JP2002307733A

JP2002307733A - サーマルヘッドおよびその製造方法

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Publication number: JP2002307733A
Application number: JP2001118771A
Authority: JP
Inventors: Mitsuo Hirabayashi; 光男平林; Riichi Hanaoka; 利一花岡; Satoshi Nakajima; 聡中嶋
Original assignee: Seiko Epson Corp
Current assignee: Seiko Epson Corp
Priority date: 2001-04-17
Filing date: 2001-04-17
Publication date: 2002-10-23

Abstract

(57)【要約】【課題】粗悪なサーマル紙を高速で印字しても摩耗によ
る印字不具合が発生せず、かつ特殊な硬度の素材使用の
ヘッドや複雑な構成のヘッド構造を採用しないで、保護
膜の耐摩耗性の向上と印字鮮明性の図ったサーマルヘッ
ドおよびサーマルヘッドの製造方法を提供することにあ
る。【解決手段】アルミナ基板上に厚みを０．１から４０ミ
クロンメートルのガラスグレーズ層を形成し、発熱抵抗
体とアルミ配線を積層し所定の形状に設けられた後、Ｓ
ｉ₃Ｎ₄保護膜を形成してなるサーマルヘッドにおいて、
Ｓｉ₃Ｎ₄保護膜５を形成しその最表面にＳｉＯ₂保護膜
６を積層する。これにより、グレーズ層の厚みを薄く形
成すると、蓄熱の少ないグレーズ層を形成でき印字鮮明
さも向上出来る。さらにグレーズ層の平坦化が簡便な方
法で達成でき、印字・印画品質、特に高速印字に際して
の印字品質とサーマルヘッドの耐摩耗性の向上される。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、ＰＯＳ用プリンタやラ
ベルプリンタ等に使用され、高速印字および画像用印画
に際して印字摩耗、印画品質の向上を図り得るサーマル
ヘッドおよびその製造方法に関する。

【０００２】

【従来の技術】近年、サーマルヘッドは低騒音、メンテ
ナンスフリー、低ランニングコストなどの利点が着目さ
れ、電子測定装置、ファクシミリ装置、ＰＯＳ端末のプ
リンタなどの各種記録装置に使用されるようになった。
一方、これらの情報機器普及に伴い小形軽量化、高速印
字化、多色印字化、汎用サーマル紙への対応が要求され
ており、このため用いられるサーマルヘッドにも耐摩耗
かつ高熱効率のものが望まれている。

【０００３】一般にサーマルヘッドとしては、アルミナ
純度が９５％以上で厚さ０．５から１．０ｍｍ程度のア
ルミナ系セラミックを印刷法で形成したセラミックス支
持体上に、厚さ３０ミクロンメートルから８０ミクロン
メートル程度の蓄熱層となるガラスグレーズ層を形成
し、その上に例えば窒化チタン等の多数の発熱抵抗体を
スパッタ蒸着法等で成膜し、さらにその上に発熱抵抗体
に接続される電極膜を付け、フォトエッチング法で発熱
ドット部の間隔を空け、かつ所定パターンで共通電極お
よび個別電極から成る導電体層を形成し、この発熱部の
最外層には耐摩耗保護層が形成される。

【０００４】この構成では、前記ガラスグレーズ層が各
発熱抵抗体から発生する熱の放散および蓄熱を制御し、
印字品質に大きく影響を与えている。

【０００５】そして、このガラスグレーズ層を保温層と
した場合、高速印字の際の印字品質に影響する熱応答性
に限界があることが知られている。このため、印字性能
を満足しつつ、印字効率を上げるためにはガラスグレー
ズ層をより精密に厚み制御して用いれば良いことが知ら
れている。

【０００６】上記の構成で高速印字に対応させようとす
ると、グレーズ層の蓄熱による影響を考慮に入れ、グレ
ーズ層の厚みをなるべく薄くする必要がある。

【０００７】一方、サーマルヘッドの上記利便性に伴い
プリンタが広く普及し、大量生産により使われるサーマ
ル紙は低価格と品質の低下傾向を示している。そこで印
字不良や印字障害が発生し、サーマルヘッドの摩耗問題
が急浮上し大きな問題となってきている。このような課
題を無くし高速紙送りしても良好に印字し、耐久性の高
い、摩耗による印字不具合などを考慮しなくても良いプ
リンタが望まれている。

【０００８】この課題に対して、特開平５−５７９３６
号は金属製支持体と耐熱樹脂との間にＳiＯ₂を接着層と
して放熱と蓄熱を制御する提案をしている。しかしこの
提案では摩耗性には触れていない。

【０００９】また、特開平７−１９５７２０号はグレー
ズ供給量を制御スクリーン印刷法あるいはスプレー法に
より形成する提案をしている。しかしグレーズ層の厚み
を２５ミクロンメートルから８５ミクロンメートルまで
と厚く規定し、低価格対応には困難と思われる。

【００１０】

【発明が解決しようとする課題】本発明は、上記の技術
的課題を解決したもので、グレーズ層の厚みを薄く形成
すると共に、グレーズ層の平坦化が簡便な方法で達成で
きること、また最表面に高密度低粘度の保護膜を製膜し
耐摩耗性を向上したことにより、印字・印画品質、特に
高速印字に際しての印字品質とサーマルヘッドの耐摩耗
性の向上を図ったサーマルヘッドおよびサーマルヘッド
の製造方法を提供することにある。

【００１１】

【課題を解決するための手段】本発明に係るサーマルヘ
ッドは、絶縁基板上に形成された厚み０．１から４０ミ
クロンメートルのガラスグレーズ層と、該ガラスグレー
ズ層の上部に所定の形状で積層された発熱抵抗体とアル
ミ配線と、前記発熱体と前記アルミ配線の上部に、Ｓｉ
₃Ｎ₄の保護膜およびＳｉＯ₂の保護膜からなる２層の保
護膜とを有することを特徴とする。

【００１２】これにより、Ｓｉ₃Ｎ₄の硬い保護膜とＳｉ
Ｏ₂の軟らかい保護膜を備えているので、硬い保護膜を
磨耗するが衝撃を和らげる軟らかい保護膜は磨耗しにく
いサーマル紙、反対に軟らかい保護膜を磨耗するが硬い
保護膜を磨耗しにくいサーマル紙のどちらにも対応でき
るヘッドとすることができ、印字鮮明さを向上させるこ
とが出来る。

【００１３】また、前記ＳｉＯ₂保護膜の曲率半径が１
０ｍｍ以上に形成することを特徴とする。これにより、
無機質の多く含有する発色層のサーマル紙とヘッド保護
膜とが、加圧しつつ高速で接触し衝撃力が加わる際、大
きな曲率半径のヘッドのため水平成分に分割された小さ
な衝撃力しか加わらず耐摩耗性が向上されることにな
る。

【００１４】また、前記ＳｉＯ₂保護膜にＳｉＣを添加
溶融し形成することを特徴とする。これにより、サーマ
ル紙に対しても耐摩耗性を向上した強い構造と材質にな
っている。

【００１５】また、前記ＳｉＯ₂保護膜にＣ−ＳｉＣを
溶融添加し形成することを特徴とする。これにより摩耗
性の高いサーマル紙に対しても強い構造と材質になって
いる。

【００１６】また、前記グレーズ層をスパッタリング法
で形成することを特徴とする請求項第１項から第４項記
載のサーマルヘッド製造方法。これにより、厚みが精密
に制御できるグレーズ層が形成できる。

【００１７】

【発明の実施の形態】（実施例１）：薄膜＋ＳｉＯ₂保
護膜の場合本発明を実施例に基づき図面を参照して説明する。

【００１８】アルミナ基板１上に平坦なグレーズ層２が
形成された本発明のサーマルヘッドの実施例を図１を用
いて説明する。

【００１９】アルミナ純度が９５％以上のアルミナ系セ
ラミックを厚さ０．６ｍｍの印刷法により形成したセラ
ミックス基板上に、蓄熱層となるガラスグレーズ層２
を、スパッタリング法によって形成する。

【００２０】その工程は、セラミックス基板をスパッタ
リング装置に置き、４×１０^−３Ｐａまで真空引きを行
い、７×１０^−１Ｐａの真空度までアルゴンガスを導入
する。そして酸化シリコンＳｉＯ₂製のターゲットが負
極になるように高周波電力を印加しスパッタリングし、
膜厚を２０ミクロンメートル成膜する。

【００２１】このグレーズ層２の上に五酸化タンタルＴ
ａ₂Ｏ₅製の発熱抵抗体３をスパッタリング法や蒸着法等
の成膜法で形成される。発熱抵抗体３は五酸化タンタル
Ｔａ ₂Ｏ₅を使用したが、他にＴａ−ＳｉＯ₂、ＴｉＯ₂、
Ｃｒ−ＳｉＯ₂、Ｎｂ−ＳｉＯ₂ 、ＴａＮ等が使用でき
る。

【００２２】更にスパッタリング法でアルミニウム電極
層４を膜厚約１ミクロンメートルで成膜し、エッチング
処理により所定の形状にパタ−ンニングする。

【００２３】更にＳｉ₃Ｎ₄製の耐摩耗保護層５をスパッ
タリング法で厚み１０ミクロンメートルほど被着する。

【００２４】保護膜５としては、サーマルヘッドの保護
膜となりうる耐熱性、耐蝕性および耐摩耗性の材料であ
れば利用可能である。具体的には、窒化珪素(Ｓｉ
₃Ｎ₄)、炭化珪素(ＳｉＣ)、酸化タンタル(Ｔａ₂Ｏ₅)、
酸化アルミニウム(ＡＬ₂Ｏ₃)、サイアロン(ＳｉＡＬＯ
Ｎ)、酸化珪素(ＳｉＯ₂)、窒化アルミニウム(ＡＬＮ)、
窒化ホウ素(ＢＮ)、酸化セレン(ＳeＯ)、窒化チタン(Ｔ
IＮ)、炭化チタン(ＴｉＣ)、炭窒化チタン(ＴIＣＮ)、
窒化クロム(ＣrＮ)、およびこれらの混合物等が考えら
れる。

【００２５】また、保護膜５には、物性調整のため金属
等の微量の添加物が含まれてもよい。保護膜５厚さは
０．１μｍ〜３０μｍ程度が良く、好ましくは２μｍ〜
１０μｍである。

【００２６】さらにＡｌ₂Ｏ₃やＰｂＯやＣｄＯ等を添加
しつつ最外層に厚さ５ミクロンメートルのＳｉＯ₂保護
膜６を印刷し焼成法によって形成する。その工程は、電
気炉で溶融・焼成し、膜厚を５ミクロンメートルで成膜
する。

【００２７】所定の接続端子に電気的につなぎ、プリン
タとして完成しサーマル紙に印字させた。評価用のサー
マル紙として、サーマルヘッドに摩耗の少ない普通紙と
無機質が多くサーマルヘッドに対する摩耗作用が顕著な
粗悪紙を使った印字耐久試験の結果は、表１の様になっ
た。印字も鮮明で、保護膜５の摩耗量の少ない良好なサ
ーマルヘッドとなった。印字は３００万ラインの印字耐
久試験でも鮮明であり、抵抗値の変動や印字不具合等の
不良は発生しなかった。

【００２８】

【表１】ここで、高速印字においてグレーズ層２が厚すぎると信
号オフ時にも蓄熱が残って尾引き現象や印字潰れが生
じ、一方、画像印画においては、グレーズ層２の蓄熱効
果で印画濃度を確保するためにある程度のグレーズ層２
層厚みが必要となり、この厚みを適切に制御することが
難しかった。

【００２９】と言うのも現状グレーズ層２は、溶融粘度
が高いガラスを焼成方法で形成しているため、曲率半径
が大きくなってくる。一方、平坦な保護膜５にするため
には、厚付けのグレーズ層２を形成することになり、厚
くなったグレーズ層２により蓄熱作用が働き、印字尾引
不良や、印字不鮮明の課題が発生してくる。

【００３０】つまり被着されるグレーズ層２の曲率半径
を適度に設定することによりサーマル紙や感熱性ラベル
との接触性は良くなるものの、グレーズ層２厚みの調節
が困難である。また、保護膜５を平坦にして薄膜ヘッド
への衝撃角度の緩和するには、グレーズ層２の平坦化の
課題が浮上してくる。本発明は、グレーズ層２をスパッ
タリング方法で上記課題を解決し、前記実施例１に示し
た。

【００３１】さらにグレーズ層２は、アルミナ基板１に
薄く製膜し、蓄熱と放熱を瞬時に応答を良くしている。
一方、グレーズ層２の曲率でサーマル紙とサーマルヘッ
ドとの接触圧力が高まり、良好な熱伝導性の確保と印字
鮮明性を得ている。しかし、サーマル紙の発色部に含ま
れる無機質成分とサーマルヘッドの保護膜５との摩耗作
用が高まり、印字不良を誘発する原因となっている。

【００３２】本発明のグレーズ層２は曲率半径が大き
く、サーマル紙との接触角度が小さくなり、サーマル紙
の発色部に含まれる摩耗成分が保護膜５と作る角度も小
さくなる。つまり、摩耗性が高いサーマル紙に対して高
速で押付圧力を上げること、サーマルヘッドの保護膜５
の曲率半径を小さくすることは、摩耗を促進する事にな
る。

【００３３】サーマル紙の摩耗紙が印字や走行時に発生
する衝撃力は、曲率半径を大きくなると水平成分に多く
分割され、垂直成分が極少になる。本来柔らかく粘りの
ある保護膜５にとって、塑性変形して衝撃力を緩和し、
耐久摩耗作用を大幅に軽減出来る事になる。

【００３４】この実施例では、グレーズ層２の幅Ｗを
１．８ｍｍとしグレーズ層２の厚みＴを２０ミクロンメ
ートルとし、曲率半径Ｒを２０ｍｍと成した。厚みＴ
（ミクロンメートル）と幅Ｗ（ｍｍ）と曲率半径Ｒの関
係は、図２に示すようになる。しかし、スパッタリング
法によるグレーズ層２膜厚は、平坦性が確保されてい
る。

【００３５】曲率半径は、１０ｍｍ以上で平坦部の幅Ｗ
が０．０１ｍｍから１ｍｍまで、厚み３０ミクロンメー
トル以下の範囲で、走行するサーマル紙と保護膜５とな
す角度は０から０．０５度の範囲になる。サーマルヘッ
ドとして適切な蓄熱、熱拡散を与えるグレーズ層２が実
現できるのが分る。

【００３６】ここでグレーズ層２の厚みＴは０．１ミク
ロンメートルから５０ミクロンメートルまで程度が考え
られ、好ましくは１０ミクロンメートルから４０ミクロ
ンメートルまでが良好である。その場合曲率半径Ｒは、
１０ｍｍ以上とするのがよいことが分る。

【００３７】なお、高速印字の場合に印字パルス発生頻
度が多くなり、発熱部７直下のグレーズ層２が蓄熱し過
ぎて印字の際に尾引きや印字潰れを生じるから厚みＴを
薄くする必要がある。

【００３８】また、本発明のＳｉＯ₂保護膜に、焼成加
工を容易にするため、酸化鉛など低融点にする添加物を
加えても良い。熱伝導性や耐摩耗性などサーマルヘッド
の規定の物性を満足すればよい。

【００３９】また、本発明のアルミナ基板１の代わり
に、鉄・ステンレス・ニッケル・クロム等の金属基板
や、シリコン・ジルコニア・チタニアなどセラミック基
板や、ポリイミド・ポリアミドイミド・エポキシなど合
成樹脂基板でも良い。熱伝導性や耐熱性などサーマルヘ
ッドの規定の物性を満足すればよい。

【００４０】また、グレーズ層２に、蓄熱性や放熱性を
改良するため、添加剤を加えても良い。たとえば、チタ
ン、アルミニューム、マグネシューム、鉄、金、銀、ス
ズ、鉛、カドニューム、亜鉛、ニッケル、クロム、ジル
コニューム等の金属や合金でも添加可能です。そのほか
に上記金属の酸化物、窒化物、塩化物、フッ化物も考え
られる。

【００４１】表２は、サーマルヘッドのグレーズ層２の
厚みとグレーズ層２の幅を規定した場合の曲率半径を計
算した。曲率半径が１０ｍｍ以上のサーマルヘッドの平
坦性が、本発明の摩耗性の有るサーマル紙に対して、有
効な構成を示す。

【００４２】

【表２】

【００４３】（実施例２）：薄膜＋ＳｉＣ保護膜の場
合図２を用いて本発明のサーマルヘッドの実施例２を説明
する。アルミナ基板１上に平坦なグレーズ層２が形成す
る。

【００４４】厚さ０．６ｍｍのセラミックス基板上に、
蓄熱層となるガラスグレーズ層２を、スパッタリング法
によって厚み３０ミクロンメートルで形成する。

【００４５】前記グレーズ層２の上に五酸化タンタルＴ
ａ₂Ｏ₅製の発熱抵抗体３をスパッタリング法で形成され
る。更にスパッタリング法でアルミニウム電極層４を膜
厚約１ミクロンメートルで成膜し、エッチング処理によ
り所定の形状にパタ−ンニングする。

【００４６】更にＳｉ₃Ｎ₄製の耐摩耗保護層５をスパッ
タリング法で厚み５ミクロンメートルほど被着する。さ
らに低融点にするためＰｂＯを、耐摩耗性向上のためＳ
ｉＣを、添加しつつ最外層に厚さ５ミクロンメートルの
ＳｉＯ₂保護膜を印刷し焼成法によって形成する。

【００４７】所定の接続端子に電気的につなぎ、プリン
タとして完成しサーマル紙に印字させた。評価用のサー
マル紙として、サーマルヘッドに摩耗の少ない普通紙と
無機質が多くサーマルヘッドに対する摩耗作用が顕著な
粗悪紙を使った印字耐久試験の結果は、表１の様になっ
た。

【００４８】印字も鮮明で、保護膜５の摩耗量の少ない
良好なサーマルヘッドとなった。印字は３００万ライン
の印字耐久試験でも鮮明であり、抵抗値の変動や印字不
具合等の不良は発生しなかった。

【００４９】つまり、曲率半径が大きい保護膜５にサー
マル紙が高速で接触すると保護膜５に水平方向のダメー
ジが加わり、保護膜５に引っかき摩耗につながる課題が
発生してきた。しかし、印字や走行時にサーマル紙の摩
耗紙への衝撃力は、比較的低硬度の保護膜５のクッショ
ン作用（塑性変形）で弱められ、耐久時の摩耗作用を大
幅に軽減する事になった。結果、実施例２のサーマルヘ
ッドの保護膜５に高硬度材質のＳｉＣが含まれるため、
摩耗性が高いサーマル紙に対して、保護膜摩耗量を低減
する事ができた。

【００５０】（実施例３）：薄膜＋Ｃ−ＳｉＣ保護膜
の場合図３を用いて本発明のサーマルヘッドの実施例３を説明
する。アルミナ基板１上に平坦なグレーズ層２が形成す
る。

【００５１】厚さ０．６ｍｍのセラミックス基板上に、
蓄熱層となるガラスグレーズ層２を、スパッタリング法
によって厚み２５ミクロンメートルで形成する。

【００５２】前記グレーズ層２の上に五酸化タンタルＴ
ａ₂Ｏ₅製の発熱抵抗体３をスパッタリング法で形成され
る。更にスパッタリング法でアルミニウム電極層４を膜
厚約１ミクロンメートルで成膜し、エッチング処理によ
り所定の形状にパタ−ンニングする。

【００５３】更にＳｉ₃Ｎ₄保護層５をスパッタリング法
で厚み５ミクロンメートルほど被着する。さらに低融点
にするためＰｂＯを、耐摩耗性向上のためＣ−ＳｉＣ
を、添加しつつ最外層に厚さ５ミクロンメートルのＳｉ
Ｏ₂保護膜を印刷し焼成法によって形成する。

【００５４】所定の接続端子に電気的につなぎ、プリン
タとして完成しサーマル紙に印字させた。評価用のサー
マル紙として、サーマルヘッドに摩耗の少ない普通紙と
無機質が多くサーマルヘッドに対する摩耗作用が顕著な
粗悪紙を使った印字耐久試験の結果は、表１の様になっ
た。印字も鮮明で、保護膜５の摩耗量の少ない良好なサ
ーマルヘッドとなった。印字は３００万ラインの印字耐
久試験でも鮮明であり、抵抗値の変動や印字不具合等の
不良は発生しなかった。

【００５５】（従来例）：薄膜の場合アルミナ基板１上に平坦なグレーズ層２が形成された本
発明のサーマルヘッドの実施例を図１を用いて説明す
る。

【００５６】アルミナ純度が９５％以上のアルミナ系セ
ラミックを厚さ０．６ｍｍに印刷法で形成したセラミッ
クス基板上に、蓄熱層となるガラスグレーズ層２を、ス
パッタリング法によって形成する。

【００５７】その工程は、セラミックス基板をホウケイ
酸ガラスを所定の形状に印刷し、３５０度４５分の焼成
法で、膜厚７０ミクロンメートルで成膜する。

【００５８】このグレーズ層２の上に五酸化タンタルＴ
ａ₂Ｏ₅製の発熱抵抗体３をスパッタリング法や蒸着法等
の成膜法で形成される。発熱抵抗体３は五酸化タンタル
Ｔａ ₂Ｏ₅を使用したが、他にＴａ−ＳｉＯ₂、ＴｉＯ₂、
Ｃｒ−ＳｉＯ₂、Ｎｂ−ＳｉＯ₂ 、ＴａＮ等が使用でき
る。

【００５９】更にスパッタリング法でアルミニウム電極
層４を膜厚約１ミクロンメートルで成膜し、エッチング
処理により所定の形状にパタンニングする。

【００６０】さらに最外層にＳｉ₃Ｎ₄製の耐摩耗保護層
５をスパッタリング法で厚み１０ミクロンメートルほど
被着する。所定の接続端子に電気的につなぎ、プリンタ
として完成しサーマル紙に印字させた。評価用のサーマ
ル紙として、サーマルヘッドに摩耗の少ない普通紙と無
機質が多くサーマルヘッドに対する摩耗作用が顕著な粗
悪紙を使った印字耐久試験の結果は、表１の様になっ
た。印字は１００万ラインから３００万ラインの印字耐
久試験で不鮮明になり、抵抗値の変動不具合とドット抜
け不良も頻発した。さらに裏付けるように保護膜５の摩
耗量は急激に拡大し、実使用上多くの課題を発生すると
思われる不良なサーマルヘッドとなった。

【００６１】本発明は、Ｓｉ₃Ｎ₄の保護膜５の上層にＳ
ｉＯ₂保護膜６を形成したが、ＳｉＯ₂保護膜６の上層に
Ｓｉ₃Ｎ₄を形成しても構わないものである。

【００６２】

【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、従
来困難であった焼成方法によるグレーズ層の小さな曲率
半径を解消し、平坦なグレーズ層の形成が精密にきわめ
て簡単に調節することができる。また本発明では摩耗性
の高いサーマル紙に対して保護膜へのダメージが大幅に
軽減化され、高速印字への対応と耐久性向上ができる。
さらに、グレーズ層の放熱特性が向上し、発熱や冷却の
速度が速くなり、より鮮明な印字が可能になった。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施例１によるサーマルヘッドの断面
図である。

【図２】従来例によるサーマルヘッドの断面図である。

【図３】本発明の実施例２によるサーマルヘッドの断面
図である。

【図４】本発明の実施例３によるサーマルヘッドの断面
図である。

【符号の説明】

１アルミナ基板２グレーズ層３発熱抵抗体４電極層５Ｓｉ₃Ｎ₄保護膜６ＳｉＯ₂系保護膜７ＳｉＣのＳｉＯ₂系保護膜８Ｃ-ＳｉＣのＳｉＯ₂系保護膜

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者中嶋聡長野県諏訪市大和３丁目３番５号セイコーエプソン株式会社内Ｆターム(参考） 2C065 JC08 JC12 JF03 JF05 JF11 JF12 JF14 JH05 JH11

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】絶縁基板上に形成された厚み０．１から
４０ミクロンメートルのガラスグレーズ層と、該ガラスグレーズ層の上部に所定の形状で積層された発
熱抵抗体とアルミ配線と、前記発熱体と前記アルミ配線
の上部に、Ｓｉ₃Ｎ₄の保護膜およびＳｉＯ₂の保護膜か
らなる２層の保護膜とを有することを特徴とするサーマ
ルヘッド。
【請求項２】前記ＳｉＯ₂の保護膜の曲率半径が１０
ｍｍ以上に形成することを特徴とする請求項１記載のサ
ーマルヘッド。
【請求項３】前記ＳｉＯ₂の保護膜にＳｉＣを添加溶
融し形成することを特徴とする請求項１又は２記載のサ
ーマルヘッド。
【請求項４】前記ＳｉＯ₂の保護膜にＣ−ＳｉＣを溶
融添加し形成することを特徴とする請求項１乃至３記載
のサーマルヘッド。
【請求項５】前記グレーズ層をスパッタリング法で形
成することを特徴とする請求項１乃至４記載のサーマル
ヘッド製造方法。