
対応する値を表わす電気信号にそれぞれ変換するための
光電変換素子５１〜５４．たとえばフォトディテクタ・
アレイが設けられている。これらの素子５１〜５４の出
力信号は増幅器ａｔ〜６４にそれぞれ送られ、さらにコ
ンパレータ７１〜７４に導かれる。
波路２１〜２４の出力端から出射する光の強度をこれに
対応する値を表わす電気信号にそれぞれ変換するための
光電変換素子５１〜５４．たとえばフォトディテクタ・
アレイが設けられている。これらの素子５１〜５４の出
力信号は増幅器ａｔ〜６４にそれぞれ送られ、さらにコ
ンパレータ７１〜７４に導かれる。
マツハツエンダ型光導波路２１に入力しか光はその２つ
の光導波路に分れて進み、その出力側で再び合波する。
の光導波路に分れて進み、その出力側で再び合波する。
一方の光導波路を伝播する光は２つの電極３１．４１に
印加された電圧に応じて位相が変化する。したがって、
マツハツエンダ型光導波路２１の出力側で合波された光
の強度は、一方の光の位相変化量δに応じて変化する。
印加された電圧に応じて位相が変化する。したがって、
マツハツエンダ型光導波路２１の出力側で合波された光
の強度は、一方の光の位相変化量δに応じて変化する。
一般に、印加電圧をＶ、電極間隔をｄとすると、光導波
路を巾方向に横切る方向に発生する電界の強さはＶ／ｄ
で与えられる。電極の長さがｉ、電界方向がＺ方向であ
るならば、 Ｌ ｉＮ ｂ Ｏａ結晶の場合には。
路を巾方向に横切る方向に発生する電界の強さはＶ／ｄ
で与えられる。電極の長さがｉ、電界方向がＺ方向であ
るならば、 Ｌ ｉＮ ｂ Ｏａ結晶の場合には。
光の位相変化量δはδ−ｎｅ３・γ８３・Ｖ−１！／２
ｄで与えられる。ここでｎ は基板の異常屈折”率、γ
は電気光学定数である＝ マツハツエンダ型光導波路２１において、電極３１間に
電圧Ｖが印加されると、電圧が印加された光導波路を伝
播する光に位相変化が現われ、それはｎ ｅ ・γ３
３・Ｖ −Ｌ／２ ｄで与えられる。位相調整用電極４
１には適当なバイアス電圧が加えられ、■−０での光の
位相が適切にな、るように構成されている。光導波路２
１の出力光は光電変換素子５１で電気信号に変換され、
増幅器６１で増幅されたのち、コンパレータ７１で適当
なスレシホールド・レベルで弁別することにより２値化
される。
ｄで与えられる。ここでｎ は基板の異常屈折”率、γ
は電気光学定数である＝ マツハツエンダ型光導波路２１において、電極３１間に
電圧Ｖが印加されると、電圧が印加された光導波路を伝
播する光に位相変化が現われ、それはｎ ｅ ・γ３
３・Ｖ −Ｌ／２ ｄで与えられる。位相調整用電極４
１には適当なバイアス電圧が加えられ、■−０での光の
位相が適切にな、るように構成されている。光導波路２
１の出力光は光電変換素子５１で電気信号に変換され、
増幅器６１で増幅されたのち、コンパレータ７１で適当
なスレシホールド・レベルで弁別することにより２値化
される。
マツハツエンダ型光導波路２２の一方の光導波路両側に
設けられた電極３２の長さはＬ／２であり。
設けられた電極３２の長さはＬ／２であり。
電極３１の長さの１／２であるから、この光導波路の光
の位相変化量はｎｅ φγ３３・Ｖ−Ｌ／４ｄとなる。
の位相変化量はｎｅ φγ３３・Ｖ−Ｌ／４ｄとなる。
したがって、マツハツエンダ型光導波路２２の出力光か
ら得られる２値化信号の周期はマツハツエンダ型光導波
路２１の出力光のそれの２倍となる。この場合にももち
ろん１位相調整用電極４２間に適当なバイアスが加えら
れている。
ら得られる２値化信号の周期はマツハツエンダ型光導波
路２１の出力光のそれの２倍となる。この場合にももち
ろん１位相調整用電極４２間に適当なバイアスが加えら
れている。
同様にしてマツハツエンダ型光導波路２３の一方の光導
波路を挟む電極３３の長さはＬ／２２であり、もう１つ
のマツハツエンダ型光導波路２４の電極３４の長さはＬ
／２３であるから、これらの光導波路２３．２４の出力
光から生成される２値化信号の周期は、光導波路２１の
出力光から生成される２値化信号の周期の２．２３倍と
なる。
波路を挟む電極３３の長さはＬ／２２であり、もう１つ
のマツハツエンダ型光導波路２４の電極３４の長さはＬ
／２３であるから、これらの光導波路２３．２４の出力
光から生成される２値化信号の周期は、光導波路２１の
出力光から生成される２値化信号の周期の２．２３倍と
なる。
２１の出力光の半周期ごとに印加電圧の大きさに対して
示すと次表のようになる。
示すと次表のようになる。
（以下余白）
光起電力素子３Ｂに入射する光の強度が表わすアナログ
信号がこの表のようなグレーコードのディジタル値に変
換され、かつこのディジタル値はアナログ光信号を一義
的に表わしていることが理解されよう。
信号がこの表のようなグレーコードのディジタル値に変
換され、かつこのディジタル値はアナログ光信号を一義
的に表わしていることが理解されよう。
第１図はこの発明の実施例を示す斜視図、第２図はこの
発明による反射形分岐光導波路を光Ａ／Ｄ変換装置に適
用した例を示す斜視図である。 １・・・第１の光導波路。 ２・・・第２の光導波路。 ３・・・第３の光導波路。 ４・・・凹部。 ４ａ、４ｂ・・・反射面。 ９・・・基板。 １１．１２．１３・・・反射形分岐光導波路。 以 上
発明による反射形分岐光導波路を光Ａ／Ｄ変換装置に適
用した例を示す斜視図である。 １・・・第１の光導波路。 ２・・・第２の光導波路。 ３・・・第３の光導波路。 ４・・・凹部。 ４ａ、４ｂ・・・反射面。 ９・・・基板。 １１．１２．１３・・・反射形分岐光導波路。 以 上
Claims (1)
- 第１の光導波路と、この第１の光導波路から分岐した少
なくとも２つの第２および第３の光導波路が基板に形成
されており、これらの光導波路の分岐部の位置において
基板に凹部が形成され、この凹部には、第１の光導波路
を伝播してきた光をそれぞれ第２、第３の光導波路に反
射させるための少なくとも２つの反射面が形成されてい
ることを特徴とする反射形分岐光導波路。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19604385A JPS6256903A (ja) | 1985-09-06 | 1985-09-06 | 反射形分岐光導波路 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19604385A JPS6256903A (ja) | 1985-09-06 | 1985-09-06 | 反射形分岐光導波路 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6256903A true JPS6256903A (ja) | 1987-03-12 |
Family
ID=16351242
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP19604385A Pending JPS6256903A (ja) | 1985-09-06 | 1985-09-06 | 反射形分岐光導波路 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6256903A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1995025973A1 (fr) * | 1994-03-22 | 1995-09-28 | The Furukawa Electric Co., Ltd. | Procede de production d'un dispositif guide d'ondes a reflexion |
| JP2004280009A (ja) * | 2003-03-19 | 2004-10-07 | Toppan Printing Co Ltd | 光導波路およびその製造方法 |
| JP2007148455A (ja) * | 2002-09-20 | 2007-06-14 | Toppan Printing Co Ltd | 光導波路 |
| JP2008293040A (ja) * | 2003-10-06 | 2008-12-04 | Mitsui Chemicals Inc | レーザ加工によるマイクロミラーが形成された光導波路 |
-
1985
- 1985-09-06 JP JP19604385A patent/JPS6256903A/ja active Pending
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1995025973A1 (fr) * | 1994-03-22 | 1995-09-28 | The Furukawa Electric Co., Ltd. | Procede de production d'un dispositif guide d'ondes a reflexion |
| JP2007148455A (ja) * | 2002-09-20 | 2007-06-14 | Toppan Printing Co Ltd | 光導波路 |
| JP4501949B2 (ja) * | 2002-09-20 | 2010-07-14 | 凸版印刷株式会社 | 光導波路の製造方法 |
| JP2004280009A (ja) * | 2003-03-19 | 2004-10-07 | Toppan Printing Co Ltd | 光導波路およびその製造方法 |
| JP2008293040A (ja) * | 2003-10-06 | 2008-12-04 | Mitsui Chemicals Inc | レーザ加工によるマイクロミラーが形成された光導波路 |
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