JPS6237171A - サ−マルヘツド - Google Patents
サ−マルヘツドInfo
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- JPS6237171A JPS6237171A JP60178241A JP17824185A JPS6237171A JP S6237171 A JPS6237171 A JP S6237171A JP 60178241 A JP60178241 A JP 60178241A JP 17824185 A JP17824185 A JP 17824185A JP S6237171 A JPS6237171 A JP S6237171A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- thermal head
- heating resistor
- protective layer
- film
- printing
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
- B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
- B41J2/315—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by selective application of heat to a heat sensitive printing or impression-transfer material
- B41J2/32—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by selective application of heat to a heat sensitive printing or impression-transfer material using thermal heads
- B41J2/335—Structure of thermal heads
- B41J2/33505—Constructional details
- B41J2/3353—Protective layers
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
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- B41J2/32—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by selective application of heat to a heat sensitive printing or impression-transfer material using thermal heads
- B41J2/335—Structure of thermal heads
- B41J2/3355—Structure of thermal heads characterised by materials
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
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- B41J2/335—Structure of thermal heads
- B41J2/33555—Structure of thermal heads characterised by type
- B41J2/3357—Surface type resistors
Landscapes
- Electronic Switches (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明はサーマルヘッドに係り、発熱抵抗体の寿命が長
く、保護膜の寿命も長く、かつ高速印字が出来るサーマ
ルヘッドに関するものである。
く、保護膜の寿命も長く、かつ高速印字が出来るサーマ
ルヘッドに関するものである。
印字記録の方式としては、従来よりインパクトタイプ、
感熱記録タイプやインクジェットタイプ等があり、これ
まではインパクトタイプのプリンターが主流を占めてい
た。しかしインパクトタイブはその印字方式の故に、単
位面債当りのドツト数及びドツトの径に限界があり、微
細な印字が困ｑである。又、機械的に印字するため、印
字の際に音を発生するという欠点も持ち合せている。一
方、サーマルヘッドは、その製造法がＩＣで用いられる
製造法とほとんど同一であるため、発熱抵抗体を構成す
る１素子は非常に小さくすることが出来、非常に微細な
印字が可能であり、かつ感熱方式であるため、騒音を発
生しないという長所を有している。こういった長所を活
がし、感熱記録タイプのサーマルヘッドの需要が急速に
増加している一方で、サーマルヘッドの長寿命化、高速
印字性能向上といった要求が一段と厳しくなってきてい
る。
感熱記録タイプやインクジェットタイプ等があり、これ
まではインパクトタイプのプリンターが主流を占めてい
た。しかしインパクトタイブはその印字方式の故に、単
位面債当りのドツト数及びドツトの径に限界があり、微
細な印字が困ｑである。又、機械的に印字するため、印
字の際に音を発生するという欠点も持ち合せている。一
方、サーマルヘッドは、その製造法がＩＣで用いられる
製造法とほとんど同一であるため、発熱抵抗体を構成す
る１素子は非常に小さくすることが出来、非常に微細な
印字が可能であり、かつ感熱方式であるため、騒音を発
生しないという長所を有している。こういった長所を活
がし、感熱記録タイプのサーマルヘッドの需要が急速に
増加している一方で、サーマルヘッドの長寿命化、高速
印字性能向上といった要求が一段と厳しくなってきてい
る。
一方、サーマルヘッドの性能を決定づけるものは発熱抵
抗体材料と保護膜材料であり、如何に優れた発熱抵抗体
材料と保護膜材料を開発するかとイウことが、優れた性
能を持つサーマルヘッドを開発出来るかということを左
右するといっても過言ではない。
抗体材料と保護膜材料であり、如何に優れた発熱抵抗体
材料と保護膜材料を開発するかとイウことが、優れた性
能を持つサーマルヘッドを開発出来るかということを左
右するといっても過言ではない。
従来のサーマルヘッドに用いられていた材料としては、
例えば特公昭５９−８２３４号公報に示されているよう
に耐摩耗層としてＴａ２Ｏ５を用い、発熱抵抗体のｙヤ
化ル防ぐための抵抗体保護層としてＳｉＯ□を用いる旨
が記載されており、発熱抵抗体としてはＴａＮ、Ｔａ−
９ｉ０２等が挙げられていた。サーマルヘッドの構造を
理解するために第６図に従来のサーマルヘッドの断面図
を示す、サーマルヘッドの印字動作については図中（７
）のリード線間に雷力が給雫されリード線（７）闇に形
成された発熱抵抗体（８）が発熱し、発熱抵抗体のや化
を防止する抵抗体膜Ｎ ７４３ Ｉ６）、感熱紙もしく
はインクリボン等（図示せず）とのり擦ｌとよる摩耗を
防止する耐摩耗層（５）、を通してプラテン（図示せず
）との間に挾まれた感熱紙、転写紙等を印写するもので
ある。
例えば特公昭５９−８２３４号公報に示されているよう
に耐摩耗層としてＴａ２Ｏ５を用い、発熱抵抗体のｙヤ
化ル防ぐための抵抗体保護層としてＳｉＯ□を用いる旨
が記載されており、発熱抵抗体としてはＴａＮ、Ｔａ−
９ｉ０２等が挙げられていた。サーマルヘッドの構造を
理解するために第６図に従来のサーマルヘッドの断面図
を示す、サーマルヘッドの印字動作については図中（７
）のリード線間に雷力が給雫されリード線（７）闇に形
成された発熱抵抗体（８）が発熱し、発熱抵抗体のや化
を防止する抵抗体膜Ｎ ７４３ Ｉ６）、感熱紙もしく
はインクリボン等（図示せず）とのり擦ｌとよる摩耗を
防止する耐摩耗層（５）、を通してプラテン（図示せず
）との間に挾まれた感熱紙、転写紙等を印写するもので
ある。
従来のサーマルヘッドは以上のように発熱抵抗体（８）
および返戻の導体リード線（７）、Ｓ ｉ ０２ 等の
抵抗体保護層（６Ｉ及びＴａｘｅｓ等の＠摩耗１（５）
で形成される必要があったため、成膜材料を複数個揃え
る必要があると共に、成膜仕様の切換、成膜の長時間等
の問題があった。またＳｉＯ２ 抵抗体保護層（６）と
Ｔａ２Ｏ５耐曜耗ｆＪ （５）の組合せはかなり良い長
寿命を示していたが、より長寿命化、省電力化、高速印
字化等の要求を充分満足させることが困難になって来て
いる。
および返戻の導体リード線（７）、Ｓ ｉ ０２ 等の
抵抗体保護層（６Ｉ及びＴａｘｅｓ等の＠摩耗１（５）
で形成される必要があったため、成膜材料を複数個揃え
る必要があると共に、成膜仕様の切換、成膜の長時間等
の問題があった。またＳｉＯ２ 抵抗体保護層（６）と
Ｔａ２Ｏ５耐曜耗ｆＪ （５）の組合せはかなり良い長
寿命を示していたが、より長寿命化、省電力化、高速印
字化等の要求を充分満足させることが困難になって来て
いる。
この発明は上記のような問題点を解消するためになされ
たもので、抵抗体保護層と耐摩耗層を１層の保護層で形
成し、かつ長寿命のサーマルヘッドを得ることを目的と
する。
たもので、抵抗体保護層と耐摩耗層を１層の保護層で形
成し、かつ長寿命のサーマルヘッドを得ることを目的と
する。
発明者らは挿々の金属、合金、金属間化合物、酸化物を
組合せて、サーマルヘッドを試作し、実験を行った、こ
の結果金属、合金、金属間化合物とこれら混合物及びＳ
ｉ ０２ から成る発熱抵抗体と一層から成る金属
酸化物の保護層を有するサーマルヘッドは非常に優れた
性能を示すことが判った。
組合せて、サーマルヘッドを試作し、実験を行った、こ
の結果金属、合金、金属間化合物とこれら混合物及びＳ
ｉ ０２ から成る発熱抵抗体と一層から成る金属
酸化物の保護層を有するサーマルヘッドは非常に優れた
性能を示すことが判った。
本発明におけるサーマルヘッドは金Ｐ１、合金、金属間
化合物とこれら混合物及びＳｉＯ２ から成る発熱抵
抗体を一層から成る金属酸化物の保Ｎ層で覆っているた
め、成膜の材料が−１でよく、成膜の仕様カ；１通りで
あると共に、成膜時間も短縮で −き、長寿命、省電力
、高速印字可能なサーマルヘッドを得ることができる。
化合物とこれら混合物及びＳｉＯ２ から成る発熱抵
抗体を一層から成る金属酸化物の保Ｎ層で覆っているた
め、成膜の材料が−１でよく、成膜の仕様カ；１通りで
あると共に、成膜時間も短縮で −き、長寿命、省電力
、高速印字可能なサーマルヘッドを得ることができる。
〔発明の実施例〕
以下、この発明の実施例について従来例と比較しながら
説明する。
説明する。
（従来例）
充分に洗滌されたガラス厚４０〜５０ ｐｍ のグレー
ズドアルミナ基板上に圧力４Ｘ １０ Ｐａ ノＡ
ｒ雰囲気中で高周波２極スパッタリングによりＴａ−８
ｉＯ□発熱抵抗体膜を３０００〜４０００人の厚みで形
成した。入力は２ＫＷで８０分間スパッタリングを行っ
た。得られた抵抗体膜の面積抵抗は１７０Ω／口であっ
た。この抵抗体膜の上にＡｌ を１〜２μｍスパッタ
リングで付着させ、選択エツチングを行い１６本／ｍｍ
のサーマルヘッドパターンを形成させ、この上に抵抗
体保護層としてＳｉＯ２ を２旭スパツタリングし、
引続き耐摩耗層としてのＴａ２Ｏｓを５μｍ スパッタ
リングを積層し従来例としてのサーマルヘッドとした。
ズドアルミナ基板上に圧力４Ｘ １０ Ｐａ ノＡ
ｒ雰囲気中で高周波２極スパッタリングによりＴａ−８
ｉＯ□発熱抵抗体膜を３０００〜４０００人の厚みで形
成した。入力は２ＫＷで８０分間スパッタリングを行っ
た。得られた抵抗体膜の面積抵抗は１７０Ω／口であっ
た。この抵抗体膜の上にＡｌ を１〜２μｍスパッタ
リングで付着させ、選択エツチングを行い１６本／ｍｍ
のサーマルヘッドパターンを形成させ、この上に抵抗
体保護層としてＳｉＯ２ を２旭スパツタリングし、
引続き耐摩耗層としてのＴａ２Ｏｓを５μｍ スパッタ
リングを積層し従来例としてのサーマルヘッドとした。
（実施例１）
充分に洗滌されたガラス厚４０〜５０μｍのグレーズド
アルミナ基板上に圧力４Ｘ１０Ｐａ のＡｒ雰囲気中で
高周波２極スパツタリングによりＴａ−８ｉ０２発熱抵
抗体膜を３０００〜４０００人の厚みで形成した。入力
は２ＫＷで８０分間スパッタリングを行った。得られた
抵抗体膜の面積抵抗は１７０Ω／口であった。この抵抗
体膜の上にＡｌ を１〜２１７ｍスパッタリングで付
着させ、選択エツチングを行い１６本／ｆｆのサーマル
ヘッドパターンを形成させ、この上に保護層としてＮｂ
２Ｏ５を５岬 スパッタリングし、サーマルヘッドとし
た、Ｎｂ２Ｏ５保ｐＨは圧力４ｘｌＯＰａ のＡｒ雰
囲気で２ＫＷ、１０時間スパッタリングすることで得た
。
アルミナ基板上に圧力４Ｘ１０Ｐａ のＡｒ雰囲気中で
高周波２極スパツタリングによりＴａ−８ｉ０２発熱抵
抗体膜を３０００〜４０００人の厚みで形成した。入力
は２ＫＷで８０分間スパッタリングを行った。得られた
抵抗体膜の面積抵抗は１７０Ω／口であった。この抵抗
体膜の上にＡｌ を１〜２１７ｍスパッタリングで付
着させ、選択エツチングを行い１６本／ｆｆのサーマル
ヘッドパターンを形成させ、この上に保護層としてＮｂ
２Ｏ５を５岬 スパッタリングし、サーマルヘッドとし
た、Ｎｂ２Ｏ５保ｐＨは圧力４ｘｌＯＰａ のＡｒ雰
囲気で２ＫＷ、１０時間スパッタリングすることで得た
。
（比較例）
サーマルヘッドパターン形成までの製造工程は従来例及
び実施例１と同一でＳｉＯ２ の抵抗体保護１ル設けず
に、Ｔａ２Ｏ５ 耐摩耗層だけを５− スパッタリン
グで形成したサーマルヘッドを比較用に作成した。
び実施例１と同一でＳｉＯ２ の抵抗体保護１ル設けず
に、Ｔａ２Ｏ５ 耐摩耗層だけを５− スパッタリン
グで形成したサーマルヘッドを比較用に作成した。
これらのサーマルヘッドに対しステップストレステスト
、印字走行テスト等の実験を行った。第１図はステップ
ストレステストの結果を表わしたもので、横軸は従来例
で示したサーマ・ルヘッドの入力値を基準として表わし
た入力値小本し、縦軸は抵抗値の変化を表わしている。
、印字走行テスト等の実験を行った。第１図はステップ
ストレステストの結果を表わしたもので、横軸は従来例
で示したサーマ・ルヘッドの入力値を基準として表わし
た入力値小本し、縦軸は抵抗値の変化を表わしている。
図中（１］が実施例１で示した本発明サーマルヘッドの
実験結果を表わすデータで図中（２）が従来例で示した
サーマルヘッドの実験結果、図中（３）が比較停！で示
したサーマルヘッドの実験結唄を表わしている、実験方
法は電圧印加時間３分間、内１０〇七の周期でパルス背
圧を印加し、休止時間１分間、この後！力を０．０５Ｗ
上昇させ再度電圧印加というサイクルで加速度試験を行
った。又、この実験に於ける抵抗変化率の限界＜ａとし
ては＋１％とした。
実験結果を表わすデータで図中（２）が従来例で示した
サーマルヘッドの実験結果、図中（３）が比較停！で示
したサーマルヘッドの実験結唄を表わしている、実験方
法は電圧印加時間３分間、内１０〇七の周期でパルス背
圧を印加し、休止時間１分間、この後！力を０．０５Ｗ
上昇させ再度電圧印加というサイクルで加速度試験を行
った。又、この実験に於ける抵抗変化率の限界＜ａとし
ては＋１％とした。
第１図より本発明品（１）力Ｉ従来品（２）より優れて
おり、従来品に比べ３０％、高入力になっていることが
判る。又、Ｓ ｉ ０２ の抵抗保護層無し品（比較例
（３））に比べ、約２倍にな。ていることが判る。また
第２図は実際にプリンターに組込み、走行印字テストを
行った結果を示すものマ、縦軸は抵抗変化率か示し、ｆ
・室軸は従来品を基準とした際の印字走行距離を示して
いる。図中（２）は実施例１で示した本発明サーマルヘ
ッドの実験結果を表わすデータで図中（２）は従来例で
示したサーマルヘッドの結果、図中（３）が比較例で示
したサーマルヘッドの実験結果を表わしている。実験は
実際にプリンターに組込み、１ドツト当り０．５５
Ｗの入力で３０文字／秒で連続印字させた。判定方法は
初期抵抗値比１０％の抵抗変化時までとした。第２ワよ
り、本発明品は従来品に比べ非常に優れた性能を示し、
従来品比で約２倍の印字走行が可能であった。本発明品
の印字走行距離が従来品に比べ大巾に向上した理由とし
ては、第１に３つのサンプルに於て、同一の入力値とし
たことが考えられる。つまり、本発明品の印加入力の限
界値が第１図のステップストレステストに示されるよう
Ｉζ、従来例、比較例に比べ太きいという点であり、同
一人力値に対し、本発明品は充分大きな印加入力限界値
を持ち、比較例では印加入力限界値を越えていたものと
考えられる。また第２の理由としては耐摩耗層の消耗が
少なかったことが考えられる。
おり、従来品に比べ３０％、高入力になっていることが
判る。又、Ｓ ｉ ０２ の抵抗保護層無し品（比較例
（３））に比べ、約２倍にな。ていることが判る。また
第２図は実際にプリンターに組込み、走行印字テストを
行った結果を示すものマ、縦軸は抵抗変化率か示し、ｆ
・室軸は従来品を基準とした際の印字走行距離を示して
いる。図中（２）は実施例１で示した本発明サーマルヘ
ッドの実験結果を表わすデータで図中（２）は従来例で
示したサーマルヘッドの結果、図中（３）が比較例で示
したサーマルヘッドの実験結果を表わしている。実験は
実際にプリンターに組込み、１ドツト当り０．５５
Ｗの入力で３０文字／秒で連続印字させた。判定方法は
初期抵抗値比１０％の抵抗変化時までとした。第２ワよ
り、本発明品は従来品に比べ非常に優れた性能を示し、
従来品比で約２倍の印字走行が可能であった。本発明品
の印字走行距離が従来品に比べ大巾に向上した理由とし
ては、第１に３つのサンプルに於て、同一の入力値とし
たことが考えられる。つまり、本発明品の印加入力の限
界値が第１図のステップストレステストに示されるよう
Ｉζ、従来例、比較例に比べ太きいという点であり、同
一人力値に対し、本発明品は充分大きな印加入力限界値
を持ち、比較例では印加入力限界値を越えていたものと
考えられる。また第２の理由としては耐摩耗層の消耗が
少なかったことが考えられる。
（実施例２）
充分に洗滌されたガラスＩ’１ｉｒ４０〜５０Ｉｔｒｎ
のグレーズドアルミナ基板上に圧力４Ｘ１０Ｐａ
のＡｒ雰囲気中で高周波２極スパツタリングによりＭｎ
−８ｉ０２発熱抵抗体Ｔを３０００〜４０００人の厚み
で形成した、入力は２ＫＷで６０分間スパッタリングを
行った。得られた抵抗体膜の面積抵抗は２２ＯΩ／口で
あった。この抵抗体膜の上にＡＩを１〜２μｍスパッタ
リングで付着させ、この上にＮｂ２Ｏ５を圧力４ｘｌＱ
ＰａのＡｒ雰囲気中でスパッタリングし、５μｍの保護
層を付け、サーマルヘッドとした。
のグレーズドアルミナ基板上に圧力４Ｘ１０Ｐａ
のＡｒ雰囲気中で高周波２極スパツタリングによりＭｎ
−８ｉ０２発熱抵抗体Ｔを３０００〜４０００人の厚み
で形成した、入力は２ＫＷで６０分間スパッタリングを
行った。得られた抵抗体膜の面積抵抗は２２ＯΩ／口で
あった。この抵抗体膜の上にＡＩを１〜２μｍスパッタ
リングで付着させ、この上にＮｂ２Ｏ５を圧力４ｘｌＱ
ＰａのＡｒ雰囲気中でスパッタリングし、５μｍの保護
層を付け、サーマルヘッドとした。
このサーマルヘッドも先の例と同一のステップストレス
テストと印字走行テストを行った。
テストと印字走行テストを行った。
第３図はステップストレステストの結果を示したもので
、第１図と同じく縦軸は抵抗値変化率を表わし、横軸は
印加入力を表わしている。図中（４）は本発明品である
実施例２で示したサーマルヘッドの実験結果を示してい
る。第３図より本発明品（４）が従来品（２）より優れ
ており、従来品に比べ４５％、高入力になっていること
が判る。
、第１図と同じく縦軸は抵抗値変化率を表わし、横軸は
印加入力を表わしている。図中（４）は本発明品である
実施例２で示したサーマルヘッドの実験結果を示してい
る。第３図より本発明品（４）が従来品（２）より優れ
ており、従来品に比べ４５％、高入力になっていること
が判る。
又、第４図は印字走行テストの結果を示したもので、第
２図と同じく、縦軸は抵抗値変化率を表わし、横軸は印
字走行距離を表わしている。図中（４）は本発明品であ
る実施例２で示したサーマルヘッドの実験結果を示して
おり、本図より本発明品（４）が従来品（２）より優れ
ており、従来品に比べ２．５倍以上の印字走行が可能で
あることがわかる。
２図と同じく、縦軸は抵抗値変化率を表わし、横軸は印
字走行距離を表わしている。図中（４）は本発明品であ
る実施例２で示したサーマルヘッドの実験結果を示して
おり、本図より本発明品（４）が従来品（２）より優れ
ており、従来品に比べ２．５倍以上の印字走行が可能で
あることがわかる。
（他の実施例）
発明者らは上記実施例以外にも種々の材料を用いてサー
マルヘッドを試作し、実験を行った。その結果を表に示
す。
マルヘッドを試作し、実験を行った。その結果を表に示
す。
発熱抵抗体膜形成用のスパッタリングターゲットは、真
空ホットプレス装置を用いて作成した。
空ホットプレス装置を用いて作成した。
その−例を以下に示す。
３５０ ｍｅｓｈ のλ１ｎ 粉末とＳｉＯ２ 粉
末を所定量秤量し、エチルアルコールを用い、らいかい
器で２時間湿式混合を行った。混合後、乾燥させ真空ホ
ットプレス装置にセットし、真空中１５００ ℃で１
時間保持した。その間４００−の荷重を加えることで緻
密なＭｎ ＳｉＯ２ スパッタリングターゲットを得
た。先に述べたＴａ−８ｉ０２ スパッタリングター
ゲットも同一方法で作成しており、Ｔａは３２５ ｍｅ
ｓｈの粉末を用いた。他のターゲットも同様に真空ホッ
トプレス装置を用いて作成しｔこ。
末を所定量秤量し、エチルアルコールを用い、らいかい
器で２時間湿式混合を行った。混合後、乾燥させ真空ホ
ットプレス装置にセットし、真空中１５００ ℃で１
時間保持した。その間４００−の荷重を加えることで緻
密なＭｎ ＳｉＯ２ スパッタリングターゲットを得
た。先に述べたＴａ−８ｉ０２ スパッタリングター
ゲットも同一方法で作成しており、Ｔａは３２５ ｍｅ
ｓｈの粉末を用いた。他のターゲットも同様に真空ホッ
トプレス装置を用いて作成しｔこ。
表の見方は、縦に発熱抵抗体膜材料、横に保護膜材料を
取り、例えば実施例１で示したサーマルヘッドは、抵抗
体膜がＴａ−８ｉ０２ で、保護膜がＮｂ２Ｏ６、つ
まり左上角に示されている。又、１つのマス内の数字は
、上段が抵抗値（Ｑ／口）、中段がステップストレステ
スト（従来品比％）、下段が印字走行距離（従来品比％
）を各々示している。
取り、例えば実施例１で示したサーマルヘッドは、抵抗
体膜がＴａ−８ｉ０２ で、保護膜がＮｂ２Ｏ６、つ
まり左上角に示されている。又、１つのマス内の数字は
、上段が抵抗値（Ｑ／口）、中段がステップストレステ
スト（従来品比％）、下段が印字走行距離（従来品比％
）を各々示している。
又、マス目の中で空欄があるものは実験を行っていない
ものであり、抵抗値は発熱抵抗体膜スパッタ後に測定し
ているため、Ｎｂ２Ｏ５保護膜の列にのみ記入した。
ものであり、抵抗値は発熱抵抗体膜スパッタ後に測定し
ているため、Ｎｂ２Ｏ５保護膜の列にのみ記入した。
この表に於て、Ｎｂ２Ｏ５保護膜の列を見ると、ステッ
プストレステストの結果と印字走行テストの結果には相
関関係があることが判る、又、印字走行テストでは実際
の印字距離が１００ ｋｍ近くになるため、全試料のテ
ストは行えなかった。この表より、本発明サーマルヘッ
ドが従来品に比べ優れた性能を有していることが判り、
特に優れた発熱抵抗体と保護膜の組合せとしてＴａ−８
ｉ０２とＮｂ２Ｏ５、Ｔａ−８ｉ０２とＴｈ ０２ 、
Ｔａ Ｓ ｉ ０２とＨｆ ０２ 、Ｔａ −８ｉ ０
２とＹ２Ｏ５、Ｍｎ−８ｉＯ２とＮ ｂｚ ０５、Ｍｎ
ＳｉＯ２とＣｏｏ。
プストレステストの結果と印字走行テストの結果には相
関関係があることが判る、又、印字走行テストでは実際
の印字距離が１００ ｋｍ近くになるため、全試料のテ
ストは行えなかった。この表より、本発明サーマルヘッ
ドが従来品に比べ優れた性能を有していることが判り、
特に優れた発熱抵抗体と保護膜の組合せとしてＴａ−８
ｉ０２とＮｂ２Ｏ５、Ｔａ−８ｉ０２とＴｈ ０２ 、
Ｔａ Ｓ ｉ ０２とＨｆ ０２ 、Ｔａ −８ｉ ０
２とＹ２Ｏ５、Ｍｎ−８ｉＯ２とＮ ｂｚ ０５、Ｍｎ
ＳｉＯ２とＣｏｏ。
Ｍｎ−８ｉ０２とＧｅＯ２、Ｍｎ−ＳｉＯ２とＨｆ ０
２、Ｍｎ−８ｉ０２とＭｎＯ２、Ｍｎ−８ｉ０２とＮｉ
ｐ、 Ｍｎ−８ｉ０２ とＴ ｉ ０２、Ｍ ｎ
Ｓ ｉ ０２とＹ２Ｏ５ 、Ｔｉ−８ｉＯ２とＮｂ２Ｏ
ｓ−Ｔｉ−８ｉ０２とＴｈＯ２、Ｔｉ−８ｉ０２とＣｏ
Ｏ、Ｔｉ−８ｉ０２とＧ ｅ ０２、Ｔｉ ＳｉＯ２
とＨｆ ｏ２、Ｔｉ−ＳｉＯ２とＮｉ０１Ｔｉ−８ｉ０
２とＴ ｉ ０２、Ｔｉ−８ｉＯｚとＹ２Ｏ５、Ｚｒ−
８ｉ０２とＮｂ２Ｏ５、Ｚｒ−９ｉＯｚとＴｈＯ２、Ｎ
ｂ−８ｉ０２とＮｂ２Ｏ５、Ｎｂ ５ｉＯｚとＴｈ０ｚ
、Ｎｂ−８ｉ０２とＧｅＯ２、Ｎｂ ＳｉＯ２とＨｆ
Ｏ２、Ｎｂ ＳｉＯ２とＮｉ０１Ｎｂ−８ｉ０２とＹ２
Ｏ５、Ｔａ −Ｍｏ−８ｉ０２とＴｈＯ２、Ｔａ−Ｍｏ
−８ｉ０２とＹ２ＯＳ 、Ｎｂ −Ｍｏ −８ｉ ０２
とＮｂ２Ｏ５、Ｎｂ Ｍｏ ｓｉｏ２とＴｈＯ２、Ｎｂ
−Ｍｏ ＳｉＯ２と ＧｅＯ２、Ｎｂ −Ｍｏ−Ｓｉ
Ｏ２とＹ２Ｏ５，Ｗ−Ｍｏ−８ｉ０２とＮｂ２Ｏ，、Ｗ
−Ｍｏ−８ｉ０２とＴｈＯ２、Ｗ−Ｎｏ−８ｉ０２とＹ
２Ｏ５ 、Ｔａ−Ｃｒ−８ｉ０２とＹ２Ｏ５、Ｎｂ−Ｃ
ｒ ＳｉＯ２とＴｈＯ２、Ｔａ−Ｃｒ２Ｔａ−ＳｉＯ２
とＴｈＯ２、Ｔａ−Ｃｒ２Ｔａ−８ｉｎ２とＹ２Ｏ５等
があり、これらについては従来品の印字走行距離の２倍
以上のデータを得た。
２、Ｍｎ−８ｉ０２とＭｎＯ２、Ｍｎ−８ｉ０２とＮｉ
ｐ、 Ｍｎ−８ｉ０２ とＴ ｉ ０２、Ｍ ｎ
Ｓ ｉ ０２とＹ２Ｏ５ 、Ｔｉ−８ｉＯ２とＮｂ２Ｏ
ｓ−Ｔｉ−８ｉ０２とＴｈＯ２、Ｔｉ−８ｉ０２とＣｏ
Ｏ、Ｔｉ−８ｉ０２とＧ ｅ ０２、Ｔｉ ＳｉＯ２
とＨｆ ｏ２、Ｔｉ−ＳｉＯ２とＮｉ０１Ｔｉ−８ｉ０
２とＴ ｉ ０２、Ｔｉ−８ｉＯｚとＹ２Ｏ５、Ｚｒ−
８ｉ０２とＮｂ２Ｏ５、Ｚｒ−９ｉＯｚとＴｈＯ２、Ｎ
ｂ−８ｉ０２とＮｂ２Ｏ５、Ｎｂ ５ｉＯｚとＴｈ０ｚ
、Ｎｂ−８ｉ０２とＧｅＯ２、Ｎｂ ＳｉＯ２とＨｆ
Ｏ２、Ｎｂ ＳｉＯ２とＮｉ０１Ｎｂ−８ｉ０２とＹ２
Ｏ５、Ｔａ −Ｍｏ−８ｉ０２とＴｈＯ２、Ｔａ−Ｍｏ
−８ｉ０２とＹ２ＯＳ 、Ｎｂ −Ｍｏ −８ｉ ０２
とＮｂ２Ｏ５、Ｎｂ Ｍｏ ｓｉｏ２とＴｈＯ２、Ｎｂ
−Ｍｏ ＳｉＯ２と ＧｅＯ２、Ｎｂ −Ｍｏ−Ｓｉ
Ｏ２とＹ２Ｏ５，Ｗ−Ｍｏ−８ｉ０２とＮｂ２Ｏ，、Ｗ
−Ｍｏ−８ｉ０２とＴｈＯ２、Ｗ−Ｎｏ−８ｉ０２とＹ
２Ｏ５ 、Ｔａ−Ｃｒ−８ｉ０２とＹ２Ｏ５、Ｎｂ−Ｃ
ｒ ＳｉＯ２とＴｈＯ２、Ｔａ−Ｃｒ２Ｔａ−ＳｉＯ２
とＴｈＯ２、Ｔａ−Ｃｒ２Ｔａ−８ｉｎ２とＹ２Ｏ５等
があり、これらについては従来品の印字走行距離の２倍
以上のデータを得た。
以上の実験結果より、発明台らは保護膜の厚さをさらに
薄くシたサーマルヘッドを試作し実験を行ってみた。発
熱抵抗体としては実施例２で示したへ４ｎ −８ｉ ０
２ を用い、保護膜も同じくＮｂ２ｏ５を用いた。但
し、Ｎｂ２Ｏ５保護欣の厚さは３μｍとした。
薄くシたサーマルヘッドを試作し実験を行ってみた。発
熱抵抗体としては実施例２で示したへ４ｎ −８ｉ ０
２ を用い、保護膜も同じくＮｂ２ｏ５を用いた。但
し、Ｎｂ２Ｏ５保護欣の厚さは３μｍとした。
結果はステップストレステストが１３５％、印字走行テ
ストが１７０％で、従来品よりまだ優れていることが判
。た。一方、保護膜の厚みを薄くしたため、保護膜の熱
容量が減少し、入力値も１０％程減少した。
ストが１７０％で、従来品よりまだ優れていることが判
。た。一方、保護膜の厚みを薄くしたため、保護膜の熱
容量が減少し、入力値も１０％程減少した。
又、従来のものと比較して発熱抵抗体及保護膜材料の原
料費がかなり安価なものを選択出来るようになったこと
もつけ加えておく。
料費がかなり安価なものを選択出来るようになったこと
もつけ加えておく。
第５図は本発明のサーマルヘッド構造を示す断面図であ
る。αＯは保護膜であって、その組成は、前述の実施例
、実験例で示したものである。
る。αＯは保護膜であって、その組成は、前述の実施例
、実験例で示したものである。
以上のように、本発明によれば金、ｑ及Ｓ ｉ ０２
からなる発熱抵抗体及その返戻の導体リードを一層の金
属酵化物で覆ったので、長寿命、省電力、高速印字可能
で、かつ製造時間が短縮され、安価なサーマルヘッドが
得ら第１る効果がある。
からなる発熱抵抗体及その返戻の導体リードを一層の金
属酵化物で覆ったので、長寿命、省電力、高速印字可能
で、かつ製造時間が短縮され、安価なサーマルヘッドが
得ら第１る効果がある。
第１図はこの発明の一実施例によるサーマルヘッドのス
テップストレステストの実験結果を示す図、第２図は同
じく印字走行テストの実験結果を示す図、第３図はこの
発明の他の実施例によるステップストレステストの実験
結果を示すＩ”ｌ、ｆｆ１４図は同じく他の実施例の印
字走行テストの実験結果を示す図、第５図は本発明のサ
ーマルヘッドの構造を示す断面図、第６図は従来のサー
マルヘッドの構造を示す断面図である。 なお、図中、同一符号は同一、又は相当部分を示す。
テップストレステストの実験結果を示す図、第２図は同
じく印字走行テストの実験結果を示す図、第３図はこの
発明の他の実施例によるステップストレステストの実験
結果を示すＩ”ｌ、ｆｆ１４図は同じく他の実施例の印
字走行テストの実験結果を示す図、第５図は本発明のサ
ーマルヘッドの構造を示す断面図、第６図は従来のサー
マルヘッドの構造を示す断面図である。 なお、図中、同一符号は同一、又は相当部分を示す。
Claims (5)
- （１）基板Ｉに形成された発熱抵抗体と、該発熱抵抗体
に電力を供給するリード線と、前記発熱抵抗体およびそ
の近くの前記リード線を保護する保護層を有するサーマ
ルヘッドにおいて保護層が一層の酸化物で構成されてい
ることを特徴とするサーマルヘッド。 - （２）保護層の酸化物の元素がＴｉ、Ｚｒ、Ｈｆ、Ｖ、
Ｎｂ、Ｃｒ、Ｍｏ、Ｗ、Ｂ、Ｍｎ、Ｆｅ、Ｎｉ、Ｃｏ、
Ｔｈ、ＧｅおよびＹのうちから選ばれた１種以上である
特許請求の範囲第１項に記載のサーマルヘッド。 - （３）保護層の酸化物がＮｂ＿２Ｏ＿５、ＴｈＯ＿２、
Ｂ＿２Ｏ＿３、ＣｏＯ、Ｃｒ＿２Ｏ＿３、Ｆｅ＿３Ｏ＿
４、ＧｅＯ＿２、ＨｆＯ＿２、ＭｏＯ＿３、ＭｎＯ＿２
、Ｍｎ＿３Ｏ＿４ＮｉＯ、ＴｉＯ＿２、Ｖ＿２Ｏ＿５、
ＷＯ＿２、Ｙ＿２Ｏ＿３およびＺｒＯ＿２のうちから選
ばれた１種以上である特許請求の範囲第１項に記載のサ
ーマルヘッド。 - （４）発熱抵抗体が金属およびＳｉＯ＿２から成り、発
熱抵抗体およびその近傍のリード線を保護する保護層が
一層の酸化物で構成されている特許請求の範囲第１項に
記載のサーマルヘッド。 - （５）発熱抵抗体の金属がＴｉ、Ｚｒ、Ｈｆ、Ｖ、Ｎｂ
、Ｔａ、Ｌａ、Ｃｒ、Ｍｏ、Ｗ、Ｍｎ、Ｆｅ、Ｎｉおよ
びＣｏのうちから選ばれた１種以上の単体金属もしくは
２種以上から成る合金もしくは２種以上から成る金属間
化合物またはこれら単体金属、合金、金属間化合物のな
かの２種以上の混合物から成る特許請求の範囲第１項に
記載のサーマルヘッド。
Priority Applications (5)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60178241A JPS6237171A (ja) | 1985-08-12 | 1985-08-12 | サ−マルヘツド |
| GB8618985A GB2179007B (en) | 1985-08-12 | 1986-08-04 | Thermal head for printer |
| DE19863626420 DE3626420A1 (de) | 1985-08-12 | 1986-08-05 | Thermokopf fuer einen drucker |
| US07/212,060 US4827289A (en) | 1985-08-12 | 1988-06-23 | Thermal head |
| GB8924485A GB2222803B (en) | 1985-08-12 | 1989-10-31 | Thermal head for printer |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60178241A JPS6237171A (ja) | 1985-08-12 | 1985-08-12 | サ−マルヘツド |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6237171A true JPS6237171A (ja) | 1987-02-18 |
Family
ID=16045060
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP60178241A Pending JPS6237171A (ja) | 1985-08-12 | 1985-08-12 | サ−マルヘツド |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6237171A (ja) |
-
1985
- 1985-08-12 JP JP60178241A patent/JPS6237171A/ja active Pending
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