JP3032647B2 - 光導波路素子 - Google Patents
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Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、光導波路素子におい
て、異なる実効屈折率を有する光導波路を持続損失なく
接続する光導波路素子に関するものである。
て、異なる実効屈折率を有する光導波路を持続損失なく
接続する光導波路素子に関するものである。
【0002】
【従来の技術】当初、光通信分野で注目された光集積化
技術は、方向性結合器の原理を用いた光スイッチング素
子等の形で実用化された。しかし、現在では光集積化技
術は光通信分野にとどまらず光コンピューティングなど
様々な分野に利用されている。中でも、光スイッチング
素子に用いられる光導波路についてはレンズ,プリズ
ム,ミラーなどの従来の微小光学部品を代用できる、と
いう特徴があり、小型軽量化の進む光ピックアップ装置
への利用も検討されてきた。さらに、光磁気信号を検出
するためには偏光分離を行う必要があり、平板光導波路
を用いた偏光分離素子も提案されている。
技術は、方向性結合器の原理を用いた光スイッチング素
子等の形で実用化された。しかし、現在では光集積化技
術は光通信分野にとどまらず光コンピューティングなど
様々な分野に利用されている。中でも、光スイッチング
素子に用いられる光導波路についてはレンズ,プリズ
ム,ミラーなどの従来の微小光学部品を代用できる、と
いう特徴があり、小型軽量化の進む光ピックアップ装置
への利用も検討されてきた。さらに、光磁気信号を検出
するためには偏光分離を行う必要があり、平板光導波路
を用いた偏光分離素子も提案されている。
【0003】さて、このような偏光分離素子は二つの異
なる平板光導波路を単に接続しただけでは接続面には、
反射のため、接続損失が生じることになる。従って二つ
の異なる平板光導波路間で光を伝搬させる場合、接続損
失なく2つの平板光導波路間を接続する技術が必要とな
り、以下に示すような方法が採用されている。
なる平板光導波路を単に接続しただけでは接続面には、
反射のため、接続損失が生じることになる。従って二つ
の異なる平板光導波路間で光を伝搬させる場合、接続損
失なく2つの平板光導波路間を接続する技術が必要とな
り、以下に示すような方法が採用されている。
【0004】図6(a)に示すように基板103上に厚
さd101の層101と厚さt102の層102との二層から
なる導波層を持つ単一モード平板光導波路105と、光
導波路107は基板103上に厚さd104の導波層10
4を持つ単一モード平板光導波路107を直接接合させ
た場合、図6(b)に示すように光導波路105からコ
ヒーコヒーレントな平行光が入射したとき、全ての光が
光導波路107への透過光Tとなるわけではなく、光導
波路5での光の強度分布Iinと光導波路107での光の
強度分布Ioutが一致しないことから、一部は面Cで反
射され、反射光Rが光導波路105に戻ることになって
いた。
さd101の層101と厚さt102の層102との二層から
なる導波層を持つ単一モード平板光導波路105と、光
導波路107は基板103上に厚さd104の導波層10
4を持つ単一モード平板光導波路107を直接接合させ
た場合、図6(b)に示すように光導波路105からコ
ヒーコヒーレントな平行光が入射したとき、全ての光が
光導波路107への透過光Tとなるわけではなく、光導
波路5での光の強度分布Iinと光導波路107での光の
強度分布Ioutが一致しないことから、一部は面Cで反
射され、反射光Rが光導波路105に戻ることになって
いた。
【0005】この点を解決するために,図3(a)に示
すように傾きt102/l106が1/10以下であるテーパ
106を接続部として用いている。図3(b)に示すよ
うに、テーパ部の実効屈折率NはZ方向に徐々に変化す
るため、テーパ106に入射した光の強度分布Iinは徐
々に変化して光導波路107の強度分布Ioutに一致す
るため光のほぼ全透過が実現できる。
すように傾きt102/l106が1/10以下であるテーパ
106を接続部として用いている。図3(b)に示すよ
うに、テーパ部の実効屈折率NはZ方向に徐々に変化す
るため、テーパ106に入射した光の強度分布Iinは徐
々に変化して光導波路107の強度分布Ioutに一致す
るため光のほぼ全透過が実現できる。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】2つの異なる実効屈折
率N1,N2(N1>N2)を有する単一モード平板光導波
路間をテーパを用いて接続しようとする場合、テーパ部
の作製が重要な要素となる。しかし、テーパを半導体プ
ロセスにおけるドライエッチング法により作製しようと
した場合、傾きの緩やかなテーパができない、という問
題がある。これは図4を用いて説明すると、基板43に
目的の場所にレジスト41をつけることによりイオンビ
ームが直接かからない部分以外のところは全て削られる
ことになり、図のようにビームを斜めに当てることでテ
ーパが形成される。しかし、被加工材料42に当てるビ
ームの入射角θiでテーパの傾きが決まるために、ビー
ムを真横に近い方向から入射すること、すなわち、θi
をあまり大きくすることができないことから、あまり緩
やかな傾きのテーパは作製ができなかった。
率N1,N2(N1>N2)を有する単一モード平板光導波
路間をテーパを用いて接続しようとする場合、テーパ部
の作製が重要な要素となる。しかし、テーパを半導体プ
ロセスにおけるドライエッチング法により作製しようと
した場合、傾きの緩やかなテーパができない、という問
題がある。これは図4を用いて説明すると、基板43に
目的の場所にレジスト41をつけることによりイオンビ
ームが直接かからない部分以外のところは全て削られる
ことになり、図のようにビームを斜めに当てることでテ
ーパが形成される。しかし、被加工材料42に当てるビ
ームの入射角θiでテーパの傾きが決まるために、ビー
ムを真横に近い方向から入射すること、すなわち、θi
をあまり大きくすることができないことから、あまり緩
やかな傾きのテーパは作製ができなかった。
【0007】またウェットエッチングでテーパを作製す
る場合、図5を用いて説明すると被加工材料42をエッ
チング液で溶かしてこれを作製する。被加工材料42は
エッチング液により溶けていくが、レジスト41を塗っ
たところではエッチング液がレジストの下にまわり込む
形で図5(b)の,,の順に溶解が進んでいくこ
とになり、適当なところでエッチングをやめればテーパ
ができる。
る場合、図5を用いて説明すると被加工材料42をエッ
チング液で溶かしてこれを作製する。被加工材料42は
エッチング液により溶けていくが、レジスト41を塗っ
たところではエッチング液がレジストの下にまわり込む
形で図5(b)の,,の順に溶解が進んでいくこ
とになり、適当なところでエッチングをやめればテーパ
ができる。
【0008】ここでテーパの形状、例えば傾斜はエッチ
速度(被加工材料が溶解されていく速度)で決まるもの
であるが、エッチ速度はエッチング液濃度や温度によっ
て変化する。またエッチング液は被加工材料と化学反応
することでこれを溶かしていくため、反応による濃度変
化が生じる。このためにエッチング液の濃度を一定にす
るのは難しい。またエッチング液の温度についても、エ
ッチング液内の温度分布を一定にすることは難しい。
速度(被加工材料が溶解されていく速度)で決まるもの
であるが、エッチ速度はエッチング液濃度や温度によっ
て変化する。またエッチング液は被加工材料と化学反応
することでこれを溶かしていくため、反応による濃度変
化が生じる。このためにエッチング液の濃度を一定にす
るのは難しい。またエッチング液の温度についても、エ
ッチング液内の温度分布を一定にすることは難しい。
【0009】本発明は光導波路素子において上記方法で
は困難であった異なる実効屈折率を有する光導波路間の
接続部に、ある所定の屈折率と長さを持つ単一モード平
板光導波路を介在させることによって接続損失なく光の
全透過を実現することを目的としている。
は困難であった異なる実効屈折率を有する光導波路間の
接続部に、ある所定の屈折率と長さを持つ単一モード平
板光導波路を介在させることによって接続損失なく光の
全透過を実現することを目的としている。
【0010】
【課題を解決するための手段】本発明は、同一基板上に
積層された光導波路素子において、2つの異なる構造の
単一モード平板光導波路間に、前記2つの異なる構造の
単一モード平板光導波路の実効屈折率をN1、N2(N
1≠N2)とすると、実効屈折率(N´)が、
積層された光導波路素子において、2つの異なる構造の
単一モード平板光導波路間に、前記2つの異なる構造の
単一モード平板光導波路の実効屈折率をN1、N2(N
1≠N2)とすると、実効屈折率(N´)が、
【数1】
を満たすように、各層の屈折率をもとに、各層の厚さを
決定した構造を有する単一モード平板光導波路の接続部
を、波長λの光が実効屈折率N1の光導波路から実効屈
折率N´の接続部に入射角θiで入射するとき、接続部
の長さlが
決定した構造を有する単一モード平板光導波路の接続部
を、波長λの光が実効屈折率N1の光導波路から実効屈
折率N´の接続部に入射角θiで入射するとき、接続部
の長さlが
【数2】
を満たすように介在させたことを特徴とする光導波路素
子である。
子である。
【0011】
【0012】
【0013】
【0014】
【0015】
【作用】上記のように、同一基板上に積層された光導波
路素子において、2つの異なる構造の単一モード平板光
導波路間に、前記2つの異なる構造の単一モード平板光
導波路の実効屈折率をN1、N2(N1≠N2)とする
と、実効屈折率(N´)が、
路素子において、2つの異なる構造の単一モード平板光
導波路間に、前記2つの異なる構造の単一モード平板光
導波路の実効屈折率をN1、N2(N1≠N2)とする
と、実効屈折率(N´)が、
【数1】
を満たすように、各層の屈折率をもとに、各層の厚さを
決定した構造を有する単一モード平板光導波路の接続部
を、波長λの光が実効屈折率N1の光導波路から実効屈
折率N´の接続部に入射角θiで入射するとき、接続部
の長さlが
決定した構造を有する単一モード平板光導波路の接続部
を、波長λの光が実効屈折率N1の光導波路から実効屈
折率N´の接続部に入射角θiで入射するとき、接続部
の長さlが
【数2】 を満たすように介在させたので、入射時の反射波を解消
させることにより、接続損失を無くし、光の全透過を実
現できる。
させることにより、接続損失を無くし、光の全透過を実
現できる。
【0016】
【0017】
【0018】
【0019】
【0020】
【実施例1】本発明の一実施例として、一基板上で、二
層からなる導波層を持つ単一モード平板光導波路と導波
層を持つ接続用単一モード平板光導波路で接続する場合
について、図1を用いて説明する。
層からなる導波層を持つ単一モード平板光導波路と導波
層を持つ接続用単一モード平板光導波路で接続する場合
について、図1を用いて説明する。
【0021】図1(a)において光導波路5は層1,層
2の2層からなる導波層と基板3からなる単一モード平
板光導波路であり、光導波路7は導波層4と基板3から
なる単一モード平板光導波路である。
2の2層からなる導波層と基板3からなる単一モード平
板光導波路であり、光導波路7は導波層4と基板3から
なる単一モード平板光導波路である。
【0022】また、光導波路を伝搬する光は、平行光で
あり、図1(b)が示すように光導波路5から光導波路
7へ伝搬し、接続部6には角度θiで入射する。さらに
光導波路5,7が単一モード平板光導波路であるため
に、それぞれの光導波路に伝搬する光に固有の実効屈折
率N5,N7が決定される。
あり、図1(b)が示すように光導波路5から光導波路
7へ伝搬し、接続部6には角度θiで入射する。さらに
光導波路5,7が単一モード平板光導波路であるため
に、それぞれの光導波路に伝搬する光に固有の実効屈折
率N5,N7が決定される。
【0023】接続部6で2つの光導波路5,7を接続す
るとき、面A及び面Bから反射波RA,RBが発生する
が、これらの反射波は接続部6の実効屈折率N6及び長
さl6を
るとき、面A及び面Bから反射波RA,RBが発生する
が、これらの反射波は接続部6の実効屈折率N6及び長
さl6を
【0024】
【数3】
【0025】
【数4】
【0026】(但し、λは自由空間の光の波長)となる
ように定めることにより打ち消し合う。従って実質的に
接続による光導波路5への反射波が無くなる。すなわ
ち、光導波路5から光導波路7へ光は全透過することに
なる。なお、接続部の実効屈折率N6は層8及び層9の
厚さd6及びt6を適宜選ぶことにより所望の値に定める
ことができる。
ように定めることにより打ち消し合う。従って実質的に
接続による光導波路5への反射波が無くなる。すなわ
ち、光導波路5から光導波路7へ光は全透過することに
なる。なお、接続部の実効屈折率N6は層8及び層9の
厚さd6及びt6を適宜選ぶことにより所望の値に定める
ことができる。
【0027】以下に具体的な一例を示す。光導波路5,
7及び接続部6の基板3をSiO2(屈折率n4=1.4
58)とし、光導波路5の層1,接続部6の層8,光導
波路7の導波層4を屈折率n2=1.53のガラス(例
えばコーニング社の#7059)とし、光導波路5の層
2,接続部6の層9をTiO2(屈折率n3=2.3)と
した場合で、d5=d7=380(nm),t5=90
(nm)の場合を考える。ここでTM波が伝搬する場合
を考えると、光導波路5及び7の実効屈折率N5,N7は
N5=1.5686,N7=1.4581である。従っ
て、接続部6の実効屈折率N6は数3からN6=1.51
23となり、このためには例えばd6=380(n
m),t6=58(nm)とする必要がある。さらに、
例えば波長λが780(nm)の光が入射角θi=0°
で入射する場合、接続部6の長さl6を129(nm)
とすることで、光導波路5から光導波路7への光の全透
過が実現できる。
7及び接続部6の基板3をSiO2(屈折率n4=1.4
58)とし、光導波路5の層1,接続部6の層8,光導
波路7の導波層4を屈折率n2=1.53のガラス(例
えばコーニング社の#7059)とし、光導波路5の層
2,接続部6の層9をTiO2(屈折率n3=2.3)と
した場合で、d5=d7=380(nm),t5=90
(nm)の場合を考える。ここでTM波が伝搬する場合
を考えると、光導波路5及び7の実効屈折率N5,N7は
N5=1.5686,N7=1.4581である。従っ
て、接続部6の実効屈折率N6は数3からN6=1.51
23となり、このためには例えばd6=380(n
m),t6=58(nm)とする必要がある。さらに、
例えば波長λが780(nm)の光が入射角θi=0°
で入射する場合、接続部6の長さl6を129(nm)
とすることで、光導波路5から光導波路7への光の全透
過が実現できる。
【0028】なお、光導波路5及び光導波路7,接続部
6での導波層は何層からなるものでもよい。さらに、2
つの偏波方向の異なる光により構成された光が入射する
場合、入射角θiを適当な値に選ぶことで一方の偏波方
向を持つ光のみを選択透過させることができる。
6での導波層は何層からなるものでもよい。さらに、2
つの偏波方向の異なる光により構成された光が入射する
場合、入射角θiを適当な値に選ぶことで一方の偏波方
向を持つ光のみを選択透過させることができる。
【0029】(実施例2)本発明の他の実施例につい
て、図2を用いて説明する。一基板上で3層からなる導
波層を持つ単一モード平板光導波路と1層の導波層を持
つ単一モード平板光導波路とを2層からなる導波層を持
つ単一モード平板光導波路で接続する光導波路構造であ
る。その側面図を図2(a)に示す。ここで光導波路1
5は層10,11,12の3層からなる導波層と基板1
3で構成され、光導波路17は導波層18と基板13で
構成されている。また接続部16は層19,20の2層
と基板13で構成される。また光は図2(b)が示すよ
うに、接続部16に入射角θiで入射する。
て、図2を用いて説明する。一基板上で3層からなる導
波層を持つ単一モード平板光導波路と1層の導波層を持
つ単一モード平板光導波路とを2層からなる導波層を持
つ単一モード平板光導波路で接続する光導波路構造であ
る。その側面図を図2(a)に示す。ここで光導波路1
5は層10,11,12の3層からなる導波層と基板1
3で構成され、光導波路17は導波層18と基板13で
構成されている。また接続部16は層19,20の2層
と基板13で構成される。また光は図2(b)が示すよ
うに、接続部16に入射角θiで入射する。
【0030】光導波路15,及び17の実効屈折率
N15,N17であるとき、光の全透過原理は実施例1と同
じであり、接続部16の実効屈折率N16及び長さl16に
必要な条件は
N15,N17であるとき、光の全透過原理は実施例1と同
じであり、接続部16の実効屈折率N16及び長さl16に
必要な条件は
【0031】
【数5】
【0032】
【数6】
【0033】である。また、この光導波路素子は基板上
に屈折率n12で厚さd12の層を形成し、さらに、この上
に屈折率n11で厚さt11の層を接続部16と光導波路1
5の部分の上に形成し、さらに光導波路15の部分の上
に屈折率n10で厚さt10の層を形成することで作製でき
ることから、リフトオフ等を製造方法として採用するこ
とが可能である。さらに、2つの偏波方向の異なる光に
より構成された光が入射する場合、入射角θiを適当な
値に選ぶことで一方の偏波方向を持つ光のみを選択透過
させることができる。
に屈折率n12で厚さd12の層を形成し、さらに、この上
に屈折率n11で厚さt11の層を接続部16と光導波路1
5の部分の上に形成し、さらに光導波路15の部分の上
に屈折率n10で厚さt10の層を形成することで作製でき
ることから、リフトオフ等を製造方法として採用するこ
とが可能である。さらに、2つの偏波方向の異なる光に
より構成された光が入射する場合、入射角θiを適当な
値に選ぶことで一方の偏波方向を持つ光のみを選択透過
させることができる。
【0034】
【発明の効果】以上のように本発明によれば光導波路素
子において、異なる実効屈折率を有する2つの単一モー
ド平板光導波路間を光が接続損失なく、ほぼ全透過を可
能にする。
子において、異なる実効屈折率を有する2つの単一モー
ド平板光導波路間を光が接続損失なく、ほぼ全透過を可
能にする。
【図1】本発明の一実施例を示す側面図(a)、及び平
面図(b)である。
面図(b)である。
【図2】本発明の一実施例を示す側面図(a)、及び平
面図(b)である。
面図(b)である。
【図3】従来のテーパによる光導波路接続を示す図
(a)及びテーパにおける実効屈折率のZ方向の変化を
示す図(b)である。
(a)及びテーパにおける実効屈折率のZ方向の変化を
示す図(b)である。
【図4】従来においてドライエッチング法によるテーパ
の作製課程図である。
の作製課程図である。
【図5】従来においてウェットエッチング法によるテー
パの作製課程図である。
パの作製課程図である。
【図6】従来の突き合わせによる光導波路接続を示す側
面図(a)及び平面図(b)である。
面図(a)及び平面図(b)である。
1,2,4,10,11,12,19,20,101,
102,104 導波層 3,13,103 基板 5,6,7,15,16,17,105,106,10
7 光導波路 8,9 接続部導波層 41 レジスト 42 被加工材料
102,104 導波層 3,13,103 基板 5,6,7,15,16,17,105,106,10
7 光導波路 8,9 接続部導波層 41 レジスト 42 被加工材料
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 山本 裕之 大阪府大阪市阿倍野区長池町22番22号 シャープ株式会社内 (72)発明者 吉田 圭男 大阪府大阪市阿倍野区長池町22番22号 シャープ株式会社内 (72)発明者 倉田 幸夫 大阪府大阪市阿倍野区長池町22番22号 シャープ株式会社内 (56)参考文献 特開 昭62−17708(JP,A) 特開 平5−273428(JP,A) 櫛田孝司著 共立物理学講座11 光物 理学 初版6刷 共立出版株式会社 1991年3月15日発行 第50−52頁 (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) G02B 6/12 - 6/14
Claims (1)
- 【請求項1】 同一基板上に積層された光導波路素子に
おいて、 2つの異なる構造の単一モード平板光導波路間に、 前記2つの異なる構造の単一モード平板光導波路の実効
屈折率をN1、N2(N1≠N2)とすると、 実効屈折率(N´)が、 【数1】 を満たすように、 各層の屈折率をもとに、各層の厚さを決定した構造を有
する単一モード平板光導波路の接続部を、 波長λの光が実効屈折率N1の光導波路から実効屈折率
N´の接続部に入射角θiで入射するとき、接続部の長
さlが 【数2】 を満たすように介在させたことを特徴とする光導波路素
子。
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櫛田孝司著 共立物理学講座11 光物理学 初版6刷 共立出版株式会社 1991年3月15日発行 第50−52頁 |
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