JPS62136611A - Ｙ分岐光導波路 - Google Patents
Ｙ分岐光導波路Info
- Publication number
- JPS62136611A JPS62136611A JP27683185A JP27683185A JPS62136611A JP S62136611 A JPS62136611 A JP S62136611A JP 27683185 A JP27683185 A JP 27683185A JP 27683185 A JP27683185 A JP 27683185A JP S62136611 A JPS62136611 A JP S62136611A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- branch
- optical waveguide
- parts
- refractive
- optical waveguides
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- Pending
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- Optical Integrated Circuits (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
発明の要約
Ｙ分岐光導波路の分岐部内の両側部分に高屈折率部が形
成されており、この高屈折率部の界面が、基幹光導波路
から分岐光導波路に向うにつれて分岐部の中央に寄るよ
うに分岐部を斜めに横切っており、この高屈折率部の存
在によって、分岐部における放射損失を減少させ分岐角
を大きくすることが可能となる。
成されており、この高屈折率部の界面が、基幹光導波路
から分岐光導波路に向うにつれて分岐部の中央に寄るよ
うに分岐部を斜めに横切っており、この高屈折率部の存
在によって、分岐部における放射損失を減少させ分岐角
を大きくすることが可能となる。
［技術分￥ｆ］
この発明は、光導波路技術、光集積回路技術等において
有用なＹ分岐光導波路に関する。
有用なＹ分岐光導波路に関する。
「従来技術］
基板上に形成される分岐光導波路としては、ＬｉＮｂＯ
３基板上にＴｉの熱拡散により作製されたシングル・モ
ードＹ分岐光導波路が知られている。このＹ分岐光導波
路の一例が第２図に示されている。Ｙ分岐光導波路は、
基幹３次元光導波路ｌと、この光導波路１から７字形に
分岐した分岐３次元光導波路２．３とから構成されてい
る。
３基板上にＴｉの熱拡散により作製されたシングル・モ
ードＹ分岐光導波路が知られている。このＹ分岐光導波
路の一例が第２図に示されている。Ｙ分岐光導波路は、
基幹３次元光導波路ｌと、この光導波路１から７字形に
分岐した分岐３次元光導波路２．３とから構成されてい
る。
これらの光導波路の巾、深さはともに数ｐｍ程度である
。このＹ分岐光導波路と基板との間の屈折率差は１０−
３程度で、分岐角度は１°〜２°である。基幹先導波路
１を分岐部に向って進む光はＹ分岐光導波路２と３に分
かれて伝播していく。逆に、２つのＹ分岐光導波路２，
３を分岐部に向って進んできた光は合波して基幹光導波
路１を伝播していく。
。このＹ分岐光導波路と基板との間の屈折率差は１０−
３程度で、分岐角度は１°〜２°である。基幹先導波路
１を分岐部に向って進む光はＹ分岐光導波路２と３に分
かれて伝播していく。逆に、２つのＹ分岐光導波路２，
３を分岐部に向って進んできた光は合波して基幹光導波
路１を伝播していく。
このようなＹ分岐光導波路においては、上記のように光
導波路部分と基板との間の屈折率差が小さいので分岐角
度を大きくとることはできない。
導波路部分と基板との間の屈折率差が小さいので分岐角
度を大きくとることはできない。
分岐角を大きくとると放射損失が増大する。これは、第
２図に示されているように、基幹光導波路ｌと分岐光導
波路２．３とにおけるモードの重なりが分岐角の増大と
ともに小さくなるため、すなわち結合係数が低下するた
めである。
２図に示されているように、基幹光導波路ｌと分岐光導
波路２．３とにおけるモードの重なりが分岐角の増大と
ともに小さくなるため、すなわち結合係数が低下するた
めである。
たとえば、西原、春名、栖原共著「光集積回路」、昭和
６０年２月２５日■オーム社発行の第４３頁には、Ｔｉ
拡＃！ｉ、ＬｉＮｂ０３Ｙ分岐光導波路における分岐角
と分岐光出力との関係の計算結果の一例がグラフで示さ
れている。これによると１分岐角度が２．５°で放射損
失は３ｄＢにもなる。
６０年２月２５日■オーム社発行の第４３頁には、Ｔｉ
拡＃！ｉ、ＬｉＮｂ０３Ｙ分岐光導波路における分岐角
と分岐光出力との関係の計算結果の一例がグラフで示さ
れている。これによると１分岐角度が２．５°で放射損
失は３ｄＢにもなる。
従来のＹ分岐光導波路ではこのように大きな分岐角度が
得られないから、その２つの分岐光導波路間の間隔を大
きくするためには、距離を長くとることが必要となる。
得られないから、その２つの分岐光導波路間の間隔を大
きくするためには、距離を長くとることが必要となる。
とくにＹ分岐光導波路を多段に接続して数多くの分岐光
を得ようとする場合には、きわめて長い距離が必要とな
り、ディバイス長が長くなるという問題がある。
を得ようとする場合には、きわめて長い距離が必要とな
り、ディバイス長が長くなるという問題がある。
［発明の目的コ
この発明は、大きな分岐角度が得られかつ比較的低損失
のＹ分岐光導波路を提供する。
のＹ分岐光導波路を提供する。
［発明の構成と効果］
この発明は、基幹先導波路とこの基幹光導波路から７字
形に分岐した分岐光導波路とからなるＹ分岐光導波路に
おいて、分岐部分内の両側部分に、基幹光導波路から分
岐光導波路に向うにつれて分岐部の中央に寄るように分
岐部を斜めに横切る界面をもつ高屈折率部が設けられて
いることを特徴とする。
形に分岐した分岐光導波路とからなるＹ分岐光導波路に
おいて、分岐部分内の両側部分に、基幹光導波路から分
岐光導波路に向うにつれて分岐部の中央に寄るように分
岐部を斜めに横切る界面をもつ高屈折率部が設けられて
いることを特徴とする。
高屈折率部の存在によって分岐部での結合効率が高くな
り、これにより放射損失が低減化される。放射損失が小
さくなるために分岐角を大きくすることが可能となり、
この発明によるＹ分岐光導波路を用いて光ディバイスを
作製した場合にはその光ディバイスの寸法を小さくする
ことができるし、集積度を高めることも可能となる。と
くに、このＹ分岐光導波路を多段に接続して数多くの分
岐光を得るような場合に有効である。
り、これにより放射損失が低減化される。放射損失が小
さくなるために分岐角を大きくすることが可能となり、
この発明によるＹ分岐光導波路を用いて光ディバイスを
作製した場合にはその光ディバイスの寸法を小さくする
ことができるし、集積度を高めることも可能となる。と
くに、このＹ分岐光導波路を多段に接続して数多くの分
岐光を得るような場合に有効である。
光は双方向性をもつから、分岐光導波路を伝播してきた
光は、高屈折率部を経て基幹光導波路に伝播していく。
光は、高屈折率部を経て基幹光導波路に伝播していく。
したがって、この発明によるＹ分岐光導波路は、２つの
光を合波するためにも使用可能である。
光を合波するためにも使用可能である。
［実施例の説明］
第１図において、基板上に、３次元基幹光導波路１と、
この光導波路ｌの終端からＹ字状に分岐した３次元分岐
光導波路２，３とが形成されている。光導波路２，３が
光導波路１から分岐している場所（分岐部）において、
その両側には各１つずつ高屈折率部４が設けられている
。高屈折率部４の巾は、光導波路ｌから光導波路２，３
に向うにつれて広くなっており、高屈折率部４と光導波
路１（および２．３）の他の部分との界面は直線状であ
り、光導波路ｌがら光導波路２，３に向うにつれて分岐
部の中央に寄るように、光導波路１ないしは分岐部を斜
めに、中央部まで横切っている。
この光導波路ｌの終端からＹ字状に分岐した３次元分岐
光導波路２，３とが形成されている。光導波路２，３が
光導波路１から分岐している場所（分岐部）において、
その両側には各１つずつ高屈折率部４が設けられている
。高屈折率部４の巾は、光導波路ｌから光導波路２，３
に向うにつれて広くなっており、高屈折率部４と光導波
路１（および２．３）の他の部分との界面は直線状であ
り、光導波路ｌがら光導波路２，３に向うにつれて分岐
部の中央に寄るように、光導波路１ないしは分岐部を斜
めに、中央部まで横切っている。
基板としてＬｉＮｂ０．を用いた場合には、光導波路１
．２および３と高屈折率部４とはＴｉの熱拡散により作
製することができる。まず、高屈折率部４を形成すべき
場所の基板表面上にＴｉ膜をスパッタ法等により形成し
、このＴｉを高温下で基板内に熱拡散させる。続いて基
板上の光導波路１．２および３を形成すべき場所（高屈
折率層４の場所を含む）上にこれらの光導波路パターン
にＴｉ膜をスパッタし、同じように基板ｌ内にＴｉを熱
拡散させる。Ｔｉの１回の熱拡散によって光導波路１．
２および３の屈折率がΔｎだけ増加したとすると（基板
の屈折率はｎ）、高屈折率部分４においてはＴｉの熱拡
散処理が２回行なわれているから、屈折率はほぼ２Δｎ
だけ増大する。
．２および３と高屈折率部４とはＴｉの熱拡散により作
製することができる。まず、高屈折率部４を形成すべき
場所の基板表面上にＴｉ膜をスパッタ法等により形成し
、このＴｉを高温下で基板内に熱拡散させる。続いて基
板上の光導波路１．２および３を形成すべき場所（高屈
折率層４の場所を含む）上にこれらの光導波路パターン
にＴｉ膜をスパッタし、同じように基板ｌ内にＴｉを熱
拡散させる。Ｔｉの１回の熱拡散によって光導波路１．
２および３の屈折率がΔｎだけ増加したとすると（基板
の屈折率はｎ）、高屈折率部分４においてはＴｉの熱拡
散処理が２回行なわれているから、屈折率はほぼ２Δｎ
だけ増大する。
このＹ分岐光導波路を単一モードの光導波路として作製
した場合に、先導波路１，２．３および分岐部を伝播す
る光の界分布が第１図に示されている。この図からも分
るように、高屈折率部４が存在するために、分岐部にお
ける界分布の重なりは、第２図の従来例に比べて大きく
なる。放射損失は分岐部での界分布の重なりに依存する
ために、この発明によるとその損失を小さくすることが
可能である。したがって、分岐角を犬きくすることがで
きる。多モードのＹ分岐光導波路の場合も同様である。
した場合に、先導波路１，２．３および分岐部を伝播す
る光の界分布が第１図に示されている。この図からも分
るように、高屈折率部４が存在するために、分岐部にお
ける界分布の重なりは、第２図の従来例に比べて大きく
なる。放射損失は分岐部での界分布の重なりに依存する
ために、この発明によるとその損失を小さくすることが
可能である。したがって、分岐角を犬きくすることがで
きる。多モードのＹ分岐光導波路の場合も同様である。
第１図はこの発明の実施例を示す平面図、第２図は従来
例を示す平面図である。 １・・・基幹光導波路、 ？、３・・・分岐光導波路
、４・・・高屈折率部。 以 上
例を示す平面図である。 １・・・基幹光導波路、 ？、３・・・分岐光導波路
、４・・・高屈折率部。 以 上
Claims (1)
- 基幹光導波路とこの基幹光導波路からＹ字形に分岐した
分岐光導波路とからなるＹ分岐光導波路において、分岐
部分内の両側部分に、基幹光導波路から分岐光導波路に
向うにつれて分岐部の中央に寄るように分岐部を斜めに
横切る界面をもつ高屈折率部が設けられていることを特
徴とするＹ分岐光導波路。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP27683185A JPS62136611A (ja) | 1985-12-11 | 1985-12-11 | Ｙ分岐光導波路 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP27683185A JPS62136611A (ja) | 1985-12-11 | 1985-12-11 | Ｙ分岐光導波路 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62136611A true JPS62136611A (ja) | 1987-06-19 |
Family
ID=17575008
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP27683185A Pending JPS62136611A (ja) | 1985-12-11 | 1985-12-11 | Ｙ分岐光導波路 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS62136611A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6404957B1 (en) | 1997-11-05 | 2002-06-11 | Samsung Electronics, Co., Ltd. | Optical power divider and fabrication method thereof |
-
1985
- 1985-12-11 JP JP27683185A patent/JPS62136611A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6404957B1 (en) | 1997-11-05 | 2002-06-11 | Samsung Electronics, Co., Ltd. | Optical power divider and fabrication method thereof |
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