JPS6285204A - Ｙ分岐光導波路 - Google Patents
Ｙ分岐光導波路Info
- Publication number
- JPS6285204A JPS6285204A JP22484185A JP22484185A JPS6285204A JP S6285204 A JPS6285204 A JP S6285204A JP 22484185 A JP22484185 A JP 22484185A JP 22484185 A JP22484185 A JP 22484185A JP S6285204 A JPS6285204 A JP S6285204A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- optical waveguide
- waveguides
- waveguide
- substrate
- dimensional optical
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Optical Integrated Circuits (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
発明の要約
通常のＹ分岐光導波路において、２つの分岐光導波路か
らさらにより大きい角度で折曲した第３の光導波路が形
成され、この折曲部に導波光を全反射させるための反射
面を有する凹部が基板に形成されていることを特徴とす
る。
らさらにより大きい角度で折曲した第３の光導波路が形
成され、この折曲部に導波光を全反射させるための反射
面を有する凹部が基板に形成されていることを特徴とす
る。
［技術分野］
この発明は、先導波路技術、光集積回路技術等において
有用なＹ分岐光導波路に関する。
有用なＹ分岐光導波路に関する。
［従来技術］
基板上に形成される分岐光導波路としては。
Ｌ ｉＮ ｂ Ｏ３基板上にＴｉの熱拡散により作製さ
れたシングル・モードＹ分岐光導波路が知られている。
れたシングル・モードＹ分岐光導波路が知られている。
このＹ分岐光導波路は１文字通り、平面からみて７字形
であり、光導波路の巾、深さはともに数μｍ程度である
。この光導波路と基板との間の屈折率差は１０−３程度
で２分岐角度は１°〜２°である。
であり、光導波路の巾、深さはともに数μｍ程度である
。この光導波路と基板との間の屈折率差は１０−３程度
で２分岐角度は１°〜２°である。
このようなＹ分岐光導波路においては、上記のように先
導波路部分と基板との間の屈折率差が小さいので分岐角
度を大きくとることはできない。
導波路部分と基板との間の屈折率差が小さいので分岐角
度を大きくとることはできない。
光は直進する性質をもつために１分岐角度を大きくする
と分岐部における損失が増大する。西原。
と分岐部における損失が増大する。西原。
春名、栖原共著「光集積回路」、昭和６０年２月２５日
■オーム社発行の第４３頁には、Ｔｉ拡散Ｌ Ｉ Ｎ
ｂ Ｏ３Ｙ分岐光導波路における分岐角と分岐光出力と
の関係の計算結果の一例がグラフで示されている。これ
によると２分岐角度が２．５’で放射損失は３ｄＢにも
なる。
■オーム社発行の第４３頁には、Ｔｉ拡散Ｌ Ｉ Ｎ
ｂ Ｏ３Ｙ分岐光導波路における分岐角と分岐光出力と
の関係の計算結果の一例がグラフで示されている。これ
によると２分岐角度が２．５’で放射損失は３ｄＢにも
なる。
Ｙ分岐光導波路ではこのように大きな分岐角度が得られ
ないから、その２つの分岐光導波路間の間隔を大きくす
るためには、距離を長くとることが必要となる。とくに
Ｙ分岐光導波路を多段に接続して数多くの分岐光を得よ
うとする場合には。
ないから、その２つの分岐光導波路間の間隔を大きくす
るためには、距離を長くとることが必要となる。とくに
Ｙ分岐光導波路を多段に接続して数多くの分岐光を得よ
うとする場合には。
きわめて長い距離が必要となり、ディバイス長が長くな
るという問題がある。
るという問題がある。
［発明の目的］
この発明は、大きな分岐角度が得られかつ比較的低損失
のＹ分岐光導波路を提供する。
のＹ分岐光導波路を提供する。
［発明の構成と効果］
この発明によるＹ分岐光導波路は、第１の３次元光導波
路と、この第１の３次元光導波路からＹ字状に分岐した
２つの第２の３次元光導波路と。
路と、この第１の３次元光導波路からＹ字状に分岐した
２つの第２の３次元光導波路と。
第２の３次元光導波路のそれぞれからより大きい角度で
折曲してのびる２つの第３の３次元先導波路とが基板」
二に形成され１第２の３次元先導波路と第３の３次元光
導波路との折曲部に、これらの３次元光導波路を伝播す
る光を反射たとえば全反射させるための反射面を有する
凹部が基板に形成されていることを特徴とする。
折曲してのびる２つの第３の３次元先導波路とが基板」
二に形成され１第２の３次元先導波路と第３の３次元光
導波路との折曲部に、これらの３次元光導波路を伝播す
る光を反射たとえば全反射させるための反射面を有する
凹部が基板に形成されていることを特徴とする。
第１の３次元光導波路からＹ字状に分岐する第２の３次
元光導波路の分岐角度は、従来のＹ分岐光導波路と同じ
ように小さい角度である。そし。
元光導波路の分岐角度は、従来のＹ分岐光導波路と同じ
ように小さい角度である。そし。
て、第１の３次元光導波路から第２の３次元光導波路に
分岐して進んだ光がほぼ完全に分離した位置以上の距離
のところに上記反射面が形成されるとともに、第２の３
次元光導波路から適当な角度で曲った第３の３次元光導
波路が形成される。
分岐して進んだ光がほぼ完全に分離した位置以上の距離
のところに上記反射面が形成されるとともに、第２の３
次元光導波路から適当な角度で曲った第３の３次元光導
波路が形成される。
第３の３次元光導波路の第１の３次元光導波路に対する
分岐角度は任意に定めることができる。
分岐角度は任意に定めることができる。
したがって、きわめて広角のＹ分岐光導波路が実現する
。しかも、第２の３次元先導波路は小さい角度で分岐し
ており、第２の３次元光導波路と第３の３次元光導波路
とにおける結合は、導波光の全反射によって達成される
から、全体的な光の損失も小さい。これにより、このＹ
分岐光導波路を用いて光ディバイスを作製した場合には
その光ディバイスの寸法を小さくすることができるし。
。しかも、第２の３次元先導波路は小さい角度で分岐し
ており、第２の３次元光導波路と第３の３次元光導波路
とにおける結合は、導波光の全反射によって達成される
から、全体的な光の損失も小さい。これにより、このＹ
分岐光導波路を用いて光ディバイスを作製した場合には
その光ディバイスの寸法を小さくすることができるし。
集積度を高めることも可能となる。とくに、このＹ分岐
光導波路を多段に接続して数多くの分岐光を得るような
場合に有効である。
光導波路を多段に接続して数多くの分岐光を得るような
場合に有効である。
光は双方向性をもつから、第３の３次元光導波路を伝播
してきた光は１反射面で全反射して第２の３次元光導波
路に向い、さらに第１の３次元光導波路に伝播していく
。したがって、この発明によるＹ分岐光導波路は、２つ
の光を合波するためにも使用可能である。
してきた光は１反射面で全反射して第２の３次元光導波
路に向い、さらに第１の３次元光導波路に伝播していく
。したがって、この発明によるＹ分岐光導波路は、２つ
の光を合波するためにも使用可能である。
［実施例の説明］
第１図および第２図において、基板１０上に、第１の３
次元光導波路１と、この先導波路１の終端から小さな角
度でＹ字状に分岐した第２の３次元光導波路２Ａ、２Ｂ
と、この第２の先導波路２Ａ、２Ｂの終端からそれぞれ
、さらに広い角度で外方に折曲してのびる第３の３次元
光導波路３Ａ 、 ３Ｂとが形成されている。そして、
第２の先導波路２Ａ、２Ｂから第３の先導波路３Ａ、３
Ｂが曲る部分に三角形の凹部（ないしは溝）４が基板１
０に形成されている。この凹部４の２面は光導波路２Ａ
、 ３Ａおよび２Ｂ、３Ｂの折曲部を斜めに切断し９
この先導波路部分が露出している。この２面が反射面４
Ａ、４Ｂであり、この反射面４Ａ、４Ｂは基板１０の表
面に対して垂直である。また、先導波路２人と３Ａは反
射面４Ａの法線に対して等しい角度をなしている。光導
波路２Ｂ、３Ｂと反射面４Ｂとの関係も同じである。四
部４の深さは先導波路２Ａ、３Ａ等の深さよりも深い。
次元光導波路１と、この先導波路１の終端から小さな角
度でＹ字状に分岐した第２の３次元光導波路２Ａ、２Ｂ
と、この第２の先導波路２Ａ、２Ｂの終端からそれぞれ
、さらに広い角度で外方に折曲してのびる第３の３次元
光導波路３Ａ 、 ３Ｂとが形成されている。そして、
第２の先導波路２Ａ、２Ｂから第３の先導波路３Ａ、３
Ｂが曲る部分に三角形の凹部（ないしは溝）４が基板１
０に形成されている。この凹部４の２面は光導波路２Ａ
、 ３Ａおよび２Ｂ、３Ｂの折曲部を斜めに切断し９
この先導波路部分が露出している。この２面が反射面４
Ａ、４Ｂであり、この反射面４Ａ、４Ｂは基板１０の表
面に対して垂直である。また、先導波路２人と３Ａは反
射面４Ａの法線に対して等しい角度をなしている。光導
波路２Ｂ、３Ｂと反射面４Ｂとの関係も同じである。四
部４の深さは先導波路２Ａ、３Ａ等の深さよりも深い。
基板１０としては、たとえばＬ ｉｒ’ｌ ｂ Ｏａ結
晶が用いられる。凹部４は、たとえばＡｒイオンを用い
たエツチングにより形成することができる。このとき、
四部４を形成すべき部分を除いて基板１０表面が３μｍ
厚程度のＴｉスパッタ膜によってマスクされる。先導波
路り、２Ａ、２Ｂ、３Ａ、３Ｂは、たとえば中４μｍ、
膜厚ａｏｎｍのＴｉ膜による導波路パターンを基板１０
の表面上に作製し、これを基板１０内に熱拡散すること
によりつくることができる。
晶が用いられる。凹部４は、たとえばＡｒイオンを用い
たエツチングにより形成することができる。このとき、
四部４を形成すべき部分を除いて基板１０表面が３μｍ
厚程度のＴｉスパッタ膜によってマスクされる。先導波
路り、２Ａ、２Ｂ、３Ａ、３Ｂは、たとえば中４μｍ、
膜厚ａｏｎｍのＴｉ膜による導波路パターンを基板１０
の表面上に作製し、これを基板１０内に熱拡散すること
によりつくることができる。
先導波路１を伝播する光は、Ｙ分岐部で２つの先導波路
２Ａ、２Ｂに分岐する。この分岐部付近では先導波路２
Ａ、２Ｂの導波光は結合しているが、光導波路２Ａ 、
２Ｂが適当な距離ｄ以上離れると２つの導波光は完全
に分離する。互いに分離した先導波路２Ａ、２Ｂの光は
、基板１０よりも空気の方が屈折率がはるかに小さいの
で、それぞれ反射面４Ａ、４Ｂで全反射して先導波路３
Ａ、３Ｂにそれぞれ進む。
２Ａ、２Ｂに分岐する。この分岐部付近では先導波路２
Ａ、２Ｂの導波光は結合しているが、光導波路２Ａ 、
２Ｂが適当な距離ｄ以上離れると２つの導波光は完全
に分離する。互いに分離した先導波路２Ａ、２Ｂの光は
、基板１０よりも空気の方が屈折率がはるかに小さいの
で、それぞれ反射面４Ａ、４Ｂで全反射して先導波路３
Ａ、３Ｂにそれぞれ進む。
光導波路２Ａ、２Ｂの導波光が完全に分離したのちに先
導波路３Ａ、３Ｂに偏向させることにより、損失の増大
を防止することができる。したがって、２つの導波光が
完全に分離する間隔ｄを確保するのに必要な距離ぶだけ
分岐部と折曲部とを離すことが好ましい。光導波路２Ａ
と２Ｂの分岐角は１〜３″程度、ｄは１０μｍ以上、ｉ
は１■以上が好ましい。
導波路３Ａ、３Ｂに偏向させることにより、損失の増大
を防止することができる。したがって、２つの導波光が
完全に分離する間隔ｄを確保するのに必要な距離ぶだけ
分岐部と折曲部とを離すことが好ましい。光導波路２Ａ
と２Ｂの分岐角は１〜３″程度、ｄは１０μｍ以上、ｉ
は１■以上が好ましい。
光導波路３Ａ、３Ｂの先導波路１に対する分岐角度は任
意に定めることができるので、きわめて広分岐角のＹ分
岐光導波路が実現する。しかも、先導波路２人と２Ｂの
分岐角は小さくてよく、かつ先導波路２Ａ、２Ｂから光
導波路３Ａ 、 ３Ｂへの導波光の結合は全反射によっ
て行なわれるから、光の損失も小さく抑えることができ
る。
意に定めることができるので、きわめて広分岐角のＹ分
岐光導波路が実現する。しかも、先導波路２人と２Ｂの
分岐角は小さくてよく、かつ先導波路２Ａ、２Ｂから光
導波路３Ａ 、 ３Ｂへの導波光の結合は全反射によっ
て行なわれるから、光の損失も小さく抑えることができ
る。
要すれば２反射面４Ａ、４ＢにＡｕ等の反射膜を形成し
、ここで鏡面反射を起こさせるようにしてもよい。
、ここで鏡面反射を起こさせるようにしてもよい。
図面はこの発明の実施例を示し、第１図は斜視図、第２
図は平面図である。 １・・・第１の先導波路。 ２Ａ、２Ｂ・・・第２の先導波路。 ３Ａ、３Ｂ・・・第３の先導波路、 ４・・・凹部。 ４Ａ 、 ４Ｂ・・・反射面、１０・・・基板。 以 上
図は平面図である。 １・・・第１の先導波路。 ２Ａ、２Ｂ・・・第２の先導波路。 ３Ａ、３Ｂ・・・第３の先導波路、 ４・・・凹部。 ４Ａ 、 ４Ｂ・・・反射面、１０・・・基板。 以 上
Claims (1)
- 第１の３次元光導波路と、この第１の３次元光導波路か
らＹ字状に分岐した２つの第２の３次元光導波路と、第
２の３次元光導波路のそれぞれからより大きい角度で折
曲してのびる２つの第３の３次元光導波路とが基板上に
形成され、第２の３次元光導波路と第３の３次元光導波
路との折曲部に、これらの３次元光導波路を伝播する光
を反射させるための反射面を有する凹部が基板に形成さ
れていることを特徴とするＹ分岐光導波路。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22484185A JPS6285204A (ja) | 1985-10-11 | 1985-10-11 | Ｙ分岐光導波路 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22484185A JPS6285204A (ja) | 1985-10-11 | 1985-10-11 | Ｙ分岐光導波路 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6285204A true JPS6285204A (ja) | 1987-04-18 |
Family
ID=16820012
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP22484185A Pending JPS6285204A (ja) | 1985-10-11 | 1985-10-11 | Ｙ分岐光導波路 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6285204A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2017129744A (ja) * | 2016-01-20 | 2017-07-27 | フォトンリサーチ株式会社 | 光合波装置 |
| JP2020154335A (ja) * | 2020-06-24 | 2020-09-24 | フォトンリサーチ株式会社 | 光合波装置 |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS59168414A (ja) * | 1983-03-16 | 1984-09-22 | Nec Corp | 反射形多チヤンネル光スイツチ |
| JPS59216107A (ja) * | 1983-05-25 | 1984-12-06 | Fujitsu Ltd | 光分岐回路 |
-
1985
- 1985-10-11 JP JP22484185A patent/JPS6285204A/ja active Pending
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS59168414A (ja) * | 1983-03-16 | 1984-09-22 | Nec Corp | 反射形多チヤンネル光スイツチ |
| JPS59216107A (ja) * | 1983-05-25 | 1984-12-06 | Fujitsu Ltd | 光分岐回路 |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2017129744A (ja) * | 2016-01-20 | 2017-07-27 | フォトンリサーチ株式会社 | 光合波装置 |
| CN106990541A (zh) * | 2016-01-20 | 2017-07-28 | 光研公司 | 光合波装置 |
| JP2020154335A (ja) * | 2020-06-24 | 2020-09-24 | フォトンリサーチ株式会社 | 光合波装置 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US7447400B2 (en) | Optical waveguide substrate and method of fabricating the same | |
| JP2985791B2 (ja) | 光導波路と受光素子の結合構造 | |
| KR100602288B1 (ko) | 광 반사 장치 | |
| US6993213B2 (en) | Semiconductor optical waveguide device including s-shaped waveguides | |
| JPH11167032A (ja) | 曲がり光導波路回路 | |
| US20060127009A1 (en) | Waveguide turn for a waveguide circuit | |
| JPS6285204A (ja) | Ｙ分岐光導波路 | |
| JP2010085564A (ja) | 光導波路回路及び光回路装置 | |
| JP2783362B2 (ja) | 導波路型光スターカプラ | |
| JP2591723Y2 (ja) | 光導波路と光デバイスの接続構造 | |
| JP2830233B2 (ja) | リブ形分岐光導波路 | |
| JPH04333004A (ja) | 光導波装置 | |
| JPS6256903A (ja) | 反射形分岐光導波路 | |
| JPH0690336B2 (ja) | 立体光回路 | |
| JPH01223403A (ja) | 光曲げ導波路 | |
| JPS62136611A (ja) | Ｙ分岐光導波路 | |
| JP3131044B2 (ja) | 光導波路デバイス | |
| JP2605364Y2 (ja) | 光分岐器 | |
| JPS5851244B2 (ja) | シユウセキヒカリハンシヤソウチ | |
| JP2605363Y2 (ja) | 光導波路構造 | |
| JPS63191106A (ja) | 光分岐回路 | |
| JPH11248950A (ja) | 導波路型光アイソレータ | |
| JPS62145206A (ja) | 光集積回路 | |
| JPH04330406A (ja) | 光ジャンパー | |
| JPS60173502A (ja) | 導波形光分岐回路 |