JPS6237365A - ア−ク点孤装置を有するア−クコ−テイング装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明はアーク点弧装置を有する真空アークコーティン
グ装置およびアークコーティング方法に関する〇 従来技術 アークプラズマ発生器は種々あ′す、その応用分野には
例えばアークにより加熱される陰極ターゲットからの材
料の蒸発によるコーティングの発生システムが含まれて
いる。そのようなコーティングシステムは米国特許第３
６２５８４８号、同第３８３６４５１号、同第３７８３
２３１号および同第３７９３１７９号明細書に示されて
いる。

そのよう、なシステムにおける一つの問題は陰極上のア
ークの安定化、すなわち陰極スポットの安定化である。

例えば上記米国特許第３７９３１７９号では陰極９のま
わりに空隙２２をもって延びるシールド２１を示してお
り、このシールＰと陰極の間の上記空隙は陰極のその非
蒸発面への遷移を防止するものである。

米国特許第４４３０１８４号明細書では陰極スポットを
陰極のターゲット面に対して限定する特徴をもつ材料で
形成した閉じ込めリング２牛をターゲット１６に接触さ
せている。この材料はアークの平均エネルギー（一般に
２０〜１００ＥＶ）において１より小さい２次放出比お
よび蒸発した陰極材料の表面エネルギーより小さい表面
エネルギーを有するものである。窒化硼素がその一例で
ある〇 米国特許第４４４８６５９号明細書では透磁性材料から
なるアーク閉じ込めリング１４をターゲット１ｏに直接
接触させて設けているＯ閉じ込めリングを備えた上記の
陰極はアークのスタート用ではない。それ故数種の別途
のスタートシステムが用いられる。その内の一つは上記
米国特許第３６２５８４８号明細書に示される高電圧ス
パーク源である。このス・ξ−り源２０は陰極１５とそ
れに接近した別の電極２２０間に加えられる。この高電
圧スタータはアークが開始してしまうとオフになる。そ
してアークの維持は低電圧（例えば３０Ｖ）大電流（例
えば２０ＯＡ）の直流電源により行われる。

他の一般に用いられるスタート方法は陰極ス２ットの安
定化について述べた上記米国特許第３７９３１７９号明
細書に示されている。ここでは可動トリガー電極２９が
使用されている。

電磁石のアーマチュア３０ともとつばね３４がこのトリ
ガー電極をアーク電圧印加時にアークをスタートさせる
ために一時的に陰極９に接触させるようになっている０ 更に他の方法は適当な電流を真空チャンバ内の特殊なワ
イヤに印加してそれを蒸発させるものである。蒸気は初
期アーク路をつくり、これが通常のアーク電圧で保持さ
れる。

発明が解決しようとする問題点 上記した従来のアーク発生システムは大きな欠点を有す
る。他の形式のプラズマ発生器にも一般に使用されてい
るスタート方法は一般に少なくとも１００ＯＶであり、
一般に１０．０００■である高圧を使用しそしてコーテ
ィング中の装置の制御に用いられるコンピュータを含む
電子装置中に無線周波数の干渉を生じさせる。トリガ電
極は一般にソレノイｒあるいは空気圧駆動装置を含む複
雑な機構により作動される。もしトリガー電極に真空コ
ーティングチャンバの壁を通しての機械的な導入のため
のシーリングが必要であれば結合および漏洩の問題があ
り、これにはその部分のアークおよび穴あけの問題が付
随する。蒸発可能なワイヤは夫々のセットアツプ調整に
おいて１回だけしか使用出来ない。

すなわち従来の方法のいずれも充分信頼し５るものでは
な（、安定したアークをつくる前にいくつかの手段を構
じなければならず、あるいはよくあることであるが点弧
しないために操作をとりやめねばならない。

スタートが困難であることの一つの理由は真空装置にお
いてはまずはじめにアーク路となるところにイオン化し
うる材料がほとんどないということである。この問題は
ＩＥＥＥ、６０．９７７（１９７２年８月）の「ノぐル
ス化金属−プラスマ発生器」でギルモア他により指摘さ
れている。ギルモア等は上述の高電圧、５ルスおよび機
械的接触の方法並びにレーザ・ξルス方法およびチタニ
ウムハイＰライド系イグナイタを含むいくつかの方法に
ついて述べている。

ギルモアは更にイグナイタ電極と陰極の間に配置された
絶縁物表面上に導電フィルムを使用することにも触れて
いる。コンデンサの放電による２〜３０ｏ■の電流・ξ
ルスの印加によりこのフィルムを蒸発させてアークの発
生をもたらす点弧の素を出させ、このアークが別のアー
ク電源により維持される。すなわちアーク電源とは別の
第２の電力源が必要であり、このために各号放電システ
ムが開示されている。

問題点を解決するための手段 本発明の目的は真空プラズマ発生装置用の新弧 規な信頼性の高い陽極点火装置を提供することである。

弧 本発明の他の目的は別途点火用電源を必要とせずに高い
信頼性をもって且つ繰返し可能にアークを発生すること
の出来る新規な真空アーク陽極点弧装置を提供すること
である。

これら目的は本発明によれば陰極のターゲット面の縁か
ら距離りを置いたところに並置されステム内において達
成出来る。

作用 架橋面を有する絶縁部材を例えば窒化硼素のような材料
で形成し、これをその架橋面がイグナイタ部材とターゲ
ット面の縁とを接続するように配置する。このイグナイ
タ部材と絶縁部材は円形のターゲット面を囲むようなリ
ング状としてもよい。イグナイタ部材の内縁は架橋面に
接触する多数の歯状部分で形成すると好適である。この
加橋面には導電性フィルムが付着されており、そしてイ
グナイタ部材とプラズマ系の陽極との間電気的接続を行
ってイグナイタ部材が補助的な陽極として作用するよう
にしている。

長さしは上記導電フィルムを陽極−陰極間への直流アー
ク電圧の印加により蒸発させて別のスタータ電源を必要
とせずにアークを発生するに充分な大きさをもち、また
距離りもそのために充分小さいものとされる。

実施例 本発明の点弧装置は真空陰極アーク放電蒸着（アーク蒸
着）により例えばチタニウムニトライドのようなものの
コーティングを行うために用いられる装置に特に適して
いる・そのような装置は前記米国特許第３．６２５８４
８号、同第３７９３１７９号および同第４４３０１８４
号明細書に示されている。本発明で利用される第１図に
示す一つの代表的な実施例では、真空チャン・々１０が
ターゲット材料からなる陰極１４を有するビーム銃１２
を備えている。絶縁マウント１７によりチャ／ノ々１０
に接続されるリング状陽極１６が陰極１４へのアーク放
電用の基本陽極として作用する、。この陰極は、冷却水
チャンノ２１８と絶縁体２２によりチャンツマ１０に接
続するダクト２０を含むシステムを備えたこのチャンノ
ζに装着される。リング状の絶縁部材２４が陰極のター
ゲット面２６を囲んでいる。

好適な実施例ではこの絶縁部材２４（ま限定用リングと
して作用するものであって、例えば米国特許第４４３０
１８４号明細書に示されるように窒化硼素で形成される
。この部材２４はアークの陰極スポットをターゲット面
２６に限定すると共に更に後述するような重要な利点を
与えるものである。リング状陽極１６は銅のチューブ等
で形成することが出来る。

コーティングされるべき基体２８は、チャン、２の壁６
９を貫通する高電圧絶縁ブラケット３４の上の導電性マ
ウント３２を用いて、一般に陰極１４から約２５０のと
ころでビーム流１２のビーム路３０内に配置される。従
来の真空ポンプ（図示せず）に接続する導管３６により
チャンバの排気を行う。チャンノ々に例えば窒素あるい
はアルゴンのような適当なガスを・ξイブ４０を用いて
流入させながら内圧が約ｌ　ｍｘ　Ｔｏｒｒの絶対圧と
なるように維持される。・ξイブ４０内の弁４２は所望
圧の達成時に閉じることが出来。

る０ アーク蒸着システムでは一般の「垂下」特性、すなわち
アーク動作電圧の約２〜３倍の開放回路電圧をもつ直流
電源４４が用いられ′る。一般にこの開放電圧は約２０
〜５０■の動作電圧となる約１００Ｖより小さくまた電
流は約３Ｏ−２０ＯＡである。電源４４は電力スイッチ
４５を通じて陽極１６と陰極１４の間に接続されろ。

結果として生じるアーク放電により、材料のビーム３０
がターゲット面２６に直角の方向に最大密度をもって放
出される。このビームは主イオンと中性原子および電子
からなる。コーティングされるべき基体に接続される負
電源４６（１０−２０００Ｖ）により、特に材料源に直
接面していない表面への粒子の付着が促進される。

例としてチタニウムニトライドのコーティングについて
は使用される陰極材料は直径約１０１のチタン円板であ
る。チャンノ々は蒸着中チタニウムニトライトコーティ
ングをつく・るようにチタンと反応する窒素ガスの圧力
が約１　ｍｒｎ　Ｔｏｒｒの絶対圧となるように維持さ
れる。このシステムは１５分間で例えば約１μから約３
０μの厚さのコーティングを基体表面２８につくる。し
かしながらコーティングの厚さは約０．１μから約１．
０　ｍｍが一般的である。

本発明によれば、第２図に詳細を示す点弧装置４８は絶
縁部材２４と組合せて金属イグナイタ部材５０を有する
。このイグナイタ部材はステンレス鋼、銅またはモリブ
デンのような板金で形成される。第２図に示すようにイ
グナイタ部材５０はリング状であってもよく、これはＣ
形ばねクリップ５２で絶縁部材２４の外面に保持される
。例えば絶縁部材の反対側に第２のリングを用いてイグ
ナイタ部材を固定してもよいが、この場合にはリングと
絶縁部材を貫通する孔に保持された一連の正確に間隔を
とったゼルトを用いて固定すべきである。イグナイタ部
材５０の内縁５４（第１図）とターゲット面２６の外縁
５６０間に距離すなわち幅りをもつ小さい空隙が与えら
れて絶縁部材２４の架橋面５８を露出させている。この
イグナイタ部材はその内縁５４に清って測った周辺長さ
しを有する。

本発明の一つの実施例における重要な特徴の一つはこの
長さしが充分長く且つ幅りが充分小さいことであり、こ
の点については後述する。イグナイタ５０の厚さは０．
８　ｒｎｘであるとよい。

イグナイタ部材５０の内縁５４は架橋面５８と接触すべ
きである。第２図の実施例ではこの接触を、内縁５４に
形成された多数の歯により行っており、この歯はその山
部の先端６２が架橋５δと接続するように架橋面５８（
第１図）の方向に曲げられている０この場合１幅りは先
端６２と縁５４間となり、距離しは先端６２により形成
される円の周である。

陽極イグナイタ部材５０と主陽極１６の間に電気接続６
４が与えられている。これはイグナイタ回路スイッチ６
６と約１５Ωまでの抵抗６８からなる。スイッチ６６は
チャンバ々の壁６９内の絶縁体６７を通って接続部６４
を導出することによりチャンバの外側に配置することが
出来ろ。この電気接続６４にはそれ以外の素子はなく極
めて簡単な構造を有する。従って例えばスタータ電源、
容量放電装置等の他の電力源は不要である。ここにおけ
る電気接続はスイッチ及び／または抵抗素子を含むこと
ができるが他のアークスタート用の電源等を一切含んで
いな℃ゝＯ アークの発生のために架橋面５８には約０．０５μと約
５０μの間、好適には約Ｏ１１μと約１０μの間の厚さ
の薄い導電フィルム７ｏが蒸着されている。第１図のよ
うなコーティング装置の場合には、このフィルムは架橋
面５８を含むチャンノ々１０内のすべての表面にコーテ
ィング中に付着する。このように従来のコーティング方
法は、例えば窒化硼素であるこのフィルム７０を形成す
る上に極めて便利である。アーク電圧がスイッチ６６を
閉じることによりまず印加されると、その電圧はフィル
ム７に加わる。

本発明によれば幅りは例えば約１朋から約ＩＱ　ｍｍ、
好適には約３藺から約５　ｍｍのように比較的狭くなっ
ている。また長さしは例えば約５儂。

好適には約１０口より大きくなっているべきである。ス
イッチ６６を予め閉じである状態で陽極１６と陰極１４
の間に、スイッチ４５を閉じることによりアーク電圧が
印加されるときフィルム７０の少くとも一部が電流・ぐ
ルスにより蒸発するように長さしを充分大きく且つ幅り
を充分小さくしている。蒸発したフィルム材料はアーク
電圧のもとでイオン化してアーク路を形成し、かく＜シ
・てアークを開始させる。リングまたは他の形状のイグ
ナイタ部材５０を陰極１４に近接して配置しであるから
１部材５ｏも初期アーク放電をつくりそして維持するた
めの距離の陽極として見かけ工作用する・アークがつく
られると、主陽極１６はアーク放電の少くとも一部を引
き受ける。初期電流・ぐルスは抵抗６８により制限され
る〇 アークが開始すると、基体２８は通常通りにコーティン
グされる。これと同時に架橋面５８はコーテイング材フ
ィルム７ｏの補給を受ける。

スイッチ６６はアーク開始直後に開く（約１ｍｓ後、所
望によりアークセンサによって自動的に行われる）、ア
ーク放電を主陽極１６に移す。あるいはスイッチ６６を
閉じたままとしてアークが停止したら瞬時の再点弧を行
いそして補助陽極として作用するイグナイタ部材５０に
よるアーク動作を改善してもよい・ 基体が所望のようにコーティングされたとき電力スイッ
チ４５を開き基体をとりかえることが出来る。本装置が
所望のガスにより再び動作しうる状態となりスイッチ６
６が閉じられると、電力スイッチ４５が再び閉じられて
アークが新しく蒸発するフィルム材料により自動的に再
スタートし、コーティングプロセスがくり返される。こ
のサイクルは所望の数の基体について更に（り返すこと
ができあるいは陰極ターゲット１４または絶縁部材２４
を取り換えるときまでくり返すことができる。

新しい絶縁部材は周知の適当な方法により初期のフィル
ムでコーティングできる。例えば、他の絶縁部材を用い
た前のコーティングプロセス中、コーティング装置内の
任意の未使用の位置にそれを置くことができる。このよ
うに本点弧装置は持続的に使用できる。

第２図に示す本発明の実施例では少くとも１個、好適に
は３個以上のフィンガー部材γ２を用いて新しい絶縁部
材の配置時のアークのスタートを行っている。、これら
フィンガー部材は。

それらが半径方向内向きに延びて陰極の外縁５８近辺で
ターゲット面２６に接触するように例えばばね止め１７
４によりイグナイタ部材５０に付着される。これらフィ
ンガー部材は例えばリング材料からの幅Ｑ、　１３　ｍ
ｒｎの延長部で形成してもよく、あるいは他の適当な導
電材料で形成してもよい。これらフィンガー部材は長さ
約０．３〜３Ｃｍ（例えば２．５の）で直径０，５罷−
３ｍｍのワイヤであっても、あるいは同様の横断面積を
もつ条片であってもよい。これらフィンガー部材の抵抗
、数および寸法は、それらがアーク電源４４の接続時（
スイッチ４５による）に蒸発するまで加熱されるように
相関的にきまるものである。蒸発したフィンガー材料は
前述のフィル・ムと同様にアークを開始させる。

これらフィンガー部材は、アーク装置が架橋面５８にフ
ィルム７０を有しない絶縁部材２４を用いてスタートす
るときのみ必要である。第１回目の蒸着でフィルムが蒸
着されそして以降のアーク開始は上述のようにフィンガ
ーなしで行うことができる。

上述のように絶縁部材は米国特許第４４３０１８４号明
細書に示される材料で形成するとよい０その一つの理由
は、そのような材料、特に窒化硼素がフィルム７０でア
ークをうろうろさせることなくアーク開始を容易にする
ものであるからである。明らかに窒化硼素の表面自由エ
ネルギーは低く且つその２次放出係数も小さいために、
金属フィルムによる「濡れ」がなくあるいはアーク作用
による減少もない。このように、１回毎にフィルムは容
易に架橋面５８から分離して分散されて再コーテイング
に適したきれいな表面を与えることになる。かくして、
フィルムの厚さは制御され、そしてフィルムの再蒸着と
アークの再スタートのくり返しサイクルヲ架橋表面への
過度の堆積あるいはアークへの妨害なしに可能とするも
のである。

他方、酸化アルミニウムのような従来の絶縁材料を用い
る場合には、蒸発のための電流の作用、が架橋面上の永
久的な導電路に沿った大電流のくり返しにより絶縁体を
究極的に破壊してしまう〇 かくして、絶縁部材は陰極スポットをターゲット面に限
定する米国特許第４４３０１８４号明細書に示される材
料特性をもつべきであることがわかった。特に、この材
料はそれに入射するアークの電子または他の荷電粒子の
平均エネルギー（一般に２Ｏ−１００ｅＶ）において１
より小さい２次放出比を有すべきである。この放出比は
（材料により放出される電子の数）／（材料に入射する
主荷電粒子）で定義される。更にこの材料はターゲット
材料が絶縁材料を「濡」らすことのないように蒸発する
ターゲット材料の表面エネルギーより小さい表面エネル
ギーを有するべきである。上記米国特許によればターゲ
ット材料として使用出来るほとんどの金属につき、窒化
硼素（ＢＮ）がこれら特性を有し、それ故この材料が絶
縁部材に特に望ましい。

窒化硼素のような材料はスタート後のアークの閉じ込め
において大きな役割をはだすことに加えてアークスター
ト系の重要な構成部分でもある。そのような絶縁材料の
場合には長さしは例えば５　ｍｍのような比較的小さい
ものであることができるのであり、そのような場合には
絶縁部材を閉じ込め用リングとして用いる必要はなく、
むしろ同等寸法（Ｌ）とすることができる。

しかしながらしはフィルムの充分な蒸発を保証するため
前述のように長いものであり且つイグナイタ部材が補助
スタート陽極として高い信頼性をもって作用するように
するとよい〇発明の効果 本発明によれば真空プラズマ発生装置用の新規な信頼性
の高い陽極点弧装置が提供され、これは別の電源を必要
とせずにアークを繰返し発生することができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の点弧装置を含むアーク蒸着装置の断面
図、第２図は本発明の点弧装置の陰極を示す平面図であ
る。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、陽極と陰極を有し、陽極と陰極のターゲット面との
   間にアーク電圧の印加中にアークを保持するように動作
   する真空プラズマ発生装置において、ターゲット面の縁
   部から距離Ｄを隔てて並置される縁部を有する長さＬの
   金属イグナイタ部材と、このイグナイタ部材と上記ター
   ゲット面の縁との間を接続するように介在する架橋面を
   有する絶縁部材と、上記イグナイタ部材と陽極との間を
   接続する電気的接続装置と、上記架橋面上に付着された
   導電フィルムと、から成り、上記導電フィルムの少なく
   とも一部がアーク電圧の印加により蒸発しそれによりア
   ークが開始されるようにするために上記長さＬが充分大
   きくそして距離Ｄが充分小さいものであることを特徴と
   する、アーク開始のための点弧装置を有するアークコー
   ティング装置。 ２、長さＬは約５ｃｍより大であり距離Ｄが約１ｍｍと
   約１０ｍｍの間である特許請求の範囲第１項記載の点弧
   装置を有するアークコーティング装置。 ３、イグナイタ部材と絶縁部材はターゲット面を実質的
   に囲むようになった特許請求の範囲第１項記載の点弧装
   置を有するアークコーティング装置。 ４、ターゲット面は円形であり、イグナイタ部材と絶縁
   部材はリング状である特許請求の範囲第３項記載のアー
   クコーティング装置。 ５、架橋面に接触する多数の歯により内縁が形成されて
   いる特許請求の範囲第１項記載のアークコーティング装
   置。 ６、プラズマ発生装置はターゲット面からアークにより
   蒸発する陰極材料で基体をコーティングするようになっ
   ており、架橋面上の導電フィルムはこの蒸発された陰極
   材料の一部で形成されている特許請求の範囲第１項記載
   のアークコーティング装置。 ７、電気的接続装置は約１５Ωまでの抵抗素子を含む特
   許請求の範囲第１項記載のアークコーティング装置。 ８、電気的接続装置はアークの開始直後にそれを開放す
   るためのスイッチ装置を含む、特許請求の範囲第１項記
   載のアークコーティング装置。 ９、絶縁部材は、ターゲット面を囲むような形状を有し
   、そして陰極をターゲット面に限定するために、（イ）
   アークの荷電粒子の平均エネルギーにおいて１より小さ
   い２次放出比を、そして（ロ）蒸発したターゲット材料
   の表面エネルギーより小さい表面エネルギーを有する絶
   縁材料から形成される、特許請求の範囲第１項記載のア
   ークコーティング装置。 １０、絶縁材料は窒化硼素である特許請求の範囲第９項
   記載のアークコーティング装置。 １１、陽極と、ターゲット面を有する陰極と、ターゲッ
   ト面の縁から距離Ｄのところに並置する縁を有する長さ
   Ｌの金属イグナイタ部材と、ターゲット面の縁とイグナ
   イタ部材の間を接続する架橋面を有する絶縁部材と、イ
   グナイタ部材と陽極との間に配置される電気的接続装置
   と、アークがターゲット面から陰極材料を蒸発させ、そ
   れにより導電フィルムが架橋面上に蒸着されるように陽
   極とターゲット面との間にアークを維持するためのアー
   ク電圧印加装置と、から成り、アーク電圧の停止後のア
   ーク電圧の再印加により導電フィルムが蒸発してアーク
   電圧再印加によりアークが再開されるようにするために
   上記長さＬが充分大であり且つ距離Ｄが充分小であるこ
   とを特徴とする真空アークコーティング装置。 １２、架橋面上に導電フィルムがないときにアークを開
   始させるための別のスタータを更に有する特許請求の範
   囲第１１項記載のアークコーティング装置。 １３、スタータはイグナイタ部材に接続してターゲット
   面まで延びてそれと電気的に接続する少なくとも１個の
   導電性の交換可能なフィンガー部材からなり、このフィ
   ンガー部材は架橋面上に導電フィルムがないときアーク
   を開始させるアーク電圧印加により蒸発可能である、特
   許請求の範囲第１２項記載のアークコーティング装置。 １４、絶縁部材はターゲット面と接触してそれを囲む形
   状を有すると共に陰極をターゲット面に限定するために
   、（イ）アークの荷電粒子の平均エネルギーにおいて１
   より小さい２次放出比をそして（ロ）蒸発したターゲッ
   ト材料の表面エネルギーより小さい表面エネルギーを有
   する絶縁材料から形成される、特許請求の範囲第１１項
   記載のアークコーティング装置。 １５、絶縁材料は窒化硼素である特許請求の範囲第１４
   項記載のアークコーティング装置。 １６、イグナイタ部材はターゲット面を囲む形状を有す
   ると共に陰極スポットをターゲット面に限定するための
   透磁性材料からなる、特許請求の範囲第１１項記載のア
   ークコーティング装置。 １７、イグナイタ部材は自体内での誘導電流を防止する
   ための横方向空隙を有する、特許請求の範囲第１６項記
   載のアークコーティング装置。 １８、アーク電圧は約１００Ｖより低い開放回路値を有
   する、特許請求の範囲第１１項記載のアークコーティン
   グ装置。 １９、陽極と、円形ターゲット面を有する陰極と、ター
   ゲット面の縁から距離Ｄだけ離れた多数の歯で形成され
   る内縁を有するターゲット面にほゞ外接する周辺Ｌをも
   つリング状の金属イグナイタ部材と、陰極をターゲット
   面に限定するために（イ）アークの荷電粒子の平均エネ
   ルギーにおいて１より小さい２次放出比および（ロ）蒸
   発したターゲット材料の表面エネルギーより小さい表面
   エネルギーを有する材料からなり、上記歯と接触して上
   記イグナイタ部材とターゲット面の縁とを接続する架橋
   面を有する絶縁部材と、上記イグナイタ部材と陽極との
   間に配置される電気的な接続装置と、アークがターゲッ
   ト面から陰極材料を蒸発させそれにより導電フィルムが
   架橋面上に蒸着するように陽極とターゲット面との間に
   アークを維持するためのアーク電圧を与える装置と、イ
   グナイタ部材に接続すると共にターゲット面へと延びて
   それと接触し、架橋面上に導電フィルムのないときアー
   クを開始させる、アーク電圧印加により蒸発可能な少く
   とも１個の導電性の交換可能なフィンガー部材と、から
   なり、アーク電圧停止後の再印加により導電性フィルム
   を蒸発させて再印加によりアークを再開するために上記
   長さＬが充分大であり距離Ｄが充分小であることを特徴
   とする真空アークコーティング装置。 ２０、下記の段階からなる真空アークコーティング方法
   。 （イ）ターゲットの縁から距離Ｄのところで並置する縁
   をもつ長さＬの金属イグナイタ部 材と、このイグナイタ部材とターゲット面 の縁との間を接続するように介在する架橋 面を有する絶縁部材と、上記イグナイタ部 材とアノードとの間に配置される電気的接 続装置とを段階（ハ）に従って架橋面に蒸 着される導電性フィルムの少なくとも一部 をアーク電圧の印加により蒸発させてアー クを開始させるべく長さＬを充分大きく、 距離Ｄを充分小さくして設ける段階、 （ロ）アーク電圧を印加する段階、 （ハ）アークがターゲット面から陰極材料を蒸発させて
   導電性フィルムが架橋面上に蒸着 するように陽極とターゲット面との間にア ークを開始させる段階、 （ニ）アーク電圧を再印加して導電性フィルムを蒸発さ
   せてアークを再開させる段階。 ２１、絶縁部材はターゲット面を囲むような形状を有す
   ると共に（イ）アークの荷電粒子の平均エネルギーにお
   いて１より小さい２次放出比および（ロ）ターゲット面
   に陰極を限定するために蒸発されたターゲット材料の表
   面エネルギーより小さい表面エネルギーを有する絶縁材
   料からなる特許請求の範囲第２０項記載の方法。 ２２、絶縁材料は窒化硼素である特許請求の範囲第２１
   項記載の方法。