JPS6086035A - 石英ガラスの製造方法 - Google Patents

石英ガラスの製造方法

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Publication number
JPS6086035A
JPS6086035A JP19483183A JP19483183A JPS6086035A JP S6086035 A JPS6086035 A JP S6086035A JP 19483183 A JP19483183 A JP 19483183A JP 19483183 A JP19483183 A JP 19483183A JP S6086035 A JPS6086035 A JP S6086035A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
quartz glass
sol
silicate
temperature
production
Prior art date
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Pending
Application number
JP19483183A
Other languages
English (en)
Inventor
Satoru Miyashita
悟 宮下
Sadao Kanbe
貞男 神戸
Motoyuki Toki
元幸 土岐
Tetsuhiko Takeuchi
哲彦 竹内
Haruo Nagafune
長船 晴夫
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Seiko Epson Corp
Suwa Seikosha KK
Original Assignee
Seiko Epson Corp
Suwa Seikosha KK
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Filing date
Publication date
Application filed by Seiko Epson Corp, Suwa Seikosha KK filed Critical Seiko Epson Corp
Priority to JP19483183A priority Critical patent/JPS6086035A/ja
Publication of JPS6086035A publication Critical patent/JPS6086035A/ja
Pending legal-status Critical Current

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Classifications

    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C03GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03CCHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
    • C03C1/00Ingredients generally applicable to manufacture of glasses, glazes, or vitreous enamels
    • C03C1/006Ingredients generally applicable to manufacture of glasses, glazes, or vitreous enamels to produce glass through wet route

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • General Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Geochemistry & Mineralogy (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Glass Melting And Manufacturing (AREA)
  • Glass Compositions (AREA)
  • Silicon Compounds (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明はアルキルシリケート、微粉末シリカを原料とし
、pHを3〜6に調整するゾル−ゲル法による石英ガラ
スの低温合成法において、pH調整前に温度を制御しな
がら超音波振・動を行なうことにより、透明で高品質の
石英ガラスを製造する方法に関する。
石英ガラスはIO製造工程中でるつぼやボード拡散炉等
に使用されるようになり、その有用性が認められ、更に
水酸基の少ないものや光学的均一性の良いものが開発さ
れたことによって、各種の光学的用途に使用されるよう
になり、特に光通信用の石英ガラスファイバーが最近注
目されているこのように石英ガラスは種々の分野に使用
され、その利用範囲も広がっている。しかし、石英ガラ
スの製造コストは高く、高価なことが問題になっている
。安価で高品質な石英ガラスを製造する方法として、ゾ
ル−ゲル法が試みられている。
ゾル−ゲル法を用いて歩留り良く、大型の石英ガラスを
得る方法として、アルキルシリケートを加水分解したゾ
ル中に超微粉末シリカを加え、更にpHを3〜6に調整
した後、50〜90℃で転線し、焼結する方法がある。
ドライゲル作製中の割れの問題と、焼結中の割れやクラ
ックの問題を同時に解決したものであり、かなり大きな
石英ガラス(41nchφ 以上)か低コストで製造で
きるようになった。
しかし晶質的にはまだ悪く、これはゾル中の超微粉末シ
リカの分散状態に問題があると思われる。超微粉末シリ
カは塊状物を形成しやすく、それが焼結残りや発泡の原
因となっている。塊状物を分解する方法としては超音波
による振動が非常に有効である。ゾル中の平均粒径が大
幅に減少し、品質の高い石英ガラスが得られるようにな
った。
ところが超音波による振動は発熱をともなう為、処理中
にゲル化する場合もあり、長時間処理することができな
い。ゲル化はアルキルシリケートの加水分解生成物であ
るテトラヒドロキシシランの脱水Jri4重合反応によ
って起こる。発熱による温度上昇により、反応速度は著
しく促進される。
部分的にゲル化物が生じると、乾燥・収縮の過程で割れ
の原因となる為、歩留りが大幅に低下する。また、高品
質の石英ガラスを製造するためには、超音波による振動
を長時間にわたって行ない、超微粉末シリカを均一に分
散させる必要がある本発明は高品質の石英ガラスを歩留
り良く製造することを目的とした。
次に本発明の概略を述べる。アルキルシリケートを酸性
触媒で加水分解するとテトラヒドロキシシランが生成す
る。溶液はpH3よりも酸性寄りの為、40℃以下の温
度だとゲル化までに24時間以上を要する。温度が50
℃以上になると、ゲル化は数時間で起こる。
超微粉末シリカを分散させたゾルを、超音波により振動
させると30分位で50℃以上に温度が上昇する。この
発熱は冷却水、水冷等で制御でき、5〜40℃の温度範
囲で保持することが可能である。この条件だと、テトラ
ヒドロキシシランの重合を抑制しながら、超微粉末シリ
カの分散を充分に行なうことができる。その後塩基を添
加してpHを3〜6に調整すると、均質のまま重合速度
が促進され、高品質の石英ガラスを歩留り良く製造する
ことができる。
超音波振動時の温度は低いほど重合速度を抑制できるが
、ゾルの粘性が高くなるので分散効率が低下する。その
為適当な温度範囲は15℃〜300Cである。
以下、実施例に基づき本発明の詳細な説明する実施例1
゜ エチルシリケート440−6 と01規定塩酸水溶液3
60 mt を激しく攪拌し、無色透明の均一溶液を得
た。そこにシリカ微粉末〔Aθrosil OX−50
) 150 fを徐々に添加し、充分に攪拌した。冷却
管をゾル中に入れ、ゾルを20℃に保ちながら28KH
2の超音波を2時間照射した。
超音波振動により粘性は500F(25℃)から250
Pに低下した。平均粒径も0.22μおから0.16μ
常に減少し、分散が非常に効果的に行なわれたことを示
した。
このゾルをP 1(4,5に調整した後、内径1ocr
nの容器10個に5111Pづつ入れ、60’Cで乾燥
させたところ直径7cmのドライゲルが得られた。さら
に1B0°C/ h rの昇温速度で1200℃まで加
熱すると、直径5c+++の石英ガラスになった。
10個すべてにおいて、割れやクラックは発生せず、歩
留り100%で21nchφ の石英ガラスが製造でき
た。
得られた石英ガラスは気泡をほとんど含まず無色透明で
、含水率も0.15wt% と低く、光学的にも良い特
性を示した。
実施例λ 実施例1と同様の組成でシリカ微粉末を添加したゾルを
20℃に保ちながら、ゾルに28 KHzの超音波を5
時間照射した。粘性は500Pから200Pに低下し、
平均粒径も022μ常から0.14μ常に減少した。分
散状態が実施例1より良くなり、焼結により得られた石
英ガラス内の気泡は実施例1より減少していた。
実施例6゜ 実施例1と同様の組成でシリカ微粉末を添加したゾルを
5℃に保ちながら、ゾルに28に1(zの超音波を5時
間照射した。粘性は500Fから250Pに低下し、平
均粒径も0,22μ常から0.16μ餌に減少した。焼
結により得られた石英ガラスの品質は、実施例1とほと
んど変わらなかった。
参考例1゜ 実施例1と同様の組成でシリカ微粉末を添加したゾルを
冷却せずに、28KH2の超音波を照射した。1時間後
、ゾルの温度は60℃以上に達し、塊状の沈澱物が数多
く観察された。2時間後には完全にゲル化した。
以上実施例に示したように、本発明は高品質の石英ガラ
スを歩留り良く製造する為に欠くことのできない製造方
法である。ゾル−ゲル法は安価で石英ガラスを製造でき
るという特徴を持つが、高品質のガラスは製造が困at
だとされていた。本発明により、光学的用途にも応用が
期待できる。
以 上 出願人 株式会社諏訪精工舎 代理人 弁理士 最上 務

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. (1) 少くともアルキルシリケートおよび超微粉末シ
    リカを原料とし、ゾルを超音波振動で均一に分散させた
    後、pHを3〜6に調整するゾル−ゲル法による石英ガ
    ラスの低温合成法において、超音波振動時にゾルを0℃
    〜40℃の温度範囲で保持することを特徴とする石英ガ
    ラスの製造方法。
  2. (2) 超音波振動時の好ましい温度範囲は15℃〜3
    0℃である特許請求の範囲第1項記載の石英ガラスの製
    造方法。
JP19483183A 1983-10-18 1983-10-18 石英ガラスの製造方法 Pending JPS6086035A (ja)

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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS61227935A (ja) * 1985-03-29 1986-10-11 エヌ・ベー・フイリツプス・フルーイランペンフアブリケン ガラス物体の製造方法および製造装置
JPS62100439A (ja) * 1985-10-25 1987-05-09 エヌ・ベ−・フイリツプス・フル−イランペンフアブリケン 回転対称ガラス体の製造法および製造装置
KR20010038790A (ko) * 1999-10-27 2001-05-15 윤종용 졸-겔 공정용 실리카 글래스의 제조장치 및 방법

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