DE3626420A1 - Thermokopf fuer einen drucker - Google Patents

Thermokopf fuer einen drucker

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DE3626420A1 DE19863626420 DE3626420A DE3626420A1 DE 3626420 A1 DE3626420 A1 DE 3626420A1 DE 19863626420 DE19863626420 DE 19863626420 DE 3626420 A DE3626420 A DE 3626420A DE 3626420 A1 DE3626420 A1 DE 3626420A1
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Description

Die Erfindung bezieht sich auf einen Thermokopf für einen Drucker nach dem Oberbegriff des Anspruches 1.
Nach dem Stand der Technik sind Drucker vom Anschlagtyp, Thermodrucktyp, Tintenstrahltyp und ähnlichen bekannt. Unter ihnen ist der Anschlagtyp am weitesten in der Benutzung verbreitet. Ein Drucker vom Anschlagtyp hat jedoch Einschränkungen in der Anzahl der Punkte je Flächeneinheit und in der Größe eines einzelnen Punktes und ist nicht zum Drucken feiner Zeichen geeignet. Zusätzlich führt ein Drucker vom Anschlagtyp die Drucktätigkeit mechanisch durch, und er hat den Nachteil, daß bei der Drucktätigkeit Geräusch entsteht.
Bei einem Drucker vom Thermodruckertyp kann das Heizelement sehr klein gemacht werden, da ein Thermokopf durch Fotolithografie hergestellt werden kann, und deshalb können feine Drucktätigkeiten durchgeführt werden. So ein Drucker vom Thermodruckertyp führt die Drucktätigkeiten thermisch durch und erzeugt daher kein Geräusch. Im Hinblick auf diese Vorteile steigt das Verlangen nach Druckern vom Thermodruckertyp rasch an, und es ist notwendig, weitere Verbesserungen in der Lebensdauer eines Thermokopfes und der Druckgeschwindigkeit zu erreichen.
Die Leistungsfähigkeit eines Thermokopfes hängt klar von dem Material eines Heizers und dem Material einer dünnen Schutzschicht ab. Damit ein Thermokopf mit hervorragender Leistungsfähigkeit erreicht wird, ist es notwendig, hervorragende Materialien für einen Heizer und eine dünne Schutzschicht zu entwickeln.
Fig. 1 zeigt eine vergrößerte Teilschnittansicht eines konventionellen Thermokopfes. Eine Heizschicht 12 ist auf einem Substrat 11 gebildet, und Anschlußdrähte 13 a und 13 b sind auf der Heizschicht 12 gebildet. Die Heizschicht 12 und die Anschlußdrähte 13 a und 13 b sind von einer Antioxidationsschicht 14 und einer abriebsfesten Schicht 15 bedeckt.
Im Betrieb erzeugt die Heizschicht 12 Wärme zwischen den Anschlußdrähten 13 a und 13 b, die mit elektrischer Leistung versorgt werden. Ein temperaturempfindliches Papier oder Farbband wird zwischen dem Thermokopf und einer Anschlagplatte angeordnet, so daß Zeichen auf dem temperaturempfindlichen Papier oder auf dem Umdruckpapier gedruckt werden.
Ein konventioneller Thermokopf, wie er in der Japanischen Patentveröffentlichung Nr. 8234/1984 offenbart ist, weist eine Heizschicht 12 aus TaN, Ta-SiO2 oder ähnlichem auf, eine Antioxidationsschicht 14 aus SiO2 und eine abriebsfeste Schicht 15 aus Ta2O5. Da die dünne Schutzschicht dieses Thermokopfes durch zwei Schichten gebildet wird, nämlich die Antioxidationsschicht 14 und die abriebsfeste Schicht 15, ist das Herstellungsverfahren der dünnen Schutzschicht kompliziert und braucht viel Zeit. Zusätzlich, obwohl die Kombination der SiO2-Antioxidationsschicht 14 und der Ta2O5-abriebsfesten Schicht 15 dem Thermokopf eine relativ lange Lebensdauer sichert, ist weitere Entwicklung nötig, damit ein Thermokopf mit noch längerer Lebensdauer und höherer Druckgeschwindigkeit erreicht wird, damit deutlich Energie gespart wird.
Daher ist es Aufgabe der Erfindung, einen Thermokopf mit langer Lebensdauer vorzusehen, dessen Herstellungsverfahren vereinfacht werden kann; insbesondere soll Drucken mit hoher Geschwindigkeit ermöglicht werden, und die Heizschicht und die Schutzschicht sollen eine lange Lebensdauer aufweisen.
Diese Aufgabe wird für einen Thermokopf erfindungsgemäß gelöst durch eine Schutzschicht, die mindestens eines der Oxide von Ti, Zr, Hf, V, Nb, Cr, Mo, W, B, Mn, Fe, Ni, Co, Th, Ge und Y enthält.
Ein Thermokopf nach einer anderen Ausführungsform weist eine Schutzschicht auf, die mindestens eines der Nitride von Ti, Zr, Hf, V, Nb, Al, B, und Th enthält.
Weitere Merkmale und Zweckmäßigkeiten der Erfindung ergeben sich aus der Beschreibung von Ausführungsbeispielen anhand der Figuren. Von den Figuren zeigen:
Fig. 1 eine vergrößerte Teilschnittansicht eines konventionellen Thermokopfes;
Fig. 2 eine vergrößerte Teilschnittansicht eines erfindungsgemäßen Thermokopfes;
Fig. 3 ein die Widerstandsänderung in Heizern während des abgestuften Belastungstestes von Thermoköpfen zeigendes Diagramm; und
Fig. 4 ein die Widerstandsänderung in Heizern während des Lauftestes zum Drucken zeigendes Diagramm.
Fig. 2 zeigt eine vergrößerte teilweise Schnittansicht, die einen Thermokopf nach einer erfindungsgemäßen Ausführungsform darstellt. Dieser Thermokopf ist dem in Fig. 1 gezeigten ähnlich, mit der Ausnahme, daß eine Heizschicht 12 und Anschlußdrähte 13 a und 13 b von einer einzelnen Schicht 20 aus Oxid oder Nitrid bedeckt sind, anstatt sowohl durch die Antioxidationsschicht 14 als auch die abriebsfeste Schicht 15.
Im folgenden wird ein erfindungsgemäßer Thermokopf im Vergleich mit einem konventionellen Thermokopf beschrieben.
Muster 1a für einen konventionellen Kopf:
Das Muster 1a wurde in der folgenden Weise erzeugt. Eine Ta- SiO2-Heizschicht von einer Dicke von 3000 bis 4000 Å ist auf einem ausreichend gesäuberten Aluminiumoxidsubstrat mit einer Glasbesschichtung von 40 bis 50 µm Dicke durch eine Zweipol-Radiofrequenz-Zerstäubungsmethode in einer Ar-Atmosphäre bei 4×10-3 Pa gebildet. Das Zerstäuben wurde mit einer Eingangsleistung von 2 kW 80 Minuten lang durchgeführt. Der Flächenwiderstand der so erzielten Heizschicht 12 betrug 170 Ω/. Eine Al-Schicht von 1 bis 2 µm Dicke für die Anschlußdrähte 13 a, 13 b, usw. wurde auf der Heizschicht 12 durch Zerstäuben gebildet, und ein Thermokopfmuster von 7/mm wurde durch selektives Ätzen gebildet. Dann wurde eine Antioxidationsschicht 14 aus SiO2 mit einer Dicke von 2 µm und eine abriebsfeste Schicht aus Ta2O5 mit einer Dicke von 5 µm durch Zerstäuben gebildet.
Muster 1b zum Vergleich:
Das Muster 1b wurde in der gleichen Art wie das Muster 1a gebildet, mit der Ausnahme, daß die oben erwähnte Antioxidationsschicht 14 aus SiO2 nicht vorgesehen ist.
Muster 2a als erste erfindungsgemäße Ausführungsform:
Eine Ta-SiO2-Heizschicht 12 von 3000 bis 4000 Å Dicke wurde auf einem ausreichend gesäuberten Aluminiumoxidsubstrat 11 mit einer Glasbeschichtung von 40 bis 50 µm Dicke durch Zweipol-Radiofrequenz-Zerstäubern in einer Ar-Atmosphäre von 4 × 10-3 Pa gebildet. Das Zerstäuben wurde mit einer Eingangsleistung von 2 kW für 80 Minuten durchgeführt. Der Flächenwiderstand der so erzielten Heizschicht 12 betrug 170 Ω/. Eine Al-Schicht von 1 bis 2 µm Dicke wurde auf der Heizschicht 12 durch Zerstäuben gebildet, und ein Thermokopfmuster von 7/mm wurde durch selektives Ätzen gebildet. Dann wurde eine Schutzschicht 20 aus Nb2O5 mit einer Dicke von 5 µm durch Zerstäuben mit einer Eingangsleistunge von 2 kW 10 Stunden lang in einer Ar-Atmosphäre bei 4 × 10-3 Pa gebildet.
Muster 2b als zweite Ausführungsform:
Das Muster 2b wurde in der gleichen Art wie das Muster 2a gebildet, mit der Ausnahme, daß die Schutzschicht 20 aus BN anstelle von Nb2O5 gebildet wurde.
Muster 3a als dritte Ausführungsform:
Eine Mn-SiO2 Heizschicht 12 von 3000 bis 4000 Å Dicke wurde auf einem ausreichend gesäuberten Aluminiumoxidsubstrat mit einer Glasbeschichtung von 40 bis 50 µm Dicke durch Zweipol- Radiofrequenz-Zerstäubern in einer Ar-Atmosphäre bei 4 × 10-3 Pa gebildet. Das Zerstäuben wurde mit einer Eingangsleistung von 2 kW 60 Minuten lang durchgeführt. Der Flächenwiderstand der so erzielten Heizschicht 12 betrug 220 Ω/. Al-Anschlußdrähte 13 a, 13 b, usw. von 1 bis 2 µm Dicke wurden auf der Heizschicht 12 durch Zerstäuben und Ätzen gebildet, und danach wurde eine Nb2O5-Schutzschicht 20 von 5 µm Dicke durch Zerstäuben in einer Ar-Atmosphäre bei 4 × 10-3 Pa gebildet.
Muster 3b als vierte Ausführungsform:
Das Muster 3b wurde in der gleichen Art wie das Muster 3a erzeugt, mit der Ausnahme, daß die Schutzschicht 20 dieses Musters aus BN anstelle von Nb2O5 gebildet wurde.
Abgestufter Belastungstest:
Fig. 3 zeigt ein Diagramm für die Widerstandsänderung in dem Heizer während des angestuften Belastungstestes für die oben erwähnten verschiedenen Muster. In dem abgestuften Belastungstest wurde ein beschleunigter Test durch das Wiederholen des folgenden Zyklus durchgeführt: Anlegen einer Pulsspannung von 100 Hz für 3 Minuten, Abschalten der Leistungszuführung für 1 Minute und Wiederanlegen einer um 0,05 W erhöhten elektrischen Leistung für 3 Minuten. Eingangsleistungen, die in den zugehörigen Heizern der oben erwähnten Muster eine Widerstandsänderung von 1% erzeugten, wurden als erlaubte Eingangsleistungen verglichen. In Fig. 3 bedeutet die vertikale Achse die Widerstandsänderung und die horizontale Achse die Eingangsleistung, auf die Eingangsleistung bezogen, bei der der konventionelle Kopf im Muster 1a eine Widerstandsänderung von 1% zeigt.
Wie aus Fig. 3 zu sehen ist, ist das Muster 2a der ersten Ausführungsform in der Lage, um 30% höhere Eingangsleistungen aufzunehmen als ein konventioneller Kopf nach dem Muster 1a, und es ist in der Lage, Eingangsleistungen zweimal so hoch aufzunehmen im Vergleich zu denen des Musters 1b, die keine SiO2-Antioxidationsschicht 14 aufweisen. Ähnlich kann gesehen werden, daß die Muster 2b, 3a und 3b der anderen Ausführungsformen in der Lage sind, sehr viel höhere Eingangsleistungen aufzunehmen im Vergleich zu den oben erwähnten Mustern 1a und 1b.
Fig. 4 zeigt ein Diagramm, das die Widerstandsänderung in dem Heizer während des Lauftestes der oben erwähnten Musterköpfe darstellt. In dem Lauftest wurde jeder Musterkopf in einen Drucker eingesetzt, und kontinuierliches Drucken wurde bei einer Eingangsleistung von 0,55 W pro Punkt und 30 Zeichen/sec. durchgeführt. Die Drucklängen der entsprechenden Musterköpfe wurden insoweit verglichen, als daß die entsprechenden Heizer eine Widerstandsänderung von 10% zeigten. In Fig. 4 zeigt die vertikale Achse die Widerstandsänderung des Heizers, und die horizontale Achse zeigt die normierte Laufstrecke, wobei die Laufstrecke durch den Wert der Laufstrecke normiert wurde, bei dem der konventionelle Kopf 1 a eine Widerstandsänderung von 10% zeigte.
Wie aus Fig. 4 gesehen werden kann, hat das Muster 2a der ersten Ausführungsform eine Laufstärke, die ungefähr zweimal so lang ist wie die eines konventionellen Kopfes 1 a. Es kann ebenfalls gesehen werden, daß die Muster 2b, 3a und 3b der anderen Ausführungsform sehr viel längere Laufstrecken aufweisen, als der konventionelle Kopf 1 a. Einer der Gründe für die längeren Laufstrecken der erfindungsgemäßen Thermoköpfe wird darin gesehen, daß die Eingangsleistung in dem Lauftest ausreichend klein genug war im Vergleich zu der erlaubten Eingangsleistung der erfindungsgemäßen Köpfe, aber sie erreichte im wesentlichen oder überschritt sogoar die erlaubte Eingangsleistung im Vergleich mit dem Muster 1b oder im Vergleich mit dem konventionellen Kopf 1 a. Als zweiter Grund wird angesehen, daß es wenig Abrieb bei den entsprechenden Schutzschichten 20 der erfindungsgemäßen Muster gab.
Neben den oben erwähnten Mustern wurden Musterköpfe vorbereitet, die verschiedene Materialien benutzen, und ihre Eigenschaften wurden untersucht.
Zerstäuberplatten aus verschiedenen Materialien zum Bilden einer Heizschicht 12 wurden unter Benutzung einer Vakuum- Heißpressenanlage bereitet. Ein Beispiel für das Aufbereitungsverfahren dieser Platten wird im folgenden beschrieben.
Mn-Pulver und SiO2-Pulver jeweils mit einer Korngröße (Mesh- Zahl) nicht größer als 350, wurden in einem vorherbestimmten Verhältnis naß mit Äthylalkohol für 2 Stunden in einem automatischen Pulvermörser gemischt. Dann wurde das gemischte Pulver getrocknet und danach in eine Vakuum-Heißpressenanlage bei 1500°C und einem Druck von 400 kg/cm2 gebracht. So wurde eine dichte Mn-SiO2-Zerstäubungsscheibe erzielt. Die oben beschriebene Ta-SiO2-Zerstäuberscheibe wurde auf die gleiche Art bereitet, wobei Ta-Pulver einer Korngröße von 325 anstelle des Mn-Pulvers benutzt wurde. Die Scheiben der anderen Materialien wurden auf die gleiche Art unter Benutzung einer Vakuum-Heißpressenanlage hergestellt.
Tabelle I zeigt die Eigenschaften der Thermoköpfe mit verschiedenen Kombinationen von Heizmaterialien und Schutzschichtmaterialien, die so erzeugt wurden. Die linke Außenspalte zeigt die verschiedenen Heizmaterialien, und die oberste Reihe zeigt die verschiedenen Oxide für die Schutzschichtmaterialien. Zum Beispiel sind die Eigenschaften des Thermokopfes 2 a der ersten Ausführungsform mit einer Heizschicht 12 aus Ta-SiO2 und einer Schutzschicht 20 aus Nb2O5 in dem Kasten angegeben, der durch den Schnittpunkt zwischen der Reihe für Ta-SiO2 und der Spalte für Nb2O5 festgelegt ist. Der Wert auf der oberen Zeile in jedem Kasten zeigt einen Widerstandswert(Ω/) einer Heizschicht 12 an; der Wert auf der mittleren Zeile zeigt die nomierte zulässige Eingangsleistung für den abgestuften Belastungstest an; und der Wert auf der unteren Zeile zeigt die normierte Laufstärke in dem Lauftest an. Der ursprüngliche Widerstandswert einer jeden Heizschicht ist repräsentativ auf der oberen Zeile eines jeden Kastens in der Spalte für Nb2O5 nur angegeben. Leereintragungen in den Kästen bedeuten, daß die entsprechenden Versuche nicht durchgeführt wurden.
Wie aus der Spalte Nb2O5 zum Beispiel entnommen werden kann, gibt es eine Korrelation zwischen den Ergebnissen des abgestuften Belastungstestes und den Ergebnissen des Drucklauftestes. Obwohl der Lauftest nicht für alle Muster durchgeführt werden konnte, da die Laufstrecken in den Lauftests fast 100 km erreichen, wird folglich angenommen, daß ein Thermokopf mit einer höheren erlaubten Eingangsleistung in dem abgestuften Belastungstest auch eine längere Laufstrecke aufweist.
Tabelle I
Tabelle I (Fortsetzung)
Tabelle I (Fortsetzung)
Besonders hervorragende Eigenschaften zeigen die folgenden Kombinationen von Heiz- und Schutzschicht: Ta-SiO2 und Nb2O5; Ta-SiO2 und ThO2; Ta-SiO2 und HfO2; Ta-SiO2 und Y2O5; Mn-SiO2 und Nb2O5; Mn-SiO2 und CoO; Mn-SiO2 und GeO2; Mn-SiO2 und HfO2; Mn-SiO2 und MnO2; Mn-SiO2 und NiO; Mn-SiO2 und TiO2; Mn-SiO2 und Y2O5; Ti-SiO2 und Nb2O5; Ti-SiO2 und ThO2; Ti-SiO2 und CoO; Ti-SiO2 und GeO2; Ti-SiO2 und HfO2; Ti-SiO2 und NiO; Ti-SiO2 und TiO2; Ti-SiO2 und Y2O5; Zr-SiO2 und Nb2O5; Zr-SiO2 und ThO2; Nb-SiO2 und Nb2O5; Nb-SiO2 und ThO2; Nb-SiO2 und GeO2; Nb-SiO2 und HfO2; Nb-SiO2 und NiO; Nb-SiO2 und Y2O5; Ta-Mo-SiO2 und ThO2; Ta-Mo-SiO2 und Y2O5; Nb-Mo-SiO2 und Nb2O5; Nb-Mo-SiO2 und ThO2; Nb-Mo-SiO2 und GeO2; Nb-Mo-SiO2 und Y2O5; W-Mo-SiO2 und Nb2O5; W-Mo-SiO2 und ThO2; W-Mo-SiO2 und Y2O5; Ta-Cr-SiO2 und Y2O5; Nb-Cr-SiO2 und ThO2; Ta-Cr2Ta-SiO2 und ThO2; Ta-Cr2Ta-SiO2 und Y2O5 usw. Mit diesen Kombinationen zeigen die erzielten Daten, daß die Laufstrecken mehr als zweimal so lang sind wie die eines konventionellen Kopfes.
Zusätzlich wurden die Eigenschaften eines Musters 3c mit einer dünnen Nb2O5-Schutzschicht untersucht. Das Muster 3c war dem Muster 3a ähnlich mit der Ausnahme, daß die Nb2O5- Schutzschicht des Musters 3c eine Dicke von 3 µm aufwies. Das Muster 3c zeigte die normierte Eingangsleistung von 135% in dem abgestuften Belastungstest und die normierte Laufstrecke von 170% in dem Lauftest. Somit ist es klar, daß das Muster 3c mit einer dünneren Schutzschicht 20 immer noch hervorragendere Eigenschaften aufweist als die eines konventionellen Kopfes. Auf der anderen Seite wurde die benötigte Eingangsleistung zum Drucken um ungefähr 10% als Resultat der Abnahme der thermischen Kapazität der Schutzschicht gesenkt, da das Muster 3c die dünnere Schutzschicht hatte.
Tabelle II zeigt die Eigenschaften von Thermoköpfen in der gleichen Weise wie Tabelle I, mit der Ausnahme, daß verschiedene Nitride als Schutzschichten in der oberen Reihe angeführt sind.
Tabelle II
Tabelle II (Fortsetzung)
Besonders hervorragende Eigenschaften weisen die folgenden Kombinationen einer Heiz- und Schutzschicht auf: Ta-SiO2 und BN; Ta-SiO2 und TiN; Ta-SiO2 und ThN; Ta-SiO2 und HfN; Ta-SiO2 und ZrN; Mn-SiO2 und BN; Mn-SiO2 und TiN; Mn-SiO2 und ThN; Mn-SiO2 und HfN; Mn-SiO2 und ZrN; Mn-SiO2 und AlN; Mo-SiO2 und BN; Mo-SiO2 und TiN; Mo-SiO2 und ThN; Mo-SiO2 und HfN; Mo-SiO2 und ZrN; Ti-SiO2 und BN; Ti-SiO2 und TiN; Ti-SiO2 und HfN; Ti-SiO2 und ZrN; Zr-SiO2 und HfN; Zr-SiO2 und ZrN; Hf-SiO2 und BN; Hf-SiO2 und ThN; Hf-SiO2 und HfN; V-SiO2 und TiN; V-SiO2 und ThN; V-SiO2 und HfN; V-SiO2und ZrN; Nb-SiO2 und BN; Nb-SiO2 und TiN; Nb-SiO2 und ThN; Nb-SiO2 und HfN; Nb-SiO2 und ZrN; Cr-SiO2 und TiN; Cr-SiO2 und ThN; Cr-SiO2 und HfN; W-SiO2 und ThN; Ta-Mo-SiO2 und BN; Ta-Mo-SiO2 und TiN; Ta-Mo-SiO2 und ThN; Ta-Mo-SiO2 und HfN; Ta-Mo-SiO2 und ZrN; Ta-Mo-SiO2 und AlN; Nb-Mo-SiO2 und BN; Nb-Mo-SiO2 und TiN; Nb-Mo-SiO2 und ThN; Nb-Mo-SiO2 und HfN; Nb-Mo-SiO2 und VN; Nb-Mo-SiO2 und ZrN; Nb-Mo-SiO2 und AlN; W-Mo-SiO2 und BN; W-Mo-SiO2 und TiN; W-Mo-SiO2 und ThN; W-Mo-SiO2 und HfN; W-Mo-SiO2 und VN; W-Mo-SiO2 und ZrN; W-Mo-SiO2 und AlN; Ta-Cr-SiO2 und BN; Ta-Cr-SiO2 und TiN; Ta-Cr-SiO2 und ThN; Ta-Cr-SiO2 und HfN; Ta-Cr-SiO2 und ZrN; Ta-Cr-SiO2 und AlN; W-Cr-SiO2 und BN; W-Cr-SiO2 und TiN; W-Cr-SiO2 und ThN; W-Cr-SiO2 und HfN; W-Cr-SiO2 und ZrN; Nb-Cr-SiO2 und BN; Nb-Cr-SiO2 und TiN; Nb-Cr-SiO2 und ThN; Nb-Cr-SiO2 und HfN; Nb-Cr-SiO2 und ZrN; Ta-W-SiO2 und TiN; Ta-W-SiO2 und ThN; Ta-W-SiO2 und HfN; Ta-W-SiO2 und ZrN; Nb-W-SiO2 und BN; Nb-W-SiO2 und TiN; Nb-W-SiO2 und ThN; Nb-W-SiO2 und HfN; Nb-W-SiO2 und ZrN; Ta-Cr2Ta-SiO2und BN; Ta-Cr2Ta-SiO2 und TiN; Ta-Cr2Ta-SiO2 und ThN; Ta-Cr2Ta-SiO2 und HfN; Ta-Cr2Ta-SiO2 und ZrN; Ta-Cr2Ta-SiO2 und AlN usw.
Diese Kombinationen zeigen Laufstrecken, die mehr als dreimal so groß sind wie die eines konventionellen Kopfes 1a. Es ist weiter gezeigt, daß die anderen Kombinationen in Tabelle II ebenfalls Laufstrecken aufweisen, die mehr als zweimal so groß sind wie die eines konventionellen Kopfes 1 a.
Zusätzlich wurden die Eigenschaften eines Muster 3d mit einer dünneren Schutzschicht aus Nitrid untersucht. Das Muster 3d war ähnlich dem Muster 3b, mit der Ausnahme, daß das Muster 3d eine BN-Schutzschicht von 3 µm Dicke hatte. Es wurde gefunden, daß das Muster 3d eine normierte Eingangsleistung von 160% in dem abgestuften Belastungstest und eine Laufstrecke von 230% in dem Lauftest zeigte, diese Eigenschaften sind immer noch hervorragender als solche des konventionellen Kopfes. Die notwendige Eingangsleistung zu dem Kopf zum Drucken wurde ebenfalls um ungefähr 15% verringert.

Claims (6)

1. Thermokopf für einen Drucker mit einem Substrat (11), einer Heizschicht (12) auf dem Substrat, Anschlußdrähten (13 a und 13 b) zum Versorgen der Heizschicht (12) mit elektrischer Spannung, gekennzeichnet durch eine einzelne Schutzschicht (20) zum Schützen der Heizschicht (12) und der Anschlußdrähte (13 a und 13 b), die mindestens eines der Oxide von Ti, Zr, Hf, V, Nb, Cr, Mo, W, B, Mn, Fe, Ni, Co, Th, Ge und Y aufweist.
2. Thermokopf nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Schutzschicht (20) mindestens eine der Verbindungen Nb2O5, ThO2, B2O3, CoO, Cr2O3, Fe3O4, GeO2, HfO2, MoO3, MnO2, Mn3O4, NiO, TiO2, V2O5, WO2, Y2O3 und ZrO2 aufweist.
3. Thermokopf für einen Drucker mit einem Substrat (11), einer Heizschicht (12) auf dem Substrat, Anschlußdrähten (13 a und 13 b) zum Versorgen der Heizschicht (12) mit elektrischer Spannung, gekennzeichnet durch eine einzelne Schutzschicht (20) zum Schützen der Heizschicht (12) und der Anschlußdrähte (13 a und 13 b), die mindestens eines der Nitride von Ti, Zr, Hf, V, Nb, Al, B und Th aufweist.
4. Thermokopf nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß die Schutzschicht (20) mindestens eine der Verbindungen von NbN, ThN, BN, VN, AlN, HfN, TiN und ZrN aufweist.
5. Thermokopf nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, daß die Heizschicht (12) Metall und SiO2 aufweist.
6. Thermokopf nach einem der Ansprüche 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, daß die Heizschicht (12) mindestens eines von Ti, Zr, Hf, V, Nb, Ta, La, Cr, Mo, W, Mn, Fe, Ni und Co aufweist.
DE19863626420 1985-08-12 1986-08-05 Thermokopf fuer einen drucker Granted DE3626420A1 (de)

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