JPS6084310A - けい素原子含有有機高分子化合物の製造方法 - Google Patents

けい素原子含有有機高分子化合物の製造方法

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JPS6084310A
JPS6084310A JP19216383A JP19216383A JPS6084310A JP S6084310 A JPS6084310 A JP S6084310A JP 19216383 A JP19216383 A JP 19216383A JP 19216383 A JP19216383 A JP 19216383A JP S6084310 A JPS6084310 A JP S6084310A
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JP
Japan
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group
double bond
ethylenic double
organic
polymer
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JP19216383A
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English (en)
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Teruo Fujimoto
藤本 輝雄
Minoru Takamizawa
高見沢 稔
Akira Yamamoto
昭 山本
Toshinobu Ishihara
俊信 石原
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Shin Etsu Chemical Co Ltd
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Shin Etsu Chemical Co Ltd
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  • Macromonomer-Based Addition Polymer (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は、けい素原子含有有機高分子化合物の製造方法
に関するものである。
従来より線状構造の高分子化合物でフィルム等を成型し
、ついでこのものを強固な三次元ポリマーに架橋する手
法は知られており、この手法は感光性樹脂、ゴム、塗料
、接看剤などに多く応用されている。たとえばケイ皮酸
ビニルのようにポリビニルアルコールの高分子修飾でビ
ニル基を導入する方法、ポリシロキサン中にビニル基を
入れる方法、反応性の七ツマ−もしくはポリマーを混合
する方法等がよく知られている。
しかし、1分子中にビニル基のよう・な不飽和基を2つ
有するモノマーを通常の車台方法で11合させて一方の
不飽和基のみを重合し、他方の不飽和基を残存させた形
のポリマーを得る方法はあまり知られていない。これは
一方の不飽和基の重合の際に他方の不飽和基の重合も同
時におこり、最初から三次元のポリマーになってしまう
場合が多いためである。
本発明者らは鋭意研究した結果、通常の重合反応の条件
で容易に重合反応を起こすエチレン性二重結合を有する
有機基とけい素片子に直納したビニル基とを有するビニ
ルシラン誘導体を屑択使用することにより、架橋反応し
得るビニルシリル基が残存した線状高分子化合物を容易
に得ることができることを見出し、本発明を完成した。
すなわち、本発明は一般式 %式%(1) (式中、■は重合可能なエチレン性二車結合な冶する有
浄基、R1、R2は炭素原子数1〜4のアルキル基もし
くはフェニル糸、nはO〜3の数、ただしn=0のとき
Vはビニル基でないものとする)で示されるビニルシラ
ンHA 8体を、そのビニルシリル基(ミS ICH=
OR2)を残存させ有才良l(V中のエチレン性二車結
合を優先的に重合させる条件下で重合反応させることを
特徴とするけい素原子含有有機高分子化合物の製造方法
に関するものであり、さらに本発明はこの高分子化合物
を架橋反応させることにより三次元化ポリマーを製造す
る方法を提供するものである。
これを説明すると、上記一般式(1)で示されるビニル
シラン誘導体中のR1およびR2は、メチルの5、エチ
ル基、プロピル基、ブチル基およびフェニル基から選ば
れる基であり、また式V−(OH2)n−で示される基
のVは重合可能なエチレン性二車結合を有する有機基で
あって、これを例示すれば次のとおりである。
■ ビニルフェニル基 0H2=OH−06H4−(OH,、)、−+n=0〜
3)(リ メタグリル酸基 0H2=O(CH3)000−(OII2)、、−<n
−1〜’A)■ アクリル酸基 0H2=OI(Coo−(OH2)、1− (n=1 
へ:(+■ ビニル截 aH2==an−(aH2+n−(n==1〜;()■
 プロペニル基 0H30H=OH−(OH2)。−(1に1〜:()(
句 ビニルオキシ八 0H2=OHO−(OH2)n−(+!=1〜;3)■
 ビニルピリジル基 0H2=OH−0,H4N−(OH2)n−(n=1〜
:3)以上述べたそれぞネも子11“q偵からηCろビ
ニル7ランm794 体は、通常のビニルグロロシラン
、アルキルクロロシラン、ヒドロクロし1シランiJ4
 ”r伸j目1として、グリニヤール反1芯−ヒドロシ
リlし化1区1心等の公知の有機合成反応により得るこ
とができる。
不発明で使用されるビニルシラン$j導体はつぎのよう
な特徴を有する。すなわち、その式v−(CjH2)。
−中のエチレン性二重結合は通常の市合反1;& (ラ
ジカル重合、アニオン爪台、カチオン重合)条件で容易
に重合するが、けい素原子に直結しているビニル基はそ
のけい素原子に結合している他の仔N基(R1、R2’
 )による7体障害のために1通常の取合条件下ではほ
とんど屯合反応ン起こさないというダlE’ffン有す
る。たとえばトリメチルビニルシランは]IfJ掌のラ
ジカルな合ン行わせることができず、ブチルリチウム7
使うアニオン重合により35℃の温間で400時間反応
させることによってやっと起こる程IWであり(西独公
開公報第2,259.!151号参照)、このアニオン
!「合の速IWは著しく近い。しかし、一般式+Ilで
示されるビニルシラン誘専体は通常の重合反f心条件で
ラジカル重合、アニオン重合またはカチオン重合させる
ことにより、容易にビニルシリル哉の残存した線状高分
子化合物となる。
なお、ビニルシラン誘専体の重合に当って、必要であれ
ば、池の通常のビニル七ツマ−(コモノマー)7併用し
てもよい。
このようにして得られる残存ビニルシリル1フを有する
線状高分子化合物は、有機78 fillにir冶件の
ものであり容易に架橋反1心して溶イllに不溶性の強
じんな三次元ポリマーとなるので、11&光性!iH7
脂。
ゴム、中村、接着剤等広い分゛11Fに角田とさ1Lる
ものである。
この残存ビニルシリルAF、 ?Hする線状同分子化合
物乞架橋反応させる方法としては、I)紫外j1i、電
子線もしくはX線による照射方法、11)1尚酸化物ま
たは1分子中にビニルシリルJとと反応し得る官能基を
少なくとも2個訂する仔礪けい素化合物7用いて行う方
法があげられる。なお、上記の酸化物としてはベンゾイ
ルペルオキシド、2.4−iyクロロベンゾイルペルオ
キVド、ジグミルペルオキシド、t−ブチルペルオキシ
ベンゾエートなどが、また少なくとも2個の官能基7有
する有機けい素化合物としては、=Si−Hでボされる
゛g官能基1分子中に2 イIM、1以上打するオルガ
ノシラン化合物もしくはオルガノポリシロキチン化合物
、あるいはミ5i−R−8H(Rは2価の炭化水素へ)
で示される官能基?1分子中に2個以上仔するオルガノ
ポリシロキチン化合物などがそれぞれ例示される。
つぎに基体的実施例をあげる。
実姉例1 500Mフラスコ中にマグネシウム12g、テトラヒド
ロフラン200+dY仕込み、臭化エチル0= 5 m
l Y加えて反応?スタートさせた後、p−クロロスチ
レン69.9を、電素気流中、還流温度で3時間要して
滴下し反応させることによりp−クロロスチレンのグリ
ニヤ試薬!合成した。つぎにビニルメチルグロロシラン
ノ60 flχ20 ヘ30℃でこのグリニヤ試薬中に
滴下反応させた後、加水分解し、有I、!jM ’2減
圧下味留したところ、p−ビニルフェニルジメチルビニ
ルシラン H3 つぎに、20gのp−ビニルフェニルジメチルシランと
0.5%のアゾビスイソブチロニトリルを含有するトル
エン150プに溶解し、80 ”Cで40時間爪合した
。この粘稠な液乞メタノール11中に注ぎ沈殿分離した
復、75’Q (P <’2.’ 4・%i、 シたと
ころ、14、!i+の白色のポリマーが得られた。この
ポリマ−7トルエンに再度溶解しキャスティング法にて
厚さ10μmのフィルム乞つくり、このものについて赤
外吸収スペクトルで分析したところ、ビニルシリル基乞
含有していることが確認された。
つぎに、このポリ−p−ビニルフェニルジメチルビニル
シラン10pと2,4−ジグロルベンゾイルパーオキサ
イド0.05pYl−ルエン150mにとかし、常温に
て厚さ10μmのフィルム乞キャスティング法でつくっ
た後、150℃で30分間架橋反ル6させたところ、こ
のフィルムは非’Flに強じんな三次元ポリマーとなり
、もはやトルエンに全く不溶なフィルムとαつた。
実施例2 臭化ビニルのグリニヤ試薬とグロロメチルジメチルクロ
ロシランン常法に従いグリニヤ反応して得た。クロロメ
チルジメチルビニルシラン62g7a=50(1eフラ
スコ中に仕込み、これにメダクリル酸ナトリウム59g
、ジメチルボルムアミド 、1001およびピリジン2
−711口え、80℃で3時間撹拌しながら加熱反応さ
せた。その後1反応液を冷却し、500++Ilの水中
に注ぎ、分離した有機+1を減圧下蒸留したところ、メ
タクリノシ酸メチレンジメチノνビニル7ラン OH3 つぎに、このメタクリル酸メチレンビニルジメチルfl
li/う/20.ji”&無水0.) ト/l/ 工y
 3 (1(1me中に窒素気流下で溶解した後、3.
3 mole のフェニルマグネシウムプロミド(06
H,MgBr ) 0)ジエチルエーテル溶液3.6 
me 71向(1え、望素気流135℃で攪拌しながら
6時間市合させた。この!l1i11.′4な散音メタ
ノール11中に注ぎ込み、ポリマーを沈殿分離し、洗浄
乾燥したところ、1:1夕σ月(1色ポリマーを得た。
このポリマーンもう一度トル毛ンに溶解し、キャスティ
ング法にて、厚さ5μmのフィルム7作製した。このフ
ィルl\乞赤外埋スペクトルで分析したところ、308
0CrrL に入きた吸収がありビニルシリル基が残存
していることtC准認した。ついで、このフイルムン減
圧状1.八にして超高圧水銀灯(365口m、l ]、
 (CIW、/rr? ) ’に使用して3分間照射し
たところ、このフィルムは非常に強じんなフィルムにな
り、トルエンに不溶どなった。まに、赤外吸収スペクト
ルで分析したところ、:i o s ocn−”の吸収
は消えていてビニル基が架倫し、3伏元ポリマーになっ
たことが確認された。
実施例3 ブロムベンゼンのグリニヤ試−店と、;3−クロロプロ
ピルメチルビニルクロロシランに常法に従いグリニヤ反
応してイ、また3−グロ口プロピルメチルフェニルビニ
ルνラン OH3 (CI OH20H20H2S ICH=OH2)06
H6 30,7とアクリル酸ナトリウム25p’r500i7
eフラスコ中に仕込み、これにジメチルポルl−アミド
5Qmlおよびピリジン2mlを加え、80 ℃で3時
間加熱反応させた。その後、反1心液は冷却し、3oo
mgの水χ加え1分離した・げ磯層乞減圧下蒸留したと
ころ、アクリル酸プロピレンメチルフェニルビニルシラ
ン OH3 (OH2=OHCoo 0H20H20H2Si OH
= OH,、)身 6H5 21gを得た。
つぎに、11オートクレーブ中に 水 】00I オレイルアルコール f、1.I 、’/ゼラチy O
,1g 塩化ビニル 8.9 過酸化ベンゾイル 0.05.9 ?仕込み、60℃、10時間、望素下にて;+’;J 
7蜀共重合させた。反応後、tゴ過、洗浄、乾燥したと
こロ、塩化ビニルーアクリル酸プロピレンメチルフェニ
ルビニルシランの共重合体1197得た。このポリマー
を赤外吸収スペクトルにて分析したところ、3080(
X に吸収があり、ビニル糸が残存していることが確認
され之。ついで、この共重合体10gYテトラヒドロフ
ランioomgに溶解した後、両末端にヒドロ基を有す
るジメチルシロキチン(平均Qi舎度10)2.7と塩
化白金酸の2%ブタノールン谷e O,a me Y力
IJえたi多生ヤスティング法にてjILさ200μm
のフィルムをつくった後、120℃で15分間架橋反応
を行なった。このフィルムは強じんで柔軟性を有するフ
ィルムとなった。f(16、このフィルムはもはやテト
ラヒドロフランに不溶で3次元ポリマーになっているこ
と乞確J忍した。
特許出願人 信越化学工業株式会社 手続補正N): 1111 fll 58年10月2111′4云1j許
庁長官若杉和夫 殿 1、・1警件の表小 昭和58年10月14日付提出の特許頓(4; 後記号
なし2、発明の名称 けい素原子含有有機高分子化合物の峙造方法3、補止を
する考 小作との関係 特許出1頓人 名称 (206)信越化学上)′!′株式会社4、代 
理 人 6、補正のλ・1象 、り′、・119.・7、補正の
内容 ■)明細書第15ページ末行の次に別紙のとおり追加す
る。
2)明114B帯第3ページ2行、第8ページ下から3
行目および第9ページ3〜4行における「有機けい素化
合物」をそれぞれ「有機化合物」と補正する。
3)明細書第9ページ9行における「化合物などが」を
「化合物、gよび光架橋剤である2、6−ジ(4アジド
ベンジリデン)−7グロヘキサノンなどが」と補正する
Jl 紙 実施例4〜6 実施例1と全く同様にして合成したp−ビニルフェニル
ジメチルビニルシランを高i:’X ”;¥下で(06
H5)30Li−LiBrの混合系の:F1’49”J
剤を用いてri’f映したもの6gを用いて高V↓空下
でリビングアニオン重合法を用いて、開始剤として1.
2 X l (1−’モルのn−BuLi、クミルセシ
ウム(Qllm−as )を用いて一78℃の反応温度
で、溶媒として清q<′IL、たテトラヒドロフランお
よび2−メチルテトラヒドロフラン100dを用いて、
2時間屯合を行った。
取合終了後、内容物をメタノール中にI′S’、 K 
、得られたポリマーを沈殿分離し、15h争乾(M し
たところ、白色のポリマーを得た。得られた重合物の分
子ト4不均一性はGPOおよび膜浸透王法と光11に乱
法により測定した数平均分子+i1Mn)とlj fi
l−平均勺子fl(Mw)の比により判断した。
結眼を表−1に、GPO曲線を第1図および弔2図にホ
す。
得られた重合物は何れもIRスペクトル分析結果は=S
 i −0H=OH2を含有しており、トルエン溶液と
して厚さ10μmのフィルムをキヤステング法で作り、
高圧水銀灯(110W/m’、36Fsnm)に1分間
照射したところ、トルエン不溶の強じんなフィルムが得
られた。
また、実施例6で得られた重合物は4−1および第2図
のGPO曲線よりMw/Mn=1.02とりピングアニ
オン重合の理論から予想される値に近く単分散高分子と
いえるものである。
つぎに実施例6で得られた単分散ポリ(4−ビニルフェ
ニルジメチルビニルシラン)のキシレン15取晴%の溶
液を作り、これに光架橋剤として2.6−ジ(4アジド
ベンジリデン)−シグロヘキサノン(ポリマーに対して
3重重%肇)を加えてレジスト溶液を調整した。810
□/Siウエノ1−上にスビレコーテングにより1μm
のレジスト嘆を作り、ブレベーキングを100℃、20
分間行つた0 つぎIニミラープロジエクンョンマスクアライナ−(C
a)lon−500−F−1)を使用し、常法に従い露
光後、ジエチルエーテルを現像液としてデツプし60秒
間現像を行ったところ、0.5μmのラインアンドスペ
ースも明らかに解像していることが判った。
また、このレジストを81 基板上に塗布し、平行平板
電極型ドライエツチング装置fLt、にて02のスパッ
タエツチングを行い、膜厚の変化の測定を行ったところ
、30分間のエツチングでも11創7は変化せず、非常
にすぐれた耐ドライエツチング性を示した。
以上の結果よりこの単分散ポリ(4−ビニルフェニルジ
メチルビニルシラン)はレジストとしても理想的な性質
を有していることが判明した。
【図面の簡単な説明】
乞751図は、n−BuLi MよびOum−Osを開
姶剤として、THF中、−78℃でflj合したポリ(
4−ビニルフェニルジメチルビニルシラン)のGPOの
溶出曲線、第2図は、Oum−Os を聞姶剤どしてM
et−THF中、−78℃で重合したポリ(4−ビニル
フェニルジメチルビニルシラン)のGPOの溶出曲線を
それぞれ示したものである。

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 1、一般式 %式% C式中、■は重合可能なエチレン性二重結合を有する有
    1ヤ基、R” 、 R2は炭素原子数1〜4のアルキル
    基もしくはフェニル糸、nは0〜3の数、ただしn=Q
    のときVはビニル基でないものとする)で示されるビニ
    ルシラン誘導体を、そのビニルシリル基(ミ5l−cI
    (=cH2)を残存させ有わあ基V中のエチレン什二貫
    結合を優先的に重合させる条件下で重合反応させること
    を特徴とするけい素原子含有有機高力子化合物の製造方
    法 2、一般式 %式%(2 (式中、■は重合可能なエチレン性二重結合を有する有
    機基、R1、p、2は炭素原子数1〜4のアルキル基も
    しくはフェニル4.nは0〜3の数、ただしn=0のと
    きVはビニル哉でないものとする)で示されるビニルシ
    ラン誘導体を、そのビニルシリル基(ミ5i−OH=t
    jl(2) を残存させ有機基V中のエチレン性二重結
    合を(3先的に重合させる条件FでΦ合反応させ、つい
    で得られた重合体中のビニルシリル早を架橋反応させる
    ことを特徴とする三伏元化されたI)い累原子含有有機
    高分子イ]′合物の!I+3造力法3、前記架橋反応を
    、紫外線、電子線もしくはX線による照射で行うことを
    特徴とする特R1−悄求の範囲第2゛項記載の製造方法 4 前記架橋反応を、過酸化物または1分子中にビニル
    シリル基と反応し得る官能基を少なくとも2個有する有
    機けい累化合物を用いて行うことを特徴とする特許請求
    の範囲第2項記載の製造方法
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