JPS6232619A - シ−ト状材料の熱処理装置 - Google Patents
シ−ト状材料の熱処理装置Info
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- JPS6232619A JPS6232619A JP17190985A JP17190985A JPS6232619A JP S6232619 A JPS6232619 A JP S6232619A JP 17190985 A JP17190985 A JP 17190985A JP 17190985 A JP17190985 A JP 17190985A JP S6232619 A JPS6232619 A JP S6232619A
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- Japan
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- wafer
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- Cleaning Or Drying Semiconductors (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の技術分野〕
本発明はシリコンウェハなどのシート状材料の熱処理装
置に係り、特にウエノ）のドライエツチング後の熱処理
に使用される熱処理装置に関する。
置に係り、特にウエノ）のドライエツチング後の熱処理
に使用される熱処理装置に関する。
従来より塩素系ガスを用いてシート状材料、例えばウェ
ハのエツチングを行なうエツチング装置においては、エ
ツチング後に装置よりウニ／Ｘを取り出した時、ウェハ
上の塩素系の物質、例えばＡノＣ１３と大気中の酸素と
が反応し、腐蝕が発生する。
ハのエツチングを行なうエツチング装置においては、エ
ツチング後に装置よりウニ／Ｘを取り出した時、ウェハ
上の塩素系の物質、例えばＡノＣ１３と大気中の酸素と
が反応し、腐蝕が発生する。
このようなことから、第４図に示すようにエツチング処
理を施した多数のウエノ１をカセ・ントに収納し、この
カセットを電気炉又は工業用ドライヤを備えたケース内
に入れ、多数のウエノ１の熱処理を行なう装置が知られ
ている。即ち、図中の１は開閉可能な側蓋２を有するケ
ースである。このケース１内には、上下に仕切る多数孔
３を穿設した仕切板４が配設されている。この仕切り板
４上シニは、多数のウェハ５が収納されたカセット６が
設置される。前記ケース１の上部には、前記仕切り板４
上のカセット６内のウェハ５を乾燥するためのドライヤ
ー７が挿着されている。また、前記ケース１の側面には
、乾燥後のガスを前記仕切り板４の孔３を通して外部に
排気するための排気管８が設けられている。
理を施した多数のウエノ１をカセ・ントに収納し、この
カセットを電気炉又は工業用ドライヤを備えたケース内
に入れ、多数のウエノ１の熱処理を行なう装置が知られ
ている。即ち、図中の１は開閉可能な側蓋２を有するケ
ースである。このケース１内には、上下に仕切る多数孔
３を穿設した仕切板４が配設されている。この仕切り板
４上シニは、多数のウェハ５が収納されたカセット６が
設置される。前記ケース１の上部には、前記仕切り板４
上のカセット６内のウェハ５を乾燥するためのドライヤ
ー７が挿着されている。また、前記ケース１の側面には
、乾燥後のガスを前記仕切り板４の孔３を通して外部に
排気するための排気管８が設けられている。
しかしながら、上述した装置にあってはカセット６によ
りウェハ５の加熱が部分的に妨げられているため、ウェ
ハ５の昇温のためには加熱時間を長くする必要がある。
りウェハ５の加熱が部分的に妨げられているため、ウェ
ハ５の昇温のためには加熱時間を長くする必要がある。
しかも、加熱時にウェハ５の温度ムラを生じるため、熱
処理による効果にバラツキが生ずるという欠点があった
。更に、カセット６毎に行なうため、バッチ処理方法と
ならざるを得ず、その結果エツチング装置と連結して使
用することができない欠点があった。
処理による効果にバラツキが生ずるという欠点があった
。更に、カセット６毎に行なうため、バッチ処理方法と
ならざるを得ず、その結果エツチング装置と連結して使
用することができない欠点があった。
本発明は、ウェハ等のシート状材料の加熱時間を短縮し
、しかも均一な加熱が可能となり、更にエツチング装置
との連結が可能で連続自動処理を達成し得るシート状材
料の熱処理装置を提供しようとするものである。
、しかも均一な加熱が可能となり、更にエツチング装置
との連結が可能で連続自動処理を達成し得るシート状材
料の熱処理装置を提供しようとするものである。
本発明は、箱型ケースの一側面にシート状材料の挿入口
を、反対側に取出口を夫々同一高さ位置となるように設
け、かつ前記ケース内に搬送部材を前記挿入口から挿入
されたシート状材料を取出口へ搬送できるよう上面を前
記挿入口および取出口の下面と一致させて配置し、更に
前記搬送部材の上方に搬送部材上を移動するシート状材
料に熱風を吹付ける熱風吹付は部材を、同搬送部材の下
方に加熱板を夫々対向して設けてなるシート状材料の熱
処理装置において、前記熱風吹付は部材を、ガス流入口
と熱風吹付は口を有する透明な筒状本体と、この筒状本
体に挿着され、外周面に螺旋状の突起を有する管部及び
該管部内に挿入されたヒータからなる管状ヒータと、こ
の管状ヒータに対応する前記本体外周面に被覆された反
射膜とにより構成したことを特徴とするものである。か
かる本発明によれば、既述の如くウェハ等のシート状材
料の加熱時間を短縮し、しかも均一な加熱が可能となり
、更にエツチング装置との連結が可能で連続自動処理を
達成したシート状材料の熱処理装置を得ることができる
。
を、反対側に取出口を夫々同一高さ位置となるように設
け、かつ前記ケース内に搬送部材を前記挿入口から挿入
されたシート状材料を取出口へ搬送できるよう上面を前
記挿入口および取出口の下面と一致させて配置し、更に
前記搬送部材の上方に搬送部材上を移動するシート状材
料に熱風を吹付ける熱風吹付は部材を、同搬送部材の下
方に加熱板を夫々対向して設けてなるシート状材料の熱
処理装置において、前記熱風吹付は部材を、ガス流入口
と熱風吹付は口を有する透明な筒状本体と、この筒状本
体に挿着され、外周面に螺旋状の突起を有する管部及び
該管部内に挿入されたヒータからなる管状ヒータと、こ
の管状ヒータに対応する前記本体外周面に被覆された反
射膜とにより構成したことを特徴とするものである。か
かる本発明によれば、既述の如くウェハ等のシート状材
料の加熱時間を短縮し、しかも均一な加熱が可能となり
、更にエツチング装置との連結が可能で連続自動処理を
達成したシート状材料の熱処理装置を得ることができる
。
以下、本発明を第１図乃至第３図に示す一実施例を参照
して説明する。
して説明する。
第３図は、塩素系ガスを用いてシート状材料、例えばウ
ェハのエツチングを行なうエツチングシステムを示すも
ので、図中の１１はウェハ１２が収納されたカセット１
１である。このカセット１１には、大気圧と真空圧とを
交互に切替えるロードロック室１３が隣接して配設され
ており、カセット１１内のウェハ１２は該ロードロック
室１３に１個ずつ搬入される。このロードロック室１３
にはエツチング室１４、エッング室、ロッドロック室１
５、Ｎ２ガス室１６及び熱処理装置１７が順次連結され
ている。前記ロードロック室１３を真空状態に切替った
時、ウェハ１２が該真空のエツチング室１４に導入され
てエツチング加工を行ないわれ、該エツチング室１４で
のエツチングが完了すると、ウェハ１２は前記ロードロ
ック室５に送られ、ここで再び真空から大気圧に切替え
られた時、前記Ｎ２ガス室１６へ送り込んで酸化を防止
する。この後、ウェハ１２は前記熱処理装置１７に送ら
れる。この熱処理装置上ユは、空気中の水分と反応して
ウェハ１２が腐蝕されるのを防止するために設けられる
。
ェハのエツチングを行なうエツチングシステムを示すも
ので、図中の１１はウェハ１２が収納されたカセット１
１である。このカセット１１には、大気圧と真空圧とを
交互に切替えるロードロック室１３が隣接して配設され
ており、カセット１１内のウェハ１２は該ロードロック
室１３に１個ずつ搬入される。このロードロック室１３
にはエツチング室１４、エッング室、ロッドロック室１
５、Ｎ２ガス室１６及び熱処理装置１７が順次連結され
ている。前記ロードロック室１３を真空状態に切替った
時、ウェハ１２が該真空のエツチング室１４に導入され
てエツチング加工を行ないわれ、該エツチング室１４で
のエツチングが完了すると、ウェハ１２は前記ロードロ
ック室５に送られ、ここで再び真空から大気圧に切替え
られた時、前記Ｎ２ガス室１６へ送り込んで酸化を防止
する。この後、ウェハ１２は前記熱処理装置１７に送ら
れる。この熱処理装置上ユは、空気中の水分と反応して
ウェハ１２が腐蝕されるのを防止するために設けられる
。
上記熱処理装置よユは第１図及び第２図に示すように箱
形状をなすケース１８を備えている。このケース１８の
底面には排気口１９を有する底板２０が設けられてい。
形状をなすケース１８を備えている。このケース１８の
底面には排気口１９を有する底板２０が設けられてい。
前記ケース１８の対向する一対の側壁には、ウェハの挿
入口２１及び取出口２２が同一高さ位置となるように夫
々開口されている。前記ケース１８内には、前記底板２
０に立設された図示しないフレームに軸支された一対の
ベルト車２３ａ、２３ｂが配置されている。このベルト
車のうちの一方（２３ａ）の軸の右端には傘歯車２４が
軸着されており、かっ該傘歯車２４にはモータ２５の駆
動軸２６に軸着された傘歯車２７が歯合されている。前
記ベルト車２３ａ、２３ｂには、断面が円形の一対の無
端ベルト２８ａ、２８ｂが幅方向に所定間隔をおいて枢
支されており、これら無端ベルト２８ａ、２８ｂの上面
の高さは、前記挿入口２１及び取出口２２の下面と同高
さとなっている。これにより挿入口２１から挿入された
ウェハ１２は無端ベルト２８ａ、２８ｂへ搬入されて取
出口２２方向へ移送される。
入口２１及び取出口２２が同一高さ位置となるように夫
々開口されている。前記ケース１８内には、前記底板２
０に立設された図示しないフレームに軸支された一対の
ベルト車２３ａ、２３ｂが配置されている。このベルト
車のうちの一方（２３ａ）の軸の右端には傘歯車２４が
軸着されており、かっ該傘歯車２４にはモータ２５の駆
動軸２６に軸着された傘歯車２７が歯合されている。前
記ベルト車２３ａ、２３ｂには、断面が円形の一対の無
端ベルト２８ａ、２８ｂが幅方向に所定間隔をおいて枢
支されており、これら無端ベルト２８ａ、２８ｂの上面
の高さは、前記挿入口２１及び取出口２２の下面と同高
さとなっている。これにより挿入口２１から挿入された
ウェハ１２は無端ベルト２８ａ、２８ｂへ搬入されて取
出口２２方向へ移送される。
前記底板２０には、４本の絶縁性フレーム２９が立設さ
れており、これらフレーム２９には前記無端ベルト２８
ａ、２８ｂ上のウェハ１２をその裏面側から加熱するた
めの加熱板３０が支持されている。この加熱板３０の上
面には、前記無端ベルト２８ａ、２８ｂが通る一対の溝
３１ａ、３１ｂが形成されている。
れており、これらフレーム２９には前記無端ベルト２８
ａ、２８ｂ上のウェハ１２をその裏面側から加熱するた
めの加熱板３０が支持されている。この加熱板３０の上
面には、前記無端ベルト２８ａ、２８ｂが通る一対の溝
３１ａ、３１ｂが形成されている。
前記無端ベルト２８ａ、２８ｂの上方には、図示しない
フレームにより支持され、該無端ベルト２８ａ、２８ｂ
上のウェハ１２に熱風を吹付けるための熱風吹付は部材
３２が配設されている。この熱風吹付は部材３２は、石
英ガラス製の筒状本体３３を備えている。前記本体３３
の右端側には・ガス導入管３４が、左端側には配管３５
を介して熱風吹付は部３６が、夫々連結されている。前
記本体３３内には、石英ガラス管３７にヒータ３８を内
蔵した赤外線ランプ３９が挿着されている。
フレームにより支持され、該無端ベルト２８ａ、２８ｂ
上のウェハ１２に熱風を吹付けるための熱風吹付は部材
３２が配設されている。この熱風吹付は部材３２は、石
英ガラス製の筒状本体３３を備えている。前記本体３３
の右端側には・ガス導入管３４が、左端側には配管３５
を介して熱風吹付は部３６が、夫々連結されている。前
記本体３３内には、石英ガラス管３７にヒータ３８を内
蔵した赤外線ランプ３９が挿着されている。
このランプ３９の石英ガラス管３７には、石英ガラス製
の螺旋状突起４０が一体的に巻装されている。また、前
記本体３３の前記ヒータ３８に対応する外周面にはＡ、
ｆｆ等の金属からなる反射膜４１が被覆されている。
の螺旋状突起４０が一体的に巻装されている。また、前
記本体３３の前記ヒータ３８に対応する外周面にはＡ、
ｆｆ等の金属からなる反射膜４１が被覆されている。
次に、本発明の作用について説明する。
まず、エツチング室１４内でエツチング加工を完了した
ウェハ１２はロードロック室１５内に送られ、更にＮ２
ガス室１６に送られ、このＮ２ガス室１６のウェハ１２
は本発明の熱処理装置１７の挿入口２１からケース１８
内に導入され、ケース１８内の無端ベルト２８ａ、２８
ｂの上面に搬入される。つづいて、モータ２５の駆動に
よりベルト車２３ａ、２３ｂに枢支された無端ベルト２
８ａ、２８ｂが回動し、それらの上のウェハ１２は取出
口２２へ向って移動する。この間に、ウェハ１２は無端
ベル）２８ａ、２８ｂの下面から加熱板３０により加熱
されると同時に、上面からは熱風吹付は部材３２の吹付
は部３６からの熱風が吹き付けられることによって、エ
ツチング室１４での塩素系ガスによりウェハ１２表面に
付着された生成物の除去が行なわれ、その排気は排気口
１９より排出される。こうした熱風吹付は部材３２の熱
風吹付は部３６からの熱風発生は、筒状本体３３のガス
導入管３４にＮ２ガス等を導入することにより行なわれ
る。即ち、本体３３内には外周面に螺旋状突起４０を一
体的に形成した赤外線ランプ３９が挿着されているため
、本体３３内に導入されたＮ２ガスは長い流路を持つ螺
旋状突起４０に接触されて高温に加熱され、そのガスは
吹付は部３６よりウェハ１２上面に吹付けられる。また
、同突起４０が形成されたランプ３９の領域に対応して
本体３３の外周面の反射膜４１が被覆されているため、
同領域を該反射膜４１がらの反射エネルギにより高温に
することができ、これにょっても高温のＮ２ガスを吹付
は部３６よりウェハ１２上面に吹付けできる。次いで、
熱処理後のウェハ１２は無端ベルト２８ａ、２８ｂによ
り取出口２２からケース外に取出され、かつ後続のウェ
ハが順次無端ベルト２８ａ、２ｇｂ上に移送され、熱処
理作業が連続的に行なわれることになる。
ウェハ１２はロードロック室１５内に送られ、更にＮ２
ガス室１６に送られ、このＮ２ガス室１６のウェハ１２
は本発明の熱処理装置１７の挿入口２１からケース１８
内に導入され、ケース１８内の無端ベルト２８ａ、２８
ｂの上面に搬入される。つづいて、モータ２５の駆動に
よりベルト車２３ａ、２３ｂに枢支された無端ベルト２
８ａ、２８ｂが回動し、それらの上のウェハ１２は取出
口２２へ向って移動する。この間に、ウェハ１２は無端
ベル）２８ａ、２８ｂの下面から加熱板３０により加熱
されると同時に、上面からは熱風吹付は部材３２の吹付
は部３６からの熱風が吹き付けられることによって、エ
ツチング室１４での塩素系ガスによりウェハ１２表面に
付着された生成物の除去が行なわれ、その排気は排気口
１９より排出される。こうした熱風吹付は部材３２の熱
風吹付は部３６からの熱風発生は、筒状本体３３のガス
導入管３４にＮ２ガス等を導入することにより行なわれ
る。即ち、本体３３内には外周面に螺旋状突起４０を一
体的に形成した赤外線ランプ３９が挿着されているため
、本体３３内に導入されたＮ２ガスは長い流路を持つ螺
旋状突起４０に接触されて高温に加熱され、そのガスは
吹付は部３６よりウェハ１２上面に吹付けられる。また
、同突起４０が形成されたランプ３９の領域に対応して
本体３３の外周面の反射膜４１が被覆されているため、
同領域を該反射膜４１がらの反射エネルギにより高温に
することができ、これにょっても高温のＮ２ガスを吹付
は部３６よりウェハ１２上面に吹付けできる。次いで、
熱処理後のウェハ１２は無端ベルト２８ａ、２８ｂによ
り取出口２２からケース外に取出され、かつ後続のウェ
ハが順次無端ベルト２８ａ、２ｇｂ上に移送され、熱処
理作業が連続的に行なわれることになる。
従って、本発明によればウェハ１２を無端ベルト２８ａ
、２８ｂ上で搬送する間、該ウェハ１２の下面及び上面
を加熱板３０及び熱風吹付は部材３２からの高温の熱風
により加熱できる。その結果、短時間でウェハ１２を加
熱できると共に、均一な熱処理を行なうことができるた
め、エツチング室１４でのエツチング過程でウェハ１２
上に付着された塩素系ガスの生成物を良好に除去でき、
これによってウェハ１２の腐蝕を防止できる。
、２８ｂ上で搬送する間、該ウェハ１２の下面及び上面
を加熱板３０及び熱風吹付は部材３２からの高温の熱風
により加熱できる。その結果、短時間でウェハ１２を加
熱できると共に、均一な熱処理を行なうことができるた
め、エツチング室１４でのエツチング過程でウェハ１２
上に付着された塩素系ガスの生成物を良好に除去でき、
これによってウェハ１２の腐蝕を防止できる。
また、ウェハ１２を水平に配置した状態で連続的に加熱
できるため、エツチング室等のエツチング装置との連結
が可能となり、カセットからのウェハの搬入、エツチン
グ、熱処理を一貫した工程により行なうことができる。
できるため、エツチング室等のエツチング装置との連結
が可能となり、カセットからのウェハの搬入、エツチン
グ、熱処理を一貫した工程により行なうことができる。
更に、熱風吹付は部材３２において、ガス導入管３４か
ら本体３３内に導入されたＮ２ガスは赤外線ヒータ３９
のガラス管３７やその外周面に一体的に形成された突起
に接触するのみで、ニクロム線等のヒータに直接接触し
ないため、該ヒータの酸化劣化により生じた酸化物等が
ガスと共にウェハ上面に吹付けられ、該ウェハを汚染す
るのを防止できる。
ら本体３３内に導入されたＮ２ガスは赤外線ヒータ３９
のガラス管３７やその外周面に一体的に形成された突起
に接触するのみで、ニクロム線等のヒータに直接接触し
ないため、該ヒータの酸化劣化により生じた酸化物等が
ガスと共にウェハ上面に吹付けられ、該ウェハを汚染す
るのを防止できる。
なお、上記実施例においては無端ベルトの断面が円形状
のものを一対使用した場合について説明したが、必ずし
もこれに限定されるものではなく、角形の場合、さらに
は一対でなく１個の幅広の平板状で、長手方向の中央部
に適宜間隔の孔を設けたものであってもよい。
のものを一対使用した場合について説明したが、必ずし
もこれに限定されるものではなく、角形の場合、さらに
は一対でなく１個の幅広の平板状で、長手方向の中央部
に適宜間隔の孔を設けたものであってもよい。
以上詳述した如く、本発明によればウェハ等のシート状
材料の加熱時間を短縮し、しかも均一な加熱が可能とな
り、シート状材料表面にエツチング工程で付着した反応
生成物を効果的に除去して腐蝕を防止でき、しかも熱風
吹付は部材からの熱風中にヒータの酸化劣化で生じた酸
化物等が混入せず、シート状材料表面の汚染を防止でき
、更にエツチング装置との連結が可能で連続臼−動処理
を達成し得るシート状材料の熱処理装置を提供できる。
材料の加熱時間を短縮し、しかも均一な加熱が可能とな
り、シート状材料表面にエツチング工程で付着した反応
生成物を効果的に除去して腐蝕を防止でき、しかも熱風
吹付は部材からの熱風中にヒータの酸化劣化で生じた酸
化物等が混入せず、シート状材料表面の汚染を防止でき
、更にエツチング装置との連結が可能で連続臼−動処理
を達成し得るシート状材料の熱処理装置を提供できる。
第１図は本発明にかかるシート状材料の熱処理装置の一
実施例を示す正面断面図、第２図は第１図の側面断面図
、第３図は本発明を適用したエツチングシステムの説明
図、第４図は従来の熱処理装置を示す斜視図である。 １１・・・カセット、１２・・・ウェハ、１３・・・ロ
ードロック室、１４・・・エツチング室、１５・・・ロ
ードロック室、１６・・・Ｎ２ガス室、１７・・・熱処
理装置、１８・・・ケース、２１・・・挿入口、２２・
・・取出口、２８ａ、２８ｂ・・・無端ベルト、３０・
・・加熱板、３２・・・熱風吹付は部材、３３・・・筒
状本体、３４・・・ガス導入管、３６・・・熱風吹付は
部、３７・・・石英ガラス管、３８・・・ヒータ、３９
・・・赤外線ヒータ、４０・・・螺旋状突起、４１・・
・反射膜。 第１図 第２図 １ム 第３図
実施例を示す正面断面図、第２図は第１図の側面断面図
、第３図は本発明を適用したエツチングシステムの説明
図、第４図は従来の熱処理装置を示す斜視図である。 １１・・・カセット、１２・・・ウェハ、１３・・・ロ
ードロック室、１４・・・エツチング室、１５・・・ロ
ードロック室、１６・・・Ｎ２ガス室、１７・・・熱処
理装置、１８・・・ケース、２１・・・挿入口、２２・
・・取出口、２８ａ、２８ｂ・・・無端ベルト、３０・
・・加熱板、３２・・・熱風吹付は部材、３３・・・筒
状本体、３４・・・ガス導入管、３６・・・熱風吹付は
部、３７・・・石英ガラス管、３８・・・ヒータ、３９
・・・赤外線ヒータ、４０・・・螺旋状突起、４１・・
・反射膜。 第１図 第２図 １ム 第３図
Claims (1)
- 箱型ケースの一側面にシート状材料の挿入口を、反対側
に取出口を夫々同一高さ位置となるように設け、かつ前
記ケース内に搬送部材を前記挿入口から挿入されたシー
ト状材料を取出口へ搬送できるよう上面を前記挿入口お
よび取出口の下面と一致させて配置し、更に前記搬送部
材の上方に搬送部材上を移動するシート状材料に熱風を
吹付ける熱風吹付け部材を、同搬送部材の下方に加熱板
を夫々対向して設けてなるシート状材料の熱処理装置に
おいて、前記熱風吹付け部材を、ガス流入口と熱風吹付
け口を有する透明な筒状本体と、この筒状本体に挿着さ
れ、外周面に螺旋状の突起を有する管部及び該管部内に
挿入されたヒータからなる管状ヒータと、この管状ヒー
タに対応する前記本体外周面に被覆された反射膜とによ
り構成したことを特徴とするシート状材料の熱処理装置
。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17190985A JPS6232619A (ja) | 1985-08-06 | 1985-08-06 | シ−ト状材料の熱処理装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17190985A JPS6232619A (ja) | 1985-08-06 | 1985-08-06 | シ−ト状材料の熱処理装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6232619A true JPS6232619A (ja) | 1987-02-12 |
Family
ID=15932074
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP17190985A Pending JPS6232619A (ja) | 1985-08-06 | 1985-08-06 | シ−ト状材料の熱処理装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6232619A (ja) |
Cited By (2)
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| JPS63293921A (ja) * | 1987-05-27 | 1988-11-30 | Tokuda Seisakusho Ltd | 熱処理装置 |
| WO2015141602A1 (ja) * | 2014-03-20 | 2015-09-24 | 株式会社テクノス | 窒素昇温ユニット |
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| JPS6064177A (ja) * | 1983-09-19 | 1985-04-12 | 富士通株式会社 | 自動乾燥装置 |
-
1985
- 1985-08-06 JP JP17190985A patent/JPS6232619A/ja active Pending
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