JPS58132572A - サ−マルヘツド - Google Patents
サ−マルヘツドInfo
- Publication number
- JPS58132572A JPS58132572A JP57014634A JP1463482A JPS58132572A JP S58132572 A JPS58132572 A JP S58132572A JP 57014634 A JP57014634 A JP 57014634A JP 1463482 A JP1463482 A JP 1463482A JP S58132572 A JPS58132572 A JP S58132572A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- layer
- thermal head
- aluminum nitride
- sputtering
- printing
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N97/00—Electric solid-state thin-film or thick-film devices, not otherwise provided for
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Electronic Switches (AREA)
- Non-Adjustable Resistors (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、発熱抵抗体を保護する保護層の材質に窒化ア
ルミニウムを用いたサーマルヘッドに関する。
ルミニウムを用いたサーマルヘッドに関する。
本発明の目的は、保護層に窒化アルミニウムを用いるこ
とにより高印字品質のサーマルヘッドを得るところにあ
る。
とにより高印字品質のサーマルヘッドを得るところにあ
る。
本発明の他の目的は、安価なサーマルヘッドを得るとこ
ろにある。
ろにある。
従来のサーマルヘッドは第１図に示す様な構造をとって
おり、保護層には、五酸化タンタルやシリコンカーバイ
トが多く用いられている。これ等の酸化物や炭化物は一
般にスパッタリングにより膜が形成されるが、配向性が
悪いため、第２図に示す様に放射状に熱散乱がおきる。
おり、保護層には、五酸化タンタルやシリコンカーバイ
トが多く用いられている。これ等の酸化物や炭化物は一
般にスパッタリングにより膜が形成されるが、配向性が
悪いため、第２図に示す様に放射状に熱散乱がおきる。
このため感熱紙に印字させた場合１ドツトの形状は、本
来のパターン形成されたドツト形状よりぼやけた形状に
なる。ゆえに文字１図形、数字等を印字させた場合、当
然全体がぼやけてしまう。本発明に於ては、この様な熱
散乱からくるドツト形状のぼやけを防止するものであり
、耐磨耗層に窒化アルミニウムを用いることにより、高
印字品質のサーマルヘッドを得られるものである。詳し
く説明すれば、窒化アルミニウムは、スパッタリング法
を用いた場合、容易にし軸配向の構造がとれるため、第
３図に示す様に熱は一定方向に伝導しやすくなる。
来のパターン形成されたドツト形状よりぼやけた形状に
なる。ゆえに文字１図形、数字等を印字させた場合、当
然全体がぼやけてしまう。本発明に於ては、この様な熱
散乱からくるドツト形状のぼやけを防止するものであり
、耐磨耗層に窒化アルミニウムを用いることにより、高
印字品質のサーマルヘッドを得られるものである。詳し
く説明すれば、窒化アルミニウムは、スパッタリング法
を用いた場合、容易にし軸配向の構造がとれるため、第
３図に示す様に熱は一定方向に伝導しやすくなる。
このため、従来の様な熱散乱が全くおきなくなるばかり
か、無駄な熱放散もないため、効率よくしかも高印字品
質のサーマルヘッドを得られるものである。以下、本発
明について実施例で説明する実施例１ 部分グレーズアルミナ基板上に窒化タンタルをスパッタ
リングにより付着させ、更にクロム−金−クロムを蒸着
により付着させた。次にホトエツチング法により発熱抵
抗体、リード電極の所要なるパターンを形成せしめ、そ
の上部に二酸化ケイ素１．５μｍ ＝窒化アルミニウ
ム５μ幌１ をスパッタリングにより付着させ完成させ
た。この時の窒化アルミニウムは、アルミニウムメタル
をターゲットとして、窒素ガスとスパッタリング槽内で
反応させて作製した。このサーマルヘッドを印字試験機
に搭載して、状況を確認したところドツトの形状がはっ
きりと確認でき非常に良好な品質であった。また、製造
工程に於ても、従来、酸化物のスパッタ速度は、１ｏｏ
１／＝位が限度であったため５μ愼 の厚みを付着させ
るためには、８時間近く、時間を費やしたものが本方式
によれば３００５− ／ ｍのスパッタ速度が可能なた
め、わずか３時間程度でよく、コスト面でも低コストの
ヘッドが可能となった。
か、無駄な熱放散もないため、効率よくしかも高印字品
質のサーマルヘッドを得られるものである。以下、本発
明について実施例で説明する実施例１ 部分グレーズアルミナ基板上に窒化タンタルをスパッタ
リングにより付着させ、更にクロム−金−クロムを蒸着
により付着させた。次にホトエツチング法により発熱抵
抗体、リード電極の所要なるパターンを形成せしめ、そ
の上部に二酸化ケイ素１．５μｍ ＝窒化アルミニウ
ム５μ幌１ をスパッタリングにより付着させ完成させ
た。この時の窒化アルミニウムは、アルミニウムメタル
をターゲットとして、窒素ガスとスパッタリング槽内で
反応させて作製した。このサーマルヘッドを印字試験機
に搭載して、状況を確認したところドツトの形状がはっ
きりと確認でき非常に良好な品質であった。また、製造
工程に於ても、従来、酸化物のスパッタ速度は、１ｏｏ
１／＝位が限度であったため５μ愼 の厚みを付着させ
るためには、８時間近く、時間を費やしたものが本方式
によれば３００５− ／ ｍのスパッタ速度が可能なた
め、わずか３時間程度でよく、コスト面でも低コストの
ヘッドが可能となった。
実施例２
実施例１と同様の方法によりヘッドを作製した。
この時の抵抗体材料はＴα−Ｆ３ｉで、電極材には、ク
ロム−銅−クロムを用いた。このヘッドに於ても印字品
質は実施例１と同様の結果が得られた。第４図に従来の
サーマルヘッドの印字状況との比較を示す。第４図の（
α）は本方式の１ドツト印字状況であり、第４図のＣｂ
）の従来の１ドツト印字状況に比べ形状が良好である。
ロム−銅−クロムを用いた。このヘッドに於ても印字品
質は実施例１と同様の結果が得られた。第４図に従来の
サーマルヘッドの印字状況との比較を示す。第４図の（
α）は本方式の１ドツト印字状況であり、第４図のＣｂ
）の従来の１ドツト印字状況に比べ形状が良好である。
第４図の（Ｃ）は、連続印字時の１ドツト状況であり、
第４図のＣｄ）の従来の連続印字時に比べ尾引き状況も
よい。
第４図のＣｄ）の従来の連続印字時に比べ尾引き状況も
よい。
以上、実施例に示す様に、本発明は、保護膜に窒化アル
ミニウムを用いることにより従来の欠点である印字品質
の改良、低コスト化を可能とするものである。実施例で
は、発熱抵抗層、電極層。
ミニウムを用いることにより従来の欠点である印字品質
の改良、低コスト化を可能とするものである。実施例で
は、発熱抵抗層、電極層。
保護層の材質が記載されているが、この材質及び構成に
限定されず、窒化アルミニウムを保護層として使うもの
であれば全て有効である。
限定されず、窒化アルミニウムを保護層として使うもの
であれば全て有効である。
第１図は従来のサーマルヘッドの断面構造図である。
第２図は、従来のサーマルヘッドの熱伝導方向をあられ
す図である。 第３図は、本発明のサーマルヘッドの熱伝導方向をあら
れす図である。 第４図は実施例２で作製したサーマルヘッドの印字状態
図であり、第４図−（ａ）は本発明の１゛ ドツトの印
字状態、第４図−Ｃｈ）は従来の１ドツト印字状態、第
４図−（Ｃ）は本発明の連続印字での１ドツトの尾引き
状態、第４図−（ｄ）は従来の連続印字の尾引き状態。 １・・・・・・五酸化タンタル ２・・・・・・二酸化ケイ素 ３・・・・・・リード電極 ４・・・・・・発熱抵抗体 ５・・・・・・グレーズ ６・・・・・・熱伝導方向 ７・・・・・・窒化アルミニウム ８・・・・・・発熱抵抗体形状 ９・・・・・・印字ドツト形状 １０・・・尾引き形状 以上 出願人 株式会社諏訪精工舎 茶３ （良） ｔｃ） 鳴 （し） ｉｔｉ
す図である。 第３図は、本発明のサーマルヘッドの熱伝導方向をあら
れす図である。 第４図は実施例２で作製したサーマルヘッドの印字状態
図であり、第４図−（ａ）は本発明の１゛ ドツトの印
字状態、第４図−Ｃｈ）は従来の１ドツト印字状態、第
４図−（Ｃ）は本発明の連続印字での１ドツトの尾引き
状態、第４図−（ｄ）は従来の連続印字の尾引き状態。 １・・・・・・五酸化タンタル ２・・・・・・二酸化ケイ素 ３・・・・・・リード電極 ４・・・・・・発熱抵抗体 ５・・・・・・グレーズ ６・・・・・・熱伝導方向 ７・・・・・・窒化アルミニウム ８・・・・・・発熱抵抗体形状 ９・・・・・・印字ドツト形状 １０・・・尾引き形状 以上 出願人 株式会社諏訪精工舎 茶３ （良） ｔｃ） 鳴 （し） ｉｔｉ
Claims (1)
- グレーズ上に発熱抵抗層、電極層、保護層の形成された
構造よりなるサーマルヘッドに於て、該保護層に９化ア
ルミニウムを用いたことを特徴とするサーマルヘッド。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57014634A JPS58132572A (ja) | 1982-02-01 | 1982-02-01 | サ−マルヘツド |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57014634A JPS58132572A (ja) | 1982-02-01 | 1982-02-01 | サ−マルヘツド |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS58132572A true JPS58132572A (ja) | 1983-08-06 |
Family
ID=11866624
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP57014634A Pending JPS58132572A (ja) | 1982-02-01 | 1982-02-01 | サ−マルヘツド |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS58132572A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63116342U (ja) * | 1987-01-22 | 1988-07-27 | ||
| US4827289A (en) * | 1985-08-12 | 1989-05-02 | Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha | Thermal head |
-
1982
- 1982-02-01 JP JP57014634A patent/JPS58132572A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4827289A (en) * | 1985-08-12 | 1989-05-02 | Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha | Thermal head |
| JPS63116342U (ja) * | 1987-01-22 | 1988-07-27 |
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