JPS62252330A - ガラスの製造方法 - Google Patents
ガラスの製造方法Info
- Publication number
- JPS62252330A JPS62252330A JP9630086A JP9630086A JPS62252330A JP S62252330 A JPS62252330 A JP S62252330A JP 9630086 A JP9630086 A JP 9630086A JP 9630086 A JP9630086 A JP 9630086A JP S62252330 A JPS62252330 A JP S62252330A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- solution
- glass
- sol
- gel
- hydrolyzed
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000011521 glass Substances 0.000 title claims abstract description 18
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 5
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 20
- GWEVSGVZZGPLCZ-UHFFFAOYSA-N Titan oxide Chemical compound O=[Ti]=O GWEVSGVZZGPLCZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 20
- -1 alkyl titanate Chemical compound 0.000 claims abstract description 12
- 239000000499 gel Substances 0.000 claims abstract description 9
- 239000000377 silicon dioxide Substances 0.000 claims abstract description 9
- 239000011240 wet gel Substances 0.000 claims abstract description 9
- 239000010419 fine particle Substances 0.000 claims abstract description 7
- 230000003301 hydrolyzing effect Effects 0.000 claims abstract description 6
- 238000002156 mixing Methods 0.000 claims abstract description 5
- 238000005245 sintering Methods 0.000 claims abstract description 5
- 238000001035 drying Methods 0.000 claims abstract description 3
- 239000012445 acidic reagent Substances 0.000 claims description 3
- 239000003153 chemical reaction reagent Substances 0.000 claims description 3
- 230000002194 synthesizing effect Effects 0.000 claims description 2
- VEXZGXHMUGYJMC-UHFFFAOYSA-N Hydrochloric acid Chemical compound Cl VEXZGXHMUGYJMC-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract description 6
- 239000000843 powder Substances 0.000 abstract description 4
- 238000000034 method Methods 0.000 abstract description 3
- 238000003980 solgel method Methods 0.000 abstract description 2
- 239000000243 solution Substances 0.000 abstract 6
- 230000002378 acidificating effect Effects 0.000 abstract 1
- 239000003637 basic solution Substances 0.000 abstract 1
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- VHUUQVKOLVNVRT-UHFFFAOYSA-N Ammonium hydroxide Chemical compound [NH4+].[OH-] VHUUQVKOLVNVRT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 235000011114 ammonium hydroxide Nutrition 0.000 description 2
- 239000012456 homogeneous solution Substances 0.000 description 2
- 230000007062 hydrolysis Effects 0.000 description 2
- 238000006460 hydrolysis reaction Methods 0.000 description 2
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 2
- OGIDPMRJRNCKJF-UHFFFAOYSA-N titanium oxide Inorganic materials [Ti]=O OGIDPMRJRNCKJF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- QGZKDVFQNNGYKY-UHFFFAOYSA-O Ammonium Chemical compound [NH4+] QGZKDVFQNNGYKY-UHFFFAOYSA-O 0.000 description 1
- 208000005156 Dehydration Diseases 0.000 description 1
- LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N Ethanol Chemical compound CCO LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000001133 acceleration Effects 0.000 description 1
- QGZKDVFQNNGYKY-UHFFFAOYSA-N ammonia Natural products N QGZKDVFQNNGYKY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052681 coesite Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000006482 condensation reaction Methods 0.000 description 1
- 230000008602 contraction Effects 0.000 description 1
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
- 229910052906 cristobalite Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000005262 decarbonization Methods 0.000 description 1
- 238000006298 dechlorination reaction Methods 0.000 description 1
- 230000018044 dehydration Effects 0.000 description 1
- 238000006297 dehydration reaction Methods 0.000 description 1
- 238000003795 desorption Methods 0.000 description 1
- 239000006185 dispersion Substances 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000001879 gelation Methods 0.000 description 1
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 1
- 230000010354 integration Effects 0.000 description 1
- 238000010979 pH adjustment Methods 0.000 description 1
- 239000011148 porous material Substances 0.000 description 1
- QQONPFPTGQHPMA-UHFFFAOYSA-N propylene Natural products CC=C QQONPFPTGQHPMA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000004805 propylene group Chemical group [H]C([H])([H])C([H])([*:1])C([H])([H])[*:2] 0.000 description 1
- 239000002994 raw material Substances 0.000 description 1
- 238000003756 stirring Methods 0.000 description 1
- 229910052682 stishovite Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 1
- 229910052905 tridymite Inorganic materials 0.000 description 1
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
- C03C1/00—Ingredients generally applicable to manufacture of glasses, glazes, or vitreous enamels
- C03C1/006—Ingredients generally applicable to manufacture of glasses, glazes, or vitreous enamels to produce glass through wet route
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
- C03C3/00—Glass compositions
- C03C3/04—Glass compositions containing silica
- C03C3/06—Glass compositions containing silica with more than 90% silica by weight, e.g. quartz
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
- C03C2201/00—Glass compositions
- C03C2201/06—Doped silica-based glasses
- C03C2201/30—Doped silica-based glasses containing metals
- C03C2201/40—Doped silica-based glasses containing metals containing transition metals other than rare earth metals, e.g. Zr, Nb, Ta or Zn
- C03C2201/42—Doped silica-based glasses containing metals containing transition metals other than rare earth metals, e.g. Zr, Nb, Ta or Zn containing titanium
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
- C03C2203/00—Production processes
- C03C2203/20—Wet processes, e.g. sol-gel process
- C03C2203/34—Wet processes, e.g. sol-gel process adding silica powder
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- General Chemical & Material Sciences (AREA)
- Geochemistry & Mineralogy (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Glass Melting And Manufacturing (AREA)
- Manufacture, Treatment Of Glass Fibers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明はガラスの製造方法に関する。
従来のＴｉｅ、を含有するガラスの製造方法は、７レー
ムハイドロリシス法ヲ用い、５ｉＯ６４とＴ ｉ ＯＴ
４を原料とし特殊な炉を用いて、１７５０℃以上の高温
で製造するというものであった。（Ｄ 、 Ｏ、５ｃｈ
ｕｌｔｚら、 ＠ＡｍＯｒｐｈＯｕｌＩＭａｔｅｒｉａ
ｌｓ” 、 Ｊｏｈｎ Ｗｉｌｅｙ ａｎｄ ＋３ｏｎ
ｓ、工ｎａ 、 Ｎｅｗ Ｙｏｒｋ ａｎｄＬｏｎｄｏ
ｎ （１９７２） Ｐ、４５３）Ｔ１０．を含有するガ
ラスは石英ガラスより、熱膨張係数が小さく、天体望遠
鏡などに利用されている。
ムハイドロリシス法ヲ用い、５ｉＯ６４とＴ ｉ ＯＴ
４を原料とし特殊な炉を用いて、１７５０℃以上の高温
で製造するというものであった。（Ｄ 、 Ｏ、５ｃｈ
ｕｌｔｚら、 ＠ＡｍＯｒｐｈＯｕｌＩＭａｔｅｒｉａ
ｌｓ” 、 Ｊｏｈｎ Ｗｉｌｅｙ ａｎｄ ＋３ｏｎ
ｓ、工ｎａ 、 Ｎｅｗ Ｙｏｒｋ ａｎｄＬｏｎｄｏ
ｎ （１９７２） Ｐ、４５３）Ｔ１０．を含有するガ
ラスは石英ガラスより、熱膨張係数が小さく、天体望遠
鏡などに利用されている。
しかし、前述の従来技術では、１７５０℃以上という高
温処理が必要で、コストが高くなると≠う問題点を有す
る。
温処理が必要で、コストが高くなると≠う問題点を有す
る。
そこで本発明はこのような問題点を解決するもので、そ
の目的とするところは、ゾル−ゲル法で、割れることな
く大型のＴｉＯ□を含有するガラスを容易に提供すると
ころにある。
の目的とするところは、ゾル−ゲル法で、割れることな
く大型のＴｉＯ□を含有するガラスを容易に提供すると
ころにある。
Ｃ問題点を解決するための手段〕
本発明のガラスの製造方法は、Ｔｉｅｔ−８ｉｎ。
ガラスを以下の工程で製造することを特徴とするｃＬ）
アルキルチタネー・トな塩基性試薬で加水分解して得ら
れるチタニア微粒子を溶液中に含む第一の溶液を合成す
る工程。
アルキルチタネー・トな塩基性試薬で加水分解して得ら
れるチタニア微粒子を溶液中に含む第一の溶液を合成す
る工程。
ｂ）アルキルシリケートを酸性試薬で加水分解し、微粉
末シリカを添加して得られる第二の溶液を合成する工程
。
末シリカを添加して得られる第二の溶液を合成する工程
。
Ｃ）前記第一の溶液と第二の溶液を混合し、ゾル溶液を
得る工程。
得る工程。
ｄ）前記ゾル溶液を所定の容器に移しゲル化させてウェ
ットゲルを得る工程。
ットゲルを得る工程。
ｇ）前記ウェットゲルを乾燥してドライゲルを得る工程
。
。
ｆ）前記ドライゲルを焼結して透明ガラス体を得る工程
。
。
精製した市販の無水エタノール１０２５ｍ、７ンモニア
水（２９％）１３ｓｄ、水１５８ｄの均一溶液を調製し
、前記均一溶液にチタニウム−ｎ−プトキシド６８３ｄ
を添加し、２時間激しく攪拌した後、冷暗所にて一晩静
置してチタニア微粒子を成長させた。この溶液に水２０
０１Ｌｌを添加した後減圧濃縮して２６０ｄとした。こ
の濃縮液を２規定の塩酸を用いてＰＨ値を４．５に調整
した。この溶液を以下第一の溶液という。前記第一の溶
液にはα４０μ扉の平均粒径をもつチタニア微粒子が１
６０を含まれている。（チタニア微粒子温度約［１，６
０ｔ／ｄ、計算値） 別に、精製した市販のエチルシリケー）５０１０ｄにα
０２規定の塩酸３６７６ｍｌを加え、激しく攪拌して加
水分解した後、前記加水分解溶液に微粉末シリカ１６５
０ｒを添加し、１時間攪拌した。その後、２８ＫＨｚの
超音波照射による分散を１時間行った。この溶液を以下
第二の溶液という第１表に示すような製造条件で、前記
第一の溶液と第二の溶液を混合し、その後ａ、１規定の
アンモニア水で、ＰＨ４，０に′＃４整し、ゾル溶液を
作製した。前記ゾル溶液なぎりプロピレン製の容器（幅
４０ｔＭＸ４０備Ｘ高さ１０備）に厚み１釧に移し入れ
、フタをして密閉した。ＰＨ調整してから２時間後にゲ
ル化が起こり、ウェットゲルが得られた。
水（２９％）１３ｓｄ、水１５８ｄの均一溶液を調製し
、前記均一溶液にチタニウム−ｎ−プトキシド６８３ｄ
を添加し、２時間激しく攪拌した後、冷暗所にて一晩静
置してチタニア微粒子を成長させた。この溶液に水２０
０１Ｌｌを添加した後減圧濃縮して２６０ｄとした。こ
の濃縮液を２規定の塩酸を用いてＰＨ値を４．５に調整
した。この溶液を以下第一の溶液という。前記第一の溶
液にはα４０μ扉の平均粒径をもつチタニア微粒子が１
６０を含まれている。（チタニア微粒子温度約［１，６
０ｔ／ｄ、計算値） 別に、精製した市販のエチルシリケー）５０１０ｄにα
０２規定の塩酸３６７６ｍｌを加え、激しく攪拌して加
水分解した後、前記加水分解溶液に微粉末シリカ１６５
０ｒを添加し、１時間攪拌した。その後、２８ＫＨｚの
超音波照射による分散を１時間行った。この溶液を以下
第二の溶液という第１表に示すような製造条件で、前記
第一の溶液と第二の溶液を混合し、その後ａ、１規定の
アンモニア水で、ＰＨ４，０に′＃４整し、ゾル溶液を
作製した。前記ゾル溶液なぎりプロピレン製の容器（幅
４０ｔＭＸ４０備Ｘ高さ１０備）に厚み１釧に移し入れ
、フタをして密閉した。ＰＨ調整してから２時間後にゲ
ル化が起こり、ウェットゲルが得られた。
前記ウェットゲルを密閉状態の１まで２日間熟成し、そ
の後０．４％の開口率をもったフタにとりかえ６０℃で
乾燥させたところ１４日間で、室温に放置しても割れな
い安定なドライゲルが得られた。
の後０．４％の開口率をもったフタにとりかえ６０℃で
乾燥させたところ１４日間で、室温に放置しても割れな
い安定なドライゲルが得られた。
第 １ 表
次に前記ドライゲルな焼結炉に入れ、昇温速度３０℃／
ｈ ｒで３０℃から２００℃まで加熱し、この温度で
５時間保持し、つづいて２００℃から３００℃まで昇温
速度３０℃／ ｈ ｒで加熱し、この温度で５時間保持
して脱吸着水を行った。つづいて昇温速度３０℃／ ｈ
ｒで３ｏｏ℃から１０５０℃まで加熱し、この温度で
５０分間保持して脱炭素、脱塩化アンモニウム処理、脱
水縮合反応の促進処理を行った。つづいて昇温速度３０
°Ｏ／ ｈ ｒで１２５０℃まで加熱し、この温度で３
０分保持して閉孔化処理を行い、その後昇温速度６０℃
／ｈｒで１４００’ｏまで加熱し、この温度で１時間保
持すると無孔化し、透明な試料が得られた。
ｈ ｒで３０℃から２００℃まで加熱し、この温度で
５時間保持し、つづいて２００℃から３００℃まで昇温
速度３０℃／ ｈ ｒで加熱し、この温度で５時間保持
して脱吸着水を行った。つづいて昇温速度３０℃／ ｈ
ｒで３ｏｏ℃から１０５０℃まで加熱し、この温度で
５０分間保持して脱炭素、脱塩化アンモニウム処理、脱
水縮合反応の促進処理を行った。つづいて昇温速度３０
°Ｏ／ ｈ ｒで１２５０℃まで加熱し、この温度で３
０分保持して閉孔化処理を行い、その後昇温速度６０℃
／ｈｒで１４００’ｏまで加熱し、この温度で１時間保
持すると無孔化し、透明な試料が得られた。
各試料のドライゲル、ガラスの大きさ、Ｔｉｅ。
含有伝、熱膨張係数を測定した結果を第２表に示す。
第２表から明らかな如く、本発明によるガラス（試料１
〜５）は、石英ガラスと比べ、熱膨張係数は、著しく低
減されており（石英ガラスの熱膨張係数は、５．５Ｘ１
０−’℃）、外観的には無色透明で、何ら問題はない。
〜５）は、石英ガラスと比べ、熱膨張係数は、著しく低
減されており（石英ガラスの熱膨張係数は、５．５Ｘ１
０−’℃）、外観的には無色透明で、何ら問題はない。
以上述べたように、本発明によれば、アルキルチタネー
トを、塩基性試薬で加水分解して得られるチタニア微粒
子を溶液中に含む第一の溶液と、アルキルシリケートを
、酸性試薬で加水分解し、微粉末シリカを添加して得ら
れる第二の溶液とを、所定の割合で混合して得られるゾ
ル溶液を所定の容器に移し入れてゲル化させてウェット
ゲルを作り、前記ウェットゲルを転線して多孔性のドラ
イゲルとした後焼結することにより、Ｔｉｅ、を含有す
るガラスを、従来に比べ、低温処理で得ることができる
という効果を有する。また、本発明で得られるＴｉＯ□
−ＳｉＯ２ガラスは、石英ガラスに比べ、熱による伸縮
が小さいので、集積度を高めるための工Ｃ用基板、大口
径望遠鏡への応用が考えられる。
トを、塩基性試薬で加水分解して得られるチタニア微粒
子を溶液中に含む第一の溶液と、アルキルシリケートを
、酸性試薬で加水分解し、微粉末シリカを添加して得ら
れる第二の溶液とを、所定の割合で混合して得られるゾ
ル溶液を所定の容器に移し入れてゲル化させてウェット
ゲルを作り、前記ウェットゲルを転線して多孔性のドラ
イゲルとした後焼結することにより、Ｔｉｅ、を含有す
るガラスを、従来に比べ、低温処理で得ることができる
という効果を有する。また、本発明で得られるＴｉＯ□
−ＳｉＯ２ガラスは、石英ガラスに比べ、熱による伸縮
が小さいので、集積度を高めるための工Ｃ用基板、大口
径望遠鏡への応用が考えられる。
以上
Claims (1)
- （１）ＴｉＯ＿２−ＳｉＯ＿２ガラスを以下の工程で製
造することを特徴とするガラスの製造方法。 ａ）アルキルチタネートを塩基性試薬で加水分解して得
られるチタニア微粒子を溶液中に含む第一の溶液を合成
する工程。 ｂ）アルキルシリケートを酸性試薬で加水分解し、微粉
末シリカを添加して得られる第二の溶液を合成する工程
。 ｃ）前記第一の溶液と第二の溶液を混合し、ゾル溶液を
得る工程。 ｄ）前記ゾル溶液を所定の容器に移しゲル化させてウェ
ットゲルを得る工程。 ｅ）前記ウェットゲルを乾燥してドライゲルを得る工程
。 ｆ）前記ドライゲルを焼結して透明ガラス体を得る工程
。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9630086A JPS62252330A (ja) | 1986-04-25 | 1986-04-25 | ガラスの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9630086A JPS62252330A (ja) | 1986-04-25 | 1986-04-25 | ガラスの製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62252330A true JPS62252330A (ja) | 1987-11-04 |
Family
ID=14161180
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9630086A Pending JPS62252330A (ja) | 1986-04-25 | 1986-04-25 | ガラスの製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS62252330A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1188722A1 (en) * | 2000-08-23 | 2002-03-20 | Heraeus Quarzglas GmbH & Co. KG | Article comprising a body made of quartz glass having improved resistance against plasma corrosion, and method for production thereof |
| SG90270A1 (en) * | 2000-12-22 | 2002-07-23 | Shinetsu Quartz Prod | Quartz glass and quartz glass jig having excellent resistance against plasma corrosion, and method for producing the same |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6090835A (ja) * | 1983-10-20 | 1985-05-22 | Seiko Epson Corp | シリカ−チタニアガラスの製造方法 |
| JPS60215532A (ja) * | 1984-04-12 | 1985-10-28 | Seiko Epson Corp | 石英ガラスの製造方法 |
-
1986
- 1986-04-25 JP JP9630086A patent/JPS62252330A/ja active Pending
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6090835A (ja) * | 1983-10-20 | 1985-05-22 | Seiko Epson Corp | シリカ−チタニアガラスの製造方法 |
| JPS60215532A (ja) * | 1984-04-12 | 1985-10-28 | Seiko Epson Corp | 石英ガラスの製造方法 |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1188722A1 (en) * | 2000-08-23 | 2002-03-20 | Heraeus Quarzglas GmbH & Co. KG | Article comprising a body made of quartz glass having improved resistance against plasma corrosion, and method for production thereof |
| SG90270A1 (en) * | 2000-12-22 | 2002-07-23 | Shinetsu Quartz Prod | Quartz glass and quartz glass jig having excellent resistance against plasma corrosion, and method for producing the same |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JPS62252330A (ja) | ガラスの製造方法 | |
| JPS64331B2 (ja) | ||
| JPH0558649A (ja) | シリカ−チタニアガラスの製造方法 | |
| JPH02145442A (ja) | ガラスの製造方法 | |
| JPS62252329A (ja) | ガラスの製造方法 | |
| JPS62230626A (ja) | 多孔質ガラスの製造方法 | |
| JPS62292624A (ja) | ガラスの製造方法 | |
| JPS6360113A (ja) | ガラスの製造方法 | |
| JPH0114177B2 (ja) | ||
| JPS61270225A (ja) | シリカガラスの製造法 | |
| JPS62292626A (ja) | ガラスの製造方法 | |
| JPS62230636A (ja) | 多孔質ガラス体の製造方法 | |
| JPH0825754B2 (ja) | ガラスの製造方法 | |
| JPS62100424A (ja) | ガラスの製造方法 | |
| JPH01179739A (ja) | ドープト石英ガラス及びその製造方法 | |
| JPH02221130A (ja) | 半導体ドープガラス | |
| JPS643811B2 (ja) | ||
| JPS6046937A (ja) | 石英ガラスの製造方法 | |
| JPS62212232A (ja) | ガラスの製造方法 | |
| JPS643812B2 (ja) | ||
| JPS632817A (ja) | 石英ガラスの製造方法 | |
| JPS6369722A (ja) | ガラスの製造方法 | |
| JPS6330335A (ja) | 石英ガラスの製造方法 | |
| JPS63129005A (ja) | シリコン窒化物の製造方法 | |
| JPS6027611A (ja) | 添加形シリカゲルの製造方法 |