JPS62245644A - 半導体ペレツトピツクアツプ方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［発明の技術分野］ 本発明は、半導体ペレットピックアップ方法に関する。

［発明の技術的背景］ 半導体ペレットをリードフレーム等の所定位置に載置、
固定するマウント装置においては、例えば特開昭５７−
６８０４２号公報に記載されるように、通常シート上に
配置された半導体ペレットをシート下面より突き上げニ
ードルで突き上げるとともに、この突き上げニードルで
突き上げられた半導体ペレットを真空圧を利用した吸着
ノズルで保持し、リードフレーム等に搬送することが行
なわれる。

ところでシートに配置された半導体ペレットを順次リー
ドフレーム等に搬送するに先立ち、突き上げニードルの
軸心と吸着ノズルの軸心とが一直線上となるようにそれ
ぞれ位置調整するとともに、この直線上にこれから搬送
される半導体ペレットの中心位置を合わせる作業が行な
われる。

これは、例えば突き上げニードルと吸着ノズルとの軸心
がずれていた場合、突き上げニードルで突き上げられた
半導体ペレットが吸着ノズルにて正確に保持することが
できずに、吸着ミスやマウント時の位置ずれを生じてし
まったり、或いは半導体ペレット中心位置に対して突き
上げニードルの軸心がずれていた場合には突き上げニー
ドルにより半導体ペレットにカケを生じせしめたりする
原因となるからである。

そこで例えば吸着ノズルの軸心を半導体ペレットの中心
位置に合わせる場合について説明すると、まず吸着ノズ
ルを半導体ペレットの極く近くまで下降させ、側方より
作業者がのぞき込むようにするとともに、次にジョイス
ティック等を用いて半導体ペレットの配置されたシート
を吸着ノズルに対して相対的に移動させながら軸心合わ
せ作業を行なっていた。

［背景技術の問題点］ このように作業者の目視による軸心合わせにおいては、
調整作業に非常に時間がかかるに加え、側方よりのぞき
込むようにして行なうため、正確な軸心合わせを行なう
ことが困難であった。

［発明の目的］ 本発明は上記した欠点を除去するために成させたもので
、軸心合わせを非常に簡単にしかも短時間にて行なうこ
とのできる半導体ペレットピックアップ方法を提供する
ことを目的とする。

［発明の概要］ 上記目的を達成するために本発明においては、撮像器を
用いてモニタ上に、突き上げニードルの位置、半導体ペ
レット真空吸着ノズルを映し出し、このモニタ上にて軸
心合わせを行なうようにしたことを特徴とする。

［発明の実施例］ 以下本発明の一実施例について図面を参照しながら説明
する。第１図はマウント装置の部分断面正面図、第２図
は第１図における要部を拡大した断面正面図、第３図は
モニタ上に映し出された突き上げニードルの軸心合わせ
状態を示す図で、同図（ａ）は軸心合わせ前、同図（ｂ
）は軸心合わせ終了後の図、第４図はモニタ上に映し出
された半導体ペレットの軸心合わせ状態を示す図で、同
図（ａ）は軸心合わせ前、同図（ｂ）は軸心合わせ終了
後の図、第５図はモニタ上に映し出された吸着ノズルの
軸心合わせ状態を示す図で、同図（ａ＞は軸心合わせ前
、同図（ｂ）は軸心合わせ終了後の図を各々示す。

まず第１図において、半導体ペレット１（以下ペレット
１という）は、粘着シート２上に整列状態で配置されて
おり、カセットリング３に保持される。カセットリング
３は、ＸＹテーブル４に立設させた支持ブラケット５に
保持されており、従って粘着シート２上のペレット１を
水平面内でＸ、Ｙ方向に移動させることが可能となる。

なおＸＹテーブル４にざらにθテーブルを設け、このθ
テーブルにカセットリング３が保持されるようにしても
よい。

カセットリング３の下方には突き上げニードル６が配置
される。突き上げニードル６は、その上動時、粘着シー
ト２の下面よりシート２上のペレット１を突き上げ可能
とするため、ホルダ７に軸受７′を介して摺動自在に保
持され、カム装置等適宜手段Ａにより上下動させられる
。そしてホルダ７は第２図に示されるように機台８にボ
ルト９にて取着される。１１は吸着ノズルで、移送アー
ム１２に取着される。移送アーム１２は、機台８に載置
されたＸＹテーブル（図示省略）並びにこのＸＹテーブ
ル上に載置された上下動機構（図示省略）によって粘着
シート２とフィーダ１３上に載置されたリードフレーム
１４間を往復動じ、往復動端にて上下動させられ、この
移動により吸着ノズル１１は、粘着シート２からペレッ
ト１を１個吸着保持し、リードフレーム１４の所定位置
にマウントすることとなる。

吸着ノズル１１は第２図にその詳細が示されるように、
移送アーム１２に保持されるノズル本体１５、ペレット
１と接触するノズル部１６、このノズル部１６をノズル
本体１５に固定するノズル部保持体１７、ノズル本体１
５の上部にねじ込まれた栓１８とから成り、ノズル本体
１５、ノズル部１６、ノズル保持体１７、栓１８にはそ
れぞれ同軸上に貫通孔１５ａ、ノズル孔１６ａ、貫通孔
１７ａ、１８ａがそれぞれ形成され、さらに栓１８には
貫通孔１８ａと連通し外周まで延びる連通孔１８ｂが形
成され、この連通孔１８ｂはパイプ１９を介して図示省
略の真空源と適宜接続される。

また栓１８の上方開口部には、０リング２０を介して上
蓋２１が設けられ、この上蓋２１は、栓１８側方に設け
られた弾性を有する押圧部材２２により押し付けられ、
貫通孔１８ａの上方開口部を密に塞ぐようになっている
。そして上Ｍ２１は透視できるガラスやプラスチック材
より形成されており、従って吸着ノズル１１のノズル孔
１６ａは、上蓋２１より貫通孔１８ａ、１５ａ、１７ａ
を通して視認可能とされる。

２３は粘着シート２上で、ピックアップ位置上方にて機
台８に固定配置されたＩＴＶカメラで、このＩＴＶカメ
ラ２３に取り込まれた像は、公知のカメラコントロール
ユニット２４　（ＣＣｔＪ）を介してモニタ２５上に映
し出されるようになっている。またカメラコントロール
ユニット２４には、モニタ２５上にクロスライン２６（
第３図参照）を発生するクロスライン発生回路も内蔵し
ており、このクロスライン２６の交点Ｏが、すなわちＩ
ＴＶカメラ２３の軸心ａということになる。

なおＩＴＶカメラ２３は、ブラケット２７を介してボル
ト２８にて機台８に取り付けられるが、ブラケット２７
には長孔２９が形成され、この範囲においてＩＴＶカメ
ラ２３は水平方向にその取り付は位置を調整可能とされ
る。

さて次に上記構成によるペレット１のピックアップ方法
について説明する。初めに突き上げニードル６の軸心す
とＩＴＶカメラ２３の軸心ａの合わせ作業について説明
する。まず移送アーム１２をフィーダ１３方向に移動さ
せ、ＩＴＶカメラ２３の視野内に位置しないようにして
おいてから、ＸＹテーブル４を移動させることにより、
突き上げニードル６上方に、粘着シート２におけるペレ
ット１が配列されていない部分（カセットリング３の近
傍）を位置させ、そして突き上げニードル６を１回上下
動させて粘着シート２の裏面に打痕３０を形成する。こ
の打痕位置は、突き上げニードル６の位置ということに
なる。ＩＴＶカメラ２３は、この打痕３０を画像として
取り込み、第３図（ａ）に示すよう・に、モニタ２５上
に映し出される。この図の場合、打痕３０は、モニタ２
５のクロスライン２６の交点Ｏに対してずれていること
がわかる。そこで作業者は、ボルト２８をゆるめ、ＩＴ
Ｖカメラ２３を保持するブラケット２７を長孔２９を利
用して徐々に移動させ、第３図（ｂ）に示されるように
、形成された打痕３０にクロスライン２６の交点Ｏを一
致させ、ＩＴＶカメラ２３を機台８に固定することで、
突き上げニードル６の軸心すとＩＴＶカメラ２３の軸心
ａの合わせ作業が終了する。

なおこの軸心合わせは、粘着シート２を完全にＩＴＶカ
メラ２３の視野外に退避させておき、突き上げニードル
６を直接モニタ２５上に映し出すようにして行なうこと
もできる。

また、ＩＴＶカメラ２３を固定とし、突き上げニードル
６を移動調整して、両者の軸心を合わせるようにしても
よい。

次にペレット１の中心ＣとＩＴＶカメラ２３の軸心ａの
合わせ作業について説明する。これにはＸＹテーブル４
を駆動することで粘着シート２に配列され最初にピック
アップされるペレット１をＩＴＶカメラ２３下に位置さ
せる。これは、例えばマウント装置の制御部に予めメモ
リされた半導体ペレット１の位置座標に基づきＸＹテー
ブル４を駆動すればよい。さてＩＴＶカメラ２３はこの
ペレット１を画像として取り込み、第４図（ａ）に示さ
れるようにこのペレット１の像がモニタ２５上に映し出
される。そして同図に示されるように、ペレット１の中
心Ｃがクロスライン２６の交点Ｏからずれている場合、
モニタ２５を児ながら□ＸＹテーブル４を移動させるこ
とで、その位置の補正を行なう。そして第４図（ｂ）に
示される状態の時、ペレット１の中心ＣとＩＴＶカメラ
２３の軸心ａの合わせ作業が終了する。

次に□吸着ノズル１１の軸心ｄとＩＴＶカメラ２３の軸
心ａの合わせ作業について説明する。これには移送アー
ム１２を粘着シート２方向の移動端にまず位置させる。

すると吸着ノズル１１の軸心□ｄは、ＩＴＶカメラ２３
の軸心ａの近傍に位置することとなる。ＩＴＶカメラ２
３は、この吸着ノズル１１の画像を取り込むこととなる
が、吸着ノズル１１は前述したように上蓋２１が透視部
材より形成されているため、吸着ノズル１１の上方から
はノズル孔１６ａが視認可能なため、第５図（ａ）に示
されるように、モニタ２５にはこのノズル孔１６ａが映
し出されることとなる。そしてモニタ２５を兄ながら、
このノズル孔１６ａの軸心、すなわち吸着ノズル１１の
軸心ｄが第５図（ｂ）に示されるようにクロスライン２
６の交点Ｏと一致するまで移送アーム１２が載置される
ＸＹテーブル（図示省略）を移動さぜることにより、移
送アーム１２の移動端位置を補正することで、吸着ノズ
ル１１の軸心ｄとＩＴＶカメラ２３の軸心ａの合わせ作
業が終了する。

このような作業により、ＩＴＶカメラ２３の軸心ａに対
して、突き上げニードル６の軸心ｂ、粘着シート２上の
最初にピックアップされるペレット１の中心Ｃ１吸着ノ
ズル１１の軸心ｄが一直線上に調整されたことになる。

その後、マウント装置は、突き上げニードル６が粘着シ
ート２上の最初にピックアップされるペレット１を粘着
シート２裏面より突き上げるとともに、この突き上げ動
作に連動して、移送アーム１２が下動し、この突き上げ
ニードル６によって突き上げられたペレット１を吸着ノ
ズル１１が吸着保持して、リードフレーム１４側に搬送
しマウントするといった、公知の作業が行なわれる。ま
た１個ペレットがピックアップされる毎に、ＸＹテーブ
ル４が１ピツチ移動し、ピックアップ位置に次のペレッ
ト１が位置させられることとなる。

このように上記実施例においては、突き上げニードル６
、ペレット１、吸着ノズル１１各々を、その軸心方向に
設けられたＩＴＶカメラ２３を用いて撮像し、モニタ２
５上に映し出されるように構成したため、作業者はこの
モニタ２５を見ながらそれぞれ位置調整を行なえるので
、調整作業を短時間に行なうことができる。またそれに
加えて、その調整も、従来側方から児ながら行なってい
たのに比べ、極めて正確に行なうことが可能となる。

このため、ピックアップミスや、ペレットのカケを生じ
ゼしめることなく、ペレットのピックアップ作業を行な
うことができる。

［発明の効果］ 本発明による半導体ペレットピックアップ方法によれば
、軸心合わせを非常に簡単にしかも短時間で正確に行な
うことが可能となる。

【図面の簡単な説明】

第１図はマウント装置の部分断面正面図、第２図は第１
図における要部を拡大した断面正面図、第３図はモニタ
上に映し出された突き上げニードルの軸心合わせ状態を
示す図で、同図（ａ）は軸心合わせ前、同図（ｂ）は軸
心合わせ終了後の図、第４図はモニタ上に映し出された
半導体ペレットの軸心合わせ状態を示す図で、同図（ａ
）は軸心合わせ前、同図（ｂ）は軸心合わせ終了後の図
、第５図はモニタ上に映し出された吸着ノズルの軸心合
わせ状態を示す図で、同図（ａ）は軸心合わせ前、同図
（ｂ）は軸心合わせ終了後の図を各々示す。 １・・・半導体ペレット、４・・・ＸＹテーブル、６・
・・突き上げニードル、１１・・・吸着ノズル、１２・
・・移送アーム、１４・・・リードフレーム、１５・・
・ノズル本体、１６・・・ノズル部、１６ａ・・・ノズ
ル孔、２１・・・上蓋、２３・・・ＩＴＶカメラ（Ｍ機
器）、２５・・・モニタ、２６・・・クロスライン。 特許出願人　　　東芝精機株式会社 −１４＝

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. （１）下記の工程を有することを特徴とする半導体ペレ
   ットピックアップ方法。 ａ、撮像器を用いてモニタ上に突き上げニードルの位置
   を映し出し、この突き上げニードルと前記撮像器との軸
   心合わせを行なう工程。 ｂ、前記撮像器を用いて前記モニタ上に半導体ペレット
   を映し出し、この半導体ペレットと前記撮像器との軸心
   合わせを行なう工程。 ｃ、前記撮像器を用いて前記モニタ上に真空吸着ノズル
   を映し出し、この真空吸着ノズルと前記撮像器との軸心
   合わせを行なう工程。