JPS62285436A - ペレットボンディング外観検査方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ３、発明の詳細な説明 ［産業上の利用分野コ 本発明は、溶融金の濡れ不足やペレット自体の欠けなど
、ペレットとその周辺部に発生している欠陥をペレット
自体の切出し状態をも考慮して自動的に検出するように
したペレットボンディング外観検査方式に関するもので
ある。

［従来の技術］ これまでにペレットボンディング外観検査を自動的に行
なうものとしては１例えば特開昭６０−１８９２６号公
報が知られている。これによるとペレットとその周辺の
画像を画像処理することによっては、ペレットやＩＣパ
ッケージに損傷が在るか否か、ペレットの位置や傾き具
合が正常か否か、ペレットのキャビティへの接着状態が
正常か否かが検出されるものとなっている。

［発明が解決しようとする問題点コ しかしながら、上記従来技術による場合は、ペレット自
体のウェハからの切出しは一応良好なものとして各種欠
陥が検出されるものとなっている。

ペレット外周である実際の切出し外形直線を基僧として
各種欠陥が検出されるようになっているわけである。し
たがって、ペレットがウェハより状態良好にして切出し
されていない場合は欠陥判定基博としての外形線が不明
確となり、これがために欠陥が信頼性大にして検出され
得ないというものである。

本発明の目的は、ペレットボンディング外観を信頼性大
にして検査し得るペレットボンディング外観検査方式を
供するにある。

［問題点を解決するための手段］ 上記目的は、ペレットとその周辺の画像よりそのペレッ
ト内部パターンを認識したうえでそのペレットに対し理
想的な外形直線を設定し、これを基準として各種欠陥検
出を行なうことによって達成される。

［作用］ 設定された理想的な切出し外形直線を実際の切出し外形
直線と比較することによってはそのペレットの切出しが
良好であるか否かが知れるものである。また、＃Ｊ出し
が良好である場合には実際の切出し外形直線がペレット
内部パターン側に一定以上凹んでいるか否かによっては
欠けやクラックが検出され、その切出し外形直線に沿っ
た外周囲部分での明るさ具合からは溶融金の濡れが十分
か否か、したがってペレットのキャビティへの接着状態
が良好であるか否かが知れるものである。この他ｒＣパ
ッケージ内における実際の切出し外形直線の位置からは
ペレットの位置ずれや傾き（回転ずれ）具合が知れるも
のである。

［実施例コ 以下、本実施例を第１図から第７図により説明する。

先ず本発明に係るペレットボンディング外観検査装置に
ついて説明すれば、第２図はその一例での概要構成を検
査対象とともに示したものである。

図示の如く検査対象４におけるペレットとその周辺は明
視野照明光源３により明るく照明されているが、この状
態でペレットとその周辺が光学系２において適当な倍率
とされたうえ例えばＴＶカメラ１によって検出されるよ
うになっているものである。ＴＶカメラ１によって撮像
された画像信号はＡ／Ｄ変換器５によって例えば８ビッ
ト階調データにディジタル変換された後、画像処理装置
６内における画像メモリに所定に記憶されるが、これを
この後適当に画像処理することによっては既述の各種欠
陥が信頼性大にして検出され得るというわけである。な
お、モニタ７は各処理段階での処理結果としての画像を
表示するためのものであり、ＣＲＴ８はキーボード（図
示せず）入力内容（外部指令）を確認表示するためのも
のである。

さて、第３図（ａ）は画像処理装置６内に記憶された階
調データとしての画像を、また、第３図（ｂ）は第３図
（ａ）における０印部分Ａを拡大表示したものである。

このような画像よりペレット９の欠けやクラック、ペレ
ット９がキャビティ１０しこ接着された際での溶融金の
濡れ不足などの欠陥が検出されるようになっているわけ
であるが、本発明による場合それら欠陥検出に先立って
はペレット９に対し理想上での外形直線が設定されるも
のとなっている。ペレット９の実際の外形形状はウェハ
より切断される際に定まるが、一般に切断の位置精度は
十分でないことから、実際の外形直線を基準として欠陥
検出を行なうには問題があるというわけである。

理想上での外形直線が設定されて初めて各種欠陥が信頼
性大にして検出される二とになるが、第１図は本発明に
係る外形直線設定処理とこれに続く欠は欠陥検出処理の
フローを示したものである。

このフローを第４図から第７図を参照しつつ説明すれば
以下のようである。

即ち、先ず外形直線設定処理が行なわれるが、これはペ
レットにおける特定の内部パターンに着目して行なわれ
るようになっている。この場合特定の内部パターンとし
てはワイヤボンディング位置としてのパッドが挙げられ
るものとなっている。

ペレットの内部パターンは一般にその機能によって様々
であるが、外部とワイヤボンディング接続が行なわれる
限りペレット外周縁近傍にはパッドが列状に形成されて
いることから、一般にはこれにもとづき理想的な外形直
線が設定され得るというものである。外形直線設定処理
においては先ず階調画像データは二値化処理されるよう
になっている。第４図は処理結果としての二値化画像を
示すが、これより判るようにパッド１１を始めとしてよ
り明るい画像部分でのパターンが大まかに抽出されるよ
うになっている。この後は抽出されたパターンに対して
はパターンの連続性が考慮されたセグメンテーション処
理が行なわれることによって、孤立パターンには固有の
ラベルが付されたうえ孤立パターン各々についてその面
積が求められるようになっている。パッド１１のパター
ンの面積は予め知れているが、求められた面積が一定範
囲内である場合にはそのパターンをパッド１１のパター
ンの候補として抽出し得るわけである。第５図はこのよ
うにして抽出された候補パターン各々を示したものであ
る。この後候補パターン各々についてはコーナや重心な
どの座標（Ｉ、Ｊ）が求められ、これら座標間での直線
性にもとづきバッド１１位置が求められるものである。

パッド１１の位置にもとづいてはそのペレットに対し理
想的外形形状を規定する外形直線１２．１３が第６図に
示すように設定され得るものである。

以上のようにして理想的な外形直線がそのペレットに対
し設定されたわけであるが、この後は先ずそのペレット
の切出しが良好であるか否かが実際の外形直線と比較す
ることによって判定され。

もしも良好である場合にはペレットの位置ずれや回転ず
れが求められたうえこれらずれが許容されるか否かが判
定されることになろう。切出しやずれが許容されて初め
て欠けや溶融金の濡れ不足が生じているか否かが検出さ
れるところとなるものである。

ここで欠けの検出について説明すれば、これはｙＭ階調
画像データを適当なしきい値で二値化したものについて
行なわれるようになっている。この場合でのしきい値は
一般に先に述べた二値化処理でのそれに異なっている。

二値化画像上において第７図に示す如く実際の外形直線
１２’、１３’と設定された外形直線１２．１３との間
で偏差ｄを求め、全ての対応する点で偏差ｄが一定以下
ならば欠けは存在しないものとして、また、そうでない
場合は欠けが存在するものとして判定し得るものである
。

なお、この欠けの検出はペレットの切出しが良好である
か否かの検出処理と並行して行なうことが可能である。

次に溶融金の濡れ不足検出について簡単に説明すれば、
これは実際のペレット外形直線あるいは設定外形直線の
外周囲近傍に溶融金が如何なる分布で存在しているかを
検出することによって可能となっている。

［発明の効果］ 以上説明したように本発明による場合は、ペレットとそ
の周辺の撮像画像よりそのペレットの理想的な外形直線
が求められ、これを基準としてペレット自体やその周辺
に発生している欠陥が信頼性大にして検出され得るとい
う効果がある。

【図面の簡単な説明】

第１図は１本発明に係る外形直線設定処理を含む一例で
のペレットボンディング外観検査処理のフローを示す図
、第２図は、本発明に係るペレットボンディング外観検
査装置の一例での概要構成を示す図、第３図（ａ）、（
ｂ）は、階調データとしての画像の例と、その一部を拡
大して示す図、第４図、第５図、第６図は、本発明に係
る外形直線設定処理を説明するための図、第７図は、本
発明に係る欠は欠陥検出処理を説明するための図である
。 １・・・ＴＶカメラ、２・・・光学系、３・・・明視野
照明光源、４・・・検査対象、５・・・Ａ／Ｄ変換器、
６・・・画像処理装置、９・・・ペレット、　１０・・
・キャビティ、１１・・・パッド。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. １、ペレットと該ペレット周辺を撮像することによって
   得られる画像より上記ペレットの内部パターンの特徴を
   認識し、該特徴の認識結果にもとづき設定された該ペレ
   ットの理想上での外形直線を基準として、該直線周辺を
   画像処理することによって、ペレット自体の切出し欠陥
   、該ペレット周辺に発生している欠陥を自動的に検出す
   ることを特徴とするペレットボンディング外観検査方式
   。