JPS58147381A - 感熱記録ヘツド - Google Patents
感熱記録ヘツドInfo
- Publication number
- JPS58147381A JPS58147381A JP57029213A JP2921382A JPS58147381A JP S58147381 A JPS58147381 A JP S58147381A JP 57029213 A JP57029213 A JP 57029213A JP 2921382 A JP2921382 A JP 2921382A JP S58147381 A JPS58147381 A JP S58147381A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- layer
- temperature sensor
- recording head
- electrodes
- heating resistor
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
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Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
- B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
- B41J2/315—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by selective application of heat to a heat sensitive printing or impression-transfer material
- B41J2/32—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by selective application of heat to a heat sensitive printing or impression-transfer material using thermal heads
- B41J2/345—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by selective application of heat to a heat sensitive printing or impression-transfer material using thermal heads characterised by the arrangement of resistors or conductors
Landscapes
- Non-Insulated Conductors (AREA)
- Electronic Switches (AREA)
- Non-Adjustable Resistors (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明はファクシミリやプリンター等に用いるー熱記録
用の薄Ｓ型急熱記録ヘッドに関するものである。
用の薄Ｓ型急熱記録ヘッドに関するものである。
薄Ｓ＊感熱記録ヘッドの基本構成は蓄熱層を有し良絶縁
基板と、その上に設けた微細な発熱抵抗体群、これに電
流を供給するリード電極群及び表圓保一層からなるもの
である１、更に感熱記録ヘッドの温度をモニターし、外
Ｓ−路により印字パルス＋１３中印加電圧を制御し、印
字品質の改轡を図るとともに発熱抵抗体の過電荷を防止
する為の温度センサーを具備することもある。
基板と、その上に設けた微細な発熱抵抗体群、これに電
流を供給するリード電極群及び表圓保一層からなるもの
である１、更に感熱記録ヘッドの温度をモニターし、外
Ｓ−路により印字パルス＋１３中印加電圧を制御し、印
字品質の改轡を図るとともに発熱抵抗体の過電荷を防止
する為の温度センサーを具備することもある。
温度センサーとしては、サーミスターを外付けするもの
と、基板上に薄膜サーミスターを形成するものとがある
が、後者のものが熱応答性に愉れており、発熱抵抗体近
傍に形成可能であるために温度モニターとしてより有効
である。
と、基板上に薄膜サーミスターを形成するものとがある
が、後者のものが熱応答性に愉れており、発熱抵抗体近
傍に形成可能であるために温度モニターとしてより有効
である。
薄膜サーミスターとしては抵抗温！１を係数（Ｔ（、’
Ｒ）が大きいＰｂ０−Ｎｉが従来から使用されており、
これらの薄膜サーミスターは電極材料棒とは具なった材
料構成であるために薄膜サーミスターを形成する良めの
成膜、パターン化工程を導入する会費があり、これがコ
スト高の原因となっている。電極と温度センサーとが同
一材料、同−膜厚で構成されれば成膜及びパターン化工
程を同ａＰＫ行なうことができ安価に温度センサー付感
熱記録ヘッドを提供することができる。しかし、リード
電極はなるべく低抵抗である方が好ましく、比抵抗の小
さな金属をある程良厚くして用いられている。また温度
センサーはＴＣｆ（が大であるとともに、ある幌ｆｆ高
抵抗である方が好ましい。従って従来は電極と湿度セン
サーとを四−材料、四−膜厚で構成することは困醸であ
るとされていた。
Ｒ）が大きいＰｂ０−Ｎｉが従来から使用されており、
これらの薄膜サーミスターは電極材料棒とは具なった材
料構成であるために薄膜サーミスターを形成する良めの
成膜、パターン化工程を導入する会費があり、これがコ
スト高の原因となっている。電極と温度センサーとが同
一材料、同−膜厚で構成されれば成膜及びパターン化工
程を同ａＰＫ行なうことができ安価に温度センサー付感
熱記録ヘッドを提供することができる。しかし、リード
電極はなるべく低抵抗である方が好ましく、比抵抗の小
さな金属をある程良厚くして用いられている。また温度
センサーはＴＣｆ（が大であるとともに、ある幌ｆｆ高
抵抗である方が好ましい。従って従来は電極と湿度セン
サーとを四−材料、四−膜厚で構成することは困醸であ
るとされていた。
本発明はリード電極をＴｅｋＬが大きく、且つ比抵抗も
比較的大きな金属からなる第１電極層と比抵抗の小さい
金属からなる第２電極層との２層から構成し、温度セン
サーは第１電極層と閾−材料、同一膜厚とするものであ
る。
比較的大きな金属からなる第１電極層と比抵抗の小さい
金属からなる第２電極層との２層から構成し、温度セン
サーは第１電極層と閾−材料、同一膜厚とするものであ
る。
第１電極層及び第２電極層の材料は、成膜の容易さ、エ
ツチング性、選択エツチング性、密着性、耐熱安定性を
も考慮して決定する。第１１１Ｅ極層は１’ｊ、 ｆ”
ｅ、 ｃｏが好ましく、また第２電極層としてはＡ４
ｃｕＸＡｕ及びＰｄ−Ａｕ１ｌが好ましい。
ツチング性、選択エツチング性、密着性、耐熱安定性を
も考慮して決定する。第１１１Ｅ極層は１’ｊ、 ｆ”
ｅ、 ｃｏが好ましく、また第２電極層としてはＡ４
ｃｕＸＡｕ及びＰｄ−Ａｕ１ｌが好ましい。
このような構成にすることにより＄１電極層と第２電極
層とを蒸ｓ１＃／ｈによりｉ！！続成膜し、ホトリゾ工
程によりパターン化後、温度センサ一部分の納２電極層
材料をエツチングすることにより温度センサーを形成す
ることができ、比較的安価に温良センサー付ＭＡ熱紀−
ヘッドを一命することができる。
層とを蒸ｓ１＃／ｈによりｉ！！続成膜し、ホトリゾ工
程によりパターン化後、温度センサ一部分の納２電極層
材料をエツチングすることにより温度センサーを形成す
ることができ、比較的安価に温良センサー付ＭＡ熱紀−
ヘッドを一命することができる。
以下に本発明によりシリアルプリンター用感熱記録ヘッ
ドを製造した実施例について述べる。
ドを製造した実施例について述べる。
シリアルプリンター用では特に高速性が要求されるとと
もにヒートシンクも小さい為に記録ヘッドの温度モニタ
ーは重要である。本実！１ｆ１１でＦｉ高速漢字印字用
として縦１列に２４ドツトの発熱抵抗体を配した温度セ
ンサー付の感熱記録ヘッドを製造した。
もにヒートシンクも小さい為に記録ヘッドの温度モニタ
ーは重要である。本実！１ｆ１１でＦｉ高速漢字印字用
として縦１列に２４ドツトの発熱抵抗体を配した温度セ
ンサー付の感熱記録ヘッドを製造した。
第１図に本感熱記録ヘッドの概略図を示す。なお図は簡
略化して１２ドツトとして模式的に示した。
略化して１２ドツトとして模式的に示した。
本感熱記録ヘッドは以下の工程により製造した。
グレーストアルミナ基板上に発熱抵抗体としてＴａ−８
ｉ命Ｃ：ＪＡのスパッタ膜を作成し、安定化処理後発熱
抵抗体ドツト１をパターン化した。この後、Ｅガン蒸着
装置により全面にＴｉを（１０８ミクロン蒸着後、連続
的にＭを１６ミクロン蒸着し友。次いでホトリゾ工程に
より共通電極２、個別ｉｌＬ極５及び温度センサ一部分
４、温度センサー用電極５のパターン化を行なっ九。温
度センサ一部に残っているＭを除去する九すに再び温度
センサ一部分４以外をホトレジストで覆いエツチングを
行なった。Ｍはリン＃系のエツチング液を使用するとと
によりＴｉに対して＊ＩＲエツチング性を有している。
ｉ命Ｃ：ＪＡのスパッタ膜を作成し、安定化処理後発熱
抵抗体ドツト１をパターン化した。この後、Ｅガン蒸着
装置により全面にＴｉを（１０８ミクロン蒸着後、連続
的にＭを１６ミクロン蒸着し友。次いでホトリゾ工程に
より共通電極２、個別ｉｌＬ極５及び温度センサ一部分
４、温度センサー用電極５のパターン化を行なっ九。温
度センサ一部に残っているＭを除去する九すに再び温度
センサ一部分４以外をホトレジストで覆いエツチングを
行なった。Ｍはリン＃系のエツチング液を使用するとと
によりＴｉに対して＊ＩＲエツチング性を有している。
最後に表面保護層としてＳｉＣをスパッタコートし友。
”
本実施例の各部の抵抗値は発熱抵抗体ドツト抵抗が約３
０００、共通電極が１．２０、個別電極が６０であり温
度センサーは５にΩであっ九。
０００、共通電極が１．２０、個別電極が６０であり温
度センサーは５にΩであっ九。
また温度センサーのＴＣＲは迩温と１２５℃で測定し九
結果約４０００ ＰＰＭであった。このＴＣＲは純金−
で知られている５ ４６０ ＰＰＭに比較して７３％程
度である。薄膜の場合では通常純金属のＴＣＲ値をｖ４
現することは幽−でるるか、成膜条件部を最適化するこ
とにより更に大きなＴＣＲが実現されると思；れる。
結果約４０００ ＰＰＭであった。このＴＣＲは純金−
で知られている５ ４６０ ＰＰＭに比較して７３％程
度である。薄膜の場合では通常純金属のＴＣＲ値をｖ４
現することは幽−でるるか、成膜条件部を最適化するこ
とにより更に大きなＴＣＲが実現されると思；れる。
お、第１電極層及び温度センサー１ＣＣｏ−ＰＦｅを使
用する場合や、１１１２電極層にＡｕＸＣｕ略を使用す
る場合においても本実施例と１川様の手順で容易に制令
することができる。、ＣＯ及びに′ｅを温度センサーと
して試作し九結果では、それぞれＴＣ）Ｌは約４５００
ＰＰＭ及び約４６００ ＰＰＭであり九。
用する場合や、１１１２電極層にＡｕＸＣｕ略を使用す
る場合においても本実施例と１川様の手順で容易に制令
することができる。、ＣＯ及びに′ｅを温度センサーと
して試作し九結果では、それぞれＴＣ）Ｌは約４５００
ＰＰＭ及び約４６００ ＰＰＭであり九。
以上のように本発明によれば容易に温度センサー付感熱
記録ヘッドが得られ、且つ温度センサーを比較的高抵抗
で４０００ ＰＰＭ以上のＴｅｌ特性とすることができ
る。この特性値は感熱記録ヘッドの温度モニター用とし
ては充分なものであり、本実施例の感熱記録ヘッドを用
いて走行印字評価を行なった結果、４５字／秒の高速で
、鮮明な発色濃度の経時変化のない明朝体の漢字印字を
実現することができた。
記録ヘッドが得られ、且つ温度センサーを比較的高抵抗
で４０００ ＰＰＭ以上のＴｅｌ特性とすることができ
る。この特性値は感熱記録ヘッドの温度モニター用とし
ては充分なものであり、本実施例の感熱記録ヘッドを用
いて走行印字評価を行なった結果、４５字／秒の高速で
、鮮明な発色濃度の経時変化のない明朝体の漢字印字を
実現することができた。
以上実施例においてはシリアルプリンター用感熱記録ヘ
ッドについてのみ述べたが、ラインプリンター用や７７
クシＪ ＩＪ用の感熱記録ヘッドにおいても同様に適用
することができる。
ッドについてのみ述べたが、ラインプリンター用や７７
クシＪ ＩＪ用の感熱記録ヘッドにおいても同様に適用
することができる。
１・・・・・・・・・発熱抵抗体ドツト２・・・・・・
・・・共 通 １１ 極５・・・・・・・・・
個別電極 ４・・・・・・・・・温度センサ 第１図
・・・共 通 １１ 極５・・・・・・・・・
個別電極 ４・・・・・・・・・温度センサ 第１図
Claims (1)
- ―電極をＴｉ、 Ｆｅ、 Ｃｏのいずれかからなる第１
層とＡ＆Ａｕ、 Ｃｕのいずれかからなる９２層とから
形成し、且つ温度センサーを＄１亀極層と同一物質で彫
成し九ことを特徴とする感熱記録ヘッド。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57029213A JPS58147381A (ja) | 1982-02-25 | 1982-02-25 | 感熱記録ヘツド |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57029213A JPS58147381A (ja) | 1982-02-25 | 1982-02-25 | 感熱記録ヘツド |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS58147381A true JPS58147381A (ja) | 1983-09-02 |
Family
ID=12269910
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP57029213A Pending JPS58147381A (ja) | 1982-02-25 | 1982-02-25 | 感熱記録ヘツド |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS58147381A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63312167A (ja) * | 1987-06-15 | 1988-12-20 | Rohm Co Ltd | 厚膜型サ−マルヘッド |
| JP2020151982A (ja) * | 2019-03-20 | 2020-09-24 | ローム株式会社 | サーマルプリントヘッド |
-
1982
- 1982-02-25 JP JP57029213A patent/JPS58147381A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63312167A (ja) * | 1987-06-15 | 1988-12-20 | Rohm Co Ltd | 厚膜型サ−マルヘッド |
| JP2020151982A (ja) * | 2019-03-20 | 2020-09-24 | ローム株式会社 | サーマルプリントヘッド |
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