JPS6084310A - けい素原子含有有機高分子化合物の製造方法 - Google Patents
けい素原子含有有機高分子化合物の製造方法Info
- Publication number
- JPS6084310A JPS6084310A JP19216383A JP19216383A JPS6084310A JP S6084310 A JPS6084310 A JP S6084310A JP 19216383 A JP19216383 A JP 19216383A JP 19216383 A JP19216383 A JP 19216383A JP S6084310 A JPS6084310 A JP S6084310A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- group
- double bond
- ethylenic double
- organic
- polymer
- Prior art date
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- Pending
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- Addition Polymer Or Copolymer, Post-Treatments, Or Chemical Modifications (AREA)
- Macromonomer-Based Addition Polymer (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、けい素原子含有有機高分子化合物の製造方法
に関するものである。
に関するものである。
従来より線状構造の高分子化合物でフィルム等を成型し
、ついでこのものを強固な三次元ポリマーに架橋する手
法は知られており、この手法は感光性樹脂、ゴム、塗料
、接看剤などに多く応用されている。たとえばケイ皮酸
ビニルのようにポリビニルアルコールの高分子修飾でビ
ニル基を導入する方法、ポリシロキサン中にビニル基を
入れる方法、反応性の七ツマ−もしくはポリマーを混合
する方法等がよく知られている。
、ついでこのものを強固な三次元ポリマーに架橋する手
法は知られており、この手法は感光性樹脂、ゴム、塗料
、接看剤などに多く応用されている。たとえばケイ皮酸
ビニルのようにポリビニルアルコールの高分子修飾でビ
ニル基を導入する方法、ポリシロキサン中にビニル基を
入れる方法、反応性の七ツマ−もしくはポリマーを混合
する方法等がよく知られている。
しかし、1分子中にビニル基のよう・な不飽和基を2つ
有するモノマーを通常の車台方法で11合させて一方の
不飽和基のみを重合し、他方の不飽和基を残存させた形
のポリマーを得る方法はあまり知られていない。これは
一方の不飽和基の重合の際に他方の不飽和基の重合も同
時におこり、最初から三次元のポリマーになってしまう
場合が多いためである。
有するモノマーを通常の車台方法で11合させて一方の
不飽和基のみを重合し、他方の不飽和基を残存させた形
のポリマーを得る方法はあまり知られていない。これは
一方の不飽和基の重合の際に他方の不飽和基の重合も同
時におこり、最初から三次元のポリマーになってしまう
場合が多いためである。
本発明者らは鋭意研究した結果、通常の重合反応の条件
で容易に重合反応を起こすエチレン性二重結合を有する
有機基とけい素片子に直納したビニル基とを有するビニ
ルシラン誘導体を屑択使用することにより、架橋反応し
得るビニルシリル基が残存した線状高分子化合物を容易
に得ることができることを見出し、本発明を完成した。
で容易に重合反応を起こすエチレン性二重結合を有する
有機基とけい素片子に直納したビニル基とを有するビニ
ルシラン誘導体を屑択使用することにより、架橋反応し
得るビニルシリル基が残存した線状高分子化合物を容易
に得ることができることを見出し、本発明を完成した。
すなわち、本発明は一般式
%式%(1)
(式中、■は重合可能なエチレン性二車結合な冶する有
浄基、R1、R2は炭素原子数1〜4のアルキル基もし
くはフェニル糸、nはO〜3の数、ただしn=0のとき
Vはビニル基でないものとする)で示されるビニルシラ
ンHA 8体を、そのビニルシリル基(ミS ICH=
OR2)を残存させ有才良l(V中のエチレン性二車結
合を優先的に重合させる条件下で重合反応させることを
特徴とするけい素原子含有有機高分子化合物の製造方法
に関するものであり、さらに本発明はこの高分子化合物
を架橋反応させることにより三次元化ポリマーを製造す
る方法を提供するものである。
浄基、R1、R2は炭素原子数1〜4のアルキル基もし
くはフェニル糸、nはO〜3の数、ただしn=0のとき
Vはビニル基でないものとする)で示されるビニルシラ
ンHA 8体を、そのビニルシリル基(ミS ICH=
OR2)を残存させ有才良l(V中のエチレン性二車結
合を優先的に重合させる条件下で重合反応させることを
特徴とするけい素原子含有有機高分子化合物の製造方法
に関するものであり、さらに本発明はこの高分子化合物
を架橋反応させることにより三次元化ポリマーを製造す
る方法を提供するものである。
これを説明すると、上記一般式(1)で示されるビニル
シラン誘導体中のR1およびR2は、メチルの5、エチ
ル基、プロピル基、ブチル基およびフェニル基から選ば
れる基であり、また式V−(OH2)n−で示される基
のVは重合可能なエチレン性二車結合を有する有機基で
あって、これを例示すれば次のとおりである。
シラン誘導体中のR1およびR2は、メチルの5、エチ
ル基、プロピル基、ブチル基およびフェニル基から選ば
れる基であり、また式V−(OH2)n−で示される基
のVは重合可能なエチレン性二車結合を有する有機基で
あって、これを例示すれば次のとおりである。
■ ビニルフェニル基
0H2=OH−06H4−(OH,、)、−+n=0〜
3)(リ メタグリル酸基 0H2=O(CH3)000−(OII2)、、−<n
−1〜’A)■ アクリル酸基 0H2=OI(Coo−(OH2)、1− (n=1
へ:(+■ ビニル截 aH2==an−(aH2+n−(n==1〜;()■
プロペニル基 0H30H=OH−(OH2)。−(1に1〜:()(
句 ビニルオキシ八 0H2=OHO−(OH2)n−(+!=1〜;3)■
ビニルピリジル基 0H2=OH−0,H4N−(OH2)n−(n=1〜
:3)以上述べたそれぞネも子11“q偵からηCろビ
ニル7ランm794 体は、通常のビニルグロロシラン
、アルキルクロロシラン、ヒドロクロし1シランiJ4
”r伸j目1として、グリニヤール反1芯−ヒドロシ
リlし化1区1心等の公知の有機合成反応により得るこ
とができる。
3)(リ メタグリル酸基 0H2=O(CH3)000−(OII2)、、−<n
−1〜’A)■ アクリル酸基 0H2=OI(Coo−(OH2)、1− (n=1
へ:(+■ ビニル截 aH2==an−(aH2+n−(n==1〜;()■
プロペニル基 0H30H=OH−(OH2)。−(1に1〜:()(
句 ビニルオキシ八 0H2=OHO−(OH2)n−(+!=1〜;3)■
ビニルピリジル基 0H2=OH−0,H4N−(OH2)n−(n=1〜
:3)以上述べたそれぞネも子11“q偵からηCろビ
ニル7ランm794 体は、通常のビニルグロロシラン
、アルキルクロロシラン、ヒドロクロし1シランiJ4
”r伸j目1として、グリニヤール反1芯−ヒドロシ
リlし化1区1心等の公知の有機合成反応により得るこ
とができる。
不発明で使用されるビニルシラン$j導体はつぎのよう
な特徴を有する。すなわち、その式v−(CjH2)。
な特徴を有する。すなわち、その式v−(CjH2)。
−中のエチレン性二重結合は通常の市合反1;& (ラ
ジカル重合、アニオン爪台、カチオン重合)条件で容易
に重合するが、けい素原子に直結しているビニル基はそ
のけい素原子に結合している他の仔N基(R1、R2’
)による7体障害のために1通常の取合条件下ではほ
とんど屯合反応ン起こさないというダlE’ffン有す
る。たとえばトリメチルビニルシランは]IfJ掌のラ
ジカルな合ン行わせることができず、ブチルリチウム7
使うアニオン重合により35℃の温間で400時間反応
させることによってやっと起こる程IWであり(西独公
開公報第2,259.!151号参照)、このアニオン
!「合の速IWは著しく近い。しかし、一般式+Ilで
示されるビニルシラン誘専体は通常の重合反f心条件で
ラジカル重合、アニオン重合またはカチオン重合させる
ことにより、容易にビニルシリル哉の残存した線状高分
子化合物となる。
ジカル重合、アニオン爪台、カチオン重合)条件で容易
に重合するが、けい素原子に直結しているビニル基はそ
のけい素原子に結合している他の仔N基(R1、R2’
)による7体障害のために1通常の取合条件下ではほ
とんど屯合反応ン起こさないというダlE’ffン有す
る。たとえばトリメチルビニルシランは]IfJ掌のラ
ジカルな合ン行わせることができず、ブチルリチウム7
使うアニオン重合により35℃の温間で400時間反応
させることによってやっと起こる程IWであり(西独公
開公報第2,259.!151号参照)、このアニオン
!「合の速IWは著しく近い。しかし、一般式+Ilで
示されるビニルシラン誘専体は通常の重合反f心条件で
ラジカル重合、アニオン重合またはカチオン重合させる
ことにより、容易にビニルシリル哉の残存した線状高分
子化合物となる。
なお、ビニルシラン誘専体の重合に当って、必要であれ
ば、池の通常のビニル七ツマ−(コモノマー)7併用し
てもよい。
ば、池の通常のビニル七ツマ−(コモノマー)7併用し
てもよい。
このようにして得られる残存ビニルシリル1フを有する
線状高分子化合物は、有機78 fillにir冶件の
ものであり容易に架橋反1心して溶イllに不溶性の強
じんな三次元ポリマーとなるので、11&光性!iH7
脂。
線状高分子化合物は、有機78 fillにir冶件の
ものであり容易に架橋反1心して溶イllに不溶性の強
じんな三次元ポリマーとなるので、11&光性!iH7
脂。
ゴム、中村、接着剤等広い分゛11Fに角田とさ1Lる
ものである。
ものである。
この残存ビニルシリルAF、 ?Hする線状同分子化合
物乞架橋反応させる方法としては、I)紫外j1i、電
子線もしくはX線による照射方法、11)1尚酸化物ま
たは1分子中にビニルシリルJとと反応し得る官能基を
少なくとも2個訂する仔礪けい素化合物7用いて行う方
法があげられる。なお、上記の酸化物としてはベンゾイ
ルペルオキシド、2.4−iyクロロベンゾイルペルオ
キVド、ジグミルペルオキシド、t−ブチルペルオキシ
ベンゾエートなどが、また少なくとも2個の官能基7有
する有機けい素化合物としては、=Si−Hでボされる
゛g官能基1分子中に2 イIM、1以上打するオルガ
ノシラン化合物もしくはオルガノポリシロキチン化合物
、あるいはミ5i−R−8H(Rは2価の炭化水素へ)
で示される官能基?1分子中に2個以上仔するオルガノ
ポリシロキチン化合物などがそれぞれ例示される。
物乞架橋反応させる方法としては、I)紫外j1i、電
子線もしくはX線による照射方法、11)1尚酸化物ま
たは1分子中にビニルシリルJとと反応し得る官能基を
少なくとも2個訂する仔礪けい素化合物7用いて行う方
法があげられる。なお、上記の酸化物としてはベンゾイ
ルペルオキシド、2.4−iyクロロベンゾイルペルオ
キVド、ジグミルペルオキシド、t−ブチルペルオキシ
ベンゾエートなどが、また少なくとも2個の官能基7有
する有機けい素化合物としては、=Si−Hでボされる
゛g官能基1分子中に2 イIM、1以上打するオルガ
ノシラン化合物もしくはオルガノポリシロキチン化合物
、あるいはミ5i−R−8H(Rは2価の炭化水素へ)
で示される官能基?1分子中に2個以上仔するオルガノ
ポリシロキチン化合物などがそれぞれ例示される。
つぎに基体的実施例をあげる。
実姉例1
500Mフラスコ中にマグネシウム12g、テトラヒド
ロフラン200+dY仕込み、臭化エチル0= 5 m
l Y加えて反応?スタートさせた後、p−クロロスチ
レン69.9を、電素気流中、還流温度で3時間要して
滴下し反応させることによりp−クロロスチレンのグリ
ニヤ試薬!合成した。つぎにビニルメチルグロロシラン
ノ60 flχ20 ヘ30℃でこのグリニヤ試薬中に
滴下反応させた後、加水分解し、有I、!jM ’2減
圧下味留したところ、p−ビニルフェニルジメチルビニ
ルシラン H3 つぎに、20gのp−ビニルフェニルジメチルシランと
0.5%のアゾビスイソブチロニトリルを含有するトル
エン150プに溶解し、80 ”Cで40時間爪合した
。この粘稠な液乞メタノール11中に注ぎ沈殿分離した
復、75’Q (P <’2.’ 4・%i、 シたと
ころ、14、!i+の白色のポリマーが得られた。この
ポリマ−7トルエンに再度溶解しキャスティング法にて
厚さ10μmのフィルム乞つくり、このものについて赤
外吸収スペクトルで分析したところ、ビニルシリル基乞
含有していることが確認された。
ロフラン200+dY仕込み、臭化エチル0= 5 m
l Y加えて反応?スタートさせた後、p−クロロスチ
レン69.9を、電素気流中、還流温度で3時間要して
滴下し反応させることによりp−クロロスチレンのグリ
ニヤ試薬!合成した。つぎにビニルメチルグロロシラン
ノ60 flχ20 ヘ30℃でこのグリニヤ試薬中に
滴下反応させた後、加水分解し、有I、!jM ’2減
圧下味留したところ、p−ビニルフェニルジメチルビニ
ルシラン H3 つぎに、20gのp−ビニルフェニルジメチルシランと
0.5%のアゾビスイソブチロニトリルを含有するトル
エン150プに溶解し、80 ”Cで40時間爪合した
。この粘稠な液乞メタノール11中に注ぎ沈殿分離した
復、75’Q (P <’2.’ 4・%i、 シたと
ころ、14、!i+の白色のポリマーが得られた。この
ポリマ−7トルエンに再度溶解しキャスティング法にて
厚さ10μmのフィルム乞つくり、このものについて赤
外吸収スペクトルで分析したところ、ビニルシリル基乞
含有していることが確認された。
つぎに、このポリ−p−ビニルフェニルジメチルビニル
シラン10pと2,4−ジグロルベンゾイルパーオキサ
イド0.05pYl−ルエン150mにとかし、常温に
て厚さ10μmのフィルム乞キャスティング法でつくっ
た後、150℃で30分間架橋反ル6させたところ、こ
のフィルムは非’Flに強じんな三次元ポリマーとなり
、もはやトルエンに全く不溶なフィルムとαつた。
シラン10pと2,4−ジグロルベンゾイルパーオキサ
イド0.05pYl−ルエン150mにとかし、常温に
て厚さ10μmのフィルム乞キャスティング法でつくっ
た後、150℃で30分間架橋反ル6させたところ、こ
のフィルムは非’Flに強じんな三次元ポリマーとなり
、もはやトルエンに全く不溶なフィルムとαつた。
実施例2
臭化ビニルのグリニヤ試薬とグロロメチルジメチルクロ
ロシランン常法に従いグリニヤ反応して得た。クロロメ
チルジメチルビニルシラン62g7a=50(1eフラ
スコ中に仕込み、これにメダクリル酸ナトリウム59g
、ジメチルボルムアミド 、1001およびピリジン2
−711口え、80℃で3時間撹拌しながら加熱反応さ
せた。その後1反応液を冷却し、500++Ilの水中
に注ぎ、分離した有機+1を減圧下蒸留したところ、メ
タクリノシ酸メチレンジメチノνビニル7ラン OH3 つぎに、このメタクリル酸メチレンビニルジメチルfl
li/う/20.ji”&無水0.) ト/l/ 工y
3 (1(1me中に窒素気流下で溶解した後、3.
3 mole のフェニルマグネシウムプロミド(06
H,MgBr ) 0)ジエチルエーテル溶液3.6
me 71向(1え、望素気流135℃で攪拌しながら
6時間市合させた。この!l1i11.′4な散音メタ
ノール11中に注ぎ込み、ポリマーを沈殿分離し、洗浄
乾燥したところ、1:1夕σ月(1色ポリマーを得た。
ロシランン常法に従いグリニヤ反応して得た。クロロメ
チルジメチルビニルシラン62g7a=50(1eフラ
スコ中に仕込み、これにメダクリル酸ナトリウム59g
、ジメチルボルムアミド 、1001およびピリジン2
−711口え、80℃で3時間撹拌しながら加熱反応さ
せた。その後1反応液を冷却し、500++Ilの水中
に注ぎ、分離した有機+1を減圧下蒸留したところ、メ
タクリノシ酸メチレンジメチノνビニル7ラン OH3 つぎに、このメタクリル酸メチレンビニルジメチルfl
li/う/20.ji”&無水0.) ト/l/ 工y
3 (1(1me中に窒素気流下で溶解した後、3.
3 mole のフェニルマグネシウムプロミド(06
H,MgBr ) 0)ジエチルエーテル溶液3.6
me 71向(1え、望素気流135℃で攪拌しながら
6時間市合させた。この!l1i11.′4な散音メタ
ノール11中に注ぎ込み、ポリマーを沈殿分離し、洗浄
乾燥したところ、1:1夕σ月(1色ポリマーを得た。
このポリマーンもう一度トル毛ンに溶解し、キャスティ
ング法にて、厚さ5μmのフィルム7作製した。このフ
ィルl\乞赤外埋スペクトルで分析したところ、308
0CrrL に入きた吸収がありビニルシリル基が残存
していることtC准認した。ついで、このフイルムン減
圧状1.八にして超高圧水銀灯(365口m、l ]、
(CIW、/rr? ) ’に使用して3分間照射し
たところ、このフィルムは非常に強じんなフィルムにな
り、トルエンに不溶どなった。まに、赤外吸収スペクト
ルで分析したところ、:i o s ocn−”の吸収
は消えていてビニル基が架倫し、3伏元ポリマーになっ
たことが確認された。
ング法にて、厚さ5μmのフィルム7作製した。このフ
ィルl\乞赤外埋スペクトルで分析したところ、308
0CrrL に入きた吸収がありビニルシリル基が残存
していることtC准認した。ついで、このフイルムン減
圧状1.八にして超高圧水銀灯(365口m、l ]、
(CIW、/rr? ) ’に使用して3分間照射し
たところ、このフィルムは非常に強じんなフィルムにな
り、トルエンに不溶どなった。まに、赤外吸収スペクト
ルで分析したところ、:i o s ocn−”の吸収
は消えていてビニル基が架倫し、3伏元ポリマーになっ
たことが確認された。
実施例3
ブロムベンゼンのグリニヤ試−店と、;3−クロロプロ
ピルメチルビニルクロロシランに常法に従いグリニヤ反
応してイ、また3−グロ口プロピルメチルフェニルビニ
ルνラン OH3 (CI OH20H20H2S ICH=OH2)06
H6 30,7とアクリル酸ナトリウム25p’r500i7
eフラスコ中に仕込み、これにジメチルポルl−アミド
5Qmlおよびピリジン2mlを加え、80 ℃で3時
間加熱反応させた。その後、反1心液は冷却し、3oo
mgの水χ加え1分離した・げ磯層乞減圧下蒸留したと
ころ、アクリル酸プロピレンメチルフェニルビニルシラ
ン OH3 (OH2=OHCoo 0H20H20H2Si OH
= OH,、)身 6H5 21gを得た。
ピルメチルビニルクロロシランに常法に従いグリニヤ反
応してイ、また3−グロ口プロピルメチルフェニルビニ
ルνラン OH3 (CI OH20H20H2S ICH=OH2)06
H6 30,7とアクリル酸ナトリウム25p’r500i7
eフラスコ中に仕込み、これにジメチルポルl−アミド
5Qmlおよびピリジン2mlを加え、80 ℃で3時
間加熱反応させた。その後、反1心液は冷却し、3oo
mgの水χ加え1分離した・げ磯層乞減圧下蒸留したと
ころ、アクリル酸プロピレンメチルフェニルビニルシラ
ン OH3 (OH2=OHCoo 0H20H20H2Si OH
= OH,、)身 6H5 21gを得た。
つぎに、11オートクレーブ中に
水 】00I
オレイルアルコール f、1.I 、’/ゼラチy O
,1g 塩化ビニル 8.9 過酸化ベンゾイル 0.05.9 ?仕込み、60℃、10時間、望素下にて;+’;J
7蜀共重合させた。反応後、tゴ過、洗浄、乾燥したと
こロ、塩化ビニルーアクリル酸プロピレンメチルフェニ
ルビニルシランの共重合体1197得た。このポリマー
を赤外吸収スペクトルにて分析したところ、3080(
X に吸収があり、ビニル糸が残存していることが確認
され之。ついで、この共重合体10gYテトラヒドロフ
ランioomgに溶解した後、両末端にヒドロ基を有す
るジメチルシロキチン(平均Qi舎度10)2.7と塩
化白金酸の2%ブタノールン谷e O,a me Y力
IJえたi多生ヤスティング法にてjILさ200μm
のフィルムをつくった後、120℃で15分間架橋反応
を行なった。このフィルムは強じんで柔軟性を有するフ
ィルムとなった。f(16、このフィルムはもはやテト
ラヒドロフランに不溶で3次元ポリマーになっているこ
と乞確J忍した。
,1g 塩化ビニル 8.9 過酸化ベンゾイル 0.05.9 ?仕込み、60℃、10時間、望素下にて;+’;J
7蜀共重合させた。反応後、tゴ過、洗浄、乾燥したと
こロ、塩化ビニルーアクリル酸プロピレンメチルフェニ
ルビニルシランの共重合体1197得た。このポリマー
を赤外吸収スペクトルにて分析したところ、3080(
X に吸収があり、ビニル糸が残存していることが確認
され之。ついで、この共重合体10gYテトラヒドロフ
ランioomgに溶解した後、両末端にヒドロ基を有す
るジメチルシロキチン(平均Qi舎度10)2.7と塩
化白金酸の2%ブタノールン谷e O,a me Y力
IJえたi多生ヤスティング法にてjILさ200μm
のフィルムをつくった後、120℃で15分間架橋反応
を行なった。このフィルムは強じんで柔軟性を有するフ
ィルムとなった。f(16、このフィルムはもはやテト
ラヒドロフランに不溶で3次元ポリマーになっているこ
と乞確J忍した。
特許出願人 信越化学工業株式会社
手続補正N):
1111 fll 58年10月2111′4云1j許
庁長官若杉和夫 殿 1、・1警件の表小 昭和58年10月14日付提出の特許頓(4; 後記号
なし2、発明の名称 けい素原子含有有機高分子化合物の峙造方法3、補止を
する考 小作との関係 特許出1頓人 名称 (206)信越化学上)′!′株式会社4、代
理 人 6、補正のλ・1象 、り′、・119.・7、補正の
内容 ■)明細書第15ページ末行の次に別紙のとおり追加す
る。
庁長官若杉和夫 殿 1、・1警件の表小 昭和58年10月14日付提出の特許頓(4; 後記号
なし2、発明の名称 けい素原子含有有機高分子化合物の峙造方法3、補止を
する考 小作との関係 特許出1頓人 名称 (206)信越化学上)′!′株式会社4、代
理 人 6、補正のλ・1象 、り′、・119.・7、補正の
内容 ■)明細書第15ページ末行の次に別紙のとおり追加す
る。
2)明114B帯第3ページ2行、第8ページ下から3
行目および第9ページ3〜4行における「有機けい素化
合物」をそれぞれ「有機化合物」と補正する。
行目および第9ページ3〜4行における「有機けい素化
合物」をそれぞれ「有機化合物」と補正する。
3)明細書第9ページ9行における「化合物などが」を
「化合物、gよび光架橋剤である2、6−ジ(4アジド
ベンジリデン)−7グロヘキサノンなどが」と補正する
。
「化合物、gよび光架橋剤である2、6−ジ(4アジド
ベンジリデン)−7グロヘキサノンなどが」と補正する
。
Jl 紙
実施例4〜6
実施例1と全く同様にして合成したp−ビニルフェニル
ジメチルビニルシランを高i:’X ”;¥下で(06
H5)30Li−LiBrの混合系の:F1’49”J
剤を用いてri’f映したもの6gを用いて高V↓空下
でリビングアニオン重合法を用いて、開始剤として1.
2 X l (1−’モルのn−BuLi、クミルセシ
ウム(Qllm−as )を用いて一78℃の反応温度
で、溶媒として清q<′IL、たテトラヒドロフランお
よび2−メチルテトラヒドロフラン100dを用いて、
2時間屯合を行った。
ジメチルビニルシランを高i:’X ”;¥下で(06
H5)30Li−LiBrの混合系の:F1’49”J
剤を用いてri’f映したもの6gを用いて高V↓空下
でリビングアニオン重合法を用いて、開始剤として1.
2 X l (1−’モルのn−BuLi、クミルセシ
ウム(Qllm−as )を用いて一78℃の反応温度
で、溶媒として清q<′IL、たテトラヒドロフランお
よび2−メチルテトラヒドロフラン100dを用いて、
2時間屯合を行った。
取合終了後、内容物をメタノール中にI′S’、 K
、得られたポリマーを沈殿分離し、15h争乾(M し
たところ、白色のポリマーを得た。得られた重合物の分
子ト4不均一性はGPOおよび膜浸透王法と光11に乱
法により測定した数平均分子+i1Mn)とlj fi
l−平均勺子fl(Mw)の比により判断した。
、得られたポリマーを沈殿分離し、15h争乾(M し
たところ、白色のポリマーを得た。得られた重合物の分
子ト4不均一性はGPOおよび膜浸透王法と光11に乱
法により測定した数平均分子+i1Mn)とlj fi
l−平均勺子fl(Mw)の比により判断した。
結眼を表−1に、GPO曲線を第1図および弔2図にホ
す。
す。
得られた重合物は何れもIRスペクトル分析結果は=S
i −0H=OH2を含有しており、トルエン溶液と
して厚さ10μmのフィルムをキヤステング法で作り、
高圧水銀灯(110W/m’、36Fsnm)に1分間
照射したところ、トルエン不溶の強じんなフィルムが得
られた。
i −0H=OH2を含有しており、トルエン溶液と
して厚さ10μmのフィルムをキヤステング法で作り、
高圧水銀灯(110W/m’、36Fsnm)に1分間
照射したところ、トルエン不溶の強じんなフィルムが得
られた。
また、実施例6で得られた重合物は4−1および第2図
のGPO曲線よりMw/Mn=1.02とりピングアニ
オン重合の理論から予想される値に近く単分散高分子と
いえるものである。
のGPO曲線よりMw/Mn=1.02とりピングアニ
オン重合の理論から予想される値に近く単分散高分子と
いえるものである。
つぎに実施例6で得られた単分散ポリ(4−ビニルフェ
ニルジメチルビニルシラン)のキシレン15取晴%の溶
液を作り、これに光架橋剤として2.6−ジ(4アジド
ベンジリデン)−シグロヘキサノン(ポリマーに対して
3重重%肇)を加えてレジスト溶液を調整した。810
□/Siウエノ1−上にスビレコーテングにより1μm
のレジスト嘆を作り、ブレベーキングを100℃、20
分間行つた0 つぎIニミラープロジエクンョンマスクアライナ−(C
a)lon−500−F−1)を使用し、常法に従い露
光後、ジエチルエーテルを現像液としてデツプし60秒
間現像を行ったところ、0.5μmのラインアンドスペ
ースも明らかに解像していることが判った。
ニルジメチルビニルシラン)のキシレン15取晴%の溶
液を作り、これに光架橋剤として2.6−ジ(4アジド
ベンジリデン)−シグロヘキサノン(ポリマーに対して
3重重%肇)を加えてレジスト溶液を調整した。810
□/Siウエノ1−上にスビレコーテングにより1μm
のレジスト嘆を作り、ブレベーキングを100℃、20
分間行つた0 つぎIニミラープロジエクンョンマスクアライナ−(C
a)lon−500−F−1)を使用し、常法に従い露
光後、ジエチルエーテルを現像液としてデツプし60秒
間現像を行ったところ、0.5μmのラインアンドスペ
ースも明らかに解像していることが判った。
また、このレジストを81 基板上に塗布し、平行平板
電極型ドライエツチング装置fLt、にて02のスパッ
タエツチングを行い、膜厚の変化の測定を行ったところ
、30分間のエツチングでも11創7は変化せず、非常
にすぐれた耐ドライエツチング性を示した。
電極型ドライエツチング装置fLt、にて02のスパッ
タエツチングを行い、膜厚の変化の測定を行ったところ
、30分間のエツチングでも11創7は変化せず、非常
にすぐれた耐ドライエツチング性を示した。
以上の結果よりこの単分散ポリ(4−ビニルフェニルジ
メチルビニルシラン)はレジストとしても理想的な性質
を有していることが判明した。
メチルビニルシラン)はレジストとしても理想的な性質
を有していることが判明した。
乞751図は、n−BuLi MよびOum−Osを開
姶剤として、THF中、−78℃でflj合したポリ(
4−ビニルフェニルジメチルビニルシラン)のGPOの
溶出曲線、第2図は、Oum−Os を聞姶剤どしてM
et−THF中、−78℃で重合したポリ(4−ビニル
フェニルジメチルビニルシラン)のGPOの溶出曲線を
それぞれ示したものである。
姶剤として、THF中、−78℃でflj合したポリ(
4−ビニルフェニルジメチルビニルシラン)のGPOの
溶出曲線、第2図は、Oum−Os を聞姶剤どしてM
et−THF中、−78℃で重合したポリ(4−ビニル
フェニルジメチルビニルシラン)のGPOの溶出曲線を
それぞれ示したものである。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 1、一般式 %式% C式中、■は重合可能なエチレン性二重結合を有する有
1ヤ基、R” 、 R2は炭素原子数1〜4のアルキル
基もしくはフェニル糸、nは0〜3の数、ただしn=Q
のときVはビニル基でないものとする)で示されるビニ
ルシラン誘導体を、そのビニルシリル基(ミ5l−cI
(=cH2)を残存させ有わあ基V中のエチレン什二貫
結合を優先的に重合させる条件下で重合反応させること
を特徴とするけい素原子含有有機高力子化合物の製造方
法 2、一般式 %式%(2 (式中、■は重合可能なエチレン性二重結合を有する有
機基、R1、p、2は炭素原子数1〜4のアルキル基も
しくはフェニル4.nは0〜3の数、ただしn=0のと
きVはビニル哉でないものとする)で示されるビニルシ
ラン誘導体を、そのビニルシリル基(ミ5i−OH=t
jl(2) を残存させ有機基V中のエチレン性二重結
合を(3先的に重合させる条件FでΦ合反応させ、つい
で得られた重合体中のビニルシリル早を架橋反応させる
ことを特徴とする三伏元化されたI)い累原子含有有機
高分子イ]′合物の!I+3造力法3、前記架橋反応を
、紫外線、電子線もしくはX線による照射で行うことを
特徴とする特R1−悄求の範囲第2゛項記載の製造方法 4 前記架橋反応を、過酸化物または1分子中にビニル
シリル基と反応し得る官能基を少なくとも2個有する有
機けい累化合物を用いて行うことを特徴とする特許請求
の範囲第2項記載の製造方法
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP19216383A JPS6084310A (ja) | 1983-10-14 | 1983-10-14 | けい素原子含有有機高分子化合物の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP19216383A JPS6084310A (ja) | 1983-10-14 | 1983-10-14 | けい素原子含有有機高分子化合物の製造方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS6084310A true JPS6084310A (ja) | 1985-05-13 |
Family
ID=16286731
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP19216383A Pending JPS6084310A (ja) | 1983-10-14 | 1983-10-14 | けい素原子含有有機高分子化合物の製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS6084310A (ja) |
Cited By (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4636454A (en) * | 1984-07-18 | 1987-01-13 | Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. | Method for the preparation of a patterned photoresist layer and a photoresist composition therefor |
US4731424A (en) * | 1986-03-14 | 1988-03-15 | Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. | Process for producing polymer compound containing alkenylsilyl group |
JPH01101309A (ja) * | 1987-10-15 | 1989-04-19 | Nec Corp | ケイ素原子含有エチレン系重合体およびそれを含む組成物およびその使用方法 |
US4912186A (en) * | 1987-03-27 | 1990-03-27 | Japan Synthetic Rubber Co., Ltd. | Acrylic rubber, acrylic rubber composition and cured rubber article thereof |
US4975491A (en) * | 1989-01-18 | 1990-12-04 | The Dow Chemical Company | Functionalized polymers prepared by anionic polymerization |
US5081191A (en) * | 1989-01-18 | 1992-01-14 | The Dow Chemical Company | Functionalized polymers prepared by anionic polymerization |
JP2006276768A (ja) * | 2005-03-30 | 2006-10-12 | Kodak Polychrome Graphics Japan Ltd | 感光性平版印刷版 |
-
1983
- 1983-10-14 JP JP19216383A patent/JPS6084310A/ja active Pending
Cited By (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4636454A (en) * | 1984-07-18 | 1987-01-13 | Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. | Method for the preparation of a patterned photoresist layer and a photoresist composition therefor |
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JPH01101309A (ja) * | 1987-10-15 | 1989-04-19 | Nec Corp | ケイ素原子含有エチレン系重合体およびそれを含む組成物およびその使用方法 |
US4975491A (en) * | 1989-01-18 | 1990-12-04 | The Dow Chemical Company | Functionalized polymers prepared by anionic polymerization |
US5081191A (en) * | 1989-01-18 | 1992-01-14 | The Dow Chemical Company | Functionalized polymers prepared by anionic polymerization |
JP2006276768A (ja) * | 2005-03-30 | 2006-10-12 | Kodak Polychrome Graphics Japan Ltd | 感光性平版印刷版 |
WO2006109454A1 (ja) * | 2005-03-30 | 2006-10-19 | Kodak Graphic Communications Japan Ltd. | 感光性平版印刷版 |
JP4690090B2 (ja) * | 2005-03-30 | 2011-06-01 | コダック株式会社 | 感光性平版印刷版 |
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