JPS62229050A - 物体の表面欠陥検査方法 - Google Patents
物体の表面欠陥検査方法Info
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- JPS62229050A JPS62229050A JP61073171A JP7317186A JPS62229050A JP S62229050 A JPS62229050 A JP S62229050A JP 61073171 A JP61073171 A JP 61073171A JP 7317186 A JP7317186 A JP 7317186A JP S62229050 A JPS62229050 A JP S62229050A
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Classifications
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02E—REDUCTION OF GREENHOUSE GAS [GHG] EMISSIONS, RELATED TO ENERGY GENERATION, TRANSMISSION OR DISTRIBUTION
- Y02E30/00—Energy generation of nuclear origin
- Y02E30/30—Nuclear fission reactors
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
「産業」、−のト１１用分野」
この発明は、例えば、核燃料用ペレット等の円筒型物体
の欠陥検出に用いて好適な物体の表面欠陥検査方法に関
する。
の欠陥検出に用いて好適な物体の表面欠陥検査方法に関
する。
「従来の技術」
核燃料用ペレット等の円筒型物体の表面欠陥を検査する
方法としては、非接触変位計を用いて欠損部分と正常部
分の変位の違いを検出し、その後に欠損部分の面積を計
測する方法や、被測定面の画像信号を各欠陥に応じたし
きい値で２値化し、これによって分離検出する方法等が
ある。
方法としては、非接触変位計を用いて欠損部分と正常部
分の変位の違いを検出し、その後に欠損部分の面積を計
測する方法や、被測定面の画像信号を各欠陥に応じたし
きい値で２値化し、これによって分離検出する方法等が
ある。
「発明か解決しようとする問題点」
ところで、非接触変位計を用いる場合は、比較的太きい
欠け部分の面積測定が行えるのみで、微少而債の欠陥測
定や、欠陥をその種類毎に分類集計するような処理は不
可能であった。
欠け部分の面積測定が行えるのみで、微少而債の欠陥測
定や、欠陥をその種類毎に分類集計するような処理は不
可能であった。
また、しきい値により分離検出する方法においては、欠
け、クラック、ピットから得られる画像信号の濃度レベ
ルが異なることを前提とし、それぞれの欠陥に応じたし
きい値で２値化しているが、実際上はそれぞれのレベル
差がほとんどないため、実用的でないという欠点かあっ
た。
け、クラック、ピットから得られる画像信号の濃度レベ
ルが異なることを前提とし、それぞれの欠陥に応じたし
きい値で２値化しているが、実際上はそれぞれのレベル
差がほとんどないため、実用的でないという欠点かあっ
た。
なお、核燃料用ペレット等を検査する場合は、欠けにつ
いては面積、クラックについては長さ、ピット・メタル
インクルージヨンについては径等について検査判定する
必要かあり、このような欠陥別の検査を分類して行うこ
とができる検査方法が望まれていた。
いては面積、クラックについては長さ、ピット・メタル
インクルージヨンについては径等について検査判定する
必要かあり、このような欠陥別の検査を分類して行うこ
とができる検査方法が望まれていた。
この発明は、上記問題点に鑑みてなされたもので、欠陥
別に分類して検査判定を行うことができろ物体の表面欠
陥検査方法を提供することを目的としている。
別に分類して検査判定を行うことができろ物体の表面欠
陥検査方法を提供することを目的としている。
「問題点を解決する丸めの手段］
この発明は、上記問題点を解決するために、物体表面か
らの反射光を受光して前記物体の表面画像を撮Ｆ１．４
′る撮像手段からの入力画像を、平均レベルより高いし
きい値で２値化してメタルインクルージヨンを検出する
処理と、前記入力画像を平均レベルより低いしきい値で
２値化して欠け、ピットおよびクラックが同時に検出さ
れる画像を作成するとともに、この画像に対し画像処理
を施ずことによりピッｊ・およびクラックを消去した欠
けのみがγＹ在する第２画像を作成する処理と、前記入
力画像の欠け部分を埋める処理によって得られた画像の
面積から前記第２画像の面積を減算して欠け面積を求め
る処理と、前記第２画像をマスク画像として前記入力画
像とマスキングを行い、これにより、１町記入力画像か
らピットおよびクラックを抽出し、この抽出した画像に
対し平滑化処理を行ってピットのみが存在する画像を抽
出する処理と、前記ピットのみが存在する画像および欠
けのみが存在する画像をマスク画像として前記入力画像
とマスキングを行い、これにより、前記入力画像からク
ラックのみが存在する画像を抽出する処理と、前記各処
理によって得られたメタルインクルージヨン、欠け面積
、ピット画像およびクラック画像からこれらの欠陥が基
僧内か否かを判定する判定処理とを行うことを特徴とし
ている。
らの反射光を受光して前記物体の表面画像を撮Ｆ１．４
′る撮像手段からの入力画像を、平均レベルより高いし
きい値で２値化してメタルインクルージヨンを検出する
処理と、前記入力画像を平均レベルより低いしきい値で
２値化して欠け、ピットおよびクラックが同時に検出さ
れる画像を作成するとともに、この画像に対し画像処理
を施ずことによりピッｊ・およびクラックを消去した欠
けのみがγＹ在する第２画像を作成する処理と、前記入
力画像の欠け部分を埋める処理によって得られた画像の
面積から前記第２画像の面積を減算して欠け面積を求め
る処理と、前記第２画像をマスク画像として前記入力画
像とマスキングを行い、これにより、１町記入力画像か
らピットおよびクラックを抽出し、この抽出した画像に
対し平滑化処理を行ってピットのみが存在する画像を抽
出する処理と、前記ピットのみが存在する画像および欠
けのみが存在する画像をマスク画像として前記入力画像
とマスキングを行い、これにより、前記入力画像からク
ラックのみが存在する画像を抽出する処理と、前記各処
理によって得られたメタルインクルージヨン、欠け面積
、ピット画像およびクラック画像からこれらの欠陥が基
僧内か否かを判定する判定処理とを行うことを特徴とし
ている。
「作用Ｊ
入力画像に対し、所定しきい値による２値化、およびマ
スク画像とのマスキングが行な４つれ、これにより、欠
陥がその種類ごとに順次抽出される。
スク画像とのマスキングが行な４つれ、これにより、欠
陥がその種類ごとに順次抽出される。
「実施例」
以下、図面を参照してこの発明の実施例について説明゛
４°ろ。
４°ろ。
第１図はこの発明の一実施例である表面欠陥検査装置の
構成を示すブロック図であり、第２図は同実施例の検出
ａ借の構成を示す平面図である。
構成を示すブロック図であり、第２図は同実施例の検出
ａ借の構成を示す平面図である。
第２図において、■は核燃料用のペレットであり、時計
方向に回転するローラ２，３によって、反時計方向に回
転するようになっている。４は、ペレット１の側面に光
を照射する光源であり、光源４とペレットｌとの間には
、光軸に対し水平方向に４５°傾斜したハーフミラ−５
が設けられている。６はラインイメージセンサであり、
ハーフミラ−５で反射されたペレットＩの側面画像を受
像し、電気信号に変換する。上記構成によれば、ペレッ
ト１が１回転すると、ラインイメージセンサ６はペレッ
ト！の側面画像を全周に渡って受像する。まノこ、光源
４の発光量、ラインイメージセンサ６の受光感度、およ
び上記各構成要素の配置等は、ラインイメージセンサ６
の受光レベルにおいてペレットｌ以外の部分が暗くなる
ように設定されている。
方向に回転するローラ２，３によって、反時計方向に回
転するようになっている。４は、ペレット１の側面に光
を照射する光源であり、光源４とペレットｌとの間には
、光軸に対し水平方向に４５°傾斜したハーフミラ−５
が設けられている。６はラインイメージセンサであり、
ハーフミラ−５で反射されたペレットＩの側面画像を受
像し、電気信号に変換する。上記構成によれば、ペレッ
ト１が１回転すると、ラインイメージセンサ６はペレッ
ト！の側面画像を全周に渡って受像する。まノこ、光源
４の発光量、ラインイメージセンサ６の受光感度、およ
び上記各構成要素の配置等は、ラインイメージセンサ６
の受光レベルにおいてペレットｌ以外の部分が暗くなる
ように設定されている。
次に、第１図に示ず１０は、上述したラインイメージセ
ンサ６からの画像信号が入力される画像入力部であり、
ラインイメージセンサ６の画像信号に対し所定の増幅等
を行い、その後の画像信号を２値化処理部１１および１
３に供給する。２値化処理部１１は、ペレット１の正常
面からの反射光レベルより高い固定しきい値レベルＴＬ
、によって画像信号を２値化し、メタルインクルージヨ
ンを検出する。この場合、メタルインクルージョン部分
の受光レベルは、正常面に比べて非常に高いため、予め
設定した固定しきい値ＴＬ、による２値化によって、容
易に検出することができる。２値化処理部１１によるメ
タルインクルージヨン検出信号は、メタル判定部１２に
供給され、ここにおいてメタルインクルージヨンの良否
判定が行なわれる。
ンサ６からの画像信号が入力される画像入力部であり、
ラインイメージセンサ６の画像信号に対し所定の増幅等
を行い、その後の画像信号を２値化処理部１１および１
３に供給する。２値化処理部１１は、ペレット１の正常
面からの反射光レベルより高い固定しきい値レベルＴＬ
、によって画像信号を２値化し、メタルインクルージヨ
ンを検出する。この場合、メタルインクルージョン部分
の受光レベルは、正常面に比べて非常に高いため、予め
設定した固定しきい値ＴＬ、による２値化によって、容
易に検出することができる。２値化処理部１１によるメ
タルインクルージヨン検出信号は、メタル判定部１２に
供給され、ここにおいてメタルインクルージヨンの良否
判定が行なわれる。
２値化処理部１３は、画像入力部１０からの画像信号を
ｆｌ正常面らの受光レベルより低いレベルＴ Ｌ 、で
２値化し、この結果得られる２値画像信号を２値画像メ
モリ八に書き込む。ここで、第３図は２値画像メモリＡ
に書き込まれた画像信号の一例であり、ペレットＩの側
面全周を展開した画像に対応している（図面左右側が底
面もしくは上面）。この図において、ｐはピット、Ｃは
クラックであり、（１、、ｄ ２は各々欠けである。こ
れらの欠陥部分からの受光レベルは、全て正常面からの
受光レベルより低いため、第３図に示すようにこれら全
部が一緒に検出される。この場合、欠けｄｌ、ｄｔはペ
レット！の上面もしくは下面に係って発生するからその
画像は必ずエツジ部分に係って発生する。また、クラッ
クＣはエツジに係るものと係わらないらのの両方があり
、ピットｐはエツジに係わらないで発生する。
ｆｌ正常面らの受光レベルより低いレベルＴ Ｌ 、で
２値化し、この結果得られる２値画像信号を２値画像メ
モリ八に書き込む。ここで、第３図は２値画像メモリＡ
に書き込まれた画像信号の一例であり、ペレットＩの側
面全周を展開した画像に対応している（図面左右側が底
面もしくは上面）。この図において、ｐはピット、Ｃは
クラックであり、（１、、ｄ ２は各々欠けである。こ
れらの欠陥部分からの受光レベルは、全て正常面からの
受光レベルより低いため、第３図に示すようにこれら全
部が一緒に検出される。この場合、欠けｄｌ、ｄｔはペ
レット！の上面もしくは下面に係って発生するからその
画像は必ずエツジ部分に係って発生する。また、クラッ
クＣはエツジに係るものと係わらないらのの両方があり
、ピットｐはエツジに係わらないで発生する。
次に、１５は、２値画像メモリＡ内の画像データの各ラ
イン（画像信号の１走査分に対応）毎のＸ座標を計測し
、この測定結果に基づいて、第３図に示す画像の欠け部
分を埋めて長方形近似を行う長方形処理部である。１６
は、長方形処理部１５において、長方形化した画像の面
積、すなわち、欠けｔＬ、ｄｔが存在しない場合の面積
を算出する面積算定部であり、算出した近似長方形の面
積は減算処理部１９１ど供給されるようになっている。
イン（画像信号の１走査分に対応）毎のＸ座標を計測し
、この測定結果に基づいて、第３図に示す画像の欠け部
分を埋めて長方形近似を行う長方形処理部である。１６
は、長方形処理部１５において、長方形化した画像の面
積、すなわち、欠けｔＬ、ｄｔが存在しない場合の面積
を算出する面積算定部であり、算出した近似長方形の面
積は減算処理部１９１ど供給されるようになっている。
１７は２値画像メモリＡに記憶された画像に、膨張・収
縮、穴埋め等の画像処理を施してクラック０１ビツトＰ
を消去し、第４図に示す欠けｄｔ、ｄ２だけの画像を作
成する膨張・収縮穴埋め部であり、ここで作成された２
値画像データは、２値画像メモリＢに記憶されろ。また
、膨張・収縮穴埋め部１７において作成された画像の面
積がマスク面積算定部１８において算出され、この算出
結果が減算処理部Ｉ９に供給されろようになっている。
縮、穴埋め等の画像処理を施してクラック０１ビツトＰ
を消去し、第４図に示す欠けｄｔ、ｄ２だけの画像を作
成する膨張・収縮穴埋め部であり、ここで作成された２
値画像データは、２値画像メモリＢに記憶されろ。また
、膨張・収縮穴埋め部１７において作成された画像の面
積がマスク面積算定部１８において算出され、この算出
結果が減算処理部Ｉ９に供給されろようになっている。
減算処理部１９は、長方形近似面積から第４図に示す画
像の面積を減算する乙ので、その演算結果は、欠けｄ、
、ｄｔの総計面積に対応する。この減算処理部１９の演
算結果は、欠け判定部２０に供給されろ。欠け判定部２
０は、減算処理部１９によって演算された欠け部分の面
積が基準範囲内かどうかを判定する。
像の面積を減算する乙ので、その演算結果は、欠けｄ、
、ｄｔの総計面積に対応する。この減算処理部１９の演
算結果は、欠け判定部２０に供給されろ。欠け判定部２
０は、減算処理部１９によって演算された欠け部分の面
積が基準範囲内かどうかを判定する。
次に、２５は、２値画像メモリＢ内の２値画像（第４図
参照）をマスク画像とし、入力画像（第３図の画像とほ
ぼ同様）とのマスキングを行い、これにより、クラック
Ｃとピットｐのみの画像を抽出するマスキング処理部で
ある。このマスキング処理部２５によって抽出された画
像は、画像メモリＣに占き込まれる。２Ｇは、画像メモ
リＣに書き込まれた画像データに対し平滑化処理を行う
平滑化処理部である。ここで、第５図はピットｐおよび
シラツクざめ部分の濃度レベルを示す図であり、この図
に示すように、ピットｐの部分の濃度低下の幅はクラッ
クＣに比べて充分に広い。したがって、平滑化処理部２
５において平滑処理がなされると、第６図に示すように
、クラックＣの部分は正常面のレベルに極めて近付くか
、あるいは、同化してしまう。この平滑化処理部２６の
出力信号は、２値化処理部２７に供給され、第６図に破
線で示す正常面のレベルより低いしきい値Ｔ Ｌ ３に
よって２６Ｉｔ化されろ。この結果、クラックＣに対応
する部分は消去され、ピットｐに対応する部分のみが抽
出される。径計測部２８は、２値化処理部２７によって
抽出されたピットｐに対応する信号に基づいてピットｐ
の幅を検出し、この幅の値がピット判定部２９に供給さ
れ、基ω値以内かどうかを判定する。ここで、作成され
た２値画像データは、２値画像メモリＤに記憶される。
参照）をマスク画像とし、入力画像（第３図の画像とほ
ぼ同様）とのマスキングを行い、これにより、クラック
Ｃとピットｐのみの画像を抽出するマスキング処理部で
ある。このマスキング処理部２５によって抽出された画
像は、画像メモリＣに占き込まれる。２Ｇは、画像メモ
リＣに書き込まれた画像データに対し平滑化処理を行う
平滑化処理部である。ここで、第５図はピットｐおよび
シラツクざめ部分の濃度レベルを示す図であり、この図
に示すように、ピットｐの部分の濃度低下の幅はクラッ
クＣに比べて充分に広い。したがって、平滑化処理部２
５において平滑処理がなされると、第６図に示すように
、クラックＣの部分は正常面のレベルに極めて近付くか
、あるいは、同化してしまう。この平滑化処理部２６の
出力信号は、２値化処理部２７に供給され、第６図に破
線で示す正常面のレベルより低いしきい値Ｔ Ｌ ３に
よって２６Ｉｔ化されろ。この結果、クラックＣに対応
する部分は消去され、ピットｐに対応する部分のみが抽
出される。径計測部２８は、２値化処理部２７によって
抽出されたピットｐに対応する信号に基づいてピットｐ
の幅を検出し、この幅の値がピット判定部２９に供給さ
れ、基ω値以内かどうかを判定する。ここで、作成され
た２値画像データは、２値画像メモリＤに記憶される。
次に、３０は２値画像メモリＤ内の画像をマスク画像（
第７図参照）とし、これと画像メモリＣ内の画像とのマ
スキングを行い、これにより、クラックＣの画像データ
のみを抽出するマスキンク処理部である。マスキング処
理部３０の出力信号は、２値化処理部３１に供給され、
ここで、正常面のレベルより低いしきい値Ｔ Ｌ Ｉ’
によって２値化される。このしきい値ＴＬｆは、しきい
値設定部３５から供給されるようになっており、しきい
値設定部３５は、画像信号の平均的受光レベルを検出す
る濃度レベル測定部３４の検出信号に基づいて、しきい
（直’Ｉ” Ｌ ｒを調整するようになっている。これ
は、クラックＣの部分の受光レベルと正常面とのレベル
差が小さいために、固定のしきい値を用いた場合は、平
均的受光レベルが変化した場合に、しきい値’ｒ Ｌ
ｒがしきい値としての機能を果たさなくなることを回避
するためである。
第７図参照）とし、これと画像メモリＣ内の画像とのマ
スキングを行い、これにより、クラックＣの画像データ
のみを抽出するマスキンク処理部である。マスキング処
理部３０の出力信号は、２値化処理部３１に供給され、
ここで、正常面のレベルより低いしきい値Ｔ Ｌ Ｉ’
によって２値化される。このしきい値ＴＬｆは、しきい
値設定部３５から供給されるようになっており、しきい
値設定部３５は、画像信号の平均的受光レベルを検出す
る濃度レベル測定部３４の検出信号に基づいて、しきい
（直’Ｉ” Ｌ ｒを調整するようになっている。これ
は、クラックＣの部分の受光レベルと正常面とのレベル
差が小さいために、固定のしきい値を用いた場合は、平
均的受光レベルが変化した場合に、しきい値’ｒ Ｌ
ｒがしきい値としての機能を果たさなくなることを回避
するためである。
次に３２は、２値化された後のクラックＣの画像信号に
対し、周知の画像処理を行ってその長さを測定する長さ
計測部であり、この測定結果は、クラック判定部３３に
供給されてその良否が判定されるようになっている。
対し、周知の画像処理を行ってその長さを測定する長さ
計測部であり、この測定結果は、クラック判定部３３に
供給されてその良否が判定されるようになっている。
上述した構成によれば、ペレットｌがローラ２゜３によ
って１回転すると、ペレットｌの側面全周の画像かライ
ンイメージセンザ６によって読み取られ、この画像が第
１図に示す処理回路に供給される。そして、処理回路に
供給された画像信号は、上述したように、２値化、マス
キング等の処理が施され、これにより、メタルインクル
ージヨン、欠け、ピット、およびクラック毎に分類抽出
され、各欠陥の良否がメタル判定部！２、欠け判定部２
０、ピット判定部２９およびクラック判定部３３によっ
て判定される。
って１回転すると、ペレットｌの側面全周の画像かライ
ンイメージセンザ６によって読み取られ、この画像が第
１図に示す処理回路に供給される。そして、処理回路に
供給された画像信号は、上述したように、２値化、マス
キング等の処理が施され、これにより、メタルインクル
ージヨン、欠け、ピット、およびクラック毎に分類抽出
され、各欠陥の良否がメタル判定部！２、欠け判定部２
０、ピット判定部２９およびクラック判定部３３によっ
て判定される。
「発明の効果」
以上説明したように、この発明によれば、物体表面から
の反射光を受光して前記物体の表面画像を撮像する撮像
手段からの入力画像を、平均レベルより高いしぎい値で
２値化してメタルインクルージヨンを検出する処理と、
前記入力画像を平均レベルより低いしきい値で２値化し
て欠け、ピットおよびクラックか同時に検出される画像
を作成するとともに、この画像に対し画像処理を施すこ
とによりピットおよびクラックを消去した欠けのみが存
在する第２画像を作成する処理と、前記入力画像の欠け
部分を埋める処理によって得られた画像の面積から１ｌ
ｉｊ記第２画像の面積を減算して欠け面積を求めろ処理
と、前記第２画像をマスク画像として前記入力画像とマ
スキンクを行い、これにより、前記入力画像からピット
およびクラックを抽出し、この抽出した画像に対し平滑
化処理を行ってピットのみが存在する画像を抽出する処
理と、前記ピットのみが存在する画像および欠けのみが
ｉ′ｉ：在する画像をマスク画像として前記入力画像と
マスキンクを行い、これにより、前記入力画像からクラ
ックのみが存在する画像を抽出する処理と、前記各処理
によって得られたメタルインクルージヨン、欠け面積、
ピット画像およびクラブク画像からこれらの欠陥が基準
内か否かを判定する判定処理とを行うようにしたので、
欠陥をその種類毎に分類抽出して良否判定することがで
きる利点か得られる。
の反射光を受光して前記物体の表面画像を撮像する撮像
手段からの入力画像を、平均レベルより高いしぎい値で
２値化してメタルインクルージヨンを検出する処理と、
前記入力画像を平均レベルより低いしきい値で２値化し
て欠け、ピットおよびクラックか同時に検出される画像
を作成するとともに、この画像に対し画像処理を施すこ
とによりピットおよびクラックを消去した欠けのみが存
在する第２画像を作成する処理と、前記入力画像の欠け
部分を埋める処理によって得られた画像の面積から１ｌ
ｉｊ記第２画像の面積を減算して欠け面積を求めろ処理
と、前記第２画像をマスク画像として前記入力画像とマ
スキンクを行い、これにより、前記入力画像からピット
およびクラックを抽出し、この抽出した画像に対し平滑
化処理を行ってピットのみが存在する画像を抽出する処
理と、前記ピットのみが存在する画像および欠けのみが
ｉ′ｉ：在する画像をマスク画像として前記入力画像と
マスキンクを行い、これにより、前記入力画像からクラ
ックのみが存在する画像を抽出する処理と、前記各処理
によって得られたメタルインクルージヨン、欠け面積、
ピット画像およびクラブク画像からこれらの欠陥が基準
内か否かを判定する判定処理とを行うようにしたので、
欠陥をその種類毎に分類抽出して良否判定することがで
きる利点か得られる。
第１図は、この発明の一実施例を適用した表面欠陥検出
装置の構成を示すブロック図、第２図は第１図に示す装
置における検出機構の構成を示す平面図、第３図および
第４図は各々同実施例における検出画像の一例を示す図
、第５図および第６図は各々同実施例における要部の波
形図、第７図は同実施例における検出画像の一例を示す
図である。 ｌ・・・・・・ペレット、２，３・・・・・・ローラ、
４・・・・・・光源、５・・・・・・ハーフミラ−１６
・・・・・・ラインイメージセンザ、１１．１３．３１
・・・・・・２値化処理部、■２・・・・・メタル判定
部、２０・・・・・・欠け判定部、２５゜３０・・・・
・・マスキンク処理部、２６・・・・・・平滑化処理部
、２９・・・・・・ピット判定部、３３・・・・・クラ
ック判定部。 第５図 第６図 第７図
装置の構成を示すブロック図、第２図は第１図に示す装
置における検出機構の構成を示す平面図、第３図および
第４図は各々同実施例における検出画像の一例を示す図
、第５図および第６図は各々同実施例における要部の波
形図、第７図は同実施例における検出画像の一例を示す
図である。 ｌ・・・・・・ペレット、２，３・・・・・・ローラ、
４・・・・・・光源、５・・・・・・ハーフミラ−１６
・・・・・・ラインイメージセンザ、１１．１３．３１
・・・・・・２値化処理部、■２・・・・・メタル判定
部、２０・・・・・・欠け判定部、２５゜３０・・・・
・・マスキンク処理部、２６・・・・・・平滑化処理部
、２９・・・・・・ピット判定部、３３・・・・・クラ
ック判定部。 第５図 第６図 第７図
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 物体表面からの反射光を受光して前記物体の表面画像を
撮像する撮像手段からの入力画像を、平均レベルより高
いしきい値で２値化してメタルインクルージョンを検出
する処理と、 前記入力画像を平均レベルより低いしきい値で２値化し
て欠け、ピットおよびクラックが同時に検出される画像
を作成するとともに、この画像に対し画像処理を施すこ
とによりピットおよびクラックを消去した欠けのみが存
在する第２画像を作成する処理と、 前記入力画像の欠け部分を埋める処理によって得られた
画像の面積から前記第２画像の面積を減算して欠け面積
を求める処理と、 前記第２画像をマスク画像として前記入力画像とマスキ
ングを行い、これにより、前記入力画像からピットおよ
びクラックを抽出し、この抽出した画像に対し平滑化処
理を行ってピットのみが存在する画像を抽出する処理と
、 前記ピットのみが存在する画像および欠けのみが存在す
る画像をマスク画像として前記入力画像とマスキングを
行い、これにより、前記入力画像からクラックのみが存
在する画像を抽出する処理と、 前記各処理によって得られたメタルインクルージョン、
欠け面積、ピット画像およびクラック画像からこれらの
欠陥が基準内か否かを判定する判定処理と、 を行うことを特徴とする物体の表面欠陥検査方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61073171A JPH079403B2 (ja) | 1986-03-31 | 1986-03-31 | 物体の表面欠陥検査方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61073171A JPH079403B2 (ja) | 1986-03-31 | 1986-03-31 | 物体の表面欠陥検査方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62229050A true JPS62229050A (ja) | 1987-10-07 |
| JPH079403B2 JPH079403B2 (ja) | 1995-02-01 |
Family
ID=13510433
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP61073171A Expired - Lifetime JPH079403B2 (ja) | 1986-03-31 | 1986-03-31 | 物体の表面欠陥検査方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH079403B2 (ja) |
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01201140A (ja) * | 1988-02-05 | 1989-08-14 | Nissan Motor Co Ltd | 表面欠陥検査装置 |
| JPH0212646U (ja) * | 1988-07-06 | 1990-01-26 | ||
| FR2667433A1 (fr) * | 1990-10-02 | 1992-04-03 | Mitsubishi Nuclear Fuel | Appareil d'inspection des surfaces peripheriques de pastilles de combustible nucleaire. |
| JPH04169807A (ja) * | 1990-11-01 | 1992-06-17 | Fuji Xerox Co Ltd | 表面傷検査装置 |
| US5463465A (en) * | 1993-07-16 | 1995-10-31 | Japan Elanco Company Limited | Apparatus for examining the external appearance of solid articles |
| JP2008082756A (ja) * | 2006-09-26 | 2008-04-10 | Toshiba Corp | 原子燃料ペレット検査装置 |
| JP2013002810A (ja) * | 2011-06-10 | 2013-01-07 | Institute Of National Colleges Of Technology Japan | 研削工具の砥面検査システム及び方法 |
-
1986
- 1986-03-31 JP JP61073171A patent/JPH079403B2/ja not_active Expired - Lifetime
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01201140A (ja) * | 1988-02-05 | 1989-08-14 | Nissan Motor Co Ltd | 表面欠陥検査装置 |
| JPH0212646U (ja) * | 1988-07-06 | 1990-01-26 | ||
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| JPH04169807A (ja) * | 1990-11-01 | 1992-06-17 | Fuji Xerox Co Ltd | 表面傷検査装置 |
| US5463465A (en) * | 1993-07-16 | 1995-10-31 | Japan Elanco Company Limited | Apparatus for examining the external appearance of solid articles |
| JP2008082756A (ja) * | 2006-09-26 | 2008-04-10 | Toshiba Corp | 原子燃料ペレット検査装置 |
| JP2013002810A (ja) * | 2011-06-10 | 2013-01-07 | Institute Of National Colleges Of Technology Japan | 研削工具の砥面検査システム及び方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH079403B2 (ja) | 1995-02-01 |
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