JPS62215608A - アルケニルシリル基含有高分子化合物の製法 - Google Patents

アルケニルシリル基含有高分子化合物の製法

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JPS62215608A
JPS62215608A JP61057960A JP5796086A JPS62215608A JP S62215608 A JPS62215608 A JP S62215608A JP 61057960 A JP61057960 A JP 61057960A JP 5796086 A JP5796086 A JP 5796086A JP S62215608 A JPS62215608 A JP S62215608A
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styrene
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Teruo Fujimoto
藤本 輝雄
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巳喜男 塩野
Osamu Watanabe
修 渡辺
Koichi Ito
光一 伊藤
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Shin Etsu Chemical Co Ltd
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    • C08ORGANIC MACROMOLECULAR COMPOUNDS; THEIR PREPARATION OR CHEMICAL WORKING-UP; COMPOSITIONS BASED THEREON
    • C08FMACROMOLECULAR COMPOUNDS OBTAINED BY REACTIONS ONLY INVOLVING CARBON-TO-CARBON UNSATURATED BONDS
    • C08F30/00Homopolymers and copolymers of compounds having one or more unsaturated aliphatic radicals, each having only one carbon-to-carbon double bond, and containing phosphorus, selenium, tellurium or a metal
    • C08F30/04Homopolymers and copolymers of compounds having one or more unsaturated aliphatic radicals, each having only one carbon-to-carbon double bond, and containing phosphorus, selenium, tellurium or a metal containing a metal
    • C08F30/08Homopolymers and copolymers of compounds having one or more unsaturated aliphatic radicals, each having only one carbon-to-carbon double bond, and containing phosphorus, selenium, tellurium or a metal containing a metal containing silicon

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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、レジスト材料をはじめとする種々の機能性材
料として有用であるアルケニルシリル基含有高分子化合
物の製法に関する。
〔従来の技術〕
アルケニルシリル基含有スチレン化合物を、ベンゼン、
トルエン等の炭化水素系溶媒又はテトラヒドロフラン、
ジオキサン等の極性溶媒中で、n−ブチルリチウム、ク
ミルカリウム等の有機金属化合物を開始剤として重合さ
せる方法が知られている。
〔発明が解決しようとする問題点〕
一般に、レジスト材料等に用いられる高分子材料には、
分子量分布の単分散性が高いことが求められるが、前記
従来の重合方法によると、スチレン部のビニル基だけで
なくアルケニルシリル基に含まれるビニル基も重合反応
に関与するため、得られる重合体は単分散性の低いもの
となる問題がある。また、こうして得られた重合生成物
から、スチレン部のビニル基のみが優先的に重合した単
分散アルケニルシリル基含有高分子化合物を分離するに
は分別等の煩雑な工程を必要とする不利がある。
そこで、本発明の目的は、アルケニルシリル基含有スチ
レン化合物の重合方法であって、スチレン部のビニル基
のみを優先的に重合させアルケニルシリル基を残存させ
ることにより単分散アルケニルシリル基含有高分子化合
物を得る方法を提供することにある。
〔問題を解決するための手段〕
本発明者らは、アルケニルシリル基含有スチレン化合物
を重合する際に、第3級アミンを有機金属化合物ととも
に反応系に存在させることにより前記目的を達成し得る
ことを見出した。
即ち、本発明は、前記問題点を解決するものとして、 一般式(I) CHz  =CR’ 〔式中、R1は水素原子、メチル基又はエチル基であり
、R1とR3は同一でも異なってもよ<cI〜C3のア
ルキル基又はフェニル基であり、nは0〜4の整数であ
る。〕 で表わされるアルケニルシリル基含有スチレン化合物を
含むビニル系モノマー化合物を有機金属化合物を開始剤
として重合するアルケニルシリル基含有高分子化合物の
製法において、前記重合を第3級アミンの存在下で行う
ことを特徴とする製法を提供するものである。
本発明の製法に用いられるビニル系モノマー化合物は、
一般式(I)のスチレン化合物のみであってもよいし、
必要により該スチレン化合物に他の重合性ビニル系モノ
マー化合物を組合わせて共重合させてもよい。
一般式(I)で表わされるアルケニルシリル基含有スチ
レン化合物の具体例としては、4−ビニルフェニルジメ
チルビニルシラン、4−ビニルフェニルジメチルアリル
シラン、4−ビニルフェニルジメチル−1−ブテニルシ
ラン、4− (I−メチルエチニル)フェニルジメチル
アリルシラン。
4−(I−メチルエチニル)フェニルジメチルアリルシ
ラン等が挙げられ、一種単独でも二種以上の組合わせで
も用いることができる。
また、必要に応じて、コモノマーとして一般式(I)の
スチレン化合物と併用することができる重合性ビニル系
モノマー化合物としては、例えば、スチレン、α−メチ
ルスチレン等のビニル芳香族炭化水素化合物;メチルメ
タクリレートメチルアクリレート、エチルアクリレート
等のアクリル酸もしくはメタクリル酸エステル;ブタジ
ェン。
イソプレン等のジエン等が挙げられる。
開始剤として用いられる有機金属化合物とじては、例え
ば、クミルセシウム、クミルカリウム。
ベンジルナトリウム、ベンジルカリウム等の有機アルカ
リ金属等が挙げられ、特にクミルセシウムが好ましい。
これらの有機金属化合物はモノマーの仕込量と所望の分
子量に応じて加えればよく、反応溶液中でl O−’〜
10−”+++oll/lのオーダーの濃度範囲で用い
ればよい。
本発明に用いられる第3級アミンは特に限定されず、例
えば、トリエチルアミン、N−メチルジエチルアミン、
トリーn−プロピルアミン、N−メチル・ジ−n−プロ
ピルアミン、N−メチルピロリジン、N−メチルピペリ
ジン、N、N、N ’ N ’−テトラメチルエチレン
ジアミン、1.2−ジピペリジノエタン等が挙げられ、
特にN−メチルピロリジン及びトリエチルアミンが好ま
しく、N−メチルピロリジンが最も好ましい。この第3
級アミンは、開始剤に対して等モルから10倍モル量の
範囲で用いるのが好ましい。
本発明における重合は、一般に、有機溶媒中で行なわれ
、用いられる有機溶媒としては、テトラヒドロフラン、
ジオキサン、テトラヒドロビラン、ジメトキシエタン、
ジグライム等のエーテル系溶媒、あるいはそれらの混合
溶媒等が挙げられ、特にテトラヒドロフランが好ましい
重合に供するモノマー化合物の濃度は1〜10重量%が
適切であり、反応は、10−’Torr以下の高真空下
又はアルゴン、窒素等の不活性ガス雰囲気下、−78〜
−20℃の温度において攪拌しながら行なうことが好ま
しい。通常、約10分〜1時間の重合反応の後、例えば
、メタノール、エチルブロマイド等の停止剤を反応系に
添加して反応を停止させることにより目的とするアルケ
ニルシリル基含有高分子化合物が得られる。得られた高
分子化合物は、生成物を例えばメタノールを用いて沈澱
、洗浄し、乾燥することにより精製、単離することがで
きる。
こうして得られる高分子化合物は分子量分布の点で単分
散で、一般式(I)のスチレン化合物が有する2つのビ
ニル基のうち、スチレン部のビニル基のみが優先的に重
合しており、 一般式 [式中、R’、R”、R3及びnは前述のとおりである
] で表わされる構造単位を有するもので、アルケニルシリ
ル基のビニル基は未反応のまま残存したものである。
生成高分子化合物の収量は、反応に供したモノマー化合
物に基づいてほぼ100%であり、分子量は使用したモ
ノマー化合物の重量と開始剤のモル数(分子数)から容
易に計算することができる。
また、数平均分子量(π丁)は、膜浸透圧計を用いて測
定でき、目的通りのものが生成しているか否かの判断は
赤外吸収(IR)スペクトルおよび’H−NMRで行う
ことができ、さらに、分子量分布の評価はゲルパーミェ
ーションクロマトグラフィ (G P C)で行うこと
ができる。
本発明の方法によれば、重合度で10〜s、oo。
程度のものを容易に製造できる。
〔実施例〕
以下、本発明の製法を実施例により具体的に説明する。
10−’TorrO高真空下で500mj!のフラスコ
に、溶媒としてテトラヒドロフラン209m Il 、
開始剤としてクミルセシウム1.08X10′″’mo
lsそして添加剤としてN−メチルピロリジン6.45
X10−’molを仕込んだ、この混合溶液に、−78
℃で91m1のテトラヒドロフランで希釈した11.5
mlの4−ビニルフェニルジメチルビニルシランを添加
し、15分間重合したところ、この溶液は赤色を呈した
。反応溶液にメタノール2mlを添加して重合を停止さ
せた後、反応混合物をメタノール中に注ぎ、得られた重
合体を沈澱させた後、分離し、乾燥して10.3gの白
色重合体を得た。
得られた重合体のIRスペクトル及び ’H−NMRを測定したところ下記の特性吸収が示され
、またGPC溶出曲線は図1に示すとおりであった。
OI R(elm−’)  :  820,1250 
(Si(CH3)z)1600    (SiCH=C
Hg)○ ’ H−N M R(+)Pall  δ)
:  0.27(Si (CH3)z);5.8.6.
0 (SiCH・Cl1p)IRと’H−NMRからモ
ノマーのスチレン部のビニル基のみが重合し、ビニルシ
リル基のビニル基は重合せずに残っていることが確認さ
れた。また、この重合体のπ丁は9.4 XIO’であ
り、GPC溶出曲線より、非常に単分散性の高い重合体
であることが判った。
10−”TorrO高真空下で、300mj!のフラス
コに、溶媒としてテトラヒドロフラン100m l! 
、開始剤としてクミルセシウム2.63X 10−’m
 o 1、添加剤としてトリエチルアミン1.25X1
0−’m o Itを仕込んだ。この混合溶液に、−7
8℃で73m1のテトラヒドロフランで希釈した6、8
m Ilの4−ビニルフェニルジメチルビニルシランを
添加し、30分間攪拌下で反応させたところ、この溶液
は赤色を呈した。
メタノール2mlを反応溶液に添加して、重合を停止し
た後、反応混合物をメタノール中に注ぎ、得られた重合
体を沈澱させた後分離し、乾燥して6gの白色重合体を
得た。
得られた重合体のGPC溶出曲線を図2に示す。
またこの重合体のπ丁は2.2 X 10’であった。
10−”Torrの高真空下で、500mJのフラスコ
に、溶媒としてテトラヒドロフ9ソ220 してクミルセシウム8.62X10−’m o Itを
仕込んだ。
この混合溶液に、−78℃で9 0m1lのテトラヒド
ロフランで希釈した12m1の4−ビニルフェニルジメ
チルビニルシランを添加し、60分間攪拌下で重合させ
た。メタノール3mlを反応溶液に添加して重合を停止
させた後、反応混合物をメタノール中に注ぎ、生成した
重合体を沈澱させて分離し、乾燥して10.8gの白色
重合体を得た。得られた重合体のGPC溶出曲線を図3
に示す。
〔発明の効果〕
本発明の製法によると、アルケニルシリル基のビニル基
が反応せずに残存し、スチレン部のビニル基のみが優先
的に重合した、単分散アルケニルシリル基含有高分子化
合物が得られる.該高分子化合物はネガ型レジスト材料
などとして、また側鎖ビニル基の反応性を利用すること
により、種々の高分子材料の中間体として有用である。
【図面の簡単な説明】
図1および図2は本発明の製法により得られたアルケニ
ルシリル基含有高分子化合物のGPC溶出曲線(実施例
1.2)を示し、 図3は、従来法により得られた高分子化合物のGPC溶
出曲線を示す。

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 一般式( I ) ▲数式、化学式、表等があります▼・・・(I) [式中、R^1は水素原子、メチル基又はエチル基であ
    り、R^2とR^3は同一でも異なってもよくC_1〜
    C_3のアルキル基又はフェニル基であり、nは0〜4
    の整数である] で表わされるアルケニルシリル基含有スチレン化合物を
    含むビニル系モノマー化合物を有機金属化合物を開始剤
    として重合するアルケニルシリル基含有高分子化合物の
    製法において、前記重合を第3級アミンの存在下で行う
    ことを特徴とする製法。
JP61057960A 1986-03-14 1986-03-14 アルケニルシリル基含有高分子化合物の製法 Granted JPS62215608A (ja)

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