JPS6273601A - サ−マルヘツド - Google Patents
サ−マルヘツドInfo
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- JPS6273601A JPS6273601A JP60213419A JP21341985A JPS6273601A JP S6273601 A JPS6273601 A JP S6273601A JP 60213419 A JP60213419 A JP 60213419A JP 21341985 A JP21341985 A JP 21341985A JP S6273601 A JPS6273601 A JP S6273601A
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- JP
- Japan
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- heating resistor
- mixture
- protective layer
- thermal head
- zro
- Prior art date
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- Electronic Switches (AREA)
- Non-Adjustable Resistors (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
この発明は感熱式プリンタ用の薄膜型サーマルヘッドに
関する。
関する。
（従来の技術）
従来より、感熱紙を発色させて感熱紙にドツトのモザイ
クを作ることにより絵、文字等の印字をするための種々
の構造のサーマルへラドが提案されている。このような
サーマルヘッドは、用いている発熱抵抗体の種類により
、薄膜型と厚膜型との二つに大別出来る。しかしながら
、厚膜型のサーマルへ−ｚｌ’は低価格化は可能である
が、高精細化が困難であるため、最近では、高精細化、
高性能化が可能な薄膜型サーマルヘッドが主流となりつ
つある。このようなサーマルヘッドは例えば文献（「金
属表面処理技術Ｊ 、 ３４ Ｎｏ、１３．１９８３
Ｐ。
クを作ることにより絵、文字等の印字をするための種々
の構造のサーマルへラドが提案されている。このような
サーマルヘッドは、用いている発熱抵抗体の種類により
、薄膜型と厚膜型との二つに大別出来る。しかしながら
、厚膜型のサーマルへ−ｚｌ’は低価格化は可能である
が、高精細化が困難であるため、最近では、高精細化、
高性能化が可能な薄膜型サーマルヘッドが主流となりつ
つある。このようなサーマルヘッドは例えば文献（「金
属表面処理技術Ｊ 、 ３４ Ｎｏ、１３．１９８３
Ｐ。
２７１〜２７７）に開示、されている。
第３図は一般的な薄膜型サーマルヘッドの要部を示す断
面図であり、この場合、下地上しての絶縁基板玉に多数
設けられた発熱抵抗体のうちの一つの発熱抵抗体に着目
して示した断面図である。
面図であり、この場合、下地上しての絶縁基板玉に多数
設けられた発熱抵抗体のうちの一つの発熱抵抗体に着目
して示した断面図である。
この薄膜型サーマルヘッドの構造につき図面を参照して
簡単に説明する。
簡単に説明する。
第３図において、１１は絶縁基板を示し、この絶縁基板
１１上に保温Ｒ１３が設けられ、さらに、この保温層１
３上には薄膜抵抗体からなる発熱抵抗体１５が設けられ
ている。この発熱抵抗体１５Ｊ：の離間した位置に給電
体１７及び１９が設けられていて、これら給電体１７及
び１９の間の全８Ｎ、抗体１５の部分（図中、斜線で示
す部分）が発熱部２１となる。さらに、給電体１７及び
１８と発熱部２１とのＬ側には発熱抵抗体保護層２３（
以下、巾に保護層２３と称することもある）と耐摩耗層
２５とが順次に設けられている。
１１上に保温Ｒ１３が設けられ、さらに、この保温層１
３上には薄膜抵抗体からなる発熱抵抗体１５が設けられ
ている。この発熱抵抗体１５Ｊ：の離間した位置に給電
体１７及び１９が設けられていて、これら給電体１７及
び１９の間の全８Ｎ、抗体１５の部分（図中、斜線で示
す部分）が発熱部２１となる。さらに、給電体１７及び
１８と発熱部２１とのＬ側には発熱抵抗体保護層２３（
以下、巾に保護層２３と称することもある）と耐摩耗層
２５とが順次に設けられている。
このような構造の薄膜型サーマルへラドにおいて、保護
層２３としてＳ ｉ ０２ を用い、耐摩耗層２５とし
てＴａ２０５を用いるのが最も＝一般的であるが、保護
層２３及び耐摩耗層２５としてＳｉＣ等を用いる場合も
ある。
層２３としてＳ ｉ ０２ を用い、耐摩耗層２５とし
てＴａ２０５を用いるのが最も＝一般的であるが、保護
層２３及び耐摩耗層２５としてＳｉＣ等を用いる場合も
ある。
この、発熱抵抗体保護層２３を設けている理由は５発熱
抵抗体１５に高い電力を印加しこの発熱抵抗体１５を高
温に発熱させて印字を行う際、この保護層２３によって
、高温状態にある発熱抵抗体１５を酸素から遮断し、よ
って発熱抵抗体１５の酸化を防止するためである。この
酸化防止により発熱抵抗体１５の寿命を向丘させること
が出来る。
抵抗体１５に高い電力を印加しこの発熱抵抗体１５を高
温に発熱させて印字を行う際、この保護層２３によって
、高温状態にある発熱抵抗体１５を酸素から遮断し、よ
って発熱抵抗体１５の酸化を防止するためである。この
酸化防止により発熱抵抗体１５の寿命を向丘させること
が出来る。
（発明が解決しようとする問題点）
しかしながら、従来のサーマルヘッドにおいては、保護
層として用いているＳｉＯ２の融点は１７００℃程度で
ある。又、保温層に用いられる材料の融点も一般的には
２Ｏ００℃以五である。
層として用いているＳｉＯ２の融点は１７００℃程度で
ある。又、保温層に用いられる材料の融点も一般的には
２Ｏ００℃以五である。
一方、発熱抵抗体としてはＴａ２Ｎ等の窒化物、ＴａＣ
等の炭化物、又はＺｒＢｚ等の硼化物が用いられるが、
これらの材料は何れもその融点が３０００℃程度と高い
、従って、印字を行うため発熱抵抗体に高い電力を印加
してこれを高温状態にすると、発熱抵抗体そのものが劣
化する前に、この発熱抵抗体のＥ下に設けられた保護層
及び保温層が劣化し、これが原因で発熱抵抗体の破壊が
生じてしまうという問題点があった。
等の炭化物、又はＺｒＢｚ等の硼化物が用いられるが、
これらの材料は何れもその融点が３０００℃程度と高い
、従って、印字を行うため発熱抵抗体に高い電力を印加
してこれを高温状態にすると、発熱抵抗体そのものが劣
化する前に、この発熱抵抗体のＥ下に設けられた保護層
及び保温層が劣化し、これが原因で発熱抵抗体の破壊が
生じてしまうという問題点があった。
従って、従来のサーマルヘッドでは、発熱抵抗体に瞬間
的に高い電力を印加して発熱抵抗体を素早く高温とし、
これにより印字の高速化を図ることには限界があった。
的に高い電力を印加して発熱抵抗体を素早く高温とし、
これにより印字の高速化を図ることには限界があった。
この発明の目的は、ヒ述した問題点を解決して、高速印
字を行うために発熱抵抗体を高温で発熱させても長寿命
で使用出来るサーマルへラドを提供することにある。
字を行うために発熱抵抗体を高温で発熱させても長寿命
で使用出来るサーマルへラドを提供することにある。
（問題点を解決するための手段）
この目的の達成を図るため、この発明によれば、ド地ト
に発熱抵抗体と、発熱抵抗体保護層とを具えるサーマル
ヘッドにおいて。
に発熱抵抗体と、発熱抵抗体保護層とを具えるサーマル
ヘッドにおいて。
発熱抵抗体保護層をＺｒＯ２（酸化ジルコニウム）を以
って構成するか、或はＺｒＯ２と、ＳｉＯ２、 ＡｆＬ
ｚ ０３ 、 ＣａＯ及びＭ ｇ Ｏｃ７）巾から選ば
れた一種又はニ一種以上の物質との混合物を以って構成
したことを特徴とする。従って、この場合の保護層の材
料としては、ＺｒＯ２、Ｚｒ０ｚ とＳｉＯ２との混
合物、Ｚｒ０ｚ とｋｌｚ ０３ との混合物、Ｚｒ０
ｚ とＣａＯとの混合物、ＺｒＯ２とＭｇＯとの混合物
、ＺｒＯンとＳｉＯ２と Ａ１２０＝ との混合物、Ｚ
ｒＯ；＋ とＣａＯン とＣａＯとの混合物、ＺｒＯ２
と５ｉＯｚ とＭｇＯとの混合物、ＺｒＯ２とＡｊｌ、
、＋０３ とＣａＯとの混合物、ＺｒＯ，＋ とＡＲ２
０３、！＝ＭｇＯとの混合物、ＺｒＯ２とＣａＯとＭｇ
Ｏとの混合物、ＺｒＯ２とＳｉＯ２と Ａ１２０３ と
ＣａＯとの混合物、Ｚｒ０ｚ とＳｉＯ２ と Ａす
２０３ とＭｇＯとの混合物、ＺｒＯ２とＳｉＯ２
とＣａＯとＭｇＯとの混合物、Ｚｒ（ｈ と Ａ１２
０３ とＣａＯとＭｇＯとの混合物、ＺｒＯ２と５ｉ
Ｏｚ とＡ交２０３とＣａＯとＭｇＯとの混合物からな
る群より選ばれた一種類の物質がある。
って構成するか、或はＺｒＯ２と、ＳｉＯ２、 ＡｆＬ
ｚ ０３ 、 ＣａＯ及びＭ ｇ Ｏｃ７）巾から選ば
れた一種又はニ一種以上の物質との混合物を以って構成
したことを特徴とする。従って、この場合の保護層の材
料としては、ＺｒＯ２、Ｚｒ０ｚ とＳｉＯ２との混
合物、Ｚｒ０ｚ とｋｌｚ ０３ との混合物、Ｚｒ０
ｚ とＣａＯとの混合物、ＺｒＯ２とＭｇＯとの混合物
、ＺｒＯンとＳｉＯ２と Ａ１２０＝ との混合物、Ｚ
ｒＯ；＋ とＣａＯン とＣａＯとの混合物、ＺｒＯ２
と５ｉＯｚ とＭｇＯとの混合物、ＺｒＯ２とＡｊｌ、
、＋０３ とＣａＯとの混合物、ＺｒＯ，＋ とＡＲ２
０３、！＝ＭｇＯとの混合物、ＺｒＯ２とＣａＯとＭｇ
Ｏとの混合物、ＺｒＯ２とＳｉＯ２と Ａ１２０３ と
ＣａＯとの混合物、Ｚｒ０ｚ とＳｉＯ２ と Ａす
２０３ とＭｇＯとの混合物、ＺｒＯ２とＳｉＯ２
とＣａＯとＭｇＯとの混合物、Ｚｒ（ｈ と Ａ１２
０３ とＣａＯとＭｇＯとの混合物、ＺｒＯ２と５ｉ
Ｏｚ とＡ交２０３とＣａＯとＭｇＯとの混合物からな
る群より選ばれた一種類の物質がある。
この発明の実施に当り、発熱抵抗体保護層を発熱抵抗体
の上下にそれぞれ設けるのが好適である。
の上下にそれぞれ設けるのが好適である。
（作用）
このように構成すれば、発熱体保護層を構成するＺｒＯ
２の融点は５ｔＯ２の融点よりも高く、さらに、熱的安
定性に優れる。従って、発熱抵抗体に高い電力を印加し
てもこの発熱抵抗体の熱により発熱抵抗体保護層は劣化
しない、従って１発熱抵抗体保護層の熱的劣化に起因し
て発生する発熱抵抗体の破壊も起こらない。
２の融点は５ｔＯ２の融点よりも高く、さらに、熱的安
定性に優れる。従って、発熱抵抗体に高い電力を印加し
てもこの発熱抵抗体の熱により発熱抵抗体保護層は劣化
しない、従って１発熱抵抗体保護層の熱的劣化に起因し
て発生する発熱抵抗体の破壊も起こらない。
又、ＺｒＯ２とＳｉＯ２、Ａ９．２０３ 。
ＣａＯ及びＭｇＯの中から選ばれた一種または一種以り
の物質との混合物の融点も、ＳｉＯ２の融点よりは高く
なるから、発熱抵抗体保護層をこの混合物で構成すれば
、発熱抵抗体保護層をＳｉＯ２で構成するよりは耐熱性
に優れた発熱抵抗体保護層が得られる。
の物質との混合物の融点も、ＳｉＯ２の融点よりは高く
なるから、発熱抵抗体保護層をこの混合物で構成すれば
、発熱抵抗体保護層をＳｉＯ２で構成するよりは耐熱性
に優れた発熱抵抗体保護層が得られる。
さらに、発熱抵抗体の上下にＬ述したような発熱抵抗体
保護層を設ければ、発８抵抗体の周囲はは耐熱性の優れ
た保Ｍ層に被覆されるから、発熱抵抗体は酸素による酸
化がより起こりにくい。
保護層を設ければ、発８抵抗体の周囲はは耐熱性の優れ
た保Ｍ層に被覆されるから、発熱抵抗体は酸素による酸
化がより起こりにくい。
（実施例）
以下、図面を参照してこの発明のサーマルヘッドにつき
説明する。尚、この図はこの発明が理解出来る程度に概
略的に示しであるにすぎず、各構成成分の寸法、形状及
び配置関係は図示例に限定されるものではない、又、従
来と同一の構成成分については同一の符号を付して示し
である。
説明する。尚、この図はこの発明が理解出来る程度に概
略的に示しであるにすぎず、各構成成分の寸法、形状及
び配置関係は図示例に限定されるものではない、又、従
来と同一の構成成分については同一の符号を付して示し
である。
第１図はこの発明のサーマルヘッドの要部を示す断面図
であり、下地上しての絶縁基板−ヒに多数設けられた発
熱抵抗体のうちの一つの発熱抵抗体に着目して示した断
面図である。
であり、下地上しての絶縁基板−ヒに多数設けられた発
熱抵抗体のうちの一つの発熱抵抗体に着目して示した断
面図である。
第１図において、１１は絶縁基板を示し、この絶縁基板
ｌｌ上に保温層１３を設けである。この保温層１３上に
はこの発明の特徴であるＺｒＯ２（酸化ジルコニウム）
からなる発熱抵抗体保護層３１（以下、中に保護層３１
と称することもある）を設けである。さらに、この保護
層３１ ｈに薄膜抵抗体からなる発熱抵抗体１５を設け
である。又、この発熱抵抗体１５トの離間した位置に給
電体１７及び１９を設けてあり、これら給電体１７及び
１９の間の発熱抵抗体１５の部分（図中、斜線で示す部
分）が発熱部２１となる。さらに、給電体１７及び１９
と発熱部２１とのＬ側には保護層３１と同様に酸化ジル
コニウムからなる発熱抵抗体保護層３３（以下、巾に保
護層３３と称することもある）を設けてあり、さらにこ
の保護層３３上には耐摩耗層２５を設けて、この発明の
薄膜型サーマルへラドを構成している。
ｌｌ上に保温層１３を設けである。この保温層１３上に
はこの発明の特徴であるＺｒＯ２（酸化ジルコニウム）
からなる発熱抵抗体保護層３１（以下、中に保護層３１
と称することもある）を設けである。さらに、この保護
層３１ ｈに薄膜抵抗体からなる発熱抵抗体１５を設け
である。又、この発熱抵抗体１５トの離間した位置に給
電体１７及び１９を設けてあり、これら給電体１７及び
１９の間の発熱抵抗体１５の部分（図中、斜線で示す部
分）が発熱部２１となる。さらに、給電体１７及び１９
と発熱部２１とのＬ側には保護層３１と同様に酸化ジル
コニウムからなる発熱抵抗体保護層３３（以下、巾に保
護層３３と称することもある）を設けてあり、さらにこ
の保護層３３上には耐摩耗層２５を設けて、この発明の
薄膜型サーマルへラドを構成している。
この発明のサーマルヘッドの理解を深めるため、このサ
ーマルヘッドの製造方法の−・例につき＠弔に説明する
。
ーマルヘッドの製造方法の−・例につき＠弔に説明する
。
保温層１３の設けられた下地上してのグレーズドアルミ
ナ基板Ｅにスパッタ法によりＺｒＯ？薄膜とＴａ２ＮＦ
Ｊ！ｉ膜とを連続的に形成する０次に。
ナ基板Ｅにスパッタ法によりＺｒＯ？薄膜とＴａ２ＮＦ
Ｊ！ｉ膜とを連続的に形成する０次に。
フォトリソ技術によりＴａ２Ｎ薄膜を所定の形状にパタ
ーンニングして発熱抵抗体１５を、又、Ｚｒ０２ｆｌ膜
を所定の形状にバターニングして保護層３１をそれぞれ
形成する０次に、スパッタ法によりこの発熱抵抗体１５
ｋに例えばクロム（Ｃｒ）と金（Ａｕ）とを連続して成
膜し、続いて、このＣｒ及びＡｕの金ＪｌｊＳ薄膜を所
定の形状にバターニングして、発８抵抗体１５の一部で
ある発熱部２１（図中、斜線で示す部分）を露出させる
と共に、この発熱部２１の両側領域にこの金属薄膜から
なり互いに電気的に絶縁された給電体１７及び１８を形
成する。さらに、スパッタ法によりこの発熱部２１と給
電体１７及び１９とのＬ側にＺｒＯ２薄膜を形成しこの
ｆｌ、膜歪所定形状にバターニングして保護層３３を形
成する。続いて、スパッタ法によりこの保護層３３、＋
１に１Ｎ１ｙｌ耗層２５としテ（７）Ｔ Ａ２０５膜を
形成して、この発明のサーマルヘッドを得ることが出来
る。
ーンニングして発熱抵抗体１５を、又、Ｚｒ０２ｆｌ膜
を所定の形状にバターニングして保護層３１をそれぞれ
形成する０次に、スパッタ法によりこの発熱抵抗体１５
ｋに例えばクロム（Ｃｒ）と金（Ａｕ）とを連続して成
膜し、続いて、このＣｒ及びＡｕの金ＪｌｊＳ薄膜を所
定の形状にバターニングして、発８抵抗体１５の一部で
ある発熱部２１（図中、斜線で示す部分）を露出させる
と共に、この発熱部２１の両側領域にこの金属薄膜から
なり互いに電気的に絶縁された給電体１７及び１８を形
成する。さらに、スパッタ法によりこの発熱部２１と給
電体１７及び１９とのＬ側にＺｒＯ２薄膜を形成しこの
ｆｌ、膜歪所定形状にバターニングして保護層３３を形
成する。続いて、スパッタ法によりこの保護層３３、＋
１に１Ｎ１ｙｌ耗層２５としテ（７）Ｔ Ａ２０５膜を
形成して、この発明のサーマルヘッドを得ることが出来
る。
尚、この実施例においては保護層３１及び３３をＺｒＯ
２のみを以って構成した。しかし、ＺｒＯ２のみで得ら
れる程度の高融点の保護層を所望としない場合は、この
保護層をＺｒＯ２を含ｔせたＺｒＯ２と、Ｓ ｉｏ２．
ＡＲ２０３、ＣａＯ及びＭｇＯの中から選ばれた−
・種又は二種以上の物質との混合物とし高価なＺｒＯ２
の消費電域らすことにより材料費の低減が図れる。保護
層をこのような混合物を持って構成しても、これらの混
合物の融点は５ｉＯｚのみで構成した保護層の融点より
も高いから、実施例のサーマルヘッドと同様な効果が期
待出来る。さらに、ＣａＯ及びＭｇＯはＺｒ０ｚ を安
定化させる作用を有する。
２のみを以って構成した。しかし、ＺｒＯ２のみで得ら
れる程度の高融点の保護層を所望としない場合は、この
保護層をＺｒＯ２を含ｔせたＺｒＯ２と、Ｓ ｉｏ２．
ＡＲ２０３、ＣａＯ及びＭｇＯの中から選ばれた−
・種又は二種以上の物質との混合物とし高価なＺｒＯ２
の消費電域らすことにより材料費の低減が図れる。保護
層をこのような混合物を持って構成しても、これらの混
合物の融点は５ｉＯｚのみで構成した保護層の融点より
も高いから、実施例のサーマルヘッドと同様な効果が期
待出来る。さらに、ＣａＯ及びＭｇＯはＺｒ０ｚ を安
定化させる作用を有する。
又、丘述した実施例では保護層３１及び３３の膜厚を共
に２１Ｌｍとした。この保護層３１及び３３の膜厚は厚
いほうが発熱抵抗体を保護する意味では有利であるが、
この保護膜を厚くすればするほど印字品質の低下を招き
易く、かつ、膜厚を厚くする分だけ製造コストが高くな
る。従って、保護層の膜厚は実施例の膜厚に限定される
ものではなく、サーマルヘッドに要求される寿命、印字
品質及び製造コストを考慮して保、：ｆｆｉ層の膜厚を
決定すれば良いが、￥用的には０゜５〜１ＯＩｊ、ｍの
厚さとするのが好適である。
に２１Ｌｍとした。この保護層３１及び３３の膜厚は厚
いほうが発熱抵抗体を保護する意味では有利であるが、
この保護膜を厚くすればするほど印字品質の低下を招き
易く、かつ、膜厚を厚くする分だけ製造コストが高くな
る。従って、保護層の膜厚は実施例の膜厚に限定される
ものではなく、サーマルヘッドに要求される寿命、印字
品質及び製造コストを考慮して保、：ｆｆｉ層の膜厚を
決定すれば良いが、￥用的には０゜５〜１ＯＩｊ、ｍの
厚さとするのが好適である。
又、絶縁基板、発熱抵抗体、及び耐摩耗層は実施例で用
いた材料に限定されるものではなく他の好適な材料を用
いても良い。
いた材料に限定されるものではなく他の好適な材料を用
いても良い。
試験結果
第２図は従来のサーマルへラドとこの発明のサーマルヘ
ッドとに電力を印加し、その電力を徐々に大きく変えて
いって行ったステップストレス試験結果を示した特性曲
線図である。この図は縦軸にサーマルヘッドの発熱抵抗
体の抵抗変化率（％）をとり、横軸に印加電力（Ｗ／ｍ
ｍ２）をとり、印加電力に対して、発熱抵抗体の初期抵
抗値Ｒと、各ステップでの試験Ｍｙ時の抵抗値との差Δ
Ｒから求まる抵抗変化率ΔＲ／Ｒをプロットして示しで
ある。図中、■で示す曲線がこの発明のサーマルヘッド
の特性であり、■で示す曲線が従来のサーマルヘッドの
特性である。
ッドとに電力を印加し、その電力を徐々に大きく変えて
いって行ったステップストレス試験結果を示した特性曲
線図である。この図は縦軸にサーマルヘッドの発熱抵抗
体の抵抗変化率（％）をとり、横軸に印加電力（Ｗ／ｍ
ｍ２）をとり、印加電力に対して、発熱抵抗体の初期抵
抗値Ｒと、各ステップでの試験Ｍｙ時の抵抗値との差Δ
Ｒから求まる抵抗変化率ΔＲ／Ｒをプロットして示しで
ある。図中、■で示す曲線がこの発明のサーマルヘッド
の特性であり、■で示す曲線が従来のサーマルヘッドの
特性である。
尚、この試験に用いたこの発明のサーマルヘッドは発熱
抵抗体のＬ下にそれぞれ膜厚２μｍのＺｒＯ２で構成し
た発熱抵抗体保護層を設け、又、従来のサーマルヘッド
には発熱抵抗体の感熱紙側表面に膜厚２ＪＬｍの５ｉＱ
２で構成した発熱抵抗体保護層を設けた。又、両者のサ
ーマルヘッド共に、耐摩耗層として膜厚４ｊＬｍｃ７）
Ｔａ２Ｏｓ層を有し、さらに、絶縁基板、保温層及び発
熱抵抗体層の材質、膜厚及び形成条件は同一となるよう
にした。
抵抗体のＬ下にそれぞれ膜厚２μｍのＺｒＯ２で構成し
た発熱抵抗体保護層を設け、又、従来のサーマルヘッド
には発熱抵抗体の感熱紙側表面に膜厚２ＪＬｍの５ｉＱ
２で構成した発熱抵抗体保護層を設けた。又、両者のサ
ーマルヘッド共に、耐摩耗層として膜厚４ｊＬｍｃ７）
Ｔａ２Ｏｓ層を有し、さらに、絶縁基板、保温層及び発
熱抵抗体層の材質、膜厚及び形成条件は同一となるよう
にした。
又、ステップストレス試験の条件は、印加する初期電力
を４Ｗ／ｍｍｉ’ とし、ステップを０．５Ｗステツプ
として印加電力を増加させた。又、各ステップでの電力
印加条件は繰り返し周期を２Ｏ ｍ ｓ ｅ ｃとし、
パルス幅をＯｙ８ｍｓｅｃとし、パルス印加回数を２０
０００回として行った。そして、このような試験条件で
この発明及び従来の試料共各試料が破壊するまで印加電
力を上げて試験を行った。
を４Ｗ／ｍｍｉ’ とし、ステップを０．５Ｗステツプ
として印加電力を増加させた。又、各ステップでの電力
印加条件は繰り返し周期を２Ｏ ｍ ｓ ｅ ｃとし、
パルス幅をＯｙ８ｍｓｅｃとし、パルス印加回数を２０
０００回として行った。そして、このような試験条件で
この発明及び従来の試料共各試料が破壊するまで印加電
力を上げて試験を行った。
第２図に示した試験結果からも明らかなように、印加電
力に対する発熱抵抗体の抵抗変化率は、この発明のサー
マルヘッドの力が従来のサーマルヘッドよりも低電力領
域から高′屯力領域にわたって優れた安定性を示すこと
がわかった。
力に対する発熱抵抗体の抵抗変化率は、この発明のサー
マルヘッドの力が従来のサーマルヘッドよりも低電力領
域から高′屯力領域にわたって優れた安定性を示すこと
がわかった。
（発明の効果）
Ｌ述した説明からも明らかなように、この発明によれば
、絶縁基板りに発熱抵抗体と、発熱抵抗体保護層とを有
するサーマルヘッドにおいて。
、絶縁基板りに発熱抵抗体と、発熱抵抗体保護層とを有
するサーマルヘッドにおいて。
発熱抵抗体保護層をＺｒＯ；＋ を以って構成するか、
或はＺｒＯ２と、ＳｉＯ２ 、 ＡＭ？０３ 。
或はＺｒＯ２と、ＳｉＯ２ 、 ＡＭ？０３ 。
ＣａＯ及びＭｇＯの中から選ばれた−・種又は一種以上
の物質との混合物を以って構成している。このＺｒＯ２
及びこれらの混合物の融点はＳｉＯ２の融点よりも高く
、かつ熱的安定性に優れるから、発熱抵抗体に高い電力
を印加してもこの発熱抵抗体の熱によりこの発熱抵抗体
保護層は劣化しない、従って、発８抵抗体保護層の熱的
劣化に起因して発生する発熱抵抗体の破壊も起こらない
。
の物質との混合物を以って構成している。このＺｒＯ２
及びこれらの混合物の融点はＳｉＯ２の融点よりも高く
、かつ熱的安定性に優れるから、発熱抵抗体に高い電力
を印加してもこの発熱抵抗体の熱によりこの発熱抵抗体
保護層は劣化しない、従って、発８抵抗体保護層の熱的
劣化に起因して発生する発熱抵抗体の破壊も起こらない
。
又、発熱抵抗体のｂｙに上述したような発熱抵抗体保護
層を設ければ、発熱抵抗体の周囲は耐熱性の優れた保護
層により被覆されるから、従来と比較して発熱抵抗体は
酸素による酸化が起こりにくくなる。
層を設ければ、発熱抵抗体の周囲は耐熱性の優れた保護
層により被覆されるから、従来と比較して発熱抵抗体は
酸素による酸化が起こりにくくなる。
これがため、発８抵抗体を高温で発熱させて高速印字を
行っても長寿命で使用出来るサーマルヘッドを提供する
ことが出来る。
行っても長寿命で使用出来るサーマルヘッドを提供する
ことが出来る。
第１図はこの発明のサーマルヘッドの一例を示す断面図
、 第２図はこの発明のサーマルヘッドと従来のサーマルヘ
ッドとの印加電力のステップストレス試験結果を示す特
性曲線図、 第３図は薄膜型サーマルヘッドの−・般的な構造を示す
断面図である。 １１・・・絶縁基板、 １３・・・保温層１５
・・・発熱抵抗体、 １７．１９・・・給電体２
１・・・発熱部、 ２５・・・耐摩耗膜３１．
３３・・・発熱抵抗体保護層。 特許出願人 沖電気丁業株式会社／ｆ 虻体基
扱 ｚ／−４！−帖却ｆＪ 保ｉ／ｖ
ｚｓ、ＭｌｌＨ層！５発熱抵抗惨 ＪｉＪ
３発殖へ帽旧軸篭層ｆ７、ｔＱ 硲電惨 第１図 ２ク ー舵的ｒｊす−マルヘッドの断崩口 第３図
、 第２図はこの発明のサーマルヘッドと従来のサーマルヘ
ッドとの印加電力のステップストレス試験結果を示す特
性曲線図、 第３図は薄膜型サーマルヘッドの−・般的な構造を示す
断面図である。 １１・・・絶縁基板、 １３・・・保温層１５
・・・発熱抵抗体、 １７．１９・・・給電体２
１・・・発熱部、 ２５・・・耐摩耗膜３１．
３３・・・発熱抵抗体保護層。 特許出願人 沖電気丁業株式会社／ｆ 虻体基
扱 ｚ／−４！−帖却ｆＪ 保ｉ／ｖ
ｚｓ、ＭｌｌＨ層！５発熱抵抗惨 ＪｉＪ
３発殖へ帽旧軸篭層ｆ７、ｔＱ 硲電惨 第１図 ２ク ー舵的ｒｊす−マルヘッドの断崩口 第３図
Claims (2)
- （１）下地上に発熱抵抗体と、発熱抵抗体保護層とを具
えるサーマルヘッドにおいて、 発熱抵抗体保護層を、 ＺｒＯ＿２、 ＺｒＯ＿２とＳｉＯ＿２との混合物、 ＺｒＯ＿２とＡｌ＿２Ｏ＿３との混合物、 ＺｒＯ＿２とＣａＯとの混合物、 ＺｒＯ＿２とＭｇＯとの混合物、 ＺｒＯ＿２とＳｉＯ＿２とＡｌ＿２Ｏ＿３との混合物、
ＺｒＯ＿２とＳｉＯ＿２とＣａＯとの混合物、ＺｒＯ＿
２とＳｉＯ＿２とＭｇＯとの混合物、ＺｒＯ＿２とＡｌ
＿２Ｏ＿３とＣａＯとの混合物、ＺｒＯ＿２とＡｌ＿２
Ｏ＿３とＭｇＯとの混合物、ＺｒＯ＿２とＣａＯとＭｇ
Ｏとの混合物、 ＺｒＯ＿２とＳｉＯ＿２とＡｌ＿２Ｏ＿３とＣａＯとの
混合物、 ＺｒＯ＿２とＳｉＯ＿２とＡｌ＿２Ｏ＿３とＭｇＯとの
混合物、 ＺｒＯ＿２とＳｉＯ＿２とＣａＯとＭｇＯとの混合物、 ＺｒＯ＿２とＡｌ＿２Ｏ＿３とＣａＯとＭｇＯとの混合
物、 ＺｒＯ＿２とＳｉＯ＿２とＡｌ＿２Ｏ＿３とＣａＯとＭ
ｇＯとの混合物 からなる群より選ばれた一種類の物質を以って構成した
ことを特徴とするサーマルヘッド。 - （２）発熱抵抗体保護層を発熱抵抗体の上下にそれぞれ
設けたことを特徴とする特許請求の範囲第１項記載のサ
ーマルヘッド。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60213419A JPS6273601A (ja) | 1985-09-26 | 1985-09-26 | サ−マルヘツド |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60213419A JPS6273601A (ja) | 1985-09-26 | 1985-09-26 | サ−マルヘツド |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6273601A true JPS6273601A (ja) | 1987-04-04 |
Family
ID=16638909
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP60213419A Pending JPS6273601A (ja) | 1985-09-26 | 1985-09-26 | サ−マルヘツド |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6273601A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6414053A (en) * | 1987-07-08 | 1989-01-18 | Toshiba Corp | Thermal head |
| CN111933369A (zh) * | 2020-08-17 | 2020-11-13 | 合肥福纳科技有限公司 | 热敏材料及其制备方法和热敏传感器 |
-
1985
- 1985-09-26 JP JP60213419A patent/JPS6273601A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6414053A (en) * | 1987-07-08 | 1989-01-18 | Toshiba Corp | Thermal head |
| CN111933369A (zh) * | 2020-08-17 | 2020-11-13 | 合肥福纳科技有限公司 | 热敏材料及其制备方法和热敏传感器 |
| CN111933369B (zh) * | 2020-08-17 | 2022-02-15 | 合肥福纳科技有限公司 | 热敏材料及其制备方法和热敏传感器 |
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