JPS6228652A - 感ガス素子の支持装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［発明の技術分野］ 本発明は、発熱体を有する感ガス素子の支持装置に関す
る。

［発明の技術的背景とその問題点］ 気体に接触して電気的変化を示す感ガス素子としては、
例えば、ガス感応体に７ｎ　Ｑ、Ｓｎ　０２系等の金属
酸化物半導体を用いることが良く知られている。かかる
感ガス素子においては、室温より高い温度で作動させる
ことが必要であることから、適当な発熱体を具備した構
成となっている。

ところで、上記感ガス素子は第３図に示すように、平板
の絶縁基板に、ガス感応体及びヒータ等の発熱体を設け
た平板型感ガス素子１で、この感ガス素子１をアルミナ
のケーシング２等に機械的に固定し、リード線３を取り
出す構造となっている。しかしながら、上述した構造に
すると基板からケーシングへの熱伝導が問題となる。即
ち、前記熱伝導が大きいため、ガス感応体の加熱が効率
的に行なえなくなるばかりか、均一加熱も損なわれる。

また熱伝導による熱損失を補うため発熱体の負荷が大き
くなり、ひいては発熱体の寿命低下の原因となる。

［発明の目的］ 本発明は上記の事情に鑑みてなされたもで、熱損失を低
減し、発熱体によるガス感応体の加熱を効率的かつ均一
に行なうことができ、更に発熱体の寿命の延長、リード
線の取り出しを容易にした感ガス素子の支持装置を提供
することを目的とする。

［発明の概要］ 本発明の感ガス素子の支持装置は、複数の支持部がステ
ム本体の上面に突出して一体成形されたマウント用ステ
ムと、このマウント用ステムの前記支持部に対応した位
置に貫通した設けられた電極用のピンと、前記支持部の
上部に設けられた切り欠き部と、この切り欠き部に絶縁
基板の一部が接着剤により固着される発熱体およびガス
感応体を有する感ガス素子とを具備するもので、感ガス
素子の絶縁基板とマウント用ステムとの接触面積を小さ
くし、ガス感応体及び発熱体が設けられた絶縁基板領域
から外部への熱損失を抑制し、もって発熱体によるガス
感応体の加熱を効率的かつ均一に行なうことができ、発
熱体の負荷を抑え、寿命の延長が図れる感ガス素子を作
ることを骨子とするものである。

［発明の実施例］ 以下、本発明の実施例を図面を参照して詳細に説明する
。

第１図（ａ　）　　（ｂ　）は、平板型感ガス素子１０
１の構成を示すもので、（ａ＞は表面側の斜視図であり
、（ｂ）は裏面側の斜視図である。即ち、例えばＡＪ１
２０３基板等の絶縁基板４の表面には例えば金ペースト
でスクリーン印刷され焼成されたくし型電極５が形成さ
れており、その上面には、リード線ボンディング部６を
残して、例えば３ｎ　０２系のｎ型半導体からなるガス
感応体７が形成されており、裏面には例えばＲｔｌ　０
２からなる発熱体８が形成され、その両端には、金電極
９が形成され、その一部はリード線ボンディング部６′
として表面に延長して取り出された構成である。

この感ガス素子１０１を取り付けるケーシングとしての
マウント用ステム１０は第２図（ａ）。

（ｂ）に示し、（ａ　）は断面図、（ｂ）は上面図を示
す。即ち、マウント用ステム１０は、略円板形状のガラ
スよりなるステム本体１３の上面には正方形の各角部に
対応した位置に略円柱状のガラスよりなる支持部１４が
ステム本体１３上に突出して一体にして成形される。前
記ステム本体１３及び支持部１４には各支持部１４にそ
れぞれ対応して、発熱体の電極用の２本のピン１１′と
ガス感応体の電気的変化をとらえる電極用の２本のピン
１１の４本のピン１１．１１’が各支持部１４を軸方向
に貫通して植設される。さらに、前記各支持部１４の上
部には対角位置に対向した部分に感ガス素子１０１の４
隅が嵌合できる大きさの切り欠き部１２が設けられる。

この切り欠き部１２は９０”〜１２０°の角度で設け、
感ガス素子１０１の固定を行ないやすくし、この切り欠
き部１２には例えばリン酸アルミニウム系、ケイ酸ソー
ダ系等の熱伝導の小さい無機接着剤を介して感ガス素子
ｉ、ｉｏ１の各角部を嵌合して固定する。

このように感ガス素子１０１とマウント用ステム１０と
の接触面積を小さくし、さらにアルミナに比べ約１／４
程度の熱伝導率であるガラスをステム材料として用いる
ことで、絶縁基板４からの熱損失量は大幅に低減できる
。

また、ピン１１．１１’の先端部とリード線ボンディン
グ部６．６′をほぼ同一高さとなるように切り欠き部１
２を設けることで、ワイヤーボンディングが可能でリー
ド線取り出しが容易となる。

１３は凹部であり、１４は段部である。

［発明の効果］ 以上述べたように本発明によれば、ガス感応体及び発熱
体等が取り付けられた絶縁基板のケーシングへの熱損失
を低減し、該発熱体によるガス感応体の加熱を効率的、
かつ均一に行なうことができ、更に発熱体の寿命の延長
、リード線の取り出しが容易でしかも、製作が簡単とな
る感ガス素子の支持装置を提供することができる。

【図面の簡単な説明】 第１図は本発明に用いる感ガス素子の一例を示す構成図
、第２図は本発明に係るマウント用ステムの一例を示す
構成図、第３図は従来の感ガス素子の支持装置を示す構
成図である。 １・・・平板型感ガス素子、２・・・ケーシング、３・
・・リード線、４・・・絶縁基板、５・・・くし型電極
、６．６′・・・リード線ボンディング部、７・・・ガ
ス感応体、８・・・発熱体、９・・・金電極、１０・・
・マウント用ステム、１１・・・ピン、１２・・・切り
欠き部。 出願人代理人　弁理士　鈴　江　武　彦７Ｔス毒庭イ本 （ａ） 第１図

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 複数の支持部がステム本体の上面に突出して一体成形さ
   れたマウント用ステムと、このマウント用ステムの前記
   支持部に対応した位置に貫通して設けられた電極用のピ
   ンと、前記支持部の上部に設けられた切り欠き部と、こ
   の切り欠き部に絶縁基板の一部が接着剤により固着され
   る発熱体およびガス感応体を有する感ガス素子とを具備
   することを特徴とする感ガス素子の支持装置。