DE10042629C2 - Zündvorrichtung für einen Lichtbogenverdampfer - Google Patents

Description

Die Erfindung betrifft eine Zündvorrichtung für einen Lichtbo­ genverdampfer und Verfahren zum Zünden eines Lichtbogens in einer Verdampfereinrichtung.

Es ist allgemein bekannt, zur Erzeugung dünner Schichten auf Werkstückoberflächen das jeweilige Schichtmaterial z. B. mit einem Lichtbogenverdampfer in die Dampfphase zu überführen und auf dem Werkstück abzuscheiden. Ein Verdampfer umfasst eine Kathode, die aus dem Schichtmaterial besteht und ein Target für den Lichtbogen bildet, und eine Anode. Die Elektroden sind gemeinsam mit dem Werkstück in einem evakuierten Rezipienten angeordnet. Zum Verdampfen wird zwischen der Anode und der Ka­ thode ein Lichtbogen gezündet, der die Kathode lokal so stark aufheizt, dass Material in die Dampfphase übergeht. Jeder Lichtbogenverdampfer benötigt einen Zündvorrichtung zur Erzeu­ gung des Lichtbogens zwischen der Anode und der Kathode.

Es sind zahlreiche Zündvorrichtungen und -verfahren bekannt, die hinsichtlich verschiedener Parameter des Verdampferbe­ triebs, wie z. B. der Zündsicherheit, der Gleichmäßigkeit des Targetabtrags, des Energieverbrauchs und dergleichen, opti­ miert sind. Herkömmliche Zündvorrichtungen basieren auf dem folgenden Prinzip. Eine bewegliche Zündelektrode auf Anodenpo­ tential wird kurzeitig mit dem kathodischen Target in Berüh­ rung gebracht. Dadurch kommt es zum Zünden eines Lichtbogens zwischen der Zündelektrode und dem Target, der durch Trennung der Zündelektrode vom Anodenpotential auf die Anode übergeht, so dass der gewünschte Verdampfer-Lichtbogen gezündet ist. Das herkömmliche Zündprinzip ist wegen der mechanischen Trägheit der Zündelektrode nachteilig. Es ist ein Problem, den Lichtbo­ gen bei Verlöschen automatisch wieder zu zünden.

Auch bei der EP 0 211 413 wird zwischen einer Zündelektrode und der Kathode ein Lichtbogen gezündet, der dann von der Zündelektrode auf die Anode übergeht. Die Zündelektrode ist in der EP 0 211 413 A2 aber nicht beweglich, sondern in unmittel­ barer Nachbarschaft der Kathode angeordnet, von der sie durch ein isolierendes Element aus Bornitrid getrennt ist. Dieses isolierende Element ist mit einem elektrisch leitenden Film beschichtet, der Ionen für den Lichtbogen liefern soll. Der Film berührt auf der einen Seite die Zündelektrode, auf der anderen die Kathode. Wird die Lichtbogenspannung angelegt und die Zündelektrode dann elektrisch mit der Anode verbunden, so liegt zwischen der Zündelektrode und Kathode eine Spannung an. Die Spannung führt zu einem Stromfluss über den elektrisch leitenden Film, wodurch ein Teil des Filmes verdampft wird und insbesondere Ionen abgegeben werden. Diese Ionen führen zur Bildung eines Lichtbogens zwischen der Zündelektrode und der Kathode, der dann auf die Anode übergeht. Anschließend wird entweder die Zündelektrode von der Anode elektrisch getrennt, oder die elektrische Verbindung bleibt dauerhaft bestehen. Im ersteren Fall besteht die Gefahr, dass der Lichtbogen wieder verlöscht und nicht automatisch wieder gezündet wird. Im zwei­ ten Fall fließt ständig ein Strom über den elektrisch leiten­ den Film, der dann auf Dauer ganz abdampfen kann, wodurch die Fähigkeit zur einer Nachzündung verloren geht.

Aus US 56 43 343 A ist bekannt, ein Hilfsplasma zur Zündung eines Lichtbogens zu verwenden. In US 50 78 848 A wird eine Abscheidungstechnik beschrieben, bei dem Material mit einem pulsierenden Plasmastrahl auf einem Substrat abgeschieden wird. Der Plasmastrahl wird von einer Elektrode abgegeben, die mit einer Spannungsquelle und einem Zündkondensator verbunden ist.

Die Aufgabe der Erfindung ist es, einen verbesserten Lichtbo­ genverdampfer anzugeben, der sich durch eine hohe Zündsicher­ heit, einen stabilen Betrieb des Lichtbogens und die Möglich­ keit zur Anpassung an prozess- und materialspezifische Beson­ derheiten der Verdampfung auszeichnet. Die Aufgabe der Erfin­ dung ist es auch, ein Zündverfahren für einen Lichtbogenver­ dampfer bereitzustellen.

Diese Aufgaben werden durch einen Lichtbogenverdampfer und ein Zündverfahren mit den Merkmalen gemäß den Patentansprüchen 1 bzw. 7 gelöst. Vorteilhafte Ausführungsformen der Erfindung ergeben sich aus den abhängigen Ansprüchen.

Bei der Erfindung wird, eine Zündvorrichtung für einen Licht­ bogenverdampfer benutzt, die als Ionenquelle ausgebildet ist, mit der zwischen der Kathode und der Anode Ionen bereitge­ stellt werden, durch die das Zünden des Lichtbogens ausgelöst oder gefördert wird. Die Grundidee der Erfindung besteht dar­ in, die Lichtbogenspannung zwischen der Kathode und der Anode des Lichtbogenverdampfers (laufend) zu messen und bei Errei­ chen eines kritischen Wertes die Zündvorrichtung abermals zu betätigen, bevor der Lichtbogen verlischt. In dem Lichtbogen­ verdampfer wird zur Erfüllung dieser Funktion eine Lade- und Kontrolleinheit eingesetzt.

Die Ionenquelle der Zündvorrichtung ist vorzugsweise selbst (wie in der EP 0 211 413 A2) eine Hilfsplasmaeinrichtung, mit der Material zur Bereitstellung der freien Ionen verdampft und in einen Plasmazustand überführt wird. Die Hilfsplasmaeinrich­ tung ist aus einer Zündelektrode und einer Hilfsanode aufge­ baut, die durch einen isolierenden Träger voneinander getrennt sind, auf dem sich Material zur Lieferung der freien Ionen be­ findet. Durch Beaufschlagung der Zündelektrode und der Hilfs­ anode mit einem Energieimpuls wird ein derart starker Strom­ fluss über den Träger ausgelöst, dass das Material von diesem verdampft und in den Plasmazustand überführt wird.

Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform der Erfindung ist die Zündelektrode der Hilfsplasmaeinrichtung von der (Haupt-)Ka­ thode des Lichtbogenverdampfers verschieden, anders als in der EP 0 211 413 A2.

Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform der Erfindung ist das ionenliefernde Material als Schicht auf dem Träger angeordnet. In der dünnen Schicht wird kurzzeitig eine sehr große Strom­ dichte erzielt, so dass der Verdampfungs- und Plasmabildungs­ prozess an der Zündvorrichtung besonders effektiv verläuft.

Besondere Vorteile ergeben sich, wenn das ionenliefernde Mate­ rial mit dem zu verdampfenden Material des Kathodentargets identisch ist. In diesem Fall wird die Schicht auf dem Träger während des Verdampfungsvorgangs des Lichtbogenverdampfers laufend erneuert. Die Zündvorrichtung besitzt somit eine lange Lebensdauer und ermöglicht auch Nachzündungen mit beliebiger Häufigkeit während des Verdampfungsvorgangs.

Gegenstand der Erfindung ist auch ein Zündverfahren für einen Lichtbogenverdampfer, bei dem das Zünden durch eine Ionenquel­ le, vorzugsweise in Form einer Hilfsplasmaeinrichtung, ausge­ löst oder gefördert wird. Die Zündvorrichtung der oben be­ schriebenen Bauart wird vor dem Verdampfungsverfahren zunächst mit dem ionenliefernden Material beschickt. Auf dem isolieren­ den Träger wird, bspw. durch Lichtbogenverdampfen, eine An­ fangsschicht ausgebildet. Zum eigentlichen Zündvorgang wird das Material auf dem Träger durch einen Stromfluss, der mit­ tels eines Energie- oder eines Zündimpulses ausgelöst wird, verdampft und in den Plasmazustand überführt. Die dabei ent­ stehenden Ionen reichen aus, um zwischen der Targetkathode und der Anode den Lichtbogen zu zünden.

Erfindungsgemäß wird ein Regelverfahren implementiert, bei dem laufend die Lichtbogenspannung gemessen und mit einem Schwell­ wert verglichen wird. Sobald der Schwellwert überschritten wird, erfolgt eine erneute Zündung mit der Zündvorrichtung. Das Regelverfahren wird vorzugsweise mit einem Mikroprozessor gesteuert, mit dem Parameter der Zündvorrichtung und des Lichtbogenverdampfers je nach den elektrischen Zuständen der zum Verdampfer gehörenden Elektroden eingestellt werden.

Weitere Einzelheiten und Vorteile der Erfindung werden aus der Beschreibung der beigefügten Zeichnungen ersichtlich. Es zei­ gen:

Fig. 1 eine schematische Perspektivansicht einer ersten Ausführungsform einer erfindungsgemäßen Zündvor­ richtung in einem Lichtbogenverdampfer;

Fig. 2 eine schematische Draufsicht auf eine abgewandel­ te Ausführungsform einer erfindungsgemäßen Zünd­ vorrichtung; und

Fig. 3 ein Schaltbild der erfindungsgemäßen Zündvorrich­ tung.

In Fig. 1 ist schematisch ein Lichtbogenverdampfer 10 mit ei­ ner Kathode 11 und einer Anode 12 (jeweils teilweise darge­ stellt) illustriert. Einzelheiten des Lichtbogenverdampfers 10 sind an sich bekannt und werden daher im Einzelnen nicht be­ schrieben. Die erfindungsgemäße Zündvorrichtung kann bei allen verfügbaren Lichtbogenverdampfern implementiert werden. Die Zündvorrichtung 20 umfasst eine Ionenquelle 21 mit einer Zünd­ elektrode 22, einem isolierendem Träger 23, einer Hilfsanode 24 und einer Steuerschaltung 25 (in Fig. 3 gezeigt). Bei der in Fig. 1 dargestellten Ausführungsform der Zündvorrichtung 20 bilden die Elektroden 22, 24 und der Träger 23 einen sta­ pelförmigen Aufbau, wobei die Elektroden 22 und 24 durch den Träger 23 voneinander getrennt sind. Der Träger 23 besitzt an der zur Kathode 11 weisenden Seite der Zündvorrichtung 20 eine freiliegende Oberfläche, auf der das ionenliefernde Material angeordnet ist.

Das ionenliefernde Material ist vorzugsweise mit dem Targetma­ terial der Kathode 11 identisch und entspricht dem Verdamp­ fungsmaterial des jeweiligen Abscheidungsvorgangs. Das ionen­ liefernde Material ist als dünne Schicht mit einer Dicke von ca. 1 bis 2 µm ausgebildet.

Bei einer abgewandelten Ausführungsform der erfindungsgemäßen Zündvorrichtung 20 gemäß Fig. 2 umfasst die Ionenquelle 21 eine ringförmige Hilfsanode 24 und einen ringförmigen Träger 23, an die die Zündelektrode 22 von einer Seite in Form eines Elektrodenstabes heranragt. Die Hilfsanode 24 ist vorzugsweise als Elektrodenschicht auf einem Trägerring gebildet, der ent­ lang einer umlaufenden Ringfläche zu elektrischen Isolation zwischen den Elektroden 22 und 24 freiliegt und dort den Trä­ ger 23 bildet. Alternativ kann die Zündelektrode 22 auch durch den Träger hindurchgeführt und mit Abstand über der Hilfsanode 24 angeordnet sein (siehe Schnittansicht in Fig. 3).

Der Träger 23 besteht allgemein aus einem isolierenden Materi­ al. das die beim Zünden entstehenden Temperaturen ohne Beschä­ digungen toleriert. Es wird vorzugsweise Keramik, z. B. Al₂O₃ verwendet.

Die in Fig. 3 illustrierte Steuerschaltung 25 der Zündvor­ richtung 20 umfasst einen Energiespeicher 26 und einen Zünd­ schalter 27. Zum Zünden eines Lichtbogens zwischen der Kathode 11 und der Anode 12 des Lichtbogenverdampfers 10 wird nach Ak­ tivierung des Energiespeichers 26 der Zündschalter geschlos­ sen, so dass zwischen der Zündelektrode 22 und der Hilfsanode 24 ein Spannungspuls angelegt wird. Der Energiespeicher 26 ist bspw. ein Zündkondensator, wobei eine Aktivierung des Energie­ speichers ein Aufladen des Zündkondensators bedeutet, oder ei­ ne Zündspule. Über die dünne Schicht aus ionenlieferndem Mate­ rial auf dem Träger 23 (teilweise gezeigt) erfolgt ein Strom­ fluss aufgrund der Entladung des Energiespeichers. Anwendungs­ abhängig kann die Entladung im µs-Bereich einen Strom von z. B. einigen 100 A erzeugen. Die dünne Schicht auf dem Träger 23 wird durch den Stromfluss erhitzt, verdampft und die verdampf­ te Substanz erreicht aufgrund der hohen Energiezufuhr den Plasmazustand. Das ionisierte Material tritt in den Raum zwi­ schen der Kathode 11 und der Anode 12 ein, in der daraufhin der Lichtbogen gezündet wird. Aufgrund des brennenden Lichtbo­ gens erfolgt jedoch eine Dampfabscheidung des Targetmaterials auch auf dem Träger 23, so dass die während des Zündvorgangs verdampfte und ionisierte Schicht regeneriert wird.

Fig. 3 zeigt auch eine Verdampfersteuerung 30, mit der das Nachladen des Energiespeichers 26, das Betätigen des Zünd­ schalters 27 und eine Überwachung des Lichtbogenverdampfers 10 durchgeführt werden. Die Verdampfersteuerung 30 enthält eine mit einem Mikroprozessor gesteuerte Lade- und Kontrolleinheit 31, mit der die Lichtbogenspannung zwischen der Kathode 11 und der Anode 12 überwacht wird. Wenn der Lichtbogen verlischt oder nahezu verlischt, steigt die Lichtbogenspannung. Der An­ stieg der Lichtbogenspannung wird von der Lade- und Kontroll­ einheit 31 erfasst und als Startsignal zur Betätigung der Zündschaltung 25 verwendet. Bei Betätigung der Zündschaltung 25 während des laufenden Verdampfungsvorganges erfolgt wieder­ um eine Entladung des Energiespeichers über das inzwischen re­ generierte, Ionenliefernde Material auf dem Träger 23. Es wer­ den Ionen in den Verdampferraum geliefert und der Lichtbogen erneut gezündet oder das Brennen des Lichtbogens gefördert.

Mit der Lade- und Kontrolleinheit 31 können auch Fehlerzustän­ de des Lichtbogenverdampfers 10 erfasst werden. Die Lade- und Kontrolleinheit 31 ist dazu eingerichtet, die Spannungen und Ströme zwischen allen Elektrodenpaaren des Verdampfers 10 und der Zündvorrichtung 20 zu erfassen. Wenn bspw. ein Kurzschluss zwischen der Hilfsanode 24 oder der Zündelektrode 22 einer­ seits und der Kathode 11 anderseits oder das Fehlen der ionen­ liefernden Schicht zwischen der Zündelektrode und der Hilfs­ anode erfasst werden, erfolgt ein Abschalten der Zündvorrich­ tung und/oder ein Verstellen der Zündparameter, wie z. B. der Kondensatorspannung und/oder der Anzahl der Zündwiederholun­ gen.

Die erfindungsgemäße Zündvorrichtung wird vorzugsweise ent­ sprechend einem Operationsablauf mit den folgenden Schritten gesteuert. In einem Ausgangszustand, in dem die Zündung ausge­ schaltet ist, sind ein Ladesteuersignal und ein Zündsteuersig­ nal auf Null gesetzt. Zum erstmaligen Laden des Energiespei­ chers 26 wird das Ladesteuersignal aktiviert. Bei Zündbereit­ schaft der Verdampferanordnung erfolgt eine Aktivierung des Zündsignals, worauf der Energiespeicher 26 über die Elektroden der Zündvorrichtung entladen wird. Daraufhin kommt es zur Aus­ bildung des Verdampferlichtbogens. Die Klemmenspannung zwi­ schen der Anode und der Kathode verringert sich von einem Leerlaufspannungswert (oberhalb von 60 V) auf einen Brennspan­ nungswert (unterhalb von 30 V). Falls die Zündung nicht er­ folgt ist und der Brennspannungswert nicht erreicht wird, er­ folgt ein Rücksetzen der Lade- und Zündsteuersignale und nach einer vorbestimmten Wartezeit ein erneuter Zündversuch. Die Wartezeit dient der Einstellung einer Ruhephase, insbesondere zum Abbau von Raumladungen in der Verdampferanordnung, und be­ trägt anwendungsabhängig bspw. 250 ms.

Falls nach dem erneuten Zündversuch wiederum der Verdampfungs­ lichtbogen nicht ausgebildet und der Brennspannungswert nicht erreicht wird, erfolgen wiederholte Neuzündungen. Die Zündver­ suche werden mit einem in der Lade- und Kontrolleinheit 31 enthaltenen Zähler erfasst. Vor jedem Zündversuch wird der ak­ tuelle Zählerwert mit einem Referenzwert verglichen. Falls der Referenzwert erreicht ist, wird die Zündvorrichtung stillge­ setzt (Reset) und erst nach Prüfung der Verdampferanordnung und der Betriebsparameter erneut in Betrieb genommen. Der Re­ ferenzwert ist materialabhängig eingestellt. Bei Materialien, bei denen der Lichtbogen leicht gezündet wird, ist der Refe­ renzwert relativ niedrig (z. B. bei TiAl-Targets: Referenz- Wert = 10). Bei anderen Materialien, die sich durch ein schlechteres Zündverhalten auszeichnen, werden mehr Zündversu­ che zugelassen (z. B. Molybdän: Referenzwert = 100 bis 200).

Wenn nach dem Aktivieren des Zündsteuersignals die Klemmen­ spannung zwischen Anode und Kathode auf den Brennspannungswert zurückgeht, wird entsprechend durch die Lade- und Kontrollein­ heit 31 das Brennen des Lichtbogens erfasst. Die Lade- und Zündsteuersignale werden rückgesetzt. Während des Brennens des Lichtbogens erfolgt laufend eine Überprüfung des über die Zündvorrichtung fließenden Stroms. Falls der Stromfluss zwi­ schen Hilfsanode und Anode zu hoch ist, so bedeutet dies, dass der Bogenstrom der Verdampferanordnung über die Hilfsanode fließt. Bei Erfassung dieses unerwünschten Zustandes ist die Zündvorrichtung und die Versorgung des Verdampferlichtbogens sofort stillzusetzen (Reset).

Der übermäßige Strom über die Zündvorrichtung wird vorzugswei­ se mit einem Kaltleiter 28 (siehe Fig. 3) erfasst. Falls die Spannung am Kaltleiter 28 über einem vorbestimmten Schwellwert liegt, erfolgt die Stillsetzung der Zündvorrichtung mit der Einheit 31. Der veränderliche Widerstand 29 ist dazu vorgese­ hen, einen zulässigen Wert des über die Zündvorrichtung flie­ ßenden Stromes materialabhängig einzustellen.

Nach dem Reset der Zündvorrichtung wird die Stromquelle zur Versorgung des Lichtbogens sofort abgeschaltet. Nach einer Neueinrichtung der Verdampferanordnung (ggf. mit einer Ände­ rung der Geometrie der Zündvorrichtung oder einer Einstellung einer metallischen Abschirmung der Zündvorrichtung) erfolgt ein erneuter Betriebsbeginn.

Nach Erreichen des gewünschten Verdampfungsergebnisses, das bspw. mit einer Dickenmessung am zu beschichtenden Substrat erfasst wird, werden die Zündvorrichtung und die Verdampfer­ versorgung abgeschaltet.

Die in der vorstehenden Beschreibung, den Zeichnungen und den Ansprüchen offenbarten Merkmale der Erfindung können sowohl einzeln als auch in beliebiger Kombination für die Verwirkli­ chung der Erfindung in ihren verschiedenen Ausgestaltungen von Bedeutung sein.

Claims (13)

1. Lichtbogenverdampfer (10) mit einer Kathode (11), einer Anode (12), einer Zündvorrichtung (20), die eine Ionenquelle (21) umfasst, welche Ionen von der Ionenquelle (21) in den Raum zwischen der Kathode (11) und der Anode (12) einbringt, und einer Lade- und Kontrolleinheit (31), die zur Messung der Lichtbogenspannung zwischen der Kathode (11) und der Anode (12) vorgesehen ist und die in Abhängigkeit von der gemessenen Lichtbogenspannung die Zündvorrichtung (20) betätigt.

2. Lichtbogenverdampfer nach Anspruch 1, bei dem die Ionen­ quelle (21) eine Hilfsplasmaeinrichtung bildet, die eine Zünd­ elektrode (22) und eine Hilfsanode (24) umfasst, wobei die Zündelektrode (22) und die Hilfsanode (24) durch einen Träger (23) aus einem elektrisch isolierenden Material voneinander getrennt sind und der Träger eine zwischen der Zündelektrode (22) und der Hilfsanode (24) befindliche Oberfläche besitzt, auf der ionenlieferndes Material angeordnet ist.

3. Lichtbogenverdamfer nach Anspruch 2, bei dem das ionenlie­ fernde Material schichtförmig auf der Oberfläche des Trägers (23) angeordnet ist.

4. Lichtbogenverdampfer nach Anspruch 2 oder 3, bei dem das durch die Hilfsplasmaeinrichtung verdampfte ionenliefernde Ma­ terial und das mit dem Lichtbogenverdampfer (10) zu verdamp­ fende Material identisch sind.

5. Lichtbogenverdampfer nach einem der Ansprüche 2 bis 4, bei dem die Zündvorrichtung (20) eine Zündsteuerung (25) mit einem Energiespeicher (26) und einem Zündschalter (27) umfasst, wo­ bei bei Betätigung des Zündschalters (27) die Zündelektrode (22) und die Hilfsanode (24) mit der Spannung des Energiespei­ chers (26) beaufschlagt werden, und wobei die Lade- und Kon­ trolleinheit (31) den Zündschalter (27) betätigt.

6. Lichtbogenverdampfer nach einem der Ansprüche 2 bis 5, bei dem ein Kaltleiter (28) zur Überwachung des Stromflusses über die Zündvorrichtung (20) vorgesehen ist.

7. Zündverfahren für einen Lichtbogenverdampfer (10), bei dem das Zünden eines Lichtbogens zwischen einer Kathode (11) und einer Anode (12) mittels einer Zündvorrichtung (20) ausgelöst oder gefördert wird, indem ionisiertes Material von einer Io­ nenquelle (21) geliefert wird, dadurch gekennzeichnet, dass die Lichtbogenspannung zwischen der Kathode (11) und der Anode (12) laufend gemessen und mit einem Schwellwert verglichen wird, wobei nach Überschreiten des Schwellwertes eine Betäti­ gung der Zündvorrichtung (20) ausgelöst wird.

8. Zündverfahren nach Anspruch 7, bei dem eine eine Hilfsplasmaeinrichtung bildende Ionenquelle (21) verwendet wird, die eine Zündelektrode (22) und eine Hilfsanode (24) um­ fasst, wobei die Zündelektrode (22) und die Hilfsanode (24) durch einen Träger (23) aus einem elektrisch isolierenden Ma­ terial voneinander getrennt sind, und wobei der Träger eine zwischen der Zündelektrode (22) und der Hilfsanode (24) be­ findliche Oberfläche besitzt, auf der ionenlieferndes Material angeordnet ist.

9. Zündverfahren nach Anspruch 8, bei dem eine Ionenquelle (21) verwendet wird, bei der das ionenliefernde Material schichtförmig auf der Oberfläche des Trägers (23) angeordnet ist.

10. Zündverfahren nach Anspruch 8 oder 9, bei dem das durch die Hilfsplasmaeinrichtung verdampfte, ionenliefernde Material mit dem Material identisch ist, das mit dem Lichtbogenverdamp­ fer (10) verdampft wird.

11. Zündverfahren nach einem der Ansprüche 8 bis 10, bei dem die Zündvorrichtung (20) eine Zündsteuerung (25) mit einem Energiespeicher (26) und einem Zündschalter (27) umfasst, und wobei bei Betätigung des Zündschalters (27) die Zündelektrode (22) und die Hilfsanode (24) mit der Spannung des Energiespei­ chers (26) beaufschlagt werden.

12. Zündverfahren nach einem der Ansprüche 8 bis 11, bei dem laufend der Strom über die Zündvorrichtung (20) gemessen und mit einem Schwellwert verglichen wird, wobei nach Überschrei­ ten des Schwellwertes eine Stillsetzung der Zündvorrichtung (20) ausgelöst wird.

13. Zündverfahren nach Anspruch 12, bei dem zur Messung des Stromes über die Zündvorrichtung (20) ein Kaltleiter (28) ein­ gesetzt wird.