JPS6256160A - サ−マルヘツド - Google Patents
サ−マルヘツドInfo
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- Japan
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- thermal head
- heat generating
- protective layer
- heating resistor
- generating resistor
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- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
- B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
- B41J2/315—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by selective application of heat to a heat sensitive printing or impression-transfer material
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- B41J2/335—Structure of thermal heads
- B41J2/33505—Constructional details
- B41J2/3353—Protective layers
-
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Landscapes
- Electronic Switches (AREA)
- Non-Adjustable Resistors (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明はサーマルヘッドに係り、発熱抵抗体の寿命が長
く、保護膜の寿命も長く、かつ高速印字が出来るサーマ
ルヘッドに関するものである。
く、保護膜の寿命も長く、かつ高速印字が出来るサーマ
ルヘッドに関するものである。
印字記録の方式としては、従来よりインパクトタイプ、
感熱記録タイプやインクジェットタイプ等があり、これ
まではインパクトタイプのプリンターが主流を占めてい
た。しかしインパクトタイプはその印字方式が故に、単
位面積当りのドツト数及びドツトの径に限界があり１微
細な印字が困難である。又、機械的に印字するため、印
字の際に音を発生するという欠点を持ち合せている。一
方、サーマルヘッドは、その製造法がＩＣで用いられる
製造法とほとんど同一であるため、発熱抵抗体を構成す
る１素子は非常に小さくすることが出来、非常に微細な
印字が可能であり、かつ感熱方式であるため、騒音を発
生しないという長所を有している。こういった長所を活
かし、感熱記録タイプのサーマルヘッドの需要が急速に
増加している一方テ、サーマルヘッドの長寿命化、高速
印字性能向上といった要求が一段と厳しくなってきてい
る。
感熱記録タイプやインクジェットタイプ等があり、これ
まではインパクトタイプのプリンターが主流を占めてい
た。しかしインパクトタイプはその印字方式が故に、単
位面積当りのドツト数及びドツトの径に限界があり１微
細な印字が困難である。又、機械的に印字するため、印
字の際に音を発生するという欠点を持ち合せている。一
方、サーマルヘッドは、その製造法がＩＣで用いられる
製造法とほとんど同一であるため、発熱抵抗体を構成す
る１素子は非常に小さくすることが出来、非常に微細な
印字が可能であり、かつ感熱方式であるため、騒音を発
生しないという長所を有している。こういった長所を活
かし、感熱記録タイプのサーマルヘッドの需要が急速に
増加している一方テ、サーマルヘッドの長寿命化、高速
印字性能向上といった要求が一段と厳しくなってきてい
る。
一方、サーマルヘッドの性能を決定づけるものは発熱抵
抗体材料と保護膜材料であり、如何に優れた発熱抵抗体
材料と保護膜材料を開発するかということが、優れた性
能を持つサーマ化ヘッドを開発出来るかということを左
右するといっても過言ではない。
抗体材料と保護膜材料であり、如何に優れた発熱抵抗体
材料と保護膜材料を開発するかということが、優れた性
能を持つサーマ化ヘッドを開発出来るかということを左
右するといっても過言ではない。
従来のサーマルヘッドに用いられていた材料としては、
例えば特公昭５９−８２８４号公報に示されているよう
に耐摩耗層として’ｒａ！ｏ、を用い、発熱抵抗体の酸
化を防ぐだめの抵抗体保護層として５ｉＯｔを用いる旨
が記載されており、発熱抵抗体としてはＴａＮ 、 Ｔ
ａ−８ｉｏ、等が挙げられていた。サーマルヘッドの構
造を理解するために第６図に従来のサーマルヘッドの断
面図を示す。
例えば特公昭５９−８２８４号公報に示されているよう
に耐摩耗層として’ｒａ！ｏ、を用い、発熱抵抗体の酸
化を防ぐだめの抵抗体保護層として５ｉＯｔを用いる旨
が記載されており、発熱抵抗体としてはＴａＮ 、 Ｔ
ａ−８ｉｏ、等が挙げられていた。サーマルヘッドの構
造を理解するために第６図に従来のサーマルヘッドの断
面図を示す。
サーマルヘッドの印字動作については図中（７）のリー
ド線間に電力が給電されリード線（７）間に形成された
発熱抵抗体（８）が発熱し、発熱抵抗体の酸化を防止す
る抵抗体保護Ｍ （６） 、感熱紙もしくはインクリボ
ン等（図示せず）との摩擦による摩耗を防止する耐摩耗
層（５）、全通してプラテン（図示せず）との間に挾ま
れた感熱紙、転写紙等を印写するものである。
ド線間に電力が給電されリード線（７）間に形成された
発熱抵抗体（８）が発熱し、発熱抵抗体の酸化を防止す
る抵抗体保護Ｍ （６） 、感熱紙もしくはインクリボ
ン等（図示せず）との摩擦による摩耗を防止する耐摩耗
層（５）、全通してプラテン（図示せず）との間に挾ま
れた感熱紙、転写紙等を印写するものである。
従来のサーマルヘッドは以上のように発熱抵抗体（８）
および近傍の導体リード線（７） 、５ｘＯｔ等の抵抗
体保護層（６）及びＴａ！０．！１等の耐摩耗層（５）
で形成される必要があったため、成膜材料を複数個揃え
る必要があると共に、成膜仕様の切換、成膜の長時間等
の問題があった。また８ｉ０！抵抗体保護層（６）とＴ
ａｖＯｓ耐摩耗層＋５）の組合せはかなり良い長寿命を
示していたが、より長寿命化、省電力化、高速印字化等
の要求を充分満足させることが困難になって来ている。
および近傍の導体リード線（７） 、５ｘＯｔ等の抵抗
体保護層（６）及びＴａ！０．！１等の耐摩耗層（５）
で形成される必要があったため、成膜材料を複数個揃え
る必要があると共に、成膜仕様の切換、成膜の長時間等
の問題があった。また８ｉ０！抵抗体保護層（６）とＴ
ａｖＯｓ耐摩耗層＋５）の組合せはかなり良い長寿命を
示していたが、より長寿命化、省電力化、高速印字化等
の要求を充分満足させることが困難になって来ている。
この発明は上記のような問題点を解消するためになされ
たもので、抵抗体保護層と耐摩耗層を１層の保護層で形
成し、かつ長寿命のサーマルヘッドを得ることを目的と
する。
たもので、抵抗体保護層と耐摩耗層を１層の保護層で形
成し、かつ長寿命のサーマルヘッドを得ることを目的と
する。
発明者らは種々の金属、合金、金属間化合物、酸化物窒
化物を組合せて、サーマルヘッドを試作し、実験を行っ
た。この結果金属、合金、金属間化合物とこれら混合物
及びＳｉｎ！から成る発熱抵抗体と一層から成る窒化物
の保護層を有するサーマルヘッドは非常に優れた性能を
示すことが判った。
化物を組合せて、サーマルヘッドを試作し、実験を行っ
た。この結果金属、合金、金属間化合物とこれら混合物
及びＳｉｎ！から成る発熱抵抗体と一層から成る窒化物
の保護層を有するサーマルヘッドは非常に優れた性能を
示すことが判った。
本発明におけるサーマルヘッドは金属、合金、金属間化
合物とこれら混合物及８ｉ０２から成る発熱抵抗体を一
層から成る窒化物の保護層で覆っているため１．成膜の
材料が一種でよく、成膜の仕様が１通りであると共に、
成膜時間も短縮でき、長寿命、省電力、高速印字可能な
サーマルヘッドを得ることができる。
合物とこれら混合物及８ｉ０２から成る発熱抵抗体を一
層から成る窒化物の保護層で覆っているため１．成膜の
材料が一種でよく、成膜の仕様が１通りであると共に、
成膜時間も短縮でき、長寿命、省電力、高速印字可能な
サーマルヘッドを得ることができる。
以下、この発明の実施例について従来例と比較しながら
説明する。
説明する。
（従来例）
充分に洗滌されたガラス厚４０〜６０μｍのグレーズド
アｚｔ’４す基板上に圧力４Ｘ１０ ＰａのＡｒ雰囲
気中で高周波２極スパツタリングにより’ｒａ−８ｉＯ
，＠熱抵抗体膜を８０００〜４０００ Ａの厚みで形成
した。入力は２ＫＷで８０分間スパッタリングを行った
。得られた抵抗体膜の面積抵抗は１７０Ω／口であった
。この抵抗体膜の上にＡＩを１〜２ｐｍスパッタリング
で付着させ、選択エツチングを行い１６本１０のサーマ
ルヘッドパターンを形成させ、この上に抵抗体保護層と
して１９ｉ０．を２μｍ スパッタリングし、引続き耐
摩耗層としての’ｒａ、ｏ、を６μｍス・〈ツタリング
を積層し従来例としてのサーマルヘッドとした。
アｚｔ’４す基板上に圧力４Ｘ１０ ＰａのＡｒ雰囲
気中で高周波２極スパツタリングにより’ｒａ−８ｉＯ
，＠熱抵抗体膜を８０００〜４０００ Ａの厚みで形成
した。入力は２ＫＷで８０分間スパッタリングを行った
。得られた抵抗体膜の面積抵抗は１７０Ω／口であった
。この抵抗体膜の上にＡＩを１〜２ｐｍスパッタリング
で付着させ、選択エツチングを行い１６本１０のサーマ
ルヘッドパターンを形成させ、この上に抵抗体保護層と
して１９ｉ０．を２μｍ スパッタリングし、引続き耐
摩耗層としての’ｒａ、ｏ、を６μｍス・〈ツタリング
を積層し従来例としてのサーマルヘッドとした。
（実施例１）
充分に洗滌されたガラス厚４０〜５０Ｉ１ｍのグレーズ
ドアルミナ基板上に圧力４ Ｘ １０＝ＰａのＡｒ雰雰
囲気中高高周波２極スパツタリングより’ｒａ −Ｓｉ
ｎ、発熱抵抗体膜を８０００〜４００ＯＡの厚みで形成
した。入力は２ＫＷで８０分間スパッタリングを行った
。得られた抵抗体膜の面積抵抗は１７０Ωんであった。
ドアルミナ基板上に圧力４ Ｘ １０＝ＰａのＡｒ雰雰
囲気中高高周波２極スパツタリングより’ｒａ −Ｓｉ
ｎ、発熱抵抗体膜を８０００〜４００ＯＡの厚みで形成
した。入力は２ＫＷで８０分間スパッタリングを行った
。得られた抵抗体膜の面積抵抗は１７０Ωんであった。
この抵抗体膜の上にＡｌｔ１〜２μｍスパッタリングで
付着させ、選択エツチングを行い１６本／絽のサーマル
ヘッドパターンを形成させ、この上に保護層トシてＢＮ
ヲ５μｍスパッタリングし、サーマルヘッドとした。
ＢＮ保護層は圧力４×１０″ａＰａのＡｒ雰囲気で２ｘ
ｗＳ１０時間スパッタリングすることで得た。
付着させ、選択エツチングを行い１６本／絽のサーマル
ヘッドパターンを形成させ、この上に保護層トシてＢＮ
ヲ５μｍスパッタリングし、サーマルヘッドとした。
ＢＮ保護層は圧力４×１０″ａＰａのＡｒ雰囲気で２ｘ
ｗＳ１０時間スパッタリングすることで得た。
第１図に断面図を示す。αＱｉｉ、ＢＮ保護層、（８）
は発熱抵抗体である。
は発熱抵抗体である。
（比較例）
サーマルヘッドパターン形成までの製造工程は従来例及
実施例１と同一で８ｉ０．の抵抗体保護層を設けずに、
Ｔ、、０．耐摩耗層だけを５μｍスパッタリングで形成
したサーマルヘッドを比較用に作成した。
実施例１と同一で８ｉ０．の抵抗体保護層を設けずに、
Ｔ、、０．耐摩耗層だけを５μｍスパッタリングで形成
したサーマルヘッドを比較用に作成した。
これらのサーマルヘッドに対しステップストレステスト
、印字走行テスト等の実験を行った。第２図はステップ
ストレステストの結果を表わしたもので、横軸は従来例
で示したサーマルヘッドの入力値を基準として表わした
入力値を示し、縦軸は抵抗値の変化を表わしている０図
中（１）が実施例１で示した本発明サーマルヘッドの実
験結果を表わすデータで図中（２）が従来例で示したサ
ーマルヘッドの実験結果、図中（３）が比較例で示した
サーマルヘッドの実験結果を表わしている。実験方法は
電圧印加時間８分間、内１００ Ｈｚの周期でパルス電
圧を印加し、休止時間１分間、この後電力を０．０６Ｗ
上昇させ再度電圧印加というサイクρで加速度試験を行
った。又、この実験に於ける抵折変化率の限界値として
は＋１チとした。
、印字走行テスト等の実験を行った。第２図はステップ
ストレステストの結果を表わしたもので、横軸は従来例
で示したサーマルヘッドの入力値を基準として表わした
入力値を示し、縦軸は抵抗値の変化を表わしている０図
中（１）が実施例１で示した本発明サーマルヘッドの実
験結果を表わすデータで図中（２）が従来例で示したサ
ーマルヘッドの実験結果、図中（３）が比較例で示した
サーマルヘッドの実験結果を表わしている。実験方法は
電圧印加時間８分間、内１００ Ｈｚの周期でパルス電
圧を印加し、休止時間１分間、この後電力を０．０６Ｗ
上昇させ再度電圧印加というサイクρで加速度試験を行
った。又、この実験に於ける抵折変化率の限界値として
は＋１チとした。
第２図より本発明品（１）が従来品（２）より優れてお
り、従来品に比べ４５チ、高入力になっていることが判
る。又、 ８ｉ０．の抵抗保護層無１−品（比較例（３
））に比べ、約２倍になっていることが判る。また第３
図は実際にプリンターに組込み、走行印字テストを行っ
た結果を示すもので、縦軸は抵抗変化率を示し、横軸は
従来品を基準とした際の印字走行距離を示している。図
中（１）は実施例！で示した本発明サーマルヘッドの実
験結果を表わすデータで図中（２）は従来例で示したサ
ーマルヘッドの結果、図中（３）が比較例で示したサー
マルヘッドの実験結果を表わしている。実験は実際にプ
リンターに組込み１１ドツト当り０．５５ Ｗの入力で
８０文字／秒で連続印字させた０判定方法は初期抵抗値
比１０チの抵抗変化時までとした。第３図より、本発明
品は従来品に比べ非常に優れた性能を示し、従来品比で
約３．５倍の印字走行が可能であった０本発明品の印字
走行距離が従来品に比べ大巾に向上した理由としては、
第１に８つのサンプｙに於て、同一の入力値としたこと
が考えられる。つまり、本発明品の印加入力の限界値が
第２図のステップストレステストに示されるように、従
来例、比較例に比べ大きいという点であり、同一人力値
に対し、本発明品は充分大きな印加入力限界値を持ち、
比較例では印加入力限界値を越えていたものと考えられ
る。また第２の理由としては耐摩耗層の消耗が少なかっ
たことが考えられる。
り、従来品に比べ４５チ、高入力になっていることが判
る。又、 ８ｉ０．の抵抗保護層無１−品（比較例（３
））に比べ、約２倍になっていることが判る。また第３
図は実際にプリンターに組込み、走行印字テストを行っ
た結果を示すもので、縦軸は抵抗変化率を示し、横軸は
従来品を基準とした際の印字走行距離を示している。図
中（１）は実施例！で示した本発明サーマルヘッドの実
験結果を表わすデータで図中（２）は従来例で示したサ
ーマルヘッドの結果、図中（３）が比較例で示したサー
マルヘッドの実験結果を表わしている。実験は実際にプ
リンターに組込み１１ドツト当り０．５５ Ｗの入力で
８０文字／秒で連続印字させた０判定方法は初期抵抗値
比１０チの抵抗変化時までとした。第３図より、本発明
品は従来品に比べ非常に優れた性能を示し、従来品比で
約３．５倍の印字走行が可能であった０本発明品の印字
走行距離が従来品に比べ大巾に向上した理由としては、
第１に８つのサンプｙに於て、同一の入力値としたこと
が考えられる。つまり、本発明品の印加入力の限界値が
第２図のステップストレステストに示されるように、従
来例、比較例に比べ大きいという点であり、同一人力値
に対し、本発明品は充分大きな印加入力限界値を持ち、
比較例では印加入力限界値を越えていたものと考えられ
る。また第２の理由としては耐摩耗層の消耗が少なかっ
たことが考えられる。
（実施例２）
充分に洗滌されたガラス厚４０〜５０ ｐｍのグレーズ
ドアルミナ基板上に圧力４ Ｘ ｘｏ”ｐａＯＡｒ雰囲
気中で高周波２極スパツタリングによりＭｎ −８ｉ０
１発熱抵抗体膜を８０００〜４００ＯＡの厚みで形成し
た。入力は２ＫＷで６０分間スパッタリングを行った。
ドアルミナ基板上に圧力４ Ｘ ｘｏ”ｐａＯＡｒ雰囲
気中で高周波２極スパツタリングによりＭｎ −８ｉ０
１発熱抵抗体膜を８０００〜４００ＯＡの厚みで形成し
た。入力は２ＫＷで６０分間スパッタリングを行った。
得られた抵抗体膜の面積抵抗は２２０Ωめであった。こ
の抵抗体膜の上にＡ１を１〜２μｍスパッタリングで付
着させ、この上にＢＮを圧力４Ｘ１．）’ＰａのＡｒ雰
囲気中でスパッタリングし、５１Ｘｎの保護層を付け、
サーマルヘッドとした。このサーマルヘッドモ先ノ例と
同一のステップストレステストと印字走行テストを行っ
た。
の抵抗体膜の上にＡ１を１〜２μｍスパッタリングで付
着させ、この上にＢＮを圧力４Ｘ１．）’ＰａのＡｒ雰
囲気中でスパッタリングし、５１Ｘｎの保護層を付け、
サーマルヘッドとした。このサーマルヘッドモ先ノ例と
同一のステップストレステストと印字走行テストを行っ
た。
第４図はステップストレステストの結果ヲ示シたもので
、第１図と同じく縦軸は抵抗値変化率を表わし、横軸は
印加入力を表わしている。図中（４）は本発明品である
実施例２で示したサーマルヘッドの実験結果を示してい
る。第４図より本発明品（４）が従来品（２）より優れ
ており、従来品に比ベア５％高入力になっていることが
判る。
、第１図と同じく縦軸は抵抗値変化率を表わし、横軸は
印加入力を表わしている。図中（４）は本発明品である
実施例２で示したサーマルヘッドの実験結果を示してい
る。第４図より本発明品（４）が従来品（２）より優れ
ており、従来品に比ベア５％高入力になっていることが
判る。
又、第５図は印字走行テストの結果を示したもので、第
２図と同じく、縦軸は抵抗値変化率を表わし、横軸は印
字走行距離を表わしている０図中（４）は本発明品であ
る実施例２で示したサーマルヘッドの実験結果を示して
おり、本図より本発明品（４）が従来品（２）より優れ
ており、従来品に比べ４倍以上の印字走行が可能であっ
た。
２図と同じく、縦軸は抵抗値変化率を表わし、横軸は印
字走行距離を表わしている０図中（４）は本発明品であ
る実施例２で示したサーマルヘッドの実験結果を示して
おり、本図より本発明品（４）が従来品（２）より優れ
ており、従来品に比べ４倍以上の印字走行が可能であっ
た。
（他の実施例）
発明者らは上記実施例以外にも種々の材料を用いてサー
マルヘッドを試作し、実験を行った。その結果を表に示
す。
マルヘッドを試作し、実験を行った。その結果を表に示
す。
発熱抵抗体膜形成用のスパッタリングターゲットは真空
ホットプレス装置を用いて作成した。その−例を以下に
示す。８５０ ｍｅ ｓｈの勤粉末と試薬特級の８ｉ０
．粉末を所定量秤量し、エチルアルコ−μを用い、らい
かい器で２時間湿式混合を行った。
ホットプレス装置を用いて作成した。その−例を以下に
示す。８５０ ｍｅ ｓｈの勤粉末と試薬特級の８ｉ０
．粉末を所定量秤量し、エチルアルコ−μを用い、らい
かい器で２時間湿式混合を行った。
混合後、乾燥させ真空ホットプレス装置にセットし、真
空中１５００°Ｃで１時間保持した。その間４００＃／
ｄ の荷重を加えることで緻密なＭｎ−８ｉ０２ ス
パッタリングターゲットを得た。先に述べたＴａ−８ｉ
Ｏ，スパッタリングターゲットも同一方法で作成してお
り、Ｔａは８２５ｍｅｓｂの粉末を用いた。他のターゲ
ットも同様に真空ホットプレス装置を用いて作成し、材
料粉末で入手困難なものは米国製を用いた。
空中１５００°Ｃで１時間保持した。その間４００＃／
ｄ の荷重を加えることで緻密なＭｎ−８ｉ０２ ス
パッタリングターゲットを得た。先に述べたＴａ−８ｉ
Ｏ，スパッタリングターゲットも同一方法で作成してお
り、Ｔａは８２５ｍｅｓｂの粉末を用いた。他のターゲ
ットも同様に真空ホットプレス装置を用いて作成し、材
料粉末で入手困難なものは米国製を用いた。
表の見方は、縦に発熱抵抗体膜材料、横に保護膜材料を
取り、例えば実施例１で示したサーマルヘッドは、抵抗
体膜が’ｒａ −８ｉ０．で、保護膜がＢＮ。
取り、例えば実施例１で示したサーマルヘッドは、抵抗
体膜が’ｒａ −８ｉ０．で、保護膜がＢＮ。
つまり左上角に示されている。又、１つのマス内の数字
は、上段が抵抗［（Ω／口）、中段がステップストレス
テスト（従来品比チ）、下段が印字走行距離（従来品比
チ）を各々示している。又、マヌ目の中で空欄があるも
のは実験を行っていないものであり、抵抗値は発熱抵抗
体膜スパッタ後に測定しているためＢＮ保護膜の列にの
み記入した。
は、上段が抵抗［（Ω／口）、中段がステップストレス
テスト（従来品比チ）、下段が印字走行距離（従来品比
チ）を各々示している。又、マヌ目の中で空欄があるも
のは実験を行っていないものであり、抵抗値は発熱抵抗
体膜スパッタ後に測定しているためＢＮ保護膜の列にの
み記入した。
この表に於て、ＢＮ保護膜の列を見ると、ステップスト
レステストの結果と印字走行テストの結果には相関関係
があることが判る。又、印字走行テストでは実際の印字
距離が１００ Ｋｍ近くになるため、残念ながら全試料
のテストは行えなかった。
レステストの結果と印字走行テストの結果には相関関係
があることが判る。又、印字走行テストでは実際の印字
距離が１００ Ｋｍ近くになるため、残念ながら全試料
のテストは行えなかった。
この表より、本発明サーマルヘッドが従来品に比べ優れ
た性能を有していることが判り、特に優れた発熱抵抗体
と保護膜の組合せとして’ｒａ −Ｓｉｎ。
た性能を有していることが判り、特に優れた発熱抵抗体
と保護膜の組合せとして’ｒａ −Ｓｉｎ。
とＢＮ 、 Ｔａ −８ｉ０１ 、！： ’ｒｉＮ 、
Ｔａ −８ｉ０２とＴｋＩＮ 、 Ｔａ −５ｉＯｔ
（！： ＨｆＮ 、 Ｔａ −５ｉｆｔ、： ＺｒＮ
、 Ｍｎ −５ｉｆｔとＢＮ 、 ＭＪＩ −８ｉＯ，
とＴｉＮ 、 Ｍｎ −８ｉ０１とＴｈＮ 、 Ｍｎ
−８ｉ０！とＨｆＮ 、 Ｍｎ−８ｉｎ、とＺｒＮ 、
Ｍｎ −８ｉ０１とＡＩＮｒ ＭＯ−ｓｉｏ、とＢＮ
。
Ｔａ −８ｉ０２とＴｋＩＮ 、 Ｔａ −５ｉＯｔ
（！： ＨｆＮ 、 Ｔａ −５ｉｆｔ、： ＺｒＮ
、 Ｍｎ −５ｉｆｔとＢＮ 、 ＭＪＩ −８ｉＯ，
とＴｉＮ 、 Ｍｎ −８ｉ０１とＴｈＮ 、 Ｍｎ
−８ｉ０！とＨｆＮ 、 Ｍｎ−８ｉｎ、とＺｒＮ 、
Ｍｎ −８ｉ０１とＡＩＮｒ ＭＯ−ｓｉｏ、とＢＮ
。
Ｍ、 −８ｉ０．とＴｉＮ 、 Ｍｏ −５１０ｔとＴ
ｈＮ ＋ Ｍｏ −５ｉｎｔｌ ＨｆＮ＋Ｍ、 −８ｉ
０ｔ、： ＺｒＮ 、 ’ｌ’１−８ｉＱ、とＢＮ 、
Ｔｉ −８ｉ０１とＴｉＮ。
ｈＮ ＋ Ｍｏ −５ｉｎｔｌ ＨｆＮ＋Ｍ、 −８ｉ
０ｔ、： ＺｒＮ 、 ’ｌ’１−８ｉＱ、とＢＮ 、
Ｔｉ −８ｉ０１とＴｉＮ。
Ｔｌ ８１０！ （！： ＨｆＮ ＊ Ｔ＋ Ｓ＋
ＯｔとＺｒＮ 、 Ｚｒ −Ｓｉｎ！とＨｆＮ。
ＯｔとＺｒＮ 、 Ｚｒ −Ｓｉｎ！とＨｆＮ。
Ｚｒ ８１０！ ｌ ＺｒＮ ＋ Ｈｆ ８ｔＯｔ
、！： ＢＮ 、 Ｈｆ ８１０！とＴ）ＩＮ。
、！： ＢＮ 、 Ｈｆ ８１０！とＴ）ＩＮ。
Ｈｆ −８ｉ０！、！： ＨｆＮ 、 Ｖ−８ｉｎ、と
ＴｉＮ 、 Ｖ −５ｉ０１ （！： ＴｈＮ ｒＶ−
８ｉ０．と１４ｆＮ 、 Ｖ−８１０！ ？！： Ｚｒ
Ｎ ＊ Ｎｂ ８１０！ （！： ＢＮ ＋Ｎｔ）
−８ｉ０ｔとＴｉＮ ＋ Ｎｂ −ｓｉｏ、とＴｈＮ
、 Ｎｂ −８ｉ０．とＨｆＮ。
ＴｉＮ 、 Ｖ −５ｉ０１ （！： ＴｈＮ ｒＶ−
８ｉ０．と１４ｆＮ 、 Ｖ−８１０！ ？！： Ｚｒ
Ｎ ＊ Ｎｂ ８１０！ （！： ＢＮ ＋Ｎｔ）
−８ｉ０ｔとＴｉＮ ＋ Ｎｂ −ｓｉｏ、とＴｈＮ
、 Ｎｂ −８ｉ０．とＨｆＮ。
Ｎｂ −８ｉ０ｔとＺｒＮ 、 ｃｒ −Ｓｉｎ、とＴ
ｉＮ 、 ｃｒ −８ｉ０．とＴｈＮ。
ｉＮ 、 ｃｒ −８ｉ０．とＴｈＮ。
ｃｒ −８ｉ０．とＨｆＮ 、 Ｗ −Ｓｉｎ、とＴｈ
Ｎ＊ Ｔａ Ｍｏ ５１０ｔとＢＮ＋ Ｔａ −Ｍ
ｏ ｓｈｏ、とＴｉＮ 、 Ｔａ −Ｍｏ −Ｓｉｎ
ｇとＴｈＮ。
Ｎ＊ Ｔａ Ｍｏ ５１０ｔとＢＮ＋ Ｔａ −Ｍ
ｏ ｓｈｏ、とＴｉＮ 、 Ｔａ −Ｍｏ −Ｓｉｎ
ｇとＴｈＮ。
’ｒａ −Ｍ□ −Ｓｉｎ、とＨｆＮ、Ｔａ Ｍｏ
５ｉ０２とＺｒＮ 、 Ｔａ−Ｍ。
５ｉ０２とＺｒＮ 、 Ｔａ−Ｍ。
−８ｉｎ、とＡＩＮ 、 Ｎｂ −Ｍｏ ５ｉ０２と
ＢＮ 、 Ｎｂ −Ｍｏ −５ｉ０２とＴｉＮ 、 Ｎ
ｂ−Ｍ、 ＳｉＱ、とＴｈＮ 、 Ｎｂ −Ｍｏ −
５ｉｆｔとＨｆＮ。
ＢＮ 、 Ｎｂ −Ｍｏ −５ｉ０２とＴｉＮ 、 Ｎ
ｂ−Ｍ、 ＳｉＱ、とＴｈＮ 、 Ｎｂ −Ｍｏ −
５ｉｆｔとＨｆＮ。
Ｎｂ−Ｍ、 −Ｓｉｎ、とＶＮ 、 Ｎｌ） −Ｍ、
−Ｓｉｎ、とＺｒＮ 、 Ｎｂ −Ｍ。
−Ｓｉｎ、とＺｒＮ 、 Ｎｂ −Ｍ。
−８ｉｎ、とＡＩＮ 、 Ｗ −Ｍ、 −ＳｉＯ，とＢ
Ｎ 、 Ｗ−Ｍｏ −８ｉｏｌ とＴ ｉＮ 、 Ｗ
−Ｍｏ −８ｉｏ、とＴｈＮ＊ Ｗ Ｍｏ ５ｉｆ
ｔとＨｆＮ 、 Ｗ−Ｍｏ −８ｉ０．とＶＮ 、 Ｗ
−Ｍ、 −８４０，とＺｒＮ 、 Ｗ−Ｍｏ −Ｓ ｉ
ｏ２とＡＩＮ 、 Ｔａ −Ｏｒ −Ｓｉｎ、とＢＮ
、 Ｔａ −Ｏｒ ５ｉｆｔとＴｉＮ。
Ｎ 、 Ｗ−Ｍｏ −８ｉｏｌ とＴ ｉＮ 、 Ｗ
−Ｍｏ −８ｉｏ、とＴｈＮ＊ Ｗ Ｍｏ ５ｉｆ
ｔとＨｆＮ 、 Ｗ−Ｍｏ −８ｉ０．とＶＮ 、 Ｗ
−Ｍ、 −８４０，とＺｒＮ 、 Ｗ−Ｍｏ −Ｓ ｉ
ｏ２とＡＩＮ 、 Ｔａ −Ｏｒ −Ｓｉｎ、とＢＮ
、 Ｔａ −Ｏｒ ５ｉｆｔとＴｉＮ。
Ｔａ −Ｏｒ −８ｉ０１とＴｈＮ 、 Ｔａ −Ｏｒ
−８ｉ０．とＨｆＮ 、 Ｔａ −Ｃｒ−８ｉＯ１と
ＺｒＮ Ｔ Ｔａ−Ｃｒ５ｘＯ２とＡＩＮ 、 Ｗ −
ｃｒ−８ｉ０ｔとＢＮ 、 Ｗ−Ｃｒ−８ｉｏ、とＴｉ
Ｎ 、 Ｗ −Ｏｒ −８ｉｏ２とＴｈＮ、Ｗ−Ｏｒ
−８ｉ０１とＨｆＮ 、 Ｗ−Ｏｒ −Ｓ ｉＯ，とＺ
ｒＮ 、 Ｎｂ −Ｏｒ −８ｉ０゜とＢＮ 、 Ｎｔ
） −Ｏｒ −８ｉ０．とＴｉＮ、 Ｎｂ −Ｏｒ −
Ｓ ｉｏ２とＴｌＩＮ 。
−８ｉ０．とＨｆＮ 、 Ｔａ −Ｃｒ−８ｉＯ１と
ＺｒＮ Ｔ Ｔａ−Ｃｒ５ｘＯ２とＡＩＮ 、 Ｗ −
ｃｒ−８ｉ０ｔとＢＮ 、 Ｗ−Ｃｒ−８ｉｏ、とＴｉ
Ｎ 、 Ｗ −Ｏｒ −８ｉｏ２とＴｈＮ、Ｗ−Ｏｒ
−８ｉ０１とＨｆＮ 、 Ｗ−Ｏｒ −Ｓ ｉＯ，とＺ
ｒＮ 、 Ｎｂ −Ｏｒ −８ｉ０゜とＢＮ 、 Ｎｔ
） −Ｏｒ −８ｉ０．とＴｉＮ、 Ｎｂ −Ｏｒ −
Ｓ ｉｏ２とＴｌＩＮ 。
Ｎｂ−ｃｒ−ｓｉｏ、とＨｆＮ 、 Ｎｂ −Ｏｒ −
８ｉｏ、とｚｒＮ ＊ Ｔａ Ｗ−８ｉｎ、とＴｉＮ
、 ＴＢ−Ｗ−８ｉ０１とＴｈＮ 、 Ｔａ −Ｗ−
８ｉ０．とＨｆＮ。
８ｉｏ、とｚｒＮ ＊ Ｔａ Ｗ−８ｉｎ、とＴｉＮ
、 ＴＢ−Ｗ−８ｉ０１とＴｈＮ 、 Ｔａ −Ｗ−
８ｉ０．とＨｆＮ。
Ｔａ−Ｗ−８ｉ０．とＺｒＮ 、 Ｎｂ−Ｗ−８３０，
とＢＮ、Ｎｂ−Ｗ−８ｉ０ｔとＴｉＮ 、 Ｎｂ −Ｗ
−８ｉｎ、とＴｈＮ 、 Ｎｌ） −Ｗ−Ｓｉｎ、とＨ
ｆＮ。
とＢＮ、Ｎｂ−Ｗ−８ｉ０ｔとＴｉＮ 、 Ｎｂ −Ｗ
−８ｉｎ、とＴｈＮ 、 Ｎｌ） −Ｗ−Ｓｉｎ、とＨ
ｆＮ。
Ｎｂ−Ｗ−８ｉ０．とＺｒＮ 、 ’１４− Ｏｒ、Ｔ
ａ−８ｉ０．とＢＮ、Ｔａ−ＣｒｔＴａ −８ｉ０１と
ＴＩＮ＊Ｔａ ｅｒ、’ｒａ ８ｔ０１とＴｈＮ
、 Ｔａ −ｃｒ、’ｒａ −８ｉ０．とＨｆＮ ｒ
Ｔａ −Ｃｒ、Ｔａ −８ｉ０．とＺｒＮ 、 ｌ１ｌ
ａ−ｃｒ、’ｒａ −８ｉ０！とＡＩＮ等があり、これ
らは従来品の印字走行距離の８倍以上のデータを示した
、又、ここに列挙しなかった組合せについても表より、
従来品の２倍以上の性能を示していることがわかる。
ａ−８ｉ０．とＢＮ、Ｔａ−ＣｒｔＴａ −８ｉ０１と
ＴＩＮ＊Ｔａ ｅｒ、’ｒａ ８ｔ０１とＴｈＮ
、 Ｔａ −ｃｒ、’ｒａ −８ｉ０．とＨｆＮ ｒ
Ｔａ −Ｃｒ、Ｔａ −８ｉ０．とＺｒＮ 、 ｌ１ｌ
ａ−ｃｒ、’ｒａ −８ｉ０！とＡＩＮ等があり、これ
らは従来品の印字走行距離の８倍以上のデータを示した
、又、ここに列挙しなかった組合せについても表より、
従来品の２倍以上の性能を示していることがわかる。
以上の実験結果より、発明者らは保＠膜の厚さをさらに
薄くしたサーマルヘッドを試作し実験を行ってみた０発
熱抵抗体としては実施例２で示したＭｎ −８ｉｏ２を
用い、保護膜も同じ（ＢＮを用いた。
薄くしたサーマルヘッドを試作し実験を行ってみた０発
熱抵抗体としては実施例２で示したＭｎ −８ｉｏ２を
用い、保護膜も同じ（ＢＮを用いた。
但ＢＮ保護膜の厚みは８訓とした。結果はステップスト
レステストが１６０％、印字走行テストが２８０俤で従
来品より、まだ優れていることが判った。
レステストが１６０％、印字走行テストが２８０俤で従
来品より、まだ優れていることが判った。
一方、保護膜の厚みを薄くしたため、保護膜の熱容量が
減少し、印字に必要な発熱抵抗体への印加工ネμギーの
入力値も１５チ程減少した。
減少し、印字に必要な発熱抵抗体への印加工ネμギーの
入力値も１５チ程減少した。
以上のように、本発明によれば発熱抵抗体技その近傍の
導体リードを一層の窒化物で覆ったので１長寿命、省電
力、高速印字可能で、かつ製造時間が短縮され、安価な
サーマルヘッドが得られる効果がある。
導体リードを一層の窒化物で覆ったので１長寿命、省電
力、高速印字可能で、かつ製造時間が短縮され、安価な
サーマルヘッドが得られる効果がある。
第１図は、この発明に係るサーマルヘッドの一実施例の
断面図、第２図はこの発明の一実施例によるサーマルヘ
ッドのステップストレステストの実験結果を示すグラフ
、第３図は同じく印字走行テストの実験結果を示すグラ
フ、第４図はこの発明の他の実施例によるステップスト
レステストの実験結果を示すグラフ、第５図は同じく他
の実施例の印字走行テストの実験結果を示すグラフ、第
６図は従来のサーマルヘッドの構造を示す断面図である
。 図において、（７）はリード線、（８）は発熱抵抗体、
（９）は基板、αＱはＢＮの如き窒化模である。 なお、図中、同一符号は同一、又は相当部分を示す。
断面図、第２図はこの発明の一実施例によるサーマルヘ
ッドのステップストレステストの実験結果を示すグラフ
、第３図は同じく印字走行テストの実験結果を示すグラ
フ、第４図はこの発明の他の実施例によるステップスト
レステストの実験結果を示すグラフ、第５図は同じく他
の実施例の印字走行テストの実験結果を示すグラフ、第
６図は従来のサーマルヘッドの構造を示す断面図である
。 図において、（７）はリード線、（８）は発熱抵抗体、
（９）は基板、αＱはＢＮの如き窒化模である。 なお、図中、同一符号は同一、又は相当部分を示す。
Claims (5)
- （１）基板と、該基板上に形成された発熱抵抗体と、該
発熱抵抗体に電力を供給するリード線と、前記発熱抵抗
体および発熱抵抗体近傍のリード線を保護する保護層を
有するサーマルヘッドにおいて保護層が一層の窒化物で
構成されていることを特徴とするサーマルヘッド。 - （２）上記保護層の窒化物の元素がＴｉ、Ｚｒ、Ｈｆ、
Ｖ、Ｎｂ、Ａｌ、Ｂ、及び、Ｔｈの中から選ばれた１種
以上であることを特徴とする特許請求の範囲第１項に記
載のサーマルヘッド。 - （３）上記保護層の窒化物がＮｂＮ、ＴｈＮ、ＢＮ、Ｖ
Ｎ、ＡｌＮ、ＨｆＮ、ＴｉＮ、およびＺｒＮのうちから
選ばれた１種以上であることを特徴とする特許請求の範
囲第１項に記載のサーマルヘッド。 - （４）発熱抵抗体が金属およびＳｉＯ＿２を含むことを
特徴とする特許請求の範囲第１項、第２項又は第３項の
いづれかに記載のサーマルヘッド。 - （５）上記発熱抵抗体の金属がＴｉ、Ｚｒ、Ｈｆ、Ｖ、
Ｎｂ、Ｔａ、Ｌａ、Ｃｒ、Ｍｏ、Ｗ、Ｍｎ、Ｆｅ、Ｎｉ
およびＣｏのうちから選ばれた１種以上の単体金属もし
くは２種以上から成る合金もしくは２種以上から成る金
属間化合物またはこれら単体金属、合金、金属間化合物
のなかの２種以上の混合物から成ることを特徴とする特
許請求の範囲第１項、第２項、第３項又は第４項のいづ
れかに記載のサーマルヘッド。
Priority Applications (5)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60197990A JPS6256160A (ja) | 1985-09-06 | 1985-09-06 | サ−マルヘツド |
| GB8618985A GB2179007B (en) | 1985-08-12 | 1986-08-04 | Thermal head for printer |
| DE19863626420 DE3626420A1 (de) | 1985-08-12 | 1986-08-05 | Thermokopf fuer einen drucker |
| US07/212,060 US4827289A (en) | 1985-08-12 | 1988-06-23 | Thermal head |
| GB8924485A GB2222803B (en) | 1985-08-12 | 1989-10-31 | Thermal head for printer |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60197990A JPS6256160A (ja) | 1985-09-06 | 1985-09-06 | サ−マルヘツド |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6256160A true JPS6256160A (ja) | 1987-03-11 |
Family
ID=16383676
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP60197990A Pending JPS6256160A (ja) | 1985-08-12 | 1985-09-06 | サ−マルヘツド |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6256160A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63116342U (ja) * | 1987-01-22 | 1988-07-27 | ||
| JPH04218901A (ja) * | 1990-04-24 | 1992-08-10 | Hitachi Ltd | 薄膜抵抗体を有する電子回路素子およびその製造方法 |
| JP2016083847A (ja) * | 2014-10-27 | 2016-05-19 | 凸版印刷株式会社 | 感熱転写記録媒体、及び印画方法 |
-
1985
- 1985-09-06 JP JP60197990A patent/JPS6256160A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63116342U (ja) * | 1987-01-22 | 1988-07-27 | ||
| JPH04218901A (ja) * | 1990-04-24 | 1992-08-10 | Hitachi Ltd | 薄膜抵抗体を有する電子回路素子およびその製造方法 |
| JP2016083847A (ja) * | 2014-10-27 | 2016-05-19 | 凸版印刷株式会社 | 感熱転写記録媒体、及び印画方法 |
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