CN110565055A - 一种离子镀膜用引弧装置及离子镀膜装置 - Google Patents
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- 238000007733 ion plating Methods 0.000 title claims abstract description 47
- 238000007789 sealing Methods 0.000 claims abstract description 82
- 239000012212 insulator Substances 0.000 claims description 11
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 claims description 4
- 230000003068 static effect Effects 0.000 abstract description 5
- 239000007888 film coating Substances 0.000 description 4
- 238000009501 film coating Methods 0.000 description 4
- 239000011810 insulating material Substances 0.000 description 4
- 239000000463 material Substances 0.000 description 4
- 239000013077 target material Substances 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000010891 electric arc Methods 0.000 description 1
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 230000002035 prolonged effect Effects 0.000 description 1
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- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
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Abstract
本发明公开了一种离子镀膜用引弧装置及离子镀膜装置，涉及离子镀膜技术领域，包括引弧钩、连接杆、波纹管、驱动装置和密封绝缘件，离子镀膜装置的真空腔室侧壁上设有一安装孔，密封绝缘件固定在安装孔内并与安装孔形成密封连接，驱动装置的输出轴穿过密封绝缘件并与连接杆的一端固定连接，驱动装置能够驱动连接杆沿轴向作往复运动，波纹管的一端与密封绝缘件的一端固定连接、另一端固定套设于连接杆外并与连接杆形成密封连接，连接杆穿过波纹管与引弧钩固定连接；离子镀膜装置包括真空腔室和上述的离子镀膜用引弧装置。本发明中，驱动装置带动引弧钩运动，作用力大，不易粘钩，设置波纹管进行静态密封，真空腔室密封性好、真空不易被破坏。
Description
技术领域
本发明涉及离子镀膜技术领域，特别是涉及一种离子镀膜用引弧装置及离子镀膜装置。
背景技术
在多弧离子镀膜领域，常用的引弧装置分为两种，一种是线圈引弧的电动引弧装置，通过线圈通电产生磁场来带动引弧钩运动，引弧成功后，线圈断电并通过弹簧使引弧钩复位，实现引弧钩往复运动，此种方案虽能保证密封性，但线圈通电产生的磁场磁力较小，与之配合的弹簧弹力也较小，不仅使得引弧钩的运动行程较短，而且极易因引弧发热发生粘钩现象，导致引弧钩无法回弹，造成短路；另一种则是靠骨架油封密封的离子镀膜用引弧装置，向气缸内通入压缩空气，由气缸轴带动引弧钩作往复运动，此种方案虽然引弧钩的行程长，离子镀膜用动力大，不容易粘钩，但是由与骨架油封密封是一种动态密封，气缸轴与骨架油封长期摩擦，使得密封部位容易漏气，破坏真空腔室内的真空。
发明内容
本发明的目的是提供一种离子镀膜用引弧装置及离子镀膜装置，以解决上述现有技术存在的问题，使引弧装置不易粘钩，真空腔室的密封性好、真空不易被破坏。
为实现上述目的，本发明提供了如下方案：
本发明提供一种离子镀膜用引弧装置，包括引弧钩、连接杆、波纹管、驱动装置和密封绝缘件，离子镀膜装置的真空腔室侧壁上设有一安装孔，所述密封绝缘件用于设置固定在所述安装孔内并与所述安装孔形成密封连接，所述驱动装置的输出轴穿过所述密封绝缘件并与所述连接杆的一端固定连接，所述驱动装置能够驱动所述连接杆沿轴向作往复运动，所述波纹管的一端与所述密封绝缘件的一端固定连接，所述波纹管的另一端固定套设于所述连接杆外并与所述连接杆形成密封连接，所述连接杆穿过所述波纹管与所述引弧钩固定连接。
优选的，所述驱动装置固定设置在所述真空腔室侧壁上。
优选的，所述驱动装置为缸体固定式双活塞杆双作用气缸，所述双活塞杆双作用气缸的两根活塞杆分别为第一活塞杆和第二活塞杆，所述第一活塞杆与所述连接杆固定连接，包括限位调节杆和限位挡块，所述限位调节杆设有两个，所述双活塞杆双作用气缸的缸体靠近所述第一活塞杆的一端用于与真空腔室侧壁固定连接，所述双活塞杆双作用气缸的缸体靠近所述第二活塞杆的一端固定设置有两个所述限位调节杆，所述限位挡块的两端分别套设在两所述限位调节杆上并由固定装置固定，所述限位挡块用于限定所述第二活塞杆的移动距离。
优选的，所述密封绝缘件和所述缸体固定式双活塞杆双作用气缸上用于与真空腔室侧壁连接的一端均设有一凸缘，各所述凸缘通过同一固定螺栓与真空腔室侧壁连接，所述密封绝缘件与真空腔室侧壁的连接部上设有密封圈。
优选的，所述第二活塞杆包括主杆和延长杆，所述延长杆与所述主杆螺纹连接，旋进或旋出所述延长杆能够调节所述第二活塞杆的长度。
优选的，所述密封绝缘件包括第一绝缘套、第二绝缘套和密封套，所述第一绝缘套固定套设在所述密封套外，所述波纹管与所述密封套的一端固定连接，所述第二绝缘套固定套设在所述波纹管与所述密封套的连接部外，且所述第二绝缘套能够包覆所述密封套未被所述第一绝缘套覆盖的部分。
优选的，包括引弧钩调节管和锁紧环，所述引弧钩固定设置在所述引弧钩调节管的一端，所述引弧钩调节管的另一端套接在所述连接杆上，所述引弧钩调节管与所述连接杆连接的一端设有外螺纹，所述引弧钩调节管与所述连接杆连接的一端沿轴向方向设有豁口，所述锁紧环设有内螺纹，所述锁紧环与所述引弧钩连接杆螺纹连接,所述引弧钩与所述引弧钩调节管通过一螺栓固定连接。
优选的，所述连接杆的一端沿轴向方向开有盲孔，所述盲孔设有内螺纹，所述第一活塞杆的自由端设有外螺纹，所述连接杆与所述第一活塞杆通过所述内螺纹和所述外螺纹固定连接,所述第一活塞杆的自由端上设有锁紧螺母，所述锁紧螺母能够防止所述连接杆与所述第一活塞杆之间发生沿轴向方向的相对运动。
优选的，包括波纹管推板，所述波纹管推板固定设置在所述连接杆上且位于所述波纹管的外侧,所述波纹管推板与所述波纹管接触。
本发明还提供了一种离子镀膜装置，包括真空腔室和上述任一技术方案中所述的离子镀膜用引弧装置，所述离子镀膜用引弧装置固定设置在所述真空腔室侧壁上。
本发明相对于现有技术取得了以下技术效果：
本发明提供一种离子镀膜用离子镀膜用引弧装置，包括引弧钩、连接杆、波纹管、驱动装置和密封绝缘件，离子镀膜装置的真空腔室侧壁上设有一安装孔，密封绝缘件用于设置固定在安装孔内并与安装孔形成密封连接，驱动装置的输出轴穿过密封绝缘件并与连接杆的一端固定连接，驱动装置能够驱动连接杆沿轴向作往复运动，波纹管的一端与密封绝缘件的一端固定连接，波纹管的另一端固定套设于连接杆外并与连接杆形成密封连接，连接杆穿过波纹管与引弧钩固定连接，由驱动装置带动连接杆运动，进而带动引弧钩运动，使得引弧钩受到的作用力大，引弧完成后引弧钩不易与靶材粘连，不易引起电路短路，设置波纹管进行静态密封，波纹管与连接杆连接的一端与连接杆之间不发生相对运动，为静态密封，使得真空腔室密封性好、真空不易被破坏。
进一步的，驱动装置固定设置在真空腔室侧壁上，使得驱动装置与真空腔室紧固连接，保证了引弧钩的行程为设定值。
进一步的，驱动装置为缸体固定式双活塞杆双作用气缸，双活塞杆双作用气缸的两根活塞杆分别为第一活塞杆和第二活塞杆，第一活塞杆与连接杆固定连接，使得可以从现有的气缸中选择适用的气缸，方便取材，而且以压缩空气作为动力来源，节省加工成本，还包括限位调节杆和限位挡块，限位调节杆设有两个，双活塞杆双作用气缸的缸体靠近第一活塞杆的一端用于与真空腔室侧壁固定连接，双活塞杆双作用气缸的缸体靠近第二活塞杆的一端固定设置有两个限位调节杆，限位挡块的两端分别套设在两限位调节杆上并由固定装置固定，限位挡块用于限定第二活塞杆的移动距离，限位调节杆和限位挡块通过限定第二活塞杆的移动距离来限定引弧钩的行程，保证引弧钩的行程为设定值，调整限位挡块的位置便可调整引弧钩的行程。
进一步的，密封绝缘件和缸体固定式双活塞杆双作用气缸上用于与真空腔室侧壁连接的一端均设有一凸缘，各凸缘通过同一固定螺栓与真空腔室侧壁连接，密封绝缘件与真空腔室侧壁的连接部上设有密封圈，密封绝缘件上设置凸缘使得绝缘密封件与真空腔室侧壁稳固连接，不易因受运动部件的影响而松动，从而导致装置无法工作，气缸上用于与真空腔室侧壁连接的一端设置凸缘，使得气缸与真空腔室紧固连接，保证了引弧钩行程与设定值相同，各凸缘通过同一固定螺栓与真空腔室侧壁连接，在保证连接强度的前提下可以节省物料，设置密封圈，可以加强真空腔室的密封。
进一步的，第二活塞杆包括主杆和延长杆，延长杆与主杆螺纹连接，旋进或旋出延长杆能够调节第二活塞杆的长度，进而可微调第二活塞杆的移动距离，进而可以微调引弧钩的行程，便于精确调节引弧钩的行程。
进一步的，密封绝缘件包括第一绝缘套、第二绝缘套和密封套，第一绝缘套固定套设在密封套外，波纹管与密封套的一端固定连接，波纹管与密封套连接，使得密封套可以选用最适用的材料，保证波纹管与密封套之间的密封连接；第一绝缘套和第二绝缘套均采用绝缘材料，第二绝缘套固定套设在波纹管与所述密封套的连接部外，并且第二绝缘套固定套设在第二绝缘套能够包覆密封套未被第一绝缘套覆盖的部分使得真空腔室与外界的接触界面均为绝缘材料，保证镀膜作业的安全性和镀膜作业的正常进行。
进一步的，包括引弧钩调节管和锁紧环，引弧钩固定设置在引弧钩调节管的一端，引弧钩调节管的另一端套接在连接杆上，引弧钩调节管与连接杆连接的一端设有外螺纹，引弧钩调节管与连接杆连接的一端沿轴向方向设有豁口，锁紧环设有内螺纹，锁紧环与引弧钩连接杆螺纹连接,使得可以调整引弧钩到靶材的距离，使得引弧装置适用于不同的工况条件，设置锁紧环可以保证引弧钩调节管和和连接杆之间紧固连接，引弧钩与引弧钩调节管通过一螺栓固定连接，方便更换引弧钩。
进一步的，连接杆的一端沿轴向方向开有盲孔，盲孔设有内螺纹，第一活塞杆的自由端设有外螺纹，连接杆与第一活塞杆通过内螺纹和外螺纹固定连接, 使得可以通过调整连接杆和第一活塞杆的长度之和对引弧钩到靶材的距离进行调整，使得引弧装置适用于不同的工况条件，第一活塞杆的自由端上设有锁紧螺母，锁紧螺母能够防止连接杆与第一活塞杆之间发生沿轴向方向的相对运动。
进一步的，包括波纹管推板，波纹管推板固定设置在连接杆上且位于波纹管的外侧,波纹管推板与波纹管接触，在引弧钩向靶材移动时，波纹管推板可以承受一部分力量，保护波纹管与连接杆的连接部，既可使其不会因受力过大断开连接，还可延长其使用寿命。
附图说明
为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
图1为本发明提供的离子镀膜用引弧装置的结构示意图；
图中：1-引弧钩；2-连接杆；3-波纹管；4-固定式双活塞杆双作用气缸气缸；5-第一活塞杆；6-第二活塞杆主杆；7-第一绝缘套；8-密封套；9-限位调节杆；10-限位挡块；11-延长杆；12-锁紧螺母；13-锁紧环；14-引弧钩调节管； 15-螺栓；16-第二绝缘套；17-波纹管推板；18-密封圈；19-靶材；20-真空腔室侧壁。
具体实施方式
下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
本发明的目的是提供一种离子镀膜用引弧装置，以解决现有技术存在的问题，使引弧装置不易粘钩，真空腔室的密封性好、真空不易被破坏。
为使本发明的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂，下面结合附图和具体实施方式对本发明作进一步详细的说明。
实施例一
本发明提供一种离子镀膜用引弧装置及离子镀膜装置，如图1所示，本实施例中的离子镀膜用引弧装置包括引弧钩1、连接杆2、波纹管3、驱动装置和密封绝缘件，离子镀膜装置的真空腔室侧壁20上设有一安装孔，密封绝缘件用于设置固定在安装孔内并与安装孔形成密封连接，驱动装置的输出轴穿过密封绝缘件并与连接杆2的一端固定连接，驱动装置能够驱动连接杆2沿轴向作往复运动，波纹管3的一端与密封绝缘件的一端固定连接，波纹管3的另一端固定套设于连接杆2外并与连接杆2形成密封连接，连接杆2穿过波纹管3 与引弧钩1固定连接，由驱动装置带动连接杆2运动，进而带动引弧钩1运动，使得引弧钩1受到的作用力大，引弧完成后引弧钩1不易与靶材19粘连，不易引起电路短路，设置波纹管3进行静态密封，波纹管3与连接杆2连接的一端与连接杆2之间不发生相对运动，为静态密封，使得真空腔室密封性好、真空不易被破坏。
进一步的，驱动装置固定设置在真空腔室侧壁20上，使得驱动装置与真空腔室紧固连接，保证了引弧钩1的行程为设定值。
进一步的，驱动装置为缸体固定式双活塞杆双作用气缸4，双活塞杆双作用气缸4的两根活塞杆分别为第一活塞杆5和第二活塞杆6，第一活塞杆5与连接杆2固定连接，使得可以从现有的气缸中选择适用的气缸，方便取材，而且以压缩空气作为动力来源，节省加工成本，还包括限位调节杆9和限位挡块 10，限位调节杆9设有两个，双活塞杆双作用气缸4的缸体靠近第一活塞杆5 的一端用于与真空腔室侧壁20固定连接，双活塞杆双作用气缸4的缸体靠近第二活塞杆的一端固定设置有两个限位调节杆9，限位挡块10的两端分别套设在两限位调节杆9上并由固定装置固定，限位挡块10用于限定第二活塞杆的移动距离，限位调节杆9和限位挡块10通过限定第二活塞杆的移动距离来限定引弧钩1的行程，保证引弧钩1的行程为设定值，调整限位挡块10的位置便可调整引弧钩1的行程。
进一步的，密封绝缘件和缸体固定式双活塞杆双作用气缸4上用于与真空腔室侧壁20连接的一端均设有一凸缘，各凸缘通过同一固定螺栓与真空腔室侧壁20连接，密封绝缘件与真空腔室侧壁20的连接部上设有密封圈18，密封绝缘件上设置凸缘使得绝缘密封件与真空腔室侧壁20稳固连接，不易因受运动部件的影响而松动，从而导致装置无法工作，气缸上用于与真空腔室侧壁 20连接的一端设置凸缘，使得缸体固定式双活塞杆双作用气缸4与真空腔室紧固连接，保证了引弧钩1行程与设定值相同，各凸缘通过同一固定螺栓与真空腔室侧壁20连接，在保证连接强度的前提下可以节省物料，设置密封圈18，可以加强真空腔室的密封。
进一步的，第二活塞杆包括第二活塞杆主杆6和延长杆11，延长杆11与第二活塞杆主杆6螺纹连接，旋进或旋出延长杆11能够调节第二活塞杆的长度，进而可微调第二活塞杆的移动距离，进而可以微调引弧钩1的行程，便于精确调节引弧钩1的行程。
进一步的，密封绝缘件包括第一绝缘套7、第二绝缘套16和密封套8，第一绝缘套7固定套设在密封套8外，波纹管3与密封套8的一端固定连接，波纹管3与密封套8连接，使得密封套8可以选用最适用的材料，保证波纹管3 与密封套8之间的密封连接；第一绝缘套7和第二绝缘套16均采用绝缘材料，第二绝缘套16固定套设在波纹管3与所述密封套8的连接部外，并且第二绝缘套16能够包覆密封套8未被第一绝缘套7覆盖的部分，使得真空腔室与外界的接触界面均为绝缘材料，保证镀膜作业的安全性和镀膜作业的正常进行。
进一步的，包括引弧钩调节管14和锁紧环13，引弧钩1固定设置在引弧钩调节管14的一端，引弧钩调节管14的另一端套接在连接杆2上，引弧钩调节管14与连接杆2连接的一端设有外螺纹，引弧钩调节管14与连接杆2连接的一端沿轴向方向设有豁口，锁紧环13设有内螺纹，锁紧环13与引弧钩连接管14螺纹连接,使得可以调整引弧钩1到靶材19的距离，使得引弧装置适用于不同的工况条件，设置锁紧环13可以保证引弧钩调节管14和和连接杆2之间紧固连接，引弧钩1与引弧钩调节管14通过一螺栓固定连接，方便更换引弧钩1。
进一步的，连接杆2的一端沿轴向方向开有盲孔，盲孔设有内螺纹，第一活塞杆5的自由端设有外螺纹，连接杆2与第一活塞杆5通过内螺纹和外螺纹固定连接,使得可以通过调整连接杆2和第一活塞杆5的长度之和对引弧钩1 到靶材19的距离进行调整，使得引弧装置适用于不同的工况条件，第一活塞杆5的自由端上设有锁紧螺母12，锁紧螺母12能够防止连接杆2与第一活塞杆5之间发生沿轴向方向的相对运动。
进一步的，包括波纹管推板17，波纹管推板17固定设置在连接杆上且位于波纹管3的外侧,波纹管推板17与波纹管3接触，在引弧钩1向靶材19移动时，波纹管推板17可以承受一部分力量，保护波纹管3与连接杆2的连接部，既可使其不会因受力过大断开连接，还可延长其使用寿命。
实施例二
本实施例提供一种离子镀膜装置，本实施例中的离子镀膜装置包括实施例一中的离子镀膜用引弧装置和真空腔室，具体的将离子镀膜用引弧装置固定设置在真空腔室侧壁20上。
本发明中应用了具体个例对本发明的原理及实施方式进行了阐述，以上实施例的说明只是用于帮助理解本发明的方法及其核心思想；同时，对于本领域的一般技术人员，依据本发明的思想，在具体实施方式及应用范围上均会有改变之处。综上所述，本说明书内容不应理解为对本发明的限制。
Claims (10)
1.一种离子镀膜用引弧装置，其特征在于：包括引弧钩、连接杆、波纹管、驱动装置和密封绝缘件，离子镀膜装置的真空腔室侧壁上设有一安装孔，所述密封绝缘件用于设置固定在所述安装孔内并与所述安装孔形成密封连接，所述驱动装置的输出轴穿过所述密封绝缘件并与所述连接杆的一端固定连接，所述驱动装置能够驱动所述连接杆沿轴向作往复运动，所述波纹管的一端与所述密封绝缘件的一端固定连接，所述波纹管的另一端固定套设于所述连接杆外并与所述连接杆形成密封连接，所述连接杆穿过所述波纹管与所述引弧钩固定连接。
2.根据权利要求1所述的离子镀膜用引弧装置，其特征在于：所述驱动装置固定设置在所述真空腔室侧壁上。
3.根据权利要求1所述的离子镀膜用引弧装置，其特征在于：所述驱动装置为缸体固定式双活塞杆双作用气缸，所述双活塞杆双作用气缸的两根活塞杆分别为第一活塞杆和第二活塞杆，所述第一活塞杆与所述连接杆固定连接，包括限位调节杆和限位挡块，所述限位调节杆设有两个，所述双活塞杆双作用气缸的缸体靠近所述第一活塞杆的一端用于与真空腔室侧壁固定连接，所述双活塞杆双作用气缸的缸体靠近所述第二活塞杆的一端固定设置有两个所述限位调节杆，所述限位挡块的两端分别套设在两所述限位调节杆上并由固定装置固定，所述限位挡块用于限定所述第二活塞杆的移动距离。
4.根据权利要求3所述的离子镀膜用引弧装置，其特征在于：所述密封绝缘件和所述缸体固定式双活塞杆双作用气缸上用于与真空腔室侧壁连接的一端均设有一凸缘，各所述凸缘通过同一固定螺栓与真空腔室侧壁连接，所述密封绝缘件与真空腔室侧壁的连接部上设有密封圈。
5.根据权利要求3所述的离子镀膜用引弧装置，其特征在于：所述第二活塞杆包括主杆和延长杆，所述延长杆与所述主杆螺纹连接，旋进或旋出所述延长杆能够调节所述第二活塞杆的长度。
6.根据权利要求1所述的离子镀膜用引弧装置，其特征在于：所述密封绝缘件包括第一绝缘套、第二绝缘套和密封套，所述第一绝缘套固定套设在所述密封套外，所述波纹管与所述密封套的一端固定连接，所述第二绝缘套固定套设在所述波纹管与所述密封套的连接部外，且所述第二绝缘套能够包覆所述密封套未被所述第一绝缘套覆盖的部分。
7.根据权利要求1所述的离子镀膜用引弧装置，其特征在于：包括引弧钩调节管和锁紧环，所述引弧钩固定设置在所述引弧钩调节管的一端，所述引弧钩调节管的另一端套接在所述连接杆上，所述引弧钩调节管与所述连接杆连接的一端设有外螺纹，所述引弧钩调节管与所述连接杆连接的一端沿轴向方向设有豁口，所述锁紧环设有内螺纹，所述锁紧环与所述引弧钩连接杆螺纹连接,所述引弧钩与所述引弧钩调节管通过一螺栓固定连接。
8.根据权利要求1所述的离子镀膜用引弧装置，其特征在于：所述连接杆的一端沿轴向方向开有盲孔，所述盲孔设有内螺纹，所述第一活塞杆的自由端设有外螺纹，所述连接杆与所述第一活塞杆通过所述内螺纹和所述外螺纹固定连接,所述第一活塞杆的自由端上设有锁紧螺母，所述锁紧螺母能够防止所述连接杆与所述第一活塞杆之间发生沿轴向方向的相对运动。
9.根据权利要求1所述的离子镀膜用引弧装置，其特征在于：包括波纹管推板，所述波纹管推板固定设置在所述连接杆上且位于所述波纹管的外侧,所述波纹管推板与所述波纹管接触。
10.一种离子镀膜装置，其特征在于：包括真空腔室和权利要求1～9任意一项所述的离子镀膜用引弧装置，所述离子镀膜用引弧装置固定设置在所述真空腔室侧壁上。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201911028871.3A CN110565055B (zh) | 2019-10-28 | 2019-10-28 | 一种离子镀膜用引弧装置及离子镀膜装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201911028871.3A CN110565055B (zh) | 2019-10-28 | 2019-10-28 | 一种离子镀膜用引弧装置及离子镀膜装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN110565055A true CN110565055A (zh) | 2019-12-13 |
| CN110565055B CN110565055B (zh) | 2024-05-03 |
Family
ID=68786131
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN201911028871.3A Active CN110565055B (zh) | 2019-10-28 | 2019-10-28 | 一种离子镀膜用引弧装置及离子镀膜装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN110565055B (zh) |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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