JPS63129005A - シリコン窒化物の製造方法 - Google Patents
シリコン窒化物の製造方法Info
- Publication number
- JPS63129005A JPS63129005A JP61273598A JP27359886A JPS63129005A JP S63129005 A JPS63129005 A JP S63129005A JP 61273598 A JP61273598 A JP 61273598A JP 27359886 A JP27359886 A JP 27359886A JP S63129005 A JPS63129005 A JP S63129005A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- sol
- gel
- silicon nitride
- drying
- silicon alkoxide
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 229910052581 Si3N4 Inorganic materials 0.000 title claims abstract description 13
- HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N silicon nitride Chemical compound N12[Si]34N5[Si]62N3[Si]51N64 HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N 0.000 title claims abstract description 13
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 7
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 12
- 239000002245 particle Substances 0.000 claims abstract description 12
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 claims abstract description 11
- 239000010703 silicon Substances 0.000 claims abstract description 11
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 claims abstract description 11
- QGZKDVFQNNGYKY-UHFFFAOYSA-N Ammonia Chemical compound N QGZKDVFQNNGYKY-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 9
- 238000001035 drying Methods 0.000 claims abstract description 8
- -1 silicon alkoxide Chemical class 0.000 claims abstract description 8
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 7
- 230000003301 hydrolyzing effect Effects 0.000 claims abstract description 6
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 claims abstract description 4
- 238000005245 sintering Methods 0.000 claims abstract description 4
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 10
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 3
- QJGQUHMNIGDVPM-UHFFFAOYSA-N nitrogen(.) Chemical compound [N] QJGQUHMNIGDVPM-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- 150000004767 nitrides Chemical class 0.000 abstract description 2
- 238000005121 nitriding Methods 0.000 abstract description 2
- 229910021529 ammonia Inorganic materials 0.000 abstract 2
- 230000001105 regulatory effect Effects 0.000 abstract 1
- VEXZGXHMUGYJMC-UHFFFAOYSA-N Hydrochloric acid Chemical compound Cl VEXZGXHMUGYJMC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- BOTDANWDWHJENH-UHFFFAOYSA-N Tetraethyl orthosilicate Chemical compound CCO[Si](OCC)(OCC)OCC BOTDANWDWHJENH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 239000002585 base Substances 0.000 description 3
- 238000001879 gelation Methods 0.000 description 3
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 3
- 239000000377 silicon dioxide Substances 0.000 description 3
- VHUUQVKOLVNVRT-UHFFFAOYSA-N Ammonium hydroxide Chemical compound [NH4+].[OH-] VHUUQVKOLVNVRT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910001854 alkali hydroxide Inorganic materials 0.000 description 2
- 150000008044 alkali metal hydroxides Chemical class 0.000 description 2
- 235000011114 ammonium hydroxide Nutrition 0.000 description 2
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 2
- 238000002156 mixing Methods 0.000 description 2
- 229910052575 non-oxide ceramic Inorganic materials 0.000 description 2
- 235000012239 silicon dioxide Nutrition 0.000 description 2
- 241000270666 Testudines Species 0.000 description 1
- 239000003610 charcoal Substances 0.000 description 1
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 description 1
- 229910001873 dinitrogen Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 238000011534 incubation Methods 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 150000001247 metal acetylides Chemical class 0.000 description 1
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 1
- 239000011225 non-oxide ceramic Substances 0.000 description 1
- 239000000843 powder Substances 0.000 description 1
- HBMJWWWQQXIZIP-UHFFFAOYSA-N silicon carbide Chemical compound [Si+]#[C-] HBMJWWWQQXIZIP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910010271 silicon carbide Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000002210 silicon-based material Substances 0.000 description 1
- 239000011863 silicon-based powder Substances 0.000 description 1
- 238000003756 stirring Methods 0.000 description 1
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Landscapes
- Ceramic Products (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明け、シリコン窒化物の製造方法に関する。
近年、非酸化物系セラミックス？”−注目されるようＫ
なり、シリコン系では、窒化ケイ素、炭化ケイ素はもち
ろん、二酸化ケイ素の部分や化物、炭化物も注目されて
いる。
なり、シリコン系では、窒化ケイ素、炭化ケイ素はもち
ろん、二酸化ケイ素の部分や化物、炭化物も注目されて
いる。
９化ケイ素の粉末は、シ１１力粉末と炭素粉末を混合し
、窒素ガス中で約２０００℃に加熱することによって得
ちれ、二酸化ケイ素の部分窒化物は、シリカ系ガラスを
アンモニアガス中で加熱することＫより１表面が窒化し
たガラスめ；得られる、〔発明が解決しようとする問題
点〕 しかし前述の従来技術では、反応に高温を要する。窒化
前に任意の形状に成形することｈＳで評ないあるいけ表
面付近しか！化で鎗ないという欠膚ｆ＋ｉあっ之。そこ
で本発明げこのような問題点を解決するもので、その目
的とするところは、比較的低いｍ度で９化で芦、９化紡
に任意の形状に成形で−るシリコン窒化物の製造方法を
提供するところに＄する。
、窒素ガス中で約２０００℃に加熱することによって得
ちれ、二酸化ケイ素の部分窒化物は、シリカ系ガラスを
アンモニアガス中で加熱することＫより１表面が窒化し
たガラスめ；得られる、〔発明が解決しようとする問題
点〕 しかし前述の従来技術では、反応に高温を要する。窒化
前に任意の形状に成形することｈＳで評ないあるいけ表
面付近しか！化で鎗ないという欠膚ｆ＋ｉあっ之。そこ
で本発明げこのような問題点を解決するもので、その目
的とするところは、比較的低いｍ度で９化で芦、９化紡
に任意の形状に成形で−るシリコン窒化物の製造方法を
提供するところに＄する。
本発明のシリコン窒化物の製造方法は、シリコンアルコ
キシドを加水分解し定ゾルに炭素粒子を分散させ、訪ゾ
ルをゲル化、乾燥後、つ素夕はアンモニアガス中で焼結
を行うことを特徴とする。
キシドを加水分解し定ゾルに炭素粒子を分散させ、訪ゾ
ルをゲル化、乾燥後、つ素夕はアンモニアガス中で焼結
を行うことを特徴とする。
シリコンアルコキシドを加水分解シタゾルに。
炭素粒子とともにシリカ粒子を分散させると、乾悸時に
ゲル６１割れｙ＜＜なり、大きなゲルを［ａすることが
で六ろ。ゾルをゲル化させる際、ゾルに＃ｉ幕を加えて
ＰＨ値を調整すること゛により、ゾル／１；ゲル（Ｐオ
る士での時間を調整することとｈ＝できる。、’ＰＨ値
ｈ；約７では瞬時にゲル化し、ＰＨ値／ｌ’、 ３では
ゲル化ｌＩＣ１日以上かかるので、ＰＨ値は３〜７＾；
望ましい。加える塩基は、焼結後のシリコンタ化物中に
塩基の成分を残したくなければ。
ゲル６１割れｙ＜＜なり、大きなゲルを［ａすることが
で六ろ。ゾルをゲル化させる際、ゾルに＃ｉ幕を加えて
ＰＨ値を調整すること゛により、ゾル／１；ゲル（Ｐオ
る士での時間を調整することとｈ＝できる。、’ＰＨ値
ｈ；約７では瞬時にゲル化し、ＰＨ値／ｌ’、 ３では
ゲル化ｌＩＣ１日以上かかるので、ＰＨ値は３〜７＾；
望ましい。加える塩基は、焼結後のシリコンタ化物中に
塩基の成分を残したくなければ。
７７モニ７ 水？＋’望＝シ＜、 暁結徐のシリコン窒
化物中に塩基の成分が残っても良い場合は、水酸化アル
カリ、水酸化アルカリニ類１’ｌ”−利用しやすい。
化物中に塩基の成分が残っても良い場合は、水酸化アル
カリ、水酸化アルカリニ類１’ｌ”−利用しやすい。
寸之、ＰＨ値を調整したゾルを任意の形状の型の中でゲ
ル化させれば、任意の形状のシリコンタ化物を得ること
ｈ；できる。
ル化させれば、任意の形状のシリコンタ化物を得ること
ｈ；できる。
〔実施例１〕
エチルシリケート１０ｊ（○Ｃ！２）Ｔｓ）４） ２０
０ぜ、１０２Ｎ塩酸６５ｍ１を混合、１時間攪拌してエ
チルシリケートを加水分解し、無色透明なゾルを得た。
０ぜ、１０２Ｎ塩酸６５ｍ１を混合、１時間攪拌してエ
チルシリケートを加水分解し、無色透明なゾルを得た。
このゾルに炭素粒子４３．２９を加え３０分間攪拌し、
炭１粒子を分散させた。さらに０．ＩＮ’アンモニア水
を加えＰＨ値を６に調整したところ、１０４＋後にゲル
化した。このゲルを６０゛Ｃで６日間乾燥した後、アン
モニアガスを流しながち、１２００℃まで加熱【たとこ
ろ、シリコン窒化物が得られ之。
炭１粒子を分散させた。さらに０．ＩＮ’アンモニア水
を加えＰＨ値を６に調整したところ、１０４＋後にゲル
化した。このゲルを６０゛Ｃで６日間乾燥した後、アン
モニアガスを流しながち、１２００℃まで加熱【たとこ
ろ、シリコン窒化物が得られ之。
〔実施例２〕
エチルシリケート（Ｆ３ｉ （Ｏ０ｚＨ５）４） ２０
０ ｍｌ、０．０２Ｎ塩酸１６０ｒｎｔを混合、１時間
攪拌してエチルシリケートを加水分解し、無色透明なゾ
ルを得た。このゾルにシリカ粒子５４ｇ、炭素粒子４３
．２ 、ｌｉ＋を加七３０分間攪拌し、シリカ粒子、炭
素粒子を分散させた。さちに０．ＩＮアンモニア水を加
えＰＨ値を４に！ＩＮ整したところ、６時間後にゲル化
した。このゲルを６０℃で３日間乾燥した後、９＊ガメ
を。
０ ｍｌ、０．０２Ｎ塩酸１６０ｒｎｔを混合、１時間
攪拌してエチルシリケートを加水分解し、無色透明なゾ
ルを得た。このゾルにシリカ粒子５４ｇ、炭素粒子４３
．２ 、ｌｉ＋を加七３０分間攪拌し、シリカ粒子、炭
素粒子を分散させた。さちに０．ＩＮアンモニア水を加
えＰＨ値を４に！ＩＮ整したところ、６時間後にゲル化
した。このゲルを６０℃で３日間乾燥した後、９＊ガメ
を。
流しなｈＳち、１６００℃まで加熱したところ、シリコ
ン窒化物が得ちれ友。
ン窒化物が得ちれ友。
以上述べ友よう忙本発明によれば、シリコンアルコキシ
ド°を加水分解したゾルに炭素粒子を分散させ、該ゾル
をゲル化、乾燥後、窒素又はアンモニアガス中で焼結を
行うので、比較的低い温習で任意の形状のシリコン窒化
物ｈ＝ ４られる。し之ＩＩＩ；って、非酸化物系セラ
ミックス素材として、多方面に応用で鎗る。
ド°を加水分解したゾルに炭素粒子を分散させ、該ゾル
をゲル化、乾燥後、窒素又はアンモニアガス中で焼結を
行うので、比較的低い温習で任意の形状のシリコン窒化
物ｈ＝ ４られる。し之ＩＩＩ；って、非酸化物系セラ
ミックス素材として、多方面に応用で鎗る。
以 上
Claims (3)
- （１）シリコンアルコキシドを加水分解したゾルに炭素
粒子を分散させ、該ゾルをゲル化、乾燥後窒素又はアン
モニアガス中で焼結を行うことを特徴とするシリコン窒
化物の製造方法。 - （２）シリコンアルコキシドを加水分解したゾルに、炭
素粒子とともにシリカ粒子を分散させることを特徴とす
る特許請求の範囲第１項記載のシリコン窒化物の製造方
法。 - （３）ゾルをゲル化させる際、ゾルに塩基を加えてＰＨ
値を３〜７に調整することを特徴とする特許請求の範囲
第１項又は第２項記載のシリコン窒化物の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61273598A JPS63129005A (ja) | 1986-11-17 | 1986-11-17 | シリコン窒化物の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61273598A JPS63129005A (ja) | 1986-11-17 | 1986-11-17 | シリコン窒化物の製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63129005A true JPS63129005A (ja) | 1988-06-01 |
Family
ID=17530003
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP61273598A Pending JPS63129005A (ja) | 1986-11-17 | 1986-11-17 | シリコン窒化物の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS63129005A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2021085101A (ja) * | 2019-11-25 | 2021-06-03 | 日本バイリーン株式会社 | 窒化ケイ素繊維の製造方法 |
-
1986
- 1986-11-17 JP JP61273598A patent/JPS63129005A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2021085101A (ja) * | 2019-11-25 | 2021-06-03 | 日本バイリーン株式会社 | 窒化ケイ素繊維の製造方法 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JPS63129005A (ja) | シリコン窒化物の製造方法 | |
| CN107129287A (zh) | 一种墙体保温材料及其制备方法 | |
| JPS64331B2 (ja) | ||
| WO1984001531A1 (en) | Making hot pressed silicon nitride by use of low density reaction bonded body | |
| JPS62252330A (ja) | ガラスの製造方法 | |
| JPS63144168A (ja) | シリコン炭化物の製造方法 | |
| JPS60215532A (ja) | 石英ガラスの製造方法 | |
| JPH04292425A (ja) | シリカガラスの製造法 | |
| JPS6046937A (ja) | 石英ガラスの製造方法 | |
| JPH02145442A (ja) | ガラスの製造方法 | |
| JPS62292624A (ja) | ガラスの製造方法 | |
| CN85100510A (zh) | 含有氧化钇、氧化镧和氧化铝的氮化硅陶瓷及制造方法 | |
| JPS59195570A (ja) | ジルコニア系多孔質セラミツクスの製造方法 | |
| US20040182111A1 (en) | Method of manufacturing lightweight ceramics | |
| JPS59102831A (ja) | 石英ガラスの製造方法 | |
| JPS6065733A (ja) | 石英ガラスの製造方法 | |
| JPS62230628A (ja) | 多孔質ガラスの製造方法 | |
| JPS6086035A (ja) | 石英ガラスの製造方法 | |
| JPS6246956A (ja) | ムライト焼結体の製造方法 | |
| JPS62100424A (ja) | ガラスの製造方法 | |
| KR970020126A (ko) | 원적외선 방사타일의 제조방법 | |
| SU1231028A1 (ru) | Способ получени зернистого теплоизол ционного материала | |
| JPS6046934A (ja) | 石英ガラスの製造方法 | |
| CN114804122A (zh) | 超纯硅溶胶的制备方法及其制品 | |
| JPS61174106A (ja) | 窒化けい素微粉末の製造法 |