CN209307477U - 一种电弧引弧机构 - Google Patents
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Abstract
一种电弧引弧机构，气缸安装于气缸座上部，气缸杆贯穿气缸座中心孔，气缸座下侧位于气缸杆外部设有波纹管，波纹管下端连接引弧针杆，引弧针杆上安装引弧针。本实用新型的电弧引弧机构，采用波纹管密封形式，将气缸杆与真空环境隔离，气缸杆处于大气中，不受粉尘影响，可长时间持续工作，大大提高了生产效率；并且引弧针的位置可以在镀膜的过程中随着靶材的消耗进行相应的调整，提高了靶材的利用率，节省了生产成本。
Description
技术领域
本实用新型涉及镀膜设备领域，尤其涉及真空工具镀膜设备上的引弧装置。
背景技术
真空镀膜机引弧针机构部分通常采用O型密封圈形式密封，气缸是往复性的运动，会将粉尘带进密封空间。密封圈面内挤满大量粉尘，破坏密封面导致漏气，影响真空度，需经常更换，影响生产进度，生产效率低。
实用新型内容
为了解决现有真空镀膜机引弧机构存在的密封问题，本实用新型提供了一种电弧引弧机构。
本实用新型为实现上述目的所采用的技术方案是：一种电弧引弧机构，气缸安装于气缸座上部，气缸杆贯穿气缸座中心孔，气缸座下侧位于气缸杆外部设有波纹管，波纹管下端连接引弧针杆，引弧针杆上安装引弧针。
所述气缸座下部安装绝缘座，绝缘座下部安装法兰，气缸座和绝缘座通过连接螺栓安装于法兰上，连接螺栓外侧与气缸座之间设有小绝缘套，气缸杆贯穿气缸座、绝缘座和法兰安装。
所述气缸座与绝缘座之间设有气缸座密封胶圈，气缸座密封胶圈安装在气缸座的胶圈槽内；绝缘座与法兰之间设有绝缘座密封胶圈，绝缘座密封胶圈安装在绝缘座胶圈槽内。
所述波纹管上端焊接于气缸座下侧，波纹管下端焊接于引弧针杆上部。
所述气缸通过气缸连接螺栓固定于气缸座上；气缸杆与引弧针杆螺纹连接；引弧针通过紧固螺栓安装于引弧针杆上。
所述气缸上设有用于控制气缸动作的旋钮手柄。
本实用新型的电弧引弧机构，采用波纹管密封形式，将气缸杆与真空环境隔离，气缸杆处于大气中，不受粉尘影响，可长时间持续工作，大大提高了生产效率；并且引弧针的位置可以在镀膜的过程中随着靶材的消耗进行相应的调整，提高了靶材的利用率，节省了生产成本。
附图说明
图1是本实用新型电弧引弧机构非工作状态的主视结构图。
图2是本实用新型电弧引弧机构初始工作状态的主视结构图。
图3是本实用新型电弧引弧机构靶材消耗状态的主视结构图。
图中：1-接线螺栓，2-气缸，3-旋钮手柄，4-气缸连接螺栓，5-气缸座，6-绝缘座，7-法兰，8-波纹管，9-气缸杆，10-引弧针杆，11-引弧针，12-紧固螺栓，13-靶材，14-连接螺栓，15-绝缘座密封胶圈，16-气缸座密封胶圈，17-小绝缘套。
具体实施方式
本实用新型的电弧引弧机构如图1所示，气缸2通过气缸连接螺栓4固定于气缸座5上，气缸2上设有用于控制气缸动作的旋钮手柄3，缸座5下部安装绝缘座6，绝缘座6下部安装法兰7，气缸座5和绝缘座6通过连接螺栓14安装于法兰7上，连接螺栓14外侧与气缸座5之间设有小绝缘套17，气缸杆9贯穿气缸座5、绝缘座6和法兰7安装，气缸座5与绝缘座6之间设有气缸座密封胶圈16，气缸座密封胶圈16安装在气缸座的胶圈槽内；绝缘座6与法兰7之间设有绝缘座密封胶圈15，绝缘座密封胶圈15安装在绝缘座6胶圈槽内，波纹管8上端焊接于气缸座5下侧，波纹管8下端焊接于引弧针杆10上部，气缸杆9与引弧针杆10螺纹连接，引弧针11安装在引弧针杆10上，用紧固螺栓12拧紧，气缸杆9的位置调整到图1所示位置，该位置为远离靶材13的初始位置，此时波纹管8处于自由状态，气缸2动作，气缸杆9带动波纹管一起动作，使引弧针11到达靶材13端面，如图2所示，此时波纹管8处于压缩状态。
通常产生弧光放电的方法是使两电极接触后随即分开，因短路发热，使阴极表面温度陡增，产生热电子发射。引弧针11与阴极靶材13接触的瞬间引燃电弧。因为接触面积很小，接触电阻很大，在较大电流密度和强电场作用下，向外发射热电子和场致发射电子，电子发射集中处产生大量电流形成弧斑。大电流高温导致大量阴极靶材13材料粒子被蒸发出来，形成阴极材料粒子气体，这些粒子很快与获得电场加速的电子碰撞发生离化，形成等离子体。部分等离子体被吸引在靶材13表面，形成空间电荷层，产生强电场，重复电子发射过程。靶材13逐渐被消耗，原来引弧针11的位置已经不能与靶材13表面接触，会导致点弧失败。这时需调整旋转手柄3，气缸2动作，气缸杆9带动波纹管8一起动作使引弧针11与靶材13表面接触，如图3所示，此时波纹管8再次被压缩。随着靶材13的消耗，可不断调整气缸杆9的长度，直到靶材13的利用达到最大。
本电弧引弧机构采用波纹管8密封形式，用波纹管8将气缸杆9与真空环境分开，处于大气环境中。气缸杆9在波纹管内起到导向作用，气,2做往复运动，初始位置为伸长状态，即引弧针11远离靶材端面，波纹管8处于自由状态。气缸动作，气缸杆9运动到另一端，即引弧针11向靶材13端面移动，到达指定位置时触发弧光放电，点燃靶面。此时波纹管处于压缩状态。引弧过程（气缸一个往复运动）为0.5秒，波纹管压缩状态为0.5 秒，随后恢复到自由状态。与波纹管焊接的气缸座在靠真空侧有密封圈，保证端面的密封。气缸座5与法兰7由螺栓连接，将端面的密封胶圈压紧，形成真空环境。
Claims (6)
1.一种电弧引弧机构，其特征在于：气缸（2）安装于气缸座（5）上部，气缸杆（9）贯穿气缸座（5）中心孔，气缸座（5）下侧位于气缸杆（9）外部设有波纹管（8），波纹管（8）下端连接引弧针杆（10），引弧针杆（10）上安装引弧针（11）。
2.根据权利要求1所述的一种电弧引弧机构，其特征在于：所述气缸座（5）下部安装绝缘座（6），绝缘座（6）下部安装法兰（7），气缸座（5）和绝缘座（6）通过连接螺栓（14）安装于法兰（7）上，连接螺栓（14）外侧与气缸座（5）之间设有小绝缘套（17），气缸杆（9）贯穿气缸座（5）、绝缘座（6）和法兰（7）安装。
3.根据权利要求2所述的一种电弧引弧机构，其特征在于：所述气缸座（5）与绝缘座（6）之间设有气缸座密封胶圈（16），气缸座密封胶圈（16）安装在气缸座的胶圈槽内；绝缘座（6）与法兰（7）之间设有绝缘座密封胶圈（15），绝缘座密封胶圈（15）安装在绝缘座（6）胶圈槽内。
4.根据权利要求1所述的一种电弧引弧机构，其特征在于：所述波纹管（8）上端焊接于气缸座（5）下侧，波纹管（8）下端焊接于引弧针杆（10）上部。
5.根据权利要求1所述的一种电弧引弧机构，其特征在于：所述气缸（2）通过气缸连接螺栓（4）固定于气缸座（5）上；气缸杆（9）与引弧针杆（10）螺纹连接；引弧针（11）通过紧固螺栓（12）安装于引弧针杆（10）上。
6.根据权利要求1所述的一种电弧引弧机构，其特征在于：所述气缸（2）上设有用于控制气缸动作的旋钮手柄（3）。
Priority Applications (1)
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|---|---|---|---|
| CN201821738431.8U CN209307477U (zh) | 2018-10-25 | 2018-10-25 | 一种电弧引弧机构 |
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Family Applications (1)
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Country Status (1)
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Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN110565055A (zh) * | 2019-10-28 | 2019-12-13 | 北京泰科诺科技有限公司 | 一种离子镀膜用引弧装置及离子镀膜装置 |
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2018
- 2018-10-25 CN CN201821738431.8U patent/CN209307477U/zh active Active
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN110565055A (zh) * | 2019-10-28 | 2019-12-13 | 北京泰科诺科技有限公司 | 一种离子镀膜用引弧装置及离子镀膜装置 |
| CN110565055B (zh) * | 2019-10-28 | 2024-05-03 | 北京泰科诺科技有限公司 | 一种离子镀膜用引弧装置及离子镀膜装置 |
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